JP7409799B2 - ノズルユニット，坩堝，蒸発源及び蒸着装置 - Google Patents

Description

本発明は、真空蒸着を行うために用いられるノズルユニット，坩堝，蒸発源及び蒸着装置に関する。

真空蒸着においては、坩堝内の蒸着材料が、突沸などによって、液体状または固体状の状態で坩堝の外に飛び出してしまうスプラッシュと呼ばれる現象が生じることがある。このように、液体状または固体状の蒸着材料が蒸着対象である基板に到達してしまうと、成膜中の膜（金属膜、有機膜、及び封止膜など）が破損してしまい欠陥品となってしまう。そこで、この対策として、坩堝の容器本体の開口部に、中板を設ける技術が知られている。図８を参照して、従来例に係る坩堝について説明する。図８は従来例に係る坩堝の概略構成図である。

従来例に係る坩堝５００は、容器本体５１０と、容器本体５１０の開口部に設けられる中板５２０とを備えている。中板５２０には、蒸発した蒸着材料を通過させるために、複数の貫通孔５２１が設けられている。このように構成される坩堝５００によれば、スプラッシュが生じても、液体状または固体状の蒸着材料は中板５２０により遮られることで、当該蒸着材料が基板に到達してしまうことを抑制することができる。

しかしながら、上記の坩堝５００においても、スプラッシュが生じた際に、液体状または固体状の蒸着材料Ｓが直線的に貫通孔５２１を通り抜けてしまい（図中、矢印Ｘ参照）、基板に到達してしまうことがある。また、このような現象を極力少なくするために、貫通孔５２１の数を減らしたり、貫通孔５２１の開口面積を小さくしたりすることもある。しかし、そのような手法では、中板５２０よりも内部の圧力が高くなりやすく、また、一般的に中板５２０は冷えやすいため、中板５２０に蒸着材料が付着されやすくなってしまう。この場合、貫通孔５２１の付近に付着した蒸着材料にスプラッシュが生じて、基板に向かって放出されてしまうことがある（図中、矢印Ｙ参照）。

特開２０１１－２１２２３号公報

本発明の目的は、液体状または固体状の蒸着材料が基板の蒸着面に到達してしまうことを抑制することのできるノズルユニット，坩堝，蒸発源及び蒸着装置を提供することにある。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。

すなわち、本発明のノズルユニットは、
坩堝の容器本体の開口部に装着されるノズルユニットであって、
蒸着材料を放出するノズル部を有するノズル部材と、
前記ノズル部材よりも前記容器本体の内部側に設けられる中板部材と、
を備え、
前記中板部材は、前記ノズル部材側の天板部と、蒸着材料が通過する複数の貫通孔が設けられた側壁と、を備え、前記ノズル部材側に突出する凸形状部を有すると共に、
前記蒸着材料によって蒸着される蒸着面上の任意の位置である第１の点から、前記複数の貫通孔内の任意の位置である第２の点に至る全ての線分は、ノズルユニットを構成する複数の部材のうちの少なくともいずれか一つの部材によって遮られるように構成されてい
ることを特徴とする。

また、本発明の他のノズルユニットは、
坩堝の容器本体の開口部に装着されるノズルユニットであって、
蒸着材料を放出する放出口が設けられたノズル部を有するノズル部材と、
前記ノズル部材よりも前記容器本体の内部側に設けられる中板部材と、
を備え、
前記中板部材は、前記ノズル部材側の天板部と、蒸着材料が通過する複数の貫通孔が設けられた側壁と、を備え、前記ノズル部材側に突出する凸形状部を有すると共に、
前記放出口の先端面上の任意の位置である第３の点から、前記複数の貫通孔内の任意の位置である第２の点に至る全ての線分は、ノズルユニットを構成する複数の部材のうちの少なくともいずれか一つの部材によって遮られるように構成されていることを特徴とする。

また、本発明のノズルユニットは、
坩堝の容器本体の開口部に装着されるノズルユニットであって、
蒸着材料を放出するノズル部を有するノズル部材と、
前記ノズル部材よりも前記容器本体の内部側に設けられる中板部材と、
を備え、
前記中板部材は、前記ノズル部材側の天板部を備え、前記ノズル部材側に突出する凸形状部を有すると共に、
前記凸形状部の側壁に、蒸着材料が通過する複数の貫通孔が設けられていることを特徴とする。

