KR101765249B1

KR101765249B1 - 증착장치

Info

Publication number: KR101765249B1
Application number: KR1020110100095A
Authority: KR
Inventors: 문성철; 채정재; 안태현
Original assignee: 주식회사 원익아이피에스
Priority date: 2011-07-13
Filing date: 2011-09-30
Publication date: 2017-08-08
Also published as: KR20130009548A

Abstract

증착장치는 진공챔버와, 증착원과, 증착원 구동부와, 암부, 및 유틸리티 라인을 포함할 수 있다. 증착원은 진공챔버 내에 설치된다. 증착원 구동부는 증착원을 진공챔버 내의 기판에 대해 선형 이동시킨다. 암부는 일단부가 진공챔버로부터 인출되어 진공챔버 외부에 위치하고 타단부가 증착원에 회전 가능하게 결합되는 것으로, 서로 회전 가능하게 결합되고 증착원의 선형 이동에 종속하여 펼침 또는 접힘 동작하면서 증착원의 선형 이동을 안내하며 각 내부가 진공챔버 외부의 분위기와 동일한 분위기를 갖는 복수의 암들을 구비한다. 유틸리티 라인은 암부 내부에 수용되며, 일단부가 진공챔버 외부에 위치하고 타단부가 증착원에 연결된다.

Description

증착장치{Deposition apparatus}

본 발명은 증착장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공챔버 내에서 기판에 대해 증착원을 선형 이동시키면서 기판 표면에 증착 물질을 증착하는 증착장치에 관한 것이다.

평판표시소자(Flat Panel Display)로는 액정표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이소자(Plasma Display Panel), 유기발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다. 이 중에서 유기발광소자는 빠른 응답속도, 기존의 액정표시소자보다 낮은 소비 전력, 고휘도, 경량성 등의 특성이 있으며, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어 초박형으로 만들 수 있는 점 등의 장점을 지니고 있는 바, 차세대 디스플레이 소자로서 각광받고 있다.

한편, 평판표시소자의 기판에 박막을 형성하는 일반적인 방법으로는, 진공증착법(Evaporation)과, 이온 플레이팅법(Ion-plation) 및 스퍼터링법(Sputtering)과 같은 물리증착법(PVD)과, 가스반응에 의한 화학기상증착법(CVD) 등이 있다. 이 중에서, 유기발광소자의 유기물층, 무기물층 등과 같은 박막 형성에 진공증착법이 사용될 수 있다.

진공증착법은 진공챔버 내에서 증착원에 수납된 유기물 또는 무기물을 증발 또는 승화시켜 기판 표면에 증착하는 방법이다. 이러한 진공증착법에 있어서, 증착원은 증착 공정 제어를 위해 진공챔버 외부로부터 전기, 제어신호, 냉각가스 등을 공급받을 수 있다. 이를 위해, 증착원은 배선, 배관 등의 유틸리티 라인을 통해 진공챔버 외부의 공급수단과 연결된다. 그런데, 진공챔버 내부는 공정 중 진공 분위기를 유지하고 있기 때문에, 유틸리티 라인을 진공에 노출시켜두면 유틸리티 라인은 매우 빠르게 노후화되거나 단선될 우려가 있다.

또한, 최근엔 평판표시소자가 대면적화 되어가는 추세이다. 이에 따라, 평판표시소자 제조에 사용되는 기판 또한 대면적화 되고 있다. 이러한 대면적 기판에 대해 증착 물질을 증착하는데 있어, 진공챔버 내에서 기판에 대해 증착원을 선형 이동시키면서 기판 표면에 증착 물질을 증착하는 방식이 사용되기도 한다. 이러한 경우, 증착원의 선형 이동시 증착원이 원활히 이동하기 위해서는 유틸리티 라인 또한 진공 챔버 내에서 이동 가능하게 되어야 한다.

따라서, 유틸리티 라인의 노후화 또는 단선 방지를 위해 진공챔버 내에서 유틸리티 라인에 대해 진공챔버 외부의 대기압 분위기와 동일한 분위기를 제공하면서 이동 가능하도록 배선 처리할 필요가 있다.

