KR20150034455A - 대면적용 선형 증발원 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 대면적용 선형 증발원에 관한 것으로, 본 발명의 선형 증발원은 증착 물질을 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 유출구와 연통되어 상기 도가니에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로가 형성되는 연결관과, 상기 연결관의 연결통로에 연통되어 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질을 다수의 배출구로 분기시켜 배출하는 분배통로가 형성되는 분배관과, 상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재를 포함하며, 상기 도가니에서 상기 배출구로 배출되는 동안 단계적으로 컨덕턴스가 줄어듦으로써, 증착 물질이 도가니에서 분배관을 통해 기판의 일면으로 배출되는 동안 배출구멍의 크기가 단계적으로 점차 축소되어 컨덕턴스가 줄어들고, 증발 물질의 속도 및 온도를 안정되게 공급할 수 있다.

Description

대면적용 선형 증발원{A Linear Type Evaporator for Large Area Substrates}
본 발명은 대면적용 선형 증발원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증착 물질이 도가니에서 분배관을 통해 기판의 일면으로 배출되는 동안 배출구멍의 크기가 단계적으로 점차 축소되어 컨덕턴스가 줄어들고, 증발 물질의 속도 및 온도를 안정되게 공급할 수 있는 선형 증발원에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 소자(OLED: Organic Ligt Emitted Device)를 제작하는데 있어서, 가장 중요한 공정은 유기박막을 형성하는 공정이며, 이러한 유기 박막을 형성하기 위해서는 진공 증착이 주로 사용된다.
이러한 진공 증착은 챔버 내에 글라스(glass)와 같은 기판과 파우더(powder) 형태의 원료 물질이 담긴 포인트 소스(point source) 또는 점증발원과 같은 증발원을 대향 배치하고, 증발원 내에 담긴 파우더 형태의 원료 물질을 증발시켜 증발된 원료 물질을 분사함으로써 기판의 일면에 유기 박막을 형성한다. 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 포인트 소스 또는 점증발원으로 알려진 증발원 대신 대면적 기판의 박막 균일도가 확보되는 선형 증발원이 사용된다. 이러한 선형 증발원은 도가니 내에 원료 물질을 저장하고, 저장된 원료 물질을 증발시켜 기판을 향해 분사하는 서로 이격된 복수의 노즐 또는 분배공을 구비한다.
이와 관련한 종래의 기술로서, 한국등록특허 제10-0758694호, 한국등록특허 제10-0862340호에는 상방으로 개방되고 일렬로 배치된 복수의 개구부를 상면에 구비하고 내부에는 증착 물질을 담는 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 가열부를 갖는 선형 증발원이 개시되어 있다.
상기 선행문헌은 도가니의 상면에 형성된 개구부를 통해 기판에 증착 물질을 직접 분사하는 구조로서, 도가니를 가열하는 가열부에 의해 도가니의 내벽면에 접촉하고 있는 증착재료에서 증기가 발생하여 상기 개구부로부터 진공 챔버로 방출되는데, 상기 방출에 의해 미소한 폭발을 수반하여 증착막에 다양한 결함을 초래하거나, 도가니의 내벽면에 온도가 낮은 새로운 증착재료가 접촉하게 되면 온도 변동에 의해 증착재료의 증발속도를 불안정하게 하는 원인이 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 증착 물질이 도가니에서 분배관을 통해 기판의 일면으로 배출되는 동안 배출구멍의 크기가 단계적으로 점차 축소되어 컨덕턴스가 줄어들고, 증착 재료로부터 발생되는 증기를 신속하게 분사하도록 높은 증착속도 및 온도를 안정되게 공급할 수 있는 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 증착 물질을 가열하는 히터를 영역별로 구성하여 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있도록 하는 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 증착 물질을 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 유출구와 연통되어 상기 도가니에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로가 형성되는 연결관과, 상기 연결관의 연결통로에 연통되어 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질을 다수의 배출구로 분기시켜 배출하는 분배통로가 형성되는 분배관과, 상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재를 포함하며, 상기 도가니에서 상기 배출구로 배출되는 동안 단계적으로 컨덕턴스가 줄어드는 것을 특징으로 하는 선형 증발원이 제공된다.