以上説明したように、本発明によれば、液体状または固体状の蒸着材料が基板の蒸着面に到達してしまうことを抑制することができる。

図１は蒸着装置の概略構成図である。 図２は本発明の実施例に係る蒸発源の概略構成図である。 図３は本発明の実施例に係るノズルユニットの概略構成図である。 図４は本発明の実施例に係るノズル部材を示す図である。 図５は本発明の実施例に係る接続部材を示す図である。 図６は本発明の実施例に係る中板部材を示す図である。 図７は本発明の変形例に係るノズル部材を示す図である。 図８は従来例に係る坩堝の概略構成図である。

以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

（実施例）
図１～図７を参照して、本発明の実施例に係るノズルユニット，坩堝，蒸発源及び蒸着装置について説明する。図１は蒸着装置の概略構成図である。図２は本発明の実施例に係る蒸発源の概略構成図であり、蒸発源の概略構成について断面的に示している。図３は本発明の実施例に係るノズルユニットの概略構成図であり、基板との位置関係についても概
略図にて示している。図４は本発明の実施例に係るノズル部材を示す図である。なお、同図（ａ）はノズル部材の平面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＡ－Ａ断面図である。図５は本発明の実施例に係る接続部材を示す図である。なお、同図（ａ）は接続部材の平面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＢ－Ｂ断面図である。図６は本発明の実施例に係る中板部材を示す図である。なお、同図（ａ）は中板部材の平面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＣ－Ｃ断面図である。図７は本発明の変形例に係るノズル部材を示す図である。なお、同図（ａ）はノズル部材の平面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＡＸ－ＡＸ断面図である。

＜蒸着装置＞
図１を参照して、蒸着装置１について簡単に説明する。蒸着装置１は、真空ポンプ３０によって、内部が真空に近い状態（減圧雰囲気）となるように構成されるチャンバ２０と、チャンバ２０の内部に配置される蒸発源１０とを備えている。蒸発源１０は、基板４０に蒸着させる物質の材料（蒸着材料）を加熱させることで、当該材料を蒸発又は昇華させる役割を担っている。この蒸発源１０によって蒸発または昇華された物質が、チャンバ２０の内部に設置された基板４０の蒸着面（蒸発源１０側の表面）に付着されることで、基板４０に薄膜が形成される。

＜蒸発源＞
図２を参照して、本実施例に係る蒸発源１０の全体構成について説明する。蒸発源１０は、基板４０に蒸着させる物質の材料を収容する坩堝１０Ｘと、坩堝１０Ｘを取り囲むように設けられ、坩堝１０Ｘを加熱する加熱体１０Ｙとを備えている。なお、加熱体１０Ｙを取り囲むように設けられ、熱を遮断する遮熱構造体（リフレクタ）が備えられる場合もある。坩堝１０Ｘを加熱する方式は各種の構成が採用され得る。例えば、通電加熱方式が採用される場合には、加熱体１０Ｙは、通電されるワイヤに相当する。また、高周波誘導加熱方式が採用される場合には、加熱体１０Ｙは加熱コイルに相当する。

そして、本実施例に係る坩堝１０Ｘは、容器本体１００と、容器本体１００の開口部に装着されるノズルユニット２００とを備えている。容器本体１００は、蒸着材料Ｍが収容される有底円筒部１１０と、有底円筒部１１０の上端に設けられるフランジ部１１１とから構成される。この容器本体１００は、窒化ホウ素（ＰＢＮ）などの材料により構成される。ノズルユニット２００は、ノズル部材２１０と、ノズル部材２１０よりも容器本体１００の内部側に設けられる中板部材２２０と、ノズル部材２１０と中板部材２２０との間に設けられる接続部材２３０とから構成される。これらノズル部材２１０，中板部材２２０、及び接続部材２３０は、Ｍｏ，Ｔａ，Ｗなどの高融点の金属材料により構成される。

＜ノズルユニット＞
特に、図３～図６を参照して、ノズルユニット２００について、より詳細に説明する。ノズルユニット２００は、上記の通り、ノズル部材２１０と、中板部材２２０と、接続部材２３０とから構成される。

