KR101473826B1

KR101473826B1 - 기판회전 진공장치

Info

Publication number: KR101473826B1
Application number: KR1020120157450A
Authority: KR
Inventors: 정태원; 유용수; 이경훈
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2012-12-28
Filing date: 2012-12-28
Publication date: 2014-12-18
Also published as: KR20140086680A

Abstract

기판회전 진공장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치는 기판이 적재된 캐리어가 반입되어 적재되되, 진공상태로 유지가능한 진공공간에 회전가능하게 설치되는 캐리어 적재유닛; 캐리어 적재유닛이 회전가능하게 설치되되, 캐리어 적재유닛을 회전시켜 캐리어의 배치양상을 전환시킬 수 있는 캐리어 회전구동유닛; 및 캐리어 적재유닛에 설치되어 캐리어 적재유닛으로부터 캐리어의 이탈을 차단하는 캐리어 이탈차단모듈 및 캐리어 이탈차단모듈을 구동시키는 이탈방지 구동모듈을 구비하되, 이탈방지 구동모듈이 진공공간의 외부에 설치되는 캐리어 이탈방지유닛을 포함한다.

Description

기판회전 진공장치{VACUUM MACHINE FOR TURNING OVER SUBSTRATE}

본 발명은, 기판회전 진공장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공상태에서 반입된 기판을 회전시킬 수 있는 기판회전 진공장치에 관한 것이다.

일반적으로, 증착방식을 거쳐 증착되는 기판은 캐리어를 이용하여 반송될 수 있는데, 기판의 공정 흐름 상 기판의 상면과 저면을 뒤바꾸는 경우가 발생된다.

일 예로, 기판에 대해 하부에서 상부로 증착물질을 제공하는 상향 증착공정의 경우에, 기판의 저면에 증착물질이 증착되는데, 기판의 증착된 저면이 반송장치에 접촉되지 않도록 상면과 저면의 위치를 바꾸는 반전회전과정을 실행한다.

이에 따라 기판은 캐리어에 적재되어 상면과 저면의 위치가 바뀌어진 후, 반송장치에 지지되어 다음 공정장소로 이송될 수 있다. 이러한 캐리어의 반전회전을 위해서는 특정위치를 기준으로 캐리어를 회전시키는 기판회전 진공장치가 사용될 수 있다.

이러한 기판회전 진공장치는, 기판회전 진공장치로 캐리어가 넘어와서 정지 시, 비정상 상태에서 정지위치를 벗어나지 않도록 하는 스토퍼 기능과 회전 시 캐리어가 전/후진 방향으로 흘러내려가지 않도록 하는 기능까지 두 가지의 역할을 동시에 수행할 수 있어야 한다.

그런데, 이러한 기판회전 진공장치가 진공설비로서 사용되는 경우에는, 기판을 회전시키기 위한 각종 기계요소들의 배치로 내부 진공공간이 협소해지고 복잡해질 뿐만 아니라, 기계요소들의 작동 시에 마찰로 인한 이물질이 발생되어 기판이 오염될 수 있다.

즉 기판회전 진공장치는 내부 진공이 충실히 유지되면서, 기판에 대한 오염을 방지할 수 있도록 이물질의 발생이 방지되어야 하는데, 기판을 회전시키기 위한 기판회전 요소들과 더불어 캐리어의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지 요소들을 모두 진공공간에 모두 설치하는 경우에는, 이러한 공정조건을 충족시키지 못하는 문제점이 발생한다.

대한민국특허청 공개특허 제2006-0000704호

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 구조적으로 내부진공이 유지되는 상태에서, 기판을 회전시켜 기판의 상면부와 저면부의 위치를 바꿀 수 있으며, 진공공간에 기판을 회전시키는 요소들을 배치할 수 있는 공간을 확보할 수 있으며, 기판을 회전시키는 요소들로부터 발생되는 이물질에 의한 기판의 오염을 방지할 수 있으며, 기판의 반입과 회전 시에 기판의 이탈을 차단할 수 있는 기판회전 진공장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 적재된 캐리어가 반입되어 적재되되, 진공상태로 유지가능한 진공공간에 회전가능하게 설치되는 캐리어 적재유닛; 상기 캐리어 적재유닛이 회전가능하게 설치되되, 상기 캐리어 적재유닛을 회전시켜 상기 캐리어의 배치양상을 전환시킬 수 있는 캐리어 회전구동유닛; 및 상기 캐리어 적재유닛에 설치되어 상기 캐리어 적재유닛으로부터 상기 캐리어의 이탈을 차단하는 캐리어 이탈차단모듈 및 상기 캐리어 이탈차단모듈을 구동시키는 이탈방지 구동모듈을 구비하되, 상기 이탈방지 구동모듈이 상기 진공공간의 외부에 설치되는 캐리어 이탈방지유닛을 포함하는 기판회전 진공장치가 제공될 수 있다.

상기 캐리어 적재유닛의 외측에는, 상기 캐리어 적재유닛을 둘러싸서 상기 진공공간을 제공하는 진공챔버가 설치되며, 상기 진공챔버에는, 상기 이탈방지 구동모듈이 설치될 수 있다.

상기 캐리어 이탈차단모듈은, 상기 캐리어 적재유닛에 회전가능하게 설치되되, 상기 캐리어의 움직임을 차단하는 회전 스토퍼부; 및 상기 캐리어 적재유닛에 설치되되, 상기 이탈방지 구동모듈에 연결되어 상기 회전 스토퍼부를 회전시키는 구동력 전달부를 포함할 수 있다.