본 발명에서, 상기 도가니는 원형으로 이루어지고, 상기 도가니의 내경은 상기 유출구의 직경보다 크게 형성되어 상기 유출구를 통해 배출되는 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시킬 수 있다.
또한, 상기 연결관의 연결통로는 하단부에서 상단부로 갈수록 폭이 좁아지는 형태로 이루어질 수 있다.
이 경우, 상기 연결통로의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결관의 연결통로 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비는 2≤CA/CB≤10 으로 되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 분배통로는 상기 연결관의 연결통로와 연통되는 인입구의 폭보다 상기 배출구의 폭이 좁게 이루어질 수 있다.
이와 같이, 상기 분배통로는 상기 연결관의 연결통로와 연통되는 인입구의 폭보다 상기 배출구의 폭이 좁게 이루어지는 경우, 증착 물질이 상기 도가니의 유출구로 배출될 때 1차적으로 컨덕턴스가 줄어들고, 연결관의 연결통로에서 2차적으로 컨덕턴스가 줄어들고, 상기 분배관의 배출구를 통과하면서 3차적으로 컨덕턴스가 줄어들 수 있다.
또한, 상기 분배통로의 인입구는 상기 연결관의 연결통로에서 상기 배출구를 연결하도록 상부로 갈수록 점점 넓어지는 사다리꼴 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명에서, 상기 가열부재는 히팅 블럭으로 이루어지어 상기 도가니, 연결관 또는 분배관 내부에 설치될 수 있다.
상기 가열부재는 상기 도가니에 형성되는 도가니 히터와, 상기 연결관에 장착되는 연결관 히터와, 상기 분배관에 장착되는 분배관 히터로 이루어질 수 있다.
상기 도가니 히터, 연결관 히터 및 분배관 히터의 배면에는 단열재가 설치되어 열로 인한 변형을 최소화한다
한편, 상기 도가니 히터는 상부 도가니 히터와 하부 도가니 히터로 이루어지어, 히터 제어 영역이 2개의 영역으로 구분될 수 있다.
또한, 상기 배출구에는 증착 물질을 분사하기 위한 복수개의 슬릿이 형성되는 노즐이 착탈식으로 끼워질 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명에 의하면, 증착 물질이 도가니에서 분배관을 통해 기판의 일면으로 배출되는 동안 배출구멍의 크기가 단계적으로 점차 축소되어 컨덕턴스가 줄어들고, 증착 재료로부터 발생되는 증기를 신속하게 분사하도록 높은 증착속도 및 온도를 안정되게 공급할 수 있다.
또한, 증착 물질을 가열하는 히터를 영역별로 구성하여 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 선형 증발원의 제1 실시예를 도시한 측단면도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예를 도시한 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 적용된 노즐을 도시한 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예를 도시한 평면도이다.
이하에서는 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 선형 증발원의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 선형 증발원의 제1 실시예를 도시한 측단면도이다.
본 발명의 선형 증발원은 도 1에서 보는 바와 같이, 증착 물질을 수용하는 도가니(10)와, 상기 도가니(10)의 유출구(12)와 연통되어 상기 도가니(10)에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로(22)가 형성되는 연결관(20)과, 상기 연결관(20)의 연결통로(22)에 연통되어 상기 연결통로(22)에서 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하는 분배통로가 형성되는 분배관(30)과, 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30)에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재를 포함하여 구성된다.
이와 같은 본 발명의 선형 증발원은 증착재료가 신속하면서도 안정적으로 분사될 수 있도록 단계적으로 점차 컨덕턴스가 줄어들게 구성하는데 그 특징이 있다.