본 발명의 과제는 증착원을 원활하게 선형 이동시킬 수 있음과 아울러 유틸리티 라인의 노후화 또는 단선 등이 방지될 수 있으며, 증착원의 선형 이동을 안내하는 암부의 구조를 단순화할 수 있는 증착장치를 제공함에 있다.

상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 증착장치는, 진공챔버; 상기 진공챔버 내에 설치된 증착원; 상기 증착원을 상기 진공챔버 내의 기판에 대해 선형 이동시키는 증착원 구동부; 및 일단부가 상기 진공챔버로부터 인출되어 상기 진공챔버 외부에 위치하고 타단부가 상기 증착원에 회전 가능하게 결합되는 것으로, 서로 회전 가능하게 결합되고 상기 증착원의 선형 이동에 종속하여 펼침 또는 접힘 동작하면서 상기 증착원의 선형 이동을 안내하는 복수의 암들을 구비하며, 일단부가 상기 진공챔버 외부에 위치하고 타단부가 상기 증착원에 연결되는 유틸리티 라인을 수용하는 암부를 포함한다.

본 발명에 따르면, 유틸리티 라인은 진공챔버의 진공 분위기에 노출되지 않고 암부의 내부에 수용되어 진공챔버 외부의 분위기와 동일한 분위기에 놓일 수 있으므로, 유틸리티 라인의 노후화 또는 단선 등이 방지될 수 있음과 아울러, 증착원은 암부에 의해 원활하게 선형 이동할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 증착원이 증착원 구동부에 의해 선형 이동할 때, 암들은 증착원의 선형 이동에 종속되어 펼침 또는 접힘 동작하므로, 암부의 구조를 단순화할 수 있어, 암부의 유지보수가 용이할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치에 대한 평단면도.
도 2는 도 1에 대한 측단면도.
도 3은 도 1에 있어서, 암부에 대한 단면도.
도 4는 도 3에 있어서, 암부를 일부 분해하여 도시한 분해 사시도.
도 5는 도 4에 있어서, A-A 선을 따라 절취한 단면도.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치에 대한 평단면도이다. 도 2는 도 1에 대한 측면도이다. 도 3은 도 1에 있어서, 암부에 대한 단면도이다. 그리고, 도 4는 도 3에 있어서, 암부를 일부 분해하여 도시한 분해 사시도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 증착장치는 진공챔버(110)와, 증착원(120)과, 증착원 구동부(130), 및 암부(140)를 포함한다.

진공챔버(110)의 내부 공간은 기판(10)에 대한 박막 증착 공정시 진공 분위기를 유지한다. 기판(10)에 대한 증착 공정은 다양하게 이루어질 수 있다. 예를 들면, 기판(10)이 진공챔버(110) 내에서 수직으로 세워진 상태에서, 증착원(120)이 수평 또는 수직으로 선형 이동하면서 기판(10) 표면으로 증착 물질을 공급하여 기판(10) 표면에 박막을 증착할 수 있다. 이때, 기판(10) 표면에 소정 패턴의 박막을 형성할 경우 기판(10)의 증착되는 면에 패턴 마스크(20)가 배치될 수 있다. 그리고, 패턴 마스크(20)와 기판(10) 사이는 정렬장치(30)에 의해 정렬될 수 있다. 예를 들어, 기판(10)을 위치 고정한 상태에서, 정렬장치(30)에 의해 패턴 마스크(20)를 병진/회전시켜 패턴 마스크(20)를 기판(10)에 대해 설정 위치로 정렬시킬 수 있다.

증착원(120)은 증착 물질을 기판(10)으로 공급하는 것으로, 증발원 또는 스퍼터 건에 해당할 수 있다. 증발원은 증착 물질을 수납하며, 수납된 증착 물질을 증발 또는 승화시켜 기판(10) 표면에 증착하도록 구성된다. 스퍼터 건은 증착 물질인 타켓을 수납하며, 수납된 타겟을 스퍼터링에 의해 증발시켜 기판(10) 표면에 증착하도록 구성된다.

