CN108486532A - 一种蒸发源的搬送装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蒸发源的搬送装置，属于真空蒸镀设备技术领域，蒸发源的搬送装置包括：基座；导轨组件；机械手，平移地安装至导轨组件；连接臂组，包括至少两个依次枢转连接的连接臂，至少两个连接臂中包括与基座连接的首连接臂以及与机械手连接的末连接臂；驱动组件，包括连接于基座与首连接臂之间的驱动部以及连接相邻连接臂的传动部，驱动部与传动部配合带动各连接臂摆动，以在导轨组件限定下驱动连接臂组伸长或缩短。本发明提供的蒸发源的搬送装置其连接臂组可以在驱动部的驱动下拉伸或缩短，具有较高的传送蒸发源的效率。

Description

一种蒸发源的搬送装置

技术领域

本发明涉及真空蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源的搬送装置。

背景技术

真空蒸镀设备包括真空室，真空室内设置有多个用于承载基片的平台以及用于搬送蒸发源的机械手，机械手可以将蒸发源搬送到各个平台上方以将材料镀至该平台上的基片上。

目前，真空室内各工作平台一般是排布于同一条直线的。真空蒸镀设备还设置有驱动组件，这个驱动组件一般包括驱动电机以及位于驱动电机输出轴上的丝杆传动机构，机械手连接丝杆传动结构，以在驱动电机的作用下，沿直线运动，进而移动至各平台的上方。

然而，由于丝杆传动机构仅具有一个可移动的滑块，每次调整机械手的位置，均只能依靠该滑块的运动，导致机械手难以快速移动至各平台上方，造成蒸镀效率过低，难以满足生产需求。

发明内容

为了提高真空蒸镀设备的蒸镀效率，本发明提供一种蒸发源的搬送装置。

为实现上述目的，本发明提供一种蒸发源的搬送装置，包括：

基座；

导轨组件；

机械手，活动连接所述导轨组件；

连接臂组，包括至少两个依次枢转连接的连接臂，所述至少两个连接臂中包括与所述基座连接的首连接臂以及与所述机械手连接的末连接臂；

驱动组件，包括连接于基座与首连接臂之间的驱动部以及连接相邻连接臂的传动部，所述驱动部与传动部配合带动各连接臂摆动，以在所述导轨组件限定下驱动所述连接臂组伸长或缩短。

优选地，所述至少两个连接臂还包括枢转连接所述首连接臂和末连接臂的中间连接臂，所述中间连接臂的数量为至少一个且首尾枢接。

优选地，所述驱动部为电机，所述首连接臂的一端固定连接所述电机的输出轴。

优选地，所述连接臂的一端形成有枢转轴，所述连接臂的另一端与相邻连接臂的枢转轴枢转连接，相邻连接臂的枢转轴通过传送部传动。

优选地，所述枢转轴与传动部的接触面形成有凸部。

优选地，所述末连接臂枢转连接机械手。

优选地，在所述驱动部和第一连接臂之间连接有变速器。

优选地，所述变速器包括与所述驱动部连接的一级齿轮，以及连接所述一级齿轮和所述首连接臂的二级齿轮。

优选地，所述驱动部和所述变速器固定设置于真空室外；所述连接臂组和机械手设置于真空室内。

优选地，所述二级齿轮的转动轴穿过所述真空室壁上的开孔后连接所述连接臂，所述开孔处设置有环状密封件。

优选地，所述导轨组件包括导轨和滑动连接于导轨上的滚珠滑块；所述滚珠滑块连接所述机械手。

与现有技术相比，本发明提供的蒸发源的搬送装置其连接臂组内各连接臂可以在驱动部的驱动下同步摆动，实现连接臂组高效的拉伸或缩短，具有较高的传送蒸发源的效率。此外，由于连接臂组的拉伸或缩短程度可以调节，当机械手往复移动的距离增大时，可以不用更换连接臂组，从而控制了搬送装置的成本。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明一示范性实施例中的蒸发源的搬送结构处于拉伸状态的主视图；

