KR100696531B1 - 가열용기와 이를 이용한 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 인너플레이트를 이중구조로 형성하여 승화성 유기물질의 비산을 방지하고 유기물의 증착율을 개선할 수 있는 가열용기 및 이를 이용한 증착장치를 개시한다.
본 발명의 가열용기는 유기화합물이 담기는 공간부와, 증발된 유기화합물이 방출되는 노즐부를 가지는 가지는 본체와; 상기 본체 내부에 설치되고, 상기 노즐부와 대응되어 상기 증발된 유기화합물이 통과하는 제1개구부가 형성된 제1인너 플레이트와; 상기 본체 내부의 상기 제1인너 플레이트의 상부에 설치되고, 상기 제1인너 플레이트의 제1개구부와 어굿나게 배열되는 제2개구부를 구비하는 제2인너 플레이트를 포함한다.

Description

가열용기와 이를 이용한 증착장치{Heating crucible and deposit apparatus utilizing the same}
도 1은 본 발명에 따른 진공 증착장치를 개략적으로 도시한 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 가열용기를 도시한 분리 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 가열용기의 단면도,
본 발명은 가열용기와 이를 이용한 진공 증착장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 승화성 물질의 비산을 방지하기 위해 이중구조의 인너플레이트를 구비한 가열용기(heating crucible) 및 이를 구비한 진공 증착장치에 관한 것이다.
EL 소자는 자발광형 표시 패널로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 패널로서 주목받고 있다.
EL 소자는 발광층(emitter layer) 형성용 물질에 따라 무기 EL 소자와 유기 EL 소자로 구분된다. 여기에서 유기 EL 소자는 무기 EL 소자에 비하여 휘도, 구동전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점을 가지고 있다.
일반적인 유기 EL 소자는 기판 상부에 소정패턴의 양 전극층이 형성되어 있다. 그리고 이 양 전극층 상부에는 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층이 순차적으로 형성되고, 상기 전자 수송층의 상면에는 상기 양전극층과 직교하는 방향으로 소정패턴의 음전극층이 형성되어 있다. 여기에서 홀 수송층, 발광층 및 전자수송층은 유기 화합물로 이루어진 유기박막들이다.
상기 홀수송층, 발광층 및 전자수송층과 같은 유기박막을 증착하기 위한 증착장치는 통상적으로, 내부압력이 일정하게 유지되어 유기박막이 증착될 기판(피증착기판)이 장착되는 진공챔버와, 상기 진공챔버내에 상기 피증착기판과 대향하여 배치되고 유기화합물을 담고 있는 가열용기(heating crucible) 및 상기 가열용기에 설치되어 상기 유기화합물을 가열시켜 주기 위한 히터를 포함한다.
이러한 진공증착장치를 이용하여 유기박막을 증착하는 경우, 피증착기판상에 증착되는 유기박막의 증착 두께 및 증착율 등은 유기화합물이 담겨져 있는 가열용기의 형태에 크게 영향을 받게 된다.
국내 공개특허 제2003-80578호에는 유기화합물이 가열용기의 입구를 통해 외부공간으로 튀어나가는 현상을 방지하기 위하여 가열용기의 내부에 삽입부재가 설치된 증착증발셀이 개시되어 있다.
한편, 유기화합물은 증착시 분자단위로 증발하는 것이 가장 이상적이지만 가열중 재료 내부에서 급격한 증발이 이루어질 경우 분자단위가 아닌 덩어리 단위로 증발이 이루어지게 된다.
이러한 덩어리로의 증발은 다음과 같은 문제점을 야기 시킨다.
첫째; 증착마스크의 개구부에 증착물 덩어리가 부착되어 증착을 원하는 부분에 증착물이 증착되지 못하는 현상이 발생될 수 있다. 이러한 불량은 증착마스크를 교체하지 않은 이상 계속 발생하게 되므로 대량생산에 치명적이다.