증착원 구동부(130)는 증착원(120)을 기판(10)에 대해 선형 이동시킨다. 일 예로, 증착원 구동부(130)는 증착원(120)을 기판(10)에 대해 선형 이동시킨다. 일 예로, 증착원 구동부(130)는 증착원(120)을 선형 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 리니어 액추에이터(131)와 증착원(120)의 선형 이동을 안내하는 리니어 가이드(132)를 포함할 수 있다. 리니어 액추에이터(131)는 볼스크류와 모터 등을 포함하여 구성될 수 있다.

암부(140)는 일단부가 진공챔버(110)로부터 인출되어 진공챔버(110)의 외부에 위치하고, 타단부가 증착원(120)에 회전 가능하게 결합된다. 암부(140)는 서로 회전 가능하게 결합된 암(141)들을 구비한다. 암(141)들은 증착원(120)의 선형 이동에 종속하여 펼침 또는 접힘 동작하면서 증착원(120)의 선형 이동을 안내한다. 따라서, 증착원(120)은 암(141)들의 펼침 또는 접힘 동작에 의해 원활하게 선형 이동할 수 있다.

또한, 증착원(120)이 증착원 구동부(130)에 의해 선형 이동할 때, 암(141)들은 증착원(120)의 선형 이동에 종속되어 펼침 또는 접힘 동작한다. 즉, 암(141)들의 펼침 또는 접힘 동작은 증착원 구동부(130)의 구동력을 전달받아서 이루어지는 것이다. 따라서, 암(141)들에는 별도의 구동원이 설치되지 않으므로, 암부(140)의 구조가 단순해질 수 있다. 그 결과, 암부(140)의 유지보수가 용이할 수 있다.

예컨대, 암(141)들은 각 내부가 진공챔버(110) 외부의 분위기와 동일한 분위기를 가질 수 있다. 진공챔버(110) 외부의 분위기가 대기압 분위기인 경우, 암(141)들의 각 내부도 대기압 분위기를 가질 수 있다. 따라서, 유틸리티 라인(150)은 대기압 분위기의 암(141)들의 각 내부를 거쳐 증착원(120)에 연결될 수 있다.

증착원(120)이 수평으로 선형 이동하는 예를 도시하고 있으나, 증착원(120)이 수직으로 선형 이동하는 경우, 암부(140)는 진공챔버(110)의 상부 벽을 통해 인출되어 증착원(120)의 수직 선형 이동을 안내하도록 구성될 수 있음은 물론이다.

암부(140)는 유틸리티 라인(150)을 수용한다. 유틸리티 라인(150)은 진공챔버(110) 외부로부터 증착원(120)에 전기, 제어신호 등을 공급하기 위한 배선과, 증착가스, 냉각가스 등을 공급하기 위한 배관일 수 있다. 유틸리티 라인(150)은 일단부가 진공챔버(110) 외부로 인출되고 타단부가 증착원(120)에 연결된다.

암부(140)의 내부가 진공챔버(110) 외부의 분위기와 동일한 분위기에 놓일 경우, 유틸리티 라인(150)은 진공챔버(110)의 진공 분위기에 노출되지 않고 암부(140)의 내부에 수용되어 진공챔버(110) 외부의 분위기와 동일한 분위기에 놓일 수 있다. 따라서, 유틸리티 라인(150)의 노후화 또는 단선 등이 방지될 수 있다.

한편, 암부(140)의 암(141)들은 제1,2,3 암(142,143,144)으로 구성될 수 있다. 제1,2,3 암(142,143,144)은 서로 회전 가능하게 결합된다. 그리고, 제1,2,3 암(142,143,144) 중 증착원(120)에 연결되는 제1 암(142)은 증착원(120)에 대해 회전 가능하게 결합된다. 여기서, 제1 암(142)과 제2 암(143) 간의 회전 중심 축과, 제2 암(143)과 제3 암(144) 간의 회전 중심 축, 및 제1 암(142)과 증착원(120) 간의 회전 중심 축은 동일한 방향을 따라 나란하게 설정된다. 따라서, 제1,2,3 암(142,143,144)은 증착원(120)이 증착원 구동부(130)에 의해 선형 이동할 때 증착원(120)의 선형 이동에 종속되어 펼침 또는 접힘 동작하면서 증착원(120)의 선형 이동을 안내할 수 있게 된다.