图2为蒸发源的搬送结构处于缩短状态的主视图；

图3为图1所示的蒸发源的搬送结构处于拉伸状态的俯视图；

图4为图2所示的蒸发源的搬送结构处于缩短状态的俯视图；

图5为图1所示的蒸发源的搬送结构中导向机构的结构示意图。

附图标记：

100-搬送装置；

10-基座；

20-导轨组件；21-导轨；22-滚珠滑块；

30-机械手；

40-连接臂组；

41-首连接臂；411-第一枢转轴；

42-末连接臂；421-第二枢转轴；4211-第二上齿轮；4212-第二下齿轮；

43-中间连接臂；431-第三枢转轴；4311-第三上齿轮；4312-第三下齿轮；

50-驱动组件；51-驱动部；52-传动部；521-第一齿条；522-第二齿条；

60-真空室；61-开孔；62-环形密封件；

70-变速器；71-一级齿轮；72-二级齿轮；721-转动轴；

80-导线。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明具体实施例及相应的附图对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本实施例提供的一种蒸发源的搬送装置100，如图1所示，包括：固定安装的基座10、导轨组件20、用于传送蒸发源并平移地安装在导轨组件20上的机械手30、连接臂组40，以及驱动连接臂组40伸长或缩短以使机械手30沿导轨组件20滑动的驱动组件50。连接臂组40包括至少两个依次枢转连接的连接臂，至少两个依次枢转连接的连接臂中包括与基座10连接的首连接臂41以及与机械手30连接的末连接臂42。驱动组件50包括安装于基座10上并连接首连接臂41一端的驱动部51，以及连接驱动部51和首连接臂41另一端、连接相邻连接臂的传动部52，驱动部51和传动部52配合驱使连接臂组40的各连接臂摆动，使得在导轨组件20的限定下连接臂组40伸长或缩短，机械手30得以传输蒸发源。具体地，驱动部51为电机，电机输出轴固定连接首连接臂41，使得首连接臂41在电机驱动下摆动，机械手30和连接臂组40容纳于真空室60内。

当连接臂组40内有首连接臂41、末连接臂42，以及至少一个连接在首连接臂41和末连接臂42之间的中间连接臂43。本实施例中，中间连接臂43的数量为一个，首连接臂41、末连接臂42和中间连接臂43都具有一个固定连接的枢转轴，具体的，首连接臂41的一端固定连接第一枢转轴411，本实施例中，该第一枢转轴411固定连接电机的输出轴，也可以理解为第一枢转轴411即为电机的输出轴。中间连接臂43的一端固定连接第三枢转轴431，末连接臂42的一端固定连接第二枢转轴421，首连接臂41与第一枢转轴411相对的另一端枢转连接第三枢转轴431，中间连接臂43与第三枢转轴431相对的另一端枢转连接第二枢转轴421，末连接臂421的另一端则枢转连接机械手30。在第一枢转轴411和第三枢转轴431之间、第三枢转轴431和第二枢转轴421之间分别设置有传送部52。当然，当具有中间连接臂43时，末连接臂42也可以固定设置不动，依赖于中间连接43臂的摆动来实现连接臂组40的伸长或缩短。

结合图2、图3和图4，在驱动部51的驱动下，当中间连接臂43摆动至与首连接臂41、末连接臂42分别呈180度夹角时，连接臂组40的长度最长，驱动部51距离机械手30的距离最远；当中间连接臂43摆动至与首连接臂41、末连接臂42分别呈0度夹角时，即中间连接臂43与首连接臂41、末连接臂42交叠，连接臂组40的长度最小，驱动部51距离机械手30的距离最短。当需要调节机械手30的移动范围时，可以通过调节中间连接臂43的摆动角度，而不需要随真空室尺寸的改变而改变该连接臂组40。当然，本文所述180度并非数学上严格意义的180度，在机械制造中，连接臂之间的角度很难精确达到180度，因此150度至180度这样的范围都可以使连接臂组长度最长的。同理，本文所述0度夹角并非数学上严格的0度，由于制造问题，连接臂之间可能不能完全交叠，因此，当连接臂之间具有0至30度范围的夹角时都可以是连接臂组长度最短。

当中间连接臂的数量多于一个，比如两个时，两个中间连接臂43首尾依次枢接，中间连接臂43形成串联连接，使得基座10和机械手30之间的间距调节范围更大，以此类推。

当连接臂组40内只有首连接臂41和末连接臂42时，首连接臂41的一端固定连接第一枢转轴411，本实施例中第一枢转轴411固定连接电机的输出轴，末连接臂42的一端固定连接第二枢转轴421，首连接臂41的另一端枢转连接第二枢转轴421，末连接臂42的另一端枢转连接机械手30。首连接臂41和末连接臂42形成两个连杆，可以在驱动部51和传动部52的配合下驱使机械手30沿导轨组件20往复运动。

第一枢转轴411、第二枢转轴421和第三枢转轴431与传动部52的接触面形成有凸部，使得轴的力矩有效传递到下一轴。本实施例中，枢转轴包括齿轮，传动部52包括连接第一枢转轴411和第三枢转轴431的第一齿条521，以及连接第三枢转轴431和第二枢转轴421的第二齿条522。