둘째; 증착물 덩어리가 기판에 부착되어 증착막을 균일도를 해친다. 이러한 증착물 덩어리가 증착되는 부위는 화상 형성시 어두운 부분으로 나타나게 된다.
셋째; 유기화합물의 덩어리의 일부가 노즐에 부착되게 되면 이로부터 유기화합물의 연속적인 증착으로 인하여 성장이 이루어지게 되고, 나아가서는 증착용기의 노즐을 막아버리게 되는 원인이 된다.
이러한 문제점을 해결하기 위한 진공 증착장치의 가열용기의 일예가 대한 민국 특허 공개공보 2000-0054211호에 개시되어 있다. 개시된 가열용기는 가열에 의해서 승화된 유기화합물이 방출되는 개방구에 망사형의 커튼이 설치된다.
그러나 이 가열용기는 개방구에 단순한 망사상의 커튼이 설치되어 있으므로 히터로부터의 열전도가 원활하게 이루어지지 않게 되어 가열용기의 내부로부터 일차 증발하여 망사상의 커튼에 증착된 이물이 원활하게 증발하지 않게 되며, 가열용기의 내부에 망사상의 커튼의 설치가 용이하지 않은 문제점이 있다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기화합물의 승화시 분자단위로 증발하지 않고 덩어리단위로 증발되더라도 증착 마스크와 기판에 유기화합물 덩어리가 증착되는 것을 방지할 수 있는 이중구조의 인너플레이트를 구비한 가열용기 및 이를 이용한 증착장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 가열용기는 유기화합물이 담기는 공간부와, 증발된 유기화합물이 방출되는 노즐부를 가지는 본체와; 상기 본체 내부에 설치되고, 상기 노즐부와 대응되어 상기 증발된 유기화합물이 통과하는 제1개구부가 형성된 제1인너 플레이트와; 상기 본체 내부의 상기 제1인너 플레이트의 상부에 설치되고, 상기 제1인너플레이트의 제1개구부와 어굿나게 배열되는 제2개구부를 구비하는 제2인너 플레이트를 포함한다.
상기 제1인너 플레이트는 노즐부와 대응되는 부위에 상기 제1개구부를 구비하는 제1차폐부와, 상기 제1차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제1차폐부를 지지하는 적어도 하나의 제1고정부를 구비한다.
상기 제2인너 플레이트는 상기 노즐부와 대응되는 부위에 형성되는 제2차폐부와, 상기 제2차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제2차폐부를 지지하는 적어도 하나의 제2고정부를 구비한다.
상기 제1인너 플레이트의 제1고정부와 상기 제2인너 플레이트의 제2고정부는 서로 어긋하게 배치된다. 상기 제2인너플레이트의 제2차폐부의 면적은 상기 본체의 공간부의 면적보다 작은 것이 바람직하다. 상기 제2인너 플레이트의 상기 제2차폐부와 상기 본체사이의 상기 공간부의 가장자리에 상기 제2개구부가 형성된다. 상기 제2인너플레이트의 제2개구부는 제1인너 플레이트의 제1차폐부에 대응하여 형성된다.
상기 본체는 노즐부가 형성된 캡부재와 공간부가 형성된 본체부로 이루어지 고, 상기 본체부의 외주면 또는 노즐부의 주위에 가열히이터가 설치된다.