제1,2,3 암(142,143,144) 간의 각 결합 부위와 제1 암(142)과 증착원(120) 간의 결합 부위처럼, 상대 회전하는 부위들에는 제1 씰링 부재에 의해 각각 씰링될 수 있다. 제1 씰링 부재로는 자성유체 씰(magnetic seal 또는 ferro seal)이 이용될 수 있다. 암(141)들의 개수는 3개인 것으로 도시되어 있으나, 전술한 기능을 수행할 수 있는 범주에서 다양한 개수일 수 있다.

전술한 암부(140)의 자유도가 많아지게 되면, 제1,2,3 암(142)(143)(144)은 회전 중심 축 방향과 나란한 방향으로 틀어지는 현상이 발생할 수 있다. 이를 방지하고자, 진공챔버(110) 외부로 인출된 암부(140)의 일단부와 증착원(120)에 연결된 암부(140)의 타단부 중 적어도 한쪽 단부에는 암부(140)의 틀어짐을 방지하기 위한 틀어짐 방지수단(160)이 설치될 수 있다. 즉, 증착원(120)에 연결되는 제1 암(142)과, 진공챔버(110) 외부로 인출되는 제3 암(144) 중 적어도 어느 하나에 틀어짐 방지수단(160)이 설치될 수 있다.

예를 들어, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제3 암(144)에 틀어짐 방지수단(160)이 설치된 경우에 대해 설명하면 다음과 같다. 도 3 및 도 4을 참조하면, 틀어짐 방지수단(160)은 수용부(161)와, 가이드부(164), 및 신축부(167)를 포함할 수 있다.

수용부(161)는 진공챔버(110)의 외벽에 고정되며 제3 암(144)의 양단부 중 진공챔버(110) 외부로 인출되는 단부를 수용한다. 예컨대, 수용부(161)는 베이스(162)와 하우징(163)을 포함할 수 있다. 이 경우, 베이스(162)는 진공챔버(110)의 외벽에 고정된다. 베이스(162)에는 제3 암(144)이 인출되어 암부(140)의 회전 중심 축과 나란한 방향으로 이동할 수 있도록 통공이 형성된다. 진공챔버(110)에서 베이스(162)가 고정되는 부위에는 베이스(162)의 통공에 상응하는 통공이 형성된다. 하우징(163)은 한쪽이 개구되고 측벽 중 적어도 일 측벽에 통공이 형성된 구조로 이루어진다. 하우징(163)은 개구된 부위가 베이스(162)에 고정된다.

가이드부(164)는 수용부(161) 내에서 제3 암(144)의 인출된 단부를 암부(140)의 회전 중심 축 방향과 나란한 방향으로 슬라이드 이동 가능하도록 안내한다. 예컨대, 가이드부(164)는 가동 블록(165)과 가이드 레일(166)을 포함할 수 있다. 이 경우, 가동 블록(165)은 제3 암(144)에 고정된다. 가이드 레일(166)은 가동 블록(165)이 암부(140)의 회전 중심 축 방향과 나란한 방향으로 이동할 수 있도록 안내함으로써, 제3 암(144)의 인출된 단부가 암부(140)의 회전 중심 축 방향과 나란한 방향으로 이동할 수 있게 한다.

신축부(167)는 수용부(161) 내에서 암부(140)의 한쪽 단부, 즉 제3 암(144)의 인출된 단부와 대응되게 배치되어 암부(140)의 회전 중심 축 방향과 유사한 방향으로 암부(140)에 힘이 가해질 때 암부(140)로 전달되는 힘을 완충시키도록 신축 동작한다. 예컨대, 신축부(167)는 2개의 신축부재(167a)들을 포함할 수 있다. 이 경우, 신축부재(167a)들은 제3 암(144)의 인출된 단부를 사이에 두고 암부(140)의 회전 중심 축 방향과 유사한 방향으로 신축 가능하도록 하우징(163) 내에 배치된다.