먼저, 본 발명에서 상기 도가니(10)는 원통형 형상의 것을 사용하는 것이 바람직하다. 원통형 도가니(10)는 그 지름을 크게 하여 충분히 필요한 용량을 제공할 수 있도록 하고, 선형 증발원의 높이를 줄여서 장치의 패스 라인(pass line)을 낮출 수 있는 장점이 있다.
상기 도가니(10)의 유출구(12)는 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시키도록 도가니(10)의 내경보다 작게 형성될 수 있다.
종래에는 통상 도가니의 내경과 증착 물질이 배출되는 입구가 동일한 직경을 갖도록 형성되는 예가 많았으나, 본 발명에서는 도가니(10)의 크기를 키워 대용량의 증착 물질을 담을 수 있도록 함과 동시에 도가니(10)에서 배출되는 증착 물질의 기화압력을 증가시킬 수 있도록 도가니(10)의 유출구(12)의 직경을 작게 형성한 것이다.
여기서, 상기 도가니(10)의 유출구(12)는 도가니 내경에 대비하여 대략 50% 이하의 면적을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 연결관(20)은 상기 도가니(10)의 유출구(12)와 연통되어 상기 도가니(10)에서 증발되는 증착 물질을 상기 분배관(30)으로 이송시키는 역할을 하는 것으로서, 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 하단부가 상기 도가니(10)의 유출구(12)와 동일한 직경으로 형성된다.
여기서, 상기 연결관(20)의 연결통로(22)는 도 1에서 보는 바와 같이, 하단부에서 상단부로 갈수록 폭이 좁아지는 형태로 이루어질 수 있다. 이는 연결관(20)을 통과하는 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시키기 위한 것으로, 바람직하게는 연결통로(22)의 하단부와 대비하여 연결통로(22)의 상단부가 50% 이하의 면적을 갖도록 형성된다.
이와 같이, 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)보다 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)가 작게 되면, 도가니(10)에서 발생된 증기가 연결관(20)의 상단부에 도달하는데 소요되는 시간까지의 변동에 의한 증발속도의 불안정성을 배제할 수 있다.
이와 같은 본 발명에서, 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비는 1≤CA/CB≤10 이 될 수 있다. 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비가 1 이하이면 원활한 증기의 흐름이 저해되어 증착률이 적게 되고, 10보다 크면 외부로 열이 방출되어 피증착 기판에 악영향을 줄 수 있기 때문이다.
가장 바람직하게는 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비는 2≤CA/CB≤10 이 될 수 있다. 이는 연결통로(22)의 하단부와 대비하여 연결통로(22)의 상단부가 적어도 50% 이하의 면적을 갖는 것이 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시켜 증착 물질의 속도 및 온도 상승의 효과가 있기 때문이다.
선형 증발원에서, 재료의 분배 및 가열의 불균일성을 배제하기 위한 중요한 설계 변수는 컨덕턴스로서, 소정의 증착 속도를 발생시키는데 필요한 압력은 구멍의 크기가 감소할수록 증가할 것이므로 증착 물질이 배출되는 구멍의 크기를 감소시켜 컨덕턴스를 줄일 필요가 있다.
이와 같은 본 발명의 선형 증발원은 상기 도가니(10)의 유출구(12)가 원형 도가니(10) 내경보다 50% 이하로 형성되어 1차적으로 컨덕턴스가 줄어들고, 연결관(20)의 연결통로(22) 상단부도 하단부에 비해 50% 이하로 형성되어 2차적으로 컨덕턴스가 줄어들게 되므로, 증착 물질이 도가니(10)에서 분배관(30)으로 배출되는 동안 배출구멍의 직경이 25% 이하로 축소되어 컨덕턴스가 크게 줄어들고 분사압력은 크게 높일 수 있는 구성을 갖는다.
이상 설명한 컨덕턴스란, 유동 저항의 역수이며, 유체의 흐르기 쉬움을 나타내는 값이다.