또한, 본 발명은 증착막을 형성하기 위한 기판이 설치되는 진공챔버와; 상기 증착막을 위한 유기화합물이 담기는 가열용기를 포함하며,
상기 가열용기는 유기화합물이 담기는 공간부와, 증발된 유기화합물이 방출되는 노즐부를 가지는 본체와; 상기 본체 내부에 설치되고, 상기 노즐부와 대응되어 상기 증발된 유기화합물이 통과하는 제1개구부가 형성된 제1인너 플레이트와; 상기 본체 내부의 상기 제1인너 플레이트의 상부에 설치되고, 상기 제1인너플레이트의 제1개구부와 어굿나게 배열되는 제2개구부를 구비하는 제2인너 플레이트를 구비하는 증착장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 가열용기의 일 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가열용기를 구비하는 진공 증착장치의 단면구조를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 진공증착장치는 내부에 진공분위기가 형성된 챔버(100)와, 상기 챔버(100)의 내부에 설치되어 증착 하고자 하는 기판 즉, 피증착기판(200)을 지지하는 기판 지지부(210)와, 상기 피증착기판(200)에 밀착되며 증착 하고자 하는 패턴의 슬릿을 가지는 증착 마스크(220)와, 상기 증착 마스크(230)를 사이에 두고 기판(200)과 대응되도록 설치되는 가열용기(300)를 포함한다.
상기 피증착 기판(200)을 지지하는 기판 지지부(210)는 상기 피증착 기판(200)의 증착하고자 하는 면이 상기 가열용기(300)와 대응되게 지지할 수 있도록 상기 피증착 기판(200)의 가장자리를 지지하게 되는데, 이에 반드시 한정되지는 않는다. 그리고 상기 기판 지지부(210)는 도면상에는 도시되지 않았으나, 상기 피증착 기판(200)의 자중에 의해 상기 피증착기판(200)이 휘는 것을 방지하기 위한 수단과, 상기 증착 마스크(220)를 기판(200)에 밀착시키기 위한 수단을 더 구비할 수 있다.
상기 가열용기(300)는 유기화합물의 증발시 유기화합물이 덩어리로 기판(200) 또는 증착마스크(220)에 증착되는 것을 방지하고 분자 단위로 증발되도록 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공증착장치에 사용되는 가열용기의 분리사시도를 도시한 것이고, 도 3은 가열용기의 단면도를 도시한 것이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 가열용기(300)는 유기화합물(360)을 담기 위한 본체(310)와, 상기 본체(310) 내부에 설치되어 덩어리단위의 유기화합물(361)이 상기 피증착 기판(200)에 증착되는 것을 방지하기 위한 인너 플레이트(350)를 구비한다. 상기 본체(310)는 유기화합물(360)이 담기는 공간부(321)와, 증발된 유기화합물(360)이 방출되는 노즐부(311)를 구비한다.
상기 가열용기(300)의 본체(310)는 상기 노즐부(311)가 중앙에 형성된 캡부재(310a)와, 상기 캡부재(310a)와 결합되며 상기 공간부(321)가 형성된 본체부(310b)로 이루어진다. 상기 본체부(310b)는 일측 단부가 바닥부을 가지는 캔형으로 형성될 수 있는데, 상기 바닥부에는 증발되는 유기화합물의 온도를 측정하기 위한 서모커플과 같은 온도감지수단이 설치될 수 있다. 상기 본체부(310b)의 외주면에는 이를 가열하기 위한 가열히이터(327)가 구비된다. 본 발명의 실시예에서는, 상기 가열 히이터(327)가 상기 본체부(310b)의 외주면을 따라 둘러싸도록 형성되는 것을 예시하였으나, 이에 반드시 한정되는 것이 아니라 상기 유기화합물을 가열시켜주는 데 적합하도록 별도로 설치될 수도 있다.
상기 캡부재(310a)에 형성된 노즐부(311)는 캡부재(310a)의 중앙부에 형성되고 도면에는 도시되어 있지 않으나 노즐부(311) 주위의 캡부재(310a)에는 노즐부(311)에 유기화합물(360)이 증착되는 것을 방지하기 위하여 별도의 보조 가열히이터가 설치될 수 있다.