여기서, 신축부재(167a)들은 동일 축 상으로 배치될 수 있다. 그리고, 신축부재(167a)들 중 하나는 일단부가 제3 암(144)에 고정되며, 타단부가 하우징(163)의 내벽에 지지될 수 있다. 신축부재(167a)들 중 다른 하나는 일단부가 가동 블록(165)에 고정되며, 타단부가 하우징(163)의 내벽에 지지될 수 있다. 신축부재(167a)들은 중공을 갖는 구조로 이루어질 수 있다. 신축부재(167a)의 통공들은 제3 암(144) 또는 가동블록(165)으로부터 인출된 유틸리티 라인(150)이 하우징(163) 외부로 나올 수 있게 한다. 신축부재(167a)는 벨로우즈가 이용될 수 있다.

제3 암(144)의 인출된 단부가 가동 블록(165)과 함께 암부(140)의 슬라이드방향과 나란한 방향으로 전후 이동할 때, 신축부재(167a)들은 신축 동작한다. 이에 따라, 제3 암(144)의 인출된 단부는 암부(140)의 슬라이드 방향과 나란한 방향으로 자유롭게 이동할 수 있다. 그리고, 증착원(120)과 기판(10) 사이의 거리가 가변될 때, 신축부재(167a)들은 신축 동작함에 따라 암부(140)를 슬라이드 방향과 나란한 방향으로 위치 조정시킬 수 있다.

또한, 신축부재(167a)들은 증착원(120)에 암부(140)의 회전 중심 축 방향과 나란한 방향으로 충격이 가해질 때 완충할 수 있다. 진공챔버(110) 내부를 펌핑(pumping)하거나 벤팅(venting)하는 과정에서 진공펌프의 내부에 압력 변화가 생길 때 암부(140)가 유동할 수 있게 함으로써 암부(140)의 파손 등을 방지할 수도 있다.

전술한 구성의 틀어짐 방지수단(160)에 의하면, 암부(140)에 슬라이드 방향과 나란한 방향으로 힘이 가해지면 제3 암(144)을 슬라이드 방향과 나란한 방향으로 자유롭게 이동시킬 수 있으므로, 제1,2,3 암(142)(143)(144)의 결합 부위가 틀어져 손상되는 현상을 방지할 수 있게 된다. 제1,2,3 암(142)(143)(144)의 비틀림을 방지하는 효과를 높이기 위해 제1 암(142) 쪽에도 전술한 바와 같은 틀어짐 방지수단이 마련될 수 있다.

도 5에 도시된 바와 같이, 제3 암(144)은 케이스(1441)와 덮개(1442)를 포함하여 구성될 수 있다. 케이스(1441)는 유틸리티 라인(150)이 수용되는 내부 공간을 가지며 일측에 개구를 갖도록 형성된다. 덮개(1442)는 케이스(1441)의 개구에 분리 가능하게 결합되며, 케이스(1441)의 개구에 결합된 상태에서 케이스(1441)의 내부 공간을 폐쇄한다. 케이스(1441)의 내부 공간은 덮개(1442)에 의해 개방 또는 폐쇄될 수 있으므로, 케이스(1441) 내에 수용된 유틸리티 라인(150)의 유지보수를 용이하게 할 수 있다.

그리고, 케이스(1441)는 일체로 형성될 수도 있지만, 제1 케이스(1441a)와 제2 케이스(1441b)로 서로 분리 가능하게 결합되는 구조로 이루어질 수 있다. 제1,2 케이스(1441a)(1441b)는 서로 결합된 상태에서 유틸리티 라인(150)이 수용되는 공간을 제공하도록 형성된다. 케이스(1441)와 덮개(1442) 간의 결합 부위는 제2 씰링 부재(1443)에 의해 씰링될 수 있다. 제1 케이스(1441a)와 제2 케이스(1441b) 간의 결합 부위는 제2 씰링 부재(1443)에 의해 씰링될 수 있다. 제2 씰링 부재(1443)로는 오-링 등이 이용될 수 있다.