ノズル部材２１０は、円筒部２１１と、円筒部２１１の下端から上方に向かって縮径するように伸びるノズル部２１２と、円筒部２１１の上端に設けられるフランジ部２１３とを備えている。円筒部２１１は、容器本体１００における有底円筒部１１０側からの熱を十分受けるための受熱用の筒状部としての役割を担っている。この円筒部２１１は、容器本体１００の内周面（有底円筒部１１０の内周面）に沿って設けられる。なお、円筒部２１１の外径は、有底円筒部１１０の内径よりも数％小さく設定するのが望ましい。例えば、円筒部２１１の外径を６０ｍｍとした場合には、有底円筒部１１０の内径を６１ｍｍ以上６２ｍｍ以下に設定するとよい。これにより、受熱機能を維持しつつ、円筒部２１１と有底円筒部１１０とが擦れてしまうことを抑制することができる。また、熱膨張によって
、両者が密着してしまい、大きな応力が発生してしまうことを抑制することができる。

ノズル部２１２は、蒸発または昇華された蒸着材料を基板４０に向けて放出するための役割を担っている。このノズル部２１２の先端には、蒸着材料を放出する放出口２１２ａが設けられている。このノズル部２１２は、上記の通り、円筒部２１１の下端から上方に向かって縮径するように伸びるテーパ形状の部分により構成されており、放出口２１２ａに向かって蒸着材料を案内する案内壁としての機能を発揮する。このノズル部２１２の外周面側に、上記の通り、容器本体１００の内周面に沿って設けられる受熱用の筒状部としての円筒部２１１が設けられる。なお、図示の例では、ノズル部２１２がテーパ形状の部分のみにより構成される場合を示しているが、本発明はそのような形状に限定されるものではなく、例えば、図７に示す変形例に係るノズル部材２１０Ｘのように、テーパ形状の部分の先端に更に円筒状の部分２１２Ｘを設けてもよい。なお、ノズル部材２１０Ｘは、上述したノズル部材２１０の構成に対して、円筒状の部分２１２Ｘが更に設けられている点のみが異なっている。図７においては、ノズル部材２１０と同一の構成部分については、同一の符号を付して、その説明は省略する。

以上のように構成されるノズル部材２１０におけるフランジ部２１３が、容器本体１００におけるフランジ部１１１に載置されることで、容器本体１００の開口部にノズルユニット２００が装着される。

中板部材２２０は、円筒部２２１と、円筒部２２１の上端に繋がるように設けられる平板部２２２と、平板部２２２の中央に設けられる凸形状部２２３とから構成される。本実施例においては、凸形状部２２３は、ノズル部材２１０側に突出している。この凸形状部２２３は、円錐台形状の部分により構成されている。すなわち、凸形状部２２３は、先端側の円板状の天板部２２３ａと、テーパ状の側壁２２３ｂとから構成されている。そして、側壁２２３ｂに、蒸着材料が通過する複数の貫通孔２２３ｃが設けられている。複数の貫通孔２２３ｃの開口面積の総和は、ノズル部材２１０における放出口２１２ａの開口面積以上となるように設定されている。

以上のように構成されるノズル部材２１０と中板部材２２０との間に、これらノズル部材２１０と中板部材２２０に対してそれぞれ接合されることで、ノズル部材２１０と中板部材２２０とを接続する接続部材２３０が設けられる。ノズル部材２１０と接続部材２３０との接合、及び中板部材２２０と接続部材２３０との接合方法としては、リベット止めや溶接などの種々の方法を採用し得る。そして、接続部材２３０は、円筒部２３１と、円筒部２３１の先端に設けられるテーパ状部２３２とを備えている。接続部材２３０における円筒部２３１の内周面側が、中板部材２２０における円筒部２２１の外周面側と接合される。また、接続部材２３０におけるテーパ状部２３２の外周面側が、ノズル部材２１０におけるノズル部２１２の内周面側と接合される。