상기 인너플레이트(350)는 상기 본체부(310b)의 내부에 설치되는 제1인너 플레이트(330)와, 상기 본체부(310b)의 내부중 상기 제1인너 플레이트(330)와 캡부재(310a)사이에 배치되는 제2인너 플레이트(340)를 구비한다. 상기 제1인너 플레이트(330)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 본체부(310b)의 공간부(321)에 삽입되어 상기 유기화합물(360)이 통과하는 것을 차단하는 차폐부(332)와, 상기 차폐부(332)로부터 상기 본체부(310b)의 상부 측으로 연장되어 상기 차폐부(332)를 지지하는 적어도 하나의 고정부(333)을 포함한다. 또한, 상기 제1인너 플레이트(330)는 상기 차폐부(332)의 상기 노즐부(311)에 대응하여 형성되어, 상기 공간부(321)의 유기화합물(360)을 통과시켜 주기 위한 개구부(331)를 구비한다. 상기 제1인너 플레이트(330)는 상기 고정부(333)가 상기 차폐부(332)의 하면으로부터 하방으로 상기 본체부(310b)의 바닥부까지 연장 형성될 수 있다.
상기 제2 인너플레이트(340)는 상기 본체부(310b)와 마찬가지로 일측 단부가 바닥부을 가지는 캔형으로 형성될 수 있으며, 상기 제2인너 플레이트(340)는 상기 본체부(310b)의 공간부(321)에 담겨져 있는 유기화합물(360)의 이동경로를 복잡하게 형성하여 상기 유기화합물(360)이 노즐부(311)에 흡착되거나 또는 덩어리단위의 유기화합물(361)이 방출되는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 제2인너 플레이트(340)는 일정깊이를 갖는 캔형태의 차폐부(342)와, 상기 차폐부(342)로부터 상기 본체부(310b)의 상부 측으로 연장되어 상기 차폐부(342)를 지지하는 적어도 하나의 고정부(343)을 포함한다.
상기 제2인너 플레이트(340)의 차폐부(342)의 면적은 상기 본체부(310b)의 공간부(321)의 면적보다 작은 것이 바람직하다. 즉, 상기 제2인너 플레이트(340)의 차폐부(342)의 면적은 상기 제1인너 플레이트(330)의 차폐부(332)의 면적보다 작은 것이 바람직하다. 따라서, 상기 제2인너 플레이트(340)의 차폐부(342)와 상기 본체부(310b)사이의 공간부(321)의 가장자리에 상기 유기화합물(360)이 통과할 수 있는 개구부(341)를 형성하게 된다.
상기 제2인너 플레이트(340)의 상기 차폐부(342)의 깊이 및 개구부(341)의 크기는 분자단위의 상기 유기화합물(360)은 용이하게 방출하고, 상기 덩어리단위의 유기화합물(361)은 방출이 어렵게 되도록 조절가능하다. 또한, 상기 제2인너 플레이트(340)와 제1인너플레이트(330)간의 간격도 조절가능하다. 또한, 상기 제2인너플레이트(340)의 고정부(343)는 상기 제1인너 플레이트(330)의 고정부(333)와는 서로 대응되지 않도록 상기 본체부(310b)에 고정되는 것이 바람직하다.
상기 제1인너 플레이트(331)의 개구부(331)는 상기 제2인너 플레이트(340)의 차폐부(342)에 대응하여 배치되며, 상기 제2인너 플레이트(340)의 차폐부(342)는 상기 캡부재(310a)의 노즐부(311)에 대응하여 배치되고, 또한 상기 제2인너 플레이트(340)의 개구부(341)와 제1인너플레이트(330)의 개구부(331)는 서로 대향되지 않도록 배치된다. 따라서, 상기 공간부(321)에 담겨져 있는 상기 유기화합물(360)은 제1인너플레이트(330)의 개구부(331) 및 제2인너 플레이트(340)의 개구부(341)를 통해 상기 노츨부(311)를 통해 방출되도록 한다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 가열용기와 이를 이용한 증착장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저 진공 증착장치를 이용하여 기판에 유기막을 형성하기 위해서는 가열용기(300)의 내부의 공간부(321)에 증착 박막 즉, 유기 전계 발광 표시장치의 유기막 인 전자수송층, 발광층 또는 정공 수송층을 형성하기 위한 유기화합물(360)을 주입한다. 이 상태에서 가열히터(327) 및 보조히터(미도시)에 소정의 전압을 인가하여 본체(310)를 가열함으로써 유기화합물(360)이 가열되어 승화 되도록 한다.