전술한 바와 같이, 제3 암(144)은 제1 케이스(1441a), 제2 케이스(1441b), 및 덮개(1442)로 조립 또는 분해가 용이하므로, 내부에 수용된 유틸리티 라인(150)의 유지보수에 유리할 수 있다. 한편, 제1,2 암(142)(143)도 유틸리티 라인(150)의 유지보수가 용이하도록 제3 암(144)과 동일한 구조로 이루어질 수 있음은 물론이다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

110..진공챔버 120..증착원
130..증착원 구동부 140..암부
142..제1 암 143..제2 암
144..제3 암 150..유틸리티 라인
160.. 틀어짐 방지수단

Claims

진공챔버;
상기 진공챔버 내에 설치된 증착원;
상기 증착원을 상기 진공챔버 내의 기판에 대해 선형 이동시키는 증착원 구동부;
일단부가 상기 진공챔버로부터 인출되어 상기 진공챔버 외부에 위치하고 타단부가 상기 증착원에 회전 가능하게 결합되는 것으로, 서로 회전 가능하게 결합되고 상기 증착원의 선형 이동에 종속하여 펼침 또는 접힘 동작하면서 상기 증착원의 선형 이동을 안내하는 복수의 암들을 구비하며, 일단부가 상기 진공챔버 외부에 위치하고 타단부가 상기 증착원에 연결되는 유틸리티 라인을 수용하는 암부; 및
상기 진공챔버 외부로 인출된 상기 암부의 일단부와 상기 증착원에 연결된 상기 암부의 타단부 중 적어도 한쪽 단부에 설치되어 상기 암부의 틀어짐을 방지하는 틀어짐 방지수단;을 포함하며,
상기 틀어짐 방지수단은:
상기 진공챔버의 외벽 또는 상기 증착원에 고정되며 상기 암부의 한쪽 단부가 상기 암부의 회전 중심 축과 나란한 방향으로 이동할 수 있도록 상기 암부의 한쪽 단부를 수용하는 수용부와,
상기 수용부 내에서 상기 암부의 한쪽 단부를 상기 암부의 회전 중심 축 방향과 나란한 방향으로 슬라이드 이동 가능하도록 안내하는 가이드부, 및
상기 수용부 내에서 상기 암부의 한쪽 단부와 대응되게 배치되어 상기 암부의 회전 중심 축 방향과 유사한 방향으로 상기 암부에 힘이 가해질 때 상기 암부로 전달되는 힘을 완충시키도록 신축 동작하는 신축부를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
제1항에 있어서,
상기 암부와 증착원 간의 회전 결합 부위와, 상기 암들 간의 회전 결합 부위를 씰링하기 위한 제1 씰링 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
제2항에 있어서,
상기 각각의 제1 씰링 부재는 자성유체 씰인 것을 특징으로 하는 증착장치.
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 신축부는 2개의 벨로우즈들을 포함하며,
상기 벨로우즈들은 상기 암부의 한쪽 단부를 사이에 두고 각각 배치되어 상기 암부의 슬라이드 이동 방향과 나란한 방향으로 신축 동작하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
제1항에 있어서,
상기 가이드부는:
상기 암부의 한쪽 단부에 고정되고 상기 암부의 슬라이드 이동 방향과 나란한 방향으로 슬라이드 이동하는 가동 블록, 및
상기 가동 블록의 슬라이드 이동을 안내하는 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
제1항에 있어서,
상기 암들 중 적어도 하나는,
상기 유틸리티 라인이 수용되는 내부 공간을 가지며 일측에 개구를 갖도록 형성된 케이스, 및
상기 케이스의 개구에 분리 가능하게 밀폐 결합되는 덮개를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
제8항에 있어서,
상기 케이스와 덮개 간의 결합 부위를 씰링하기 위한 제2 씰링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
제1항에 있어서,
상기 암부의 내부는 상기 진공챔버 외부의 분위기와 동일한 분위기를 갖는 것을 특징으로 하는 증착장치.