한편, 상기 연결관(20)의 상부에는 분배관(30)이 설치되는데, 상기 분배관(30)은 박막이 증착될 기판(도시안함)의 일면과 대향하도록 이격 배치되는 것으로, 상기 연결통로(22)의 상단부와 연통되는 인입구(32)와, 증착 물질을 기판 상에 분사하는 배출구(34)를 구비한다.
상기 배출구(34)는 상기 분배관(30)의 길이방향으로 길게 형성된다. 본 발명의 상기 분배관(30)은 수평방향으로 길게 연장된 직육면체 형상으로서, 상기 배출구(34)는 분배관(30)의 길이방향으로 길게 형성되어 균일하게 분포된 증착 물질을 제공하도록 한다.
한편, 상기 분배통로의 인입구(32)는 상기 연결관(20)의 연결통로(22)에서 상기 배출구(34)를 연결하도록 상부로 갈수록 점점 넓어지는 사다리꼴 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 인입구(32)의 하단부는 상기 연결통로(22)의 상단부와 동일한 크기로 형성되고, 상기 인입구(32)의 상단부는 상기 길이방향으로 형성된 배출구(34)의 양단과 연결되도록 사다리꼴 형상으로 형성되는 것이다.
이와 같은 인입구(32)의 형상은 기류가 원활하게 확산될 수 있도록 하기 위함으로써, 상기 인입구(32)의 형상을 따라 기화된 증착 물질은 상기 연결통로(22)에서 배출구(34)으로 확산되면서 상방향으로 증발된다.
여기서, 상기 인입구(32)의 사다리꼴 형상이 이루는 각도가 얼마냐에 따라서 기류의 확산 속도 등에 영향을 미칠 수 있다. 일반적인 유체일 경우 수평면을 기준으로 0°로 형성함도 가능하지만, 본 발명의 증착 물질은 기화된 기체상태이므로 원활한 확산을 위해 상기 인입구(32) 하면의 경사 각도는 10°~ 20°가 바람직하다.
본 발명의 제1 실시예에서, 상기 배출구(34)에는 상측에 복수의 노즐(40)이 설치되어 상기 도가니(10)에서의 증착 물질을 기판(도시안함) 상에 분사한다.
상기 노즐(40)은 상기 분배관(30)의 상면을 관통하도록 형성되어, 기판 방향으로 증발된 원료 물질을 공급하는 역할을 한다. 이때, 기판의 중심부뿐만 아니라 기판의 주변부에도 원료 물질이 균일하게 도달되도록, 분배관(30)의 중심부에 위치된 노즐(40)은 기판면과 수직을 이루도록 형성되고, 분배관(30)의 주변부로 갈수록 상기 노즐(40)은 기판면의 외측을 향해 더욱 경사지게 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에서, 상기 배출구(34)는 증착 물질의 압력을 상대적으로 높이기 위해서 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 폭보다 좁은 폭으로 이루어질 수 있다.
이와 같이, 상기 분배통로가 상기 연결관(20)의 연결통로(22)와 연통되는 인입구(32)의 폭보다 상기 배출구(34)의 폭이 좁게 이루어지는 경우, 증착 물질이 상기 도가니(10)의 유출구(12)로 배출될 때 1차적으로 컨덕턴스가 줄어들고, 연결관(20)의 연결통로(22)에서 2차적으로 컨덕턴스가 줄어들고, 상기 분배관(30)의 배출구(34)를 통과하면서 3차적으로 컨덕턴스가 줄어들게 되어 단계적으로 컨덕턴스를 줄일 수 있는 것이다.
한편, 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30)에는 각각의 구성부품에 열을 제공하며, 그 내부에 저장되거나 통과되는 원료 물질을 기화시키는 역할을 하는 가열부재가 설치되는데, 본 발명에서 상기 가열부재는 히팅 블럭(heating block)으로 이루어지어 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30) 내부에 설치된다.