상기 유기화합물이 승화되는 과정에서 상기 본체(310)의 공간부(321)에서 유기화합물의 급격한 증발시 유기화합물(360)이 분자단위가 아닌 작은 덩어리 단위의 유기화합물(361)로 증발될 수 있다. 상기 본체(310)의 상기 공간부(321)의 내부에는 인너 플레이트(330)가 설치되어 있으므로 덩어리로 증발하는 유기화합물(361)이 노즐부(311)를 통하여 기판(200) 또는 증착마스크(220)에 증착되는 것을 근본적으로 방지할 수 있다.
보다 상세하게 설명하면, 상기 분자단위의 유기화합물(360)은 제2인너 플레 이트(330)의 개구부(331)와 제2인너 플레이트(340)의 개구부(341)를 통해 상기 노즐부(311)로 토출되어 상기 기판(200)에 증착된다. 이때, 상기 노즐부(311)와 대응되는 부위에 제2인너 플레이트(340)의 차폐부(342)가 설치되어 있고 본체부(310b)와 차폐부(342)사이의 공간부(321)의 가장자리에 개구부(341)가 형성되어 있다. 또한, 상기 제2인너 플레이트(340)의 개구부(341)가 제1인너 플레이트(330)의 차폐부(332)에 대응하며, 상기 제2인너 플레이트(340)의 차폐부(342)가 제1인너 플레이트(330)의 개구부(331)에 대응하므로, 증발된 덩어리단위의 유기화합물(361)은 제1인너플레이트(330)의 차폐부(332) 및 제2인너 플레이트(340)의 차폐부(342)에 충돌하게 되어 노즐부(311)를 통과하지 못하게 된다. 그리고 제2인너 플레이트(340)가 일정깊이를 갖는 캔형상을 가지므로, 제2인너플레이트(340)의 개구부(341)를 덩어리 단위의 유기화합물(360)이 통과하였다 하더라도 상기 차폐부(342) 및 캡부재(310a)에 의해 한정된 공간부의 내벽에 부딪치게 됨으로써 노즐부(311)를 통과하지 못하게 된다.
한편, 상기 노즐부(311)와 대응되는 제2인너 플레이트(340)의 차폐부(342)와 공간부(321)사이에 형성된 개구부(341)의 면적은 노즐부(311) 면적보다 넓게 형성하게 되면, 상기 노즐부(311)를 통하여 토출되는 유기화합물(360)의 압력 저하를 줄일 수 있다. 상기 제2인너 플레이트(340)에 형성된 개구부(341)의 면적이 상기 노즐부(311)의 면적 보다 작은 경우, 승화된 유기화합물(360)이 상기 제2인너 플레이트(340)에 의해 구획된 공간부(321)의 하측 공간에서 상측공간으로 빠져 나가지 못하고 서로 충돌하게 되며, 이에 따라 하측공간의 압력이 증가하게 된다. 이와 같 이 하측공간의 압력이 증가하게 되면 유기화합물(360)의 승화 온도가 증가하게 되고, 유기화합물의 승화 온도가 분해 온도 이상이 되면 유기화합물이 분해된다. 이러한 유기화합물의 분해는 증착막에 악영향을 미쳐 유기 전계 발광표시장치의 수명을 저하시키는 중요한 요인이 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 진공 증착장치의 가열용기와 이를 이용한 증착장치는 인너플레이트를 이중구조로 형성하여 유기화합물의 급격한 증발로 인하여 덩어리가 증발되어 노즐부로 토출되는 것을 방지할 수 있으며, 나아가서는 기판에 덩어리의 유기화합물이 증착되어 화상시 어둡게 나타나거나 증착 마스크에 부착되어 기판에 증착패턴의 형성시 패턴 불량을 근본적으로 해결할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (17)

  1. 유기화합물이 담기는 공간부와, 증발된 유기화합물이 방출되는 노즐부를 가지는 본체와;
    상기 본체 내부에 설치되고, 상기 노즐부와 대응되어 상기 증발된 유기화합물이 통과하는 제1개구부가 형성된 제1인너 플레이트와;