具体的，在图1中，首连接臂41的一端有电机输出轴穿入，首连接臂41与第一枢转轴411固定连接，使得首连接臂41能够随第一枢转轴411摆动，如前所述，第一枢转轴411固定连接电机的输出轴，从而使得首连接臂41能够随电机输出轴转动。中间连接臂431的一端形成有轴向与第一枢转轴411平行第三枢转轴431，该第三枢转轴431贯穿首连接臂41上与第一枢转轴411相对的另一端，由于第一枢转轴411和第三枢转轴311之间连接有第一齿条521，当第一枢转轴411转动时，第三枢转轴431跟随第一枢转轴411转动，也就是中间连接臂43发生摆动。末连接臂42的一端形成有轴向与第一枢转轴411平行的第二枢转轴421，该第二枢转轴421贯穿中间连接臂43上与第三枢转轴431相对的另一端，由于第三枢转轴431和第二枢转轴421之间连接有第二齿条522，当第三枢转轴431随第一枢转轴411转动时，第二枢转轴421随第三枢转轴431转动，也就是末连接臂42发生摆动。使得第一枢转轴411、第二枢转轴421和第三枢转轴431三者之间连接，本实施例中，第一枢转轴411可以固定连接电机输出轴，从而实现在电机驱动下，首连接臂41、中间连接臂43和末连接臂42的同步运动，实现连接臂组较高效率的伸长或缩短。

第三枢转轴431包括同轴转动的第三上齿轮4311和第三下齿轮4312，第三上齿轮4311设置于中间连接臂43中，第三下齿轮4312设置于首连接臂41中。第二枢转轴421包括同轴转动的第二上齿轮4211和第二下齿轮4212，第二上齿轮4211设置有末连接臂42中，第二下齿轮4212设置于中间连接臂42中。第一齿条521连接电机输出轴和第三下齿轮4312，第二齿条522连接第三上齿轮4311和第二齿下轮4212。当然，为了增加摩擦力，可以在第一齿条521和电机输出轴之间设置齿轮。

在电机和首连接臂40之间还可以设置有变速器70，该变速器包括一齿轮副。齿轮副的一级齿轮71的转动轴与电机输出轴连接，齿轮副的二级齿轮72的转动轴721与首连接臂41固定连接，则转动轴721固定连接第一枢转轴411,相应的，第一齿条521连接二级齿轮72的传动轴721和第三下齿轮4312。本实施例中，变速器70为减速器。

如图5所示，导轨组件20包括导轨21和滑动连接于导轨21上的滚珠滑块22，滚珠滑块22与机械手30连接，使得导轨21与机械手30之间的摩擦力较小，产生的杂物颗粒也较少。

回到图1中，本实施例的搬送装置100中，机械手30、连接臂组40和导轨组件20设置于真空室内，驱动部51和变速器70设置于真空室60外。在真空室60的壁上开设有开孔61，变速器70中二级齿轮72的转动轴721穿过该开孔61后穿入首连接臂41，并通过第一齿条521将转动轴721与第三下齿轮4312连接。为了保证真空室60内的真空度，在该开孔61处设置环状密封件62。本实施例中，该环状密封件62为磁流体密封件。

变速器70中二级齿轮72的转动轴721具有沿轴向贯穿的贯穿孔(图未示)，该贯穿孔可以供导线80穿过。电性连接真空室内的导线80穿过该贯穿孔后连接外部电源。

以上所述的具体实例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸发源的搬送装置，其特征在于，包括：

基座；

导轨组件；

机械手，活动连接所述导轨组件；

连接臂组，包括至少两个依次枢转连接的连接臂，所述至少两个连接臂中包括与所述基座连接的首连接臂以及与所述机械手连接的末连接臂；

驱动组件，包括连接于基座与首连接臂之间的驱动部以及连接相邻连接臂的传动部，所述驱动部与传动部配合带动各连接臂摆动，以在所述导轨组件限定下驱动所述连接臂组伸长或缩短。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述至少两个连接臂还包括枢转连接所述首连接臂和末连接臂的中间连接臂，所述中间连接臂的数量为至少一个且首尾枢接。

3.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述驱动部为电机，所述首连接臂的一端固定连接所述电机的输出轴。

4.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述连接臂的一端形成有枢转轴，所述连接臂的另一端与相邻连接臂的枢转轴枢转连接，相邻连接臂的枢转轴通过传送部传动。

5.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述枢转轴与传动部的接触面形成有凸部。

6.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述末连接臂枢转连接机械手。

7.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，在所述驱动部和第一连接臂之间连接有变速器。

8.根据权利要求7所述的搬送装置，其特征在于，所述变速器包括与所述驱动部连接的一级齿轮，以及连接所述一级齿轮和所述首连接臂的二级齿轮。

9.根据权利要求7所述的搬送装置，其特征在于，所述驱动部和所述变速器固定设置于真空室外；所述连接臂组和机械手设置于真空室内。

10.根据权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，所述二级齿轮的转动轴穿过所述真空室壁上的开孔后连接所述连接臂，所述开孔处设置有环状密封件。