이와 같은 본 발명의 가열부재는 종래의 열선과는 달리 히팅 블럭으로 설치되므로, 히터의 구성이 용이하여 유지보수가 편리하고, 영역별로 구성하여 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있다.
상기 가열부재는 상기 도가니(10)에 형성되는 도가니 히터(52)와, 상기 연결관(20)에 장착되는 연결관 히터(54)와, 상기 분배관(30)에 장착되는 분배관 히터(56)(58)로 이루어질 수 있다.
상기 도가니 히터(52), 연결관 히터(54) 및 분배관 히터(56)(58)의 배면에는 단열재(62)가 설치되어 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30)이 상기 히터들로 인한 열변형을 최소화한다.
한편, 상기 도가니 히터(52)는 상부 도가니 히터(52b)와 하부 도가니 히터(52a)로 이루어지어, 히터 제어 영역이 2개의 영역으로 구분된다. 이와 같이 2개의 영역으로 구분되는 도가니 히터(52)는 상기 도가니(10)에 수용되는 증착 물질을 보다 효율적으로 가열하게 되며, 증착 물질이 일정량 소모되더라도 상기 하부 도가니 히터(52a)가 남겨진 증착 물질을 효과적으로 가열할 수 있으므로 증착 물질의 사용효율을 향상시키는 장점이 있다.
또한, 상기 분배관 히터(56)(58)는 분배관(30)의 일면과 타면, 양측으로 설치되는데, 상기 분배관(30)이 일방향으로 긴 직육면체의 형상으로 이루어져 있으므로, 예컨대 상기 분배관(30)의 전면과 후면에 각각 설치될 수 있다.
이 경우, 일면에 설치되는 히터는 3개의 영역으로 구분된다. 즉, 상기 인입구(32) 측부에 설치되는 하부 분배관 히터(56a)와, 중간영역에 설치되는 중앙 분배관 히터(56b)와, 상기 배출구(34) 측부에 설치되는 상부 분배관 히터(56c)로 이루어질 수 있다.
이와 같은 하부 분배관 히터(56a), 중앙 분배관 히터(56b), 상부 분배관 히터(56c)는 분배통로를 통과하는 증착 물질을 직접 가열하기 위해 설치되는 것으로, 상기 분배통로에 근접하게 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 분배관(30)의 타면에 설치되는 히터(58)는 분배관(30)의 열을 유지시켜주기 위한 목적으로 설치되며, 따라서 한 개의 영역으로 설치됨도 가능하다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 제1 실시예는 대용량의 도가니(10)를 적용하여 충분히 필요한 양만큼의 원료 물질을 제공할 수 있고, 선형 증발원의 높이를 줄여서 장치의 패스 라인(pass line)을 낮출 수 있다.
또한, 증착 물질이 도가니(10)에서 분배관(30)을 통해 기판의 일면으로 배출되는 동안 배출구멍의 크기가 단계적으로 점차 축소되어 컨덕턴스가 줄어들고, 증착 재료로부터 발생되는 증기를 신속하게 분사하여 높은 증착속도 및 온도를 안정되게 공급할 수 있다.
한편, 도 2는 본 발명의 제2 실시예를 도시한 측단면도이고, 도 3은 본 발명의 제2 실시예에 적용된 노즐을 도시한 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 제2 실시예를 도시한 평면도이다.
본 발명의 제2 실시예는 상기 배출구(34)에 착탈식의 노즐(40)을 끼우는 구성을 갖는다.
상기 노즐(40)은 상기 배출구(34)에 끼워지는 끼움편(44)이 하방향으로 돌출형성되고, 상기 끼움편(44)의 상부에는 상기 배출구(34)를 폐쇄할 수 있는 폭을 갖는 노즐캡이 구성되어, 'T'자형 단면을 갖는 모양으로 이루어진다.
상기 노즐캡에는 증착 물질을 분사하기 위한 복수 개의 슬릿(42)이 형성되는데, 상기 슬릿(42)은 일정간격 또는 노즐캡의 중앙부보다 양단부에 더욱 촘촘하게 형성되는 것이 바람직하다.