    상기 본체 내부의 상기 제1인너 플레이트의 상부에 설치되어, 상기 제1인너플레이트의 제1개구부와 어굿나게 배열되는 제2개구부를 구비하는 제2인너 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제1인너 플레이트는 노즐부와 대응되는 부위에 상기 제1개구부를 구비하는 제1차폐부와, 상기 제1차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제1차폐부를 지지하는 적어도 하나의 제1고정부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2인너플레이트의 제2개구부는 제1인너 플레이트의 제1차폐부에 대응하여 형성된 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제2인너 플레이트는 상기 노즐부와 대응되는 부위에 형성되는 제2차폐부와, 상기 제2차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제2차폐부를 지지하는 적어도 하나의 제2고정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1인너 플레이트의 제1고정부와 상기 제2인너 플레이트의 제2고정부는 서로 어긋하게 배치되는 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제2인너플레이트의 제2차폐부의 면적은 상기 본체의 공간부의 면적보다 작은 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2인너 플레이트의 상기 제2차폐부와 상기 본체사이의 상기 공간부의 가장자리에 상기 제2개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 본체는 노즐부가 형성된 캡부재와 공간부가 형성된 본체부로 이루어진 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 본체부의 외주면 또는 노즐부의 주위에 가열히이터가 설치된 것을 특징으로 하는 증착장치의 가열용기.
  10. 증착막을 형성하기 위한 기판이 설치되는 진공챔버와;
    상기 증착막을 위한 유기화합물이 담기는 가열용기를 포함하며,
    상기 가열용기는 유기화합물이 담기는 공간부와, 증발된 유기화합물이 방출되는 노즐부를 가지는 본체와;
    상기 본체 내부에 설치되고, 상기 노즐부와 대응되어 상기 증발된 유기화합물이 통과하는 제1개구부가 형성된 제1인너 플레이트와;
    상기 본체 내부의 상기 제1인너 플레이트의 상부에 설치되어, 상기 제1인너플레이트의 제1개구부와 어굿나게 배열되는 제2개구부를 구비하는 제2인너 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1인너 플레이트는 노즐부와 대응되는 부위에 상기 제1개구부를 구비하는 제1차폐부와, 상기 제1차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제1차폐부를 지지하는 적어도 하나의 제1고정부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 증착장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제2인너플레이트의 제2개구부는 제1인너 플레이트의 제1차폐부에 대응하여 형성된 것을 특징으로 하는 증착장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제2인너 플레이트는 상기 노즐부와 대응되는 부위에 형성되는 제2차폐부와, 상기 제2차폐부로부터 상기 본체의 상측으로 연장되어 제2차폐부를 지지하는 적어도 하나의 제2고정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1인너 플레이트의 제1고정부와 상기 제2인너 플레이트의 제2고정부는 서로 어긋하게 배치되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제2인너플레이트의 제2차폐부의 면적은 상기 본체의 공간부의 면적보다 작은 것을 특징으로 하는 증착장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제2인너 플레이트의 상기 제2차폐부와 상기 본체사이의 상기 공간부의 가장자리에 상기 제2개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 본체부의 외주면 또는 노즐부의 주위에 가열히이터가 설치된 것을 특징으로 하는 증착장치.
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