ここで、接続部材２３０においては、中板部材２２０の外周面側に設けられる円筒部２３１が、上記のノズル部材２１０における円筒部２１１と同様に、容器本体１００における有底円筒部１１０側からの熱を十分受けるための受熱用の筒状部としての役割を担っている。この円筒部２３１が容器本体１００の内周面（有底円筒部１１０の内周面）に沿って設けられる点、及び円筒部２３１の外径の寸法設定については、ノズル部材２１０における円筒部２１１の場合と同様である。接続部材２３０における円筒部２３１の上下長は坩堝（容器本体１００）の全長に対して４％以上（例えば、坩堝の全長が１８５ｍｍの場合には８ｍｍ程度）に設定するのが望ましい。円筒部２３１の上下長は、坩堝に充填される蒸着材料Ｍの充填量（坩堝の全長に対する充填割合）にもよるが、坩堝の全長の４％以上２８％以下とすることができる。具体的には、十分な材料充填量やノズル部材２１０の寸法等を確保する観点から、円筒部２３１の上下長は、坩堝の全長対して４％以上８％以
下とするのが好適である。これにより、受熱機能が十分に発揮され、中板部材２２０を十分に加熱することができる。

以上のように構成されるノズルユニット２００を備える蒸発源１０が蒸着装置１に設置された状態において、ノズルユニット２００と、蒸着装置１に設置された基板４０との位置関係について説明する。図３においては、蒸着装置１に蒸発源１０と基板４０が設置された状態で、ノズルユニット２００と基板４０との位置関係を概略的に示している。ただし、便宜上、縮尺は、図１～３においては統一されていない。

本実施例に係る蒸着装置１においては、ノズルユニット２００における中板部材２２０の貫通孔２２３ｃを通過した蒸着材料が、直線的に基板４０の蒸着面に到達することがないように構成されている。この点について、より詳細に説明する。

蒸着材料によって蒸着される蒸着面上の任意の位置を「第１の点」とする。なお、「蒸着面」は、基板４０における蒸発源１０側の表面に相当する。従って、「蒸着面上の任意の位置」は、図３中の範囲Ｐ上の任意の位置（点）に相当する。また、中板部材２２０における複数の貫通孔２２３ｃ内の任意の位置を「第２の点」とする。「貫通孔２２３ｃ内の任意の位置」は、例えば、図３中の範囲Ｑ上の任意の位置（点）に相当する。すると、本実施例に係る蒸着装置１においては、第１の点から第２の点に至る全ての線分は、ノズルユニット２００を構成する複数の部材のうちの少なくともいずれか一つの部材によって遮られるように構成されている。例えば、図３中の貫通孔２２３ｃＸに着目した場合、「第１の点から第２の点に至る全ての線分」が通り得る領域は、図中の領域Ｒに相当する。この図から、第１の点から第２の点に至る全ての線分は、ノズル部材２１０，中板部材２２０、及び接続部材２３０のうちの少なくともいずれか一つの部材によって遮られていることが分かる。

以上の構成により、幾何学的に、中板部材２２０の貫通孔２２３ｃを通過した蒸着材料が、直線的に基板４０に到達することはない。

＜本実施例に係るノズルユニット，坩堝，蒸発源及び蒸着装置の優れた点＞
本実施例に係るノズルユニット２００、及びこれを備える坩堝１０Ｘ，蒸発源１０及び蒸着装置１によれば、ノズルユニット２００における中板部材２２０の貫通孔２２３ｃを通過した蒸着材料が、直線的に基板４０の蒸着面に到達することがない。従って、坩堝１０Ｘ内において、スプラッシュが生じても、液体状または固体状の蒸着材料が基板４０の蒸着面に到達してしまうことを抑制することができる。これにより、成膜中の膜が破損してしまうことを抑制することができる。

また、本実施例においては、中板部材２２０に設けられる複数の貫通孔２２３ｃの開口面積の総和は、ノズル部材２１０における放出口２１２ａの開口面積以上となるように設定されている。従って、蒸発粒子の放出口２１２ａへの移動（拡散）が良好に行われ、貫通孔２２３ｃ付近での蒸発粒子の停滞を抑制することができる。よって、中板部材２２０よりも内部側の圧力の上昇が抑制される。また、凸形状部２２３は、ノズル部材２１０側に突出しているため、より一層、中板部材２２０よりも内部側の圧力が高くなってしまうことを抑制することができる。