상기 끼움편(44)은 복수 개로 형성될 수 있다.
즉, 분배관(30)의 길이방향으로 형성된 상기 배출구(34)에 상기 노즐(40)이 끼워지어 고정력을 충분히 발휘할 수 있도록 복수 개의 끼움편(44)이 소정의 간격으로 형성되는 것이다.
이 경우, 상기 끼움편(44)은 상기 슬릿(42)과 번갈아가며 교대로 형성될 수 있다. 즉, 상기 끼움편(44)이 인접한 슬릿(42)의 사이사이에 형성되는 것이다.
이와 같은 구조의 노즐(40)은 상기 복수개의 끼움편(44)이 배출구(34)에 끼워지어 고정되므로 고정된 상태를 견고하게 유지할 수 있고, 착탈식으로 노즐(40)을 설치함으로써, 필요시에는 노즐(40)의 분리가 가능한 장점이 있다.
따라서, 노즐(40) 또는 분배관(30)의 클리닝이 매우 용이하다.
이와 같은 본 발명의 제2 실시예는 상기 도가니(10)에서 증발되는 원료 물질이 분배관(30)에 끼워지는 노즐(40)의 슬릿(42)을 통해 최종적으로 컨덕턴스가 줄어들 수 있다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
10: 도가니 12: 유출구
20: 연결관 22: 연결통로
30: 분배관 32: 인입구
34: 배출구 40: 노즐

Claims (12)

  1. 증착 물질을 수용하는 도가니;
    상기 도가니의 유출구와 연통되어 상기 도가니에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로가 형성되는 연결관;
    상기 연결관의 연결통로에 연통되어 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질을 다수의 배출구로 분기시켜 배출하는 분배통로가 형성되는 분배관; 및
    상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재;
    를 포함하며,
    상기 도가니에서 상기 배출구로 배출되는 동안 단계적으로 컨덕턴스가 줄어드는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 도가니는 원형으로 이루어지고,
    상기 도가니의 내경은 상기 유출구의 직경보다 크게 형성되어 상기 유출구를 통해 배출되는 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시키는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 연결관의 연결통로는 하단부에서 상단부로 갈수록 폭이 좁아지는 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 연결통로의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결관의 연결통로 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비는 2≤CA/CB≤10 으로 되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 분배통로는 상기 연결관의 연결통로와 연통되는 인입구의 폭보다 상기 배출구의 폭이 좁게 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 분배통로는 상기 연결관의 연결통로와 연통되는 인입구의 폭보다 상기 배출구의 폭이 좁게 이루어지어,
    증착 물질이 상기 도가니의 유출구로 배출될 때 1차적으로 컨덕턴스가 줄어들고, 연결관의 연결통로에서 2차적으로 컨덕턴스가 줄어들고, 상기 분배관의 배출구를 통과하면서 3차적으로 컨덕턴스가 줄어드는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 분배통로의 인입구는 상기 연결관의 연결통로에서 상기 배출구를 연결하도록 상부로 갈수록 점점 넓어지는 사다리꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 가열부재는 히팅 블럭으로 이루어지어 상기 도가니, 연결관 또는 분배관 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  9. 청구항 1 또는 청구항 8에 있어서,
    상기 가열부재는 상기 도가니에 형성되는 도가니 히터와,
    상기 연결관에 장착되는 연결관 히터와,
    상기 분배관에 장착되는 분배관 히터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 도가니 히터, 연결관 히터 및 분배관 히터의 배면에는 단열재가 설치되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 도가니 히터는 상부 도가니 히터와 하부 도가니 히터로 이루어지어,
    히터 제어 영역이 2개의 영역으로 구분되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 배출구에는 증착 물질을 분사하기 위한 복수개의 슬릿이 형성되는 노즐이 착탈식으로 끼워지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.

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