更に、本実施例においては、ノズル部材２１０における円筒部２１１と、接続部材２３０における円筒部２３１が、有底円筒部１１０側からの熱を十分受けるための受熱用の筒状部としての役割を担っている。これにより、中板部材２２０が冷えてしまうことを抑制することができる。特に、接続部材２３０における円筒部２３１の上下長が坩堝の全長に対して４％以上に設定されることで、中板部材２２０の温度低下を十分抑制することがで
きる。

このように、中板部材２２０よりも内部側の圧力が高くなってしまうことを抑制できることと、中板部材２２０の温度低下を抑制できることが相まって、中板部材２２０に蒸着材料が付着してしまうことを効果的に抑制することができる。従って、中板部材２２０における貫通孔２２３ｃの付近でスプラッシュが発生してしまうことも抑制することができる。

（その他）
蒸着装置１において、ノズルユニット２００における中板部材２２０の貫通孔２２３ｃを通過した蒸着材料が、直線的に放出口２１２ａを通って飛び出すことがないように構成することも好ましい。この点について、図３を参照して、より詳細に説明する。

放出口２１２ａの先端面上の任意の位置を「第３の点」とする。「放出口２１２ａの先端面上の任意の位置」は、図３中の範囲ＰＸ上の任意の位置（点）に相当する。すると、図３に示す蒸着装置１においては、第３の点から第２の点に至る全ての線分は、ノズルユニット２００を構成する複数の部材のうちの少なくともいずれか一つの部材によって遮られるように構成されている。例えば、図３中の貫通孔２２３ｃＹに着目した場合、「第３の点から第２の点に至る全ての線分」が通り得る領域は、図中の領域ＲＸに相当する。この図から、第３の点から第２の点に至る全ての線分は、中板部材２２０によって遮られていることが分かる。

以上の構成により、幾何学的に、中板部材２２０の貫通孔２２３ｃを通過した蒸着材料が、直線的に放出口２１２ａを通って飛び出すことはない。この構成を採用すれば、基板４０の配置位置に関係なく、貫通孔２２３ｃを通過した蒸着材料が、直線的に基板４０の蒸着面に到達することがない。

上記実施例においては、ノズルユニット２００が、ノズル部材２１０と、中板部材２２０と、接続部材２３０とから構成される場合を示した。このように、ノズルユニット２００を３部材により構成したのは、製法上の理由に基づくものである。ただし、各部材の材料等により、製法上、特に問題がなければ、ノズルユニットを３部材により構成する必要はない。例えば、ノズル部材２１０の主要構成部と接続部材２３０の主要構成部とを有する部材を１部材として、この部材と中板部材２２０とを接続させることで、ノズルユニット２００を構成することもできる。勿論、ノズルユニット２００を４部材以上の部材により構成しても構わない。

上記実施例においては、中板部材２２０に設けられる凸形状部２２３が、ノズル部材２１０側に突出している場合の構成を示した。しかしながら、本発明においては、凸形状部が、ノズル部材側とは反対側に突出している場合の構成も含まれ得る。この場合、中板部材よりも内部側の圧力が高くなってしまうことも懸念され得るが、中板部材２２０に設けられる複数の貫通孔２２３ｃの開口面積の総和と、ノズル部材２１０における放出口２１２ａの開口面積との関係を適宜設定することで、中板部材よりも内部側の圧力が高くなってしまうことを抑制することができる。

ここで、スプラッシュの発生に伴って、成膜中の膜が破損してしまう問題は、成膜材料が金属材料の場合に特に問題になる。従って、本実施例に係るノズルユニット，坩堝，蒸発源及び蒸着装置は、蒸着材料が金属材料の場合に特に有用である。ただし、その他の材料の場合でも、効果があることは言うまでもない。

なお、上記実施例においては、幾何学的に、中板部材２２０の貫通孔２２３ｃを通過し
た蒸着材料が、直線的に基板４０に到達することがない場合の構成について説明した。しかしながら、中板に凸形状部を設けて、この凸形状部の側壁に、蒸着材料が通過する複数の貫通孔を設ける構成を採用すれば、スプラッシュの発生により生じた液体状または固体状の蒸着材料が基板４０の蒸着面に到達してしまうことを抑制できる効果を得ることができる。従って、上述した第１の点から第２の点に至る全ての線分の中で、その一部については、ノズルユニット２００を構成する部材によって遮られない場合でも、ある程度の効果を得ることができる。

１ 蒸着装置
１０ 蒸発源
１０Ｘ 坩堝
２０ チャンバ
４０ 基板
１００ 容器本体
２００ ノズルユニット
２１０，２１０Ｘ ノズル部材
２１１ 円筒部
２１２ ノズル部
２１２ａ 放出口
２２０ 中板部材
２２１ 円筒部
２２２ 平板部
２２３ 凸形状部
２２３ａ 天板部
２２３ｂ 側壁
２２３ｃ，２２３ｃＸ，２２３ｃＹ 貫通孔
２３０ 接続部材
２３１ 円筒部
２３２ テーパ状部

Claims (10)

1. 坩堝の容器本体の開口部に装着されるノズルユニットであって、
   蒸着材料を放出するノズル部を有するノズル部材と、
   前記ノズル部材よりも前記容器本体の内部側に設けられる中板部材と、
   を備え、
   前記中板部材は、前記ノズル部材側の天板部と、蒸着材料が通過する複数の貫通孔が設けられた側壁と、を備え、前記ノズル部材側に突出する凸形状部を有すると共に、
   前記蒸着材料によって蒸着される蒸着面上の任意の位置である第１の点から、前記複数の貫通孔内の任意の位置である第２の点に至る全ての線分は、ノズルユニットを構成する複数の部材のうちの少なくともいずれか一つの部材によって遮られるように構成されていることを特徴とするノズルユニット。
2. 坩堝の容器本体の開口部に装着されるノズルユニットであって、
   蒸着材料を放出する放出口が設けられたノズル部を有するノズル部材と、
   前記ノズル部材よりも前記容器本体の内部側に設けられる中板部材と、
   を備え、
   前記中板部材は、前記ノズル部材側の天板部と、蒸着材料が通過する複数の貫通孔が設けられた側壁と、を備え、前記ノズル部材側に突出する凸形状部を有すると共に、
   前記放出口の先端面上の任意の位置である第３の点から、前記複数の貫通孔内の任意の位置である第２の点に至る全ての線分は、ノズルユニットを構成する複数の部材のうちの少なくともいずれか一つの部材によって遮られるように構成されていることを特徴とするノズルユニット。
3. 坩堝の容器本体の開口部に装着されるノズルユニットであって、
   蒸着材料を放出するノズル部を有するノズル部材と、
   前記ノズル部材よりも前記容器本体の内部側に設けられる中板部材と、
   を備え、
   前記中板部材は、前記ノズル部材側の天板部を備え、前記ノズル部材側に突出する凸形状部を有すると共に、
   前記凸形状部の側壁に、蒸着材料が通過する複数の貫通孔が設けられていることを特徴とするノズルユニット。
4. 前記ノズル部材は、蒸着材料を放出する放出口に向かって、該蒸着材料を案内する案内壁を備えることを特徴とする請求項１～３のいずれか一つに記載のノズルユニット。
5. 前記複数の貫通孔の開口面積の総和は、前記ノズル部材における放出口の開口面積以上であることを特徴とする請求項１～４のいずれか一つに記載のノズルユニット。
6. 前記ノズル部材には、前記ノズル部の外周面側に、前記容器本体の内周面に沿って設けられる受熱用の筒状部が設けられていることを特徴とする請求項１～５のいずれか一つに記載のノズルユニット。
7. 前記ノズル部材と中板部材との間には、これらノズル部材と中板部材に対してそれぞれ接合されることで、これらノズル部材と中板部材とを接続する接続部材が設けられており、
   前記接続部材には、前記中板部材の外周面側に、前記容器本体の内周面に沿って設けられる受熱用の筒状部が設けられていることを特徴とする請求項１～６のいずれか一つに記載のノズルユニット。
8. 容器本体と、
   前記容器本体の開口部に装着される請求項１～７のいずれか一つに記載のノズルユニットと、
   を備えることを特徴とする坩堝。
9. 請求項８に記載の坩堝と、
   前記坩堝を加熱する加熱体と、
   を備えることを特徴とする蒸発源。
10. チャンバと、
    前記チャンバ内に備えられ、かつ前記チャンバ内に設置された基板の蒸着面に蒸着を行う請求項９に記載の蒸発源と、
    を備えることを特徴とする蒸着装置。

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