상기 회전 스토퍼부는, 상기 캐리어 적재유닛에 상기 캐리어의 적재방향을 따라 회전가능하게 설치되는 회전봉; 상기 회전봉의 단부에 설치되어 상기 회전봉에 의해 상기 캐리어 측으로 회전되는 회전 스토퍼; 및 상기 회전봉을 회전시키도록 상기 회전봉에 설치되되, 상기 구동력 전달부에 의해 구동되는 피니언 기어를 포함할 수 있다.

상기 회전 스토퍼부에는, 상기 회전봉이 관통하여 회전가능하도록 설치되되, 상기 피니언 기어와 상기 구동력 전달부를 둘러싸서 상기 구동력 전달부에 의한 상기 피니언 기어의 구동 시에 발생되는 이물질의 유출을 차단하는 제1 이물질 차단부가 설치될 수 있다.

상기 캐리어 적재유닛에는, 상기 제1 이물질 차단부가 지지되는 한 쌍의 지지 프레임이 설치되며, 상기 제1 이물질 차단부는, 상기 한 쌍의 지지 프레임 사이에 배치되는 제1 이물질 차단관; 및 상기 회전봉이 회전가능하게 삽입되며 상기 제1 이물질 차단관의 개구를 차폐하도록 상기 제1 이물질 차단관에 결합되되, 상기 한 쌍의 지지 프레임에 지지되는 제1 이물질 차단덮개를 포함할 수 있다.

상기 구동력 전달부는, 상기 캐리어 적재유닛에 이동가능하게 설치되며, 상기 피니언 기어에 기어결합되는 랙 기어를 구비하는 랙 샤프트; 및 상기 랙 샤프트에 설치되어 상기 회전 스토퍼를 상기 캐리어 측으로 회전시킬 수 있는 복원력을 제공하는 스토퍼 복귀스프링을 포함할 수 있다.

상기 스토퍼 복귀스프링은, 상기 랙 기어를 중심으로 상호 대향하게 설치되는 한 쌍일 수 있다.

상기 랙 샤프트에는, 상기 랙 기어에 의한 상기 피니언 기어의 회전 시에 발생되는 이물질의 유출을 차단하는 제2 이물질 차단부가 설치될 수 있다.

상기 제2 이물질 차단부는, 상기 랙 기어를 감싸도록 상기 랙 샤프트에 설치되며, 단부에 플랜지를 구비하는 제2 이물질 차단관; 및 상기 제2 이물질 차단관의 단부에 삽입되어 결합되며, 상기 랙 샤프트가 이동가능하게 결합되는 샤프트 부싱을 포함할 수 있다.

상기 구동력 전달부는, 상기 랙 샤프트를 따라 배치되어 상기 스토퍼 복귀스프링을 감싸도록 상기 제2 이물질 차단관의 플랜지에 결합되는 스프링 자바라; 및 상기 스프링 자바라의 내부에 설치되어 상기 스토퍼 복귀스프링을 가압하는 스프링 가압부재를 더 포함할 수 있다.

상기 이탈방지 구동모듈은, 상기 진공챔버의 외벽에서 내부로 설치되어 상기 랙 샤프트를 이동시키는 구동 실린더; 및 상기 구동 실린더의 로드를 감싸도록 상기 구동 실린더에 설치되되, 상기 로드의 작동에 따라 신축되는 실린더 기밀유지부를 포함할 수 있다.

상기 캐리어 적재유닛은, 상기 캐리어의 캐리어 적재부가 마련되며, 상기 캐리어 적재부의 캐리어 출입구가 상호 대향하도록 배치되는 회전박스를 포함할 수 있다.

상기 캐리어 적재부는, 상기 회전박스의 상부와 하부에 각각 마련될 수 있다.

상기 캐리어 회전구동유닛은, 상기 회전박스의 중앙부를 관통하여 설치되되, 내부 구동력에 의해 상기 회전박스를 회전시키는 회전구동모듈; 및 상기 회전박스가 회전가능하게 배치되며, 상기 회전구동모듈이 설치되는 회전구동본체를 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 구조적으로 내부진공이 유지되는 상태에서, 기판을 회전시켜 기판의 상면부와 저면부의 위치를 바꿀 수 있으며, 진공공간의 외부에 캐리어의 이탈을 차단시키는 캐리어 이탈차단모듈을 작동시키기 위한 이탈방지 구동모듈이 설치됨으로써 진공공간에 필수적으로 설치되는 요소들의 설치공간을 충분히 확보할 수 있으며, 기판을 회전시켜 상면부와 저면부의 위치를 전환시키는 요소들로부터 발생되는 이물질에 의한 기판의 오염을 방지할 수 있으며, 기판의 반입과 회전 시에 기판의 이탈을 차단할 수 있는 기판회전 진공장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치의 개략적인 분해도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치의 캐리어 이탈차단모듈에 교차하는 이탈방지 구동모듈에 따른 단면도이다.
도 3은 도 2의 이탈방지 구동모듈의 확대도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. 이하, 기판으로는 글라스(glass) 기판뿐만 아니라 플렉서블 기판 등 OLED 디스플레이 패널 및 태양광 패널 등 대면적 패널의 제작을 위한 다양한 기판이 사용될 수 있다. 그리고, 기판이 적재되어 있는 캐리어는 도면에서 도면부호 "c"로 지시되어 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치의 개략적인 분해도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치의 캐리어 이탈차단모듈에 교차하는 이탈방지 구동모듈에 따른 단면도이며, 도 3은 도 2의 이탈방지 구동모듈의 확대도이다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치는, 기판이 적재된 캐리어가 반입되어 적재되되, 진공상태로 유지가능한 진공공간에 회전가능하게 설치되는 캐리어 적재유닛(100)과, 캐리어 적재유닛(100)이 회전가능하게 설치되되 캐리어 적재유닛(100)을 회전시켜 캐리어의 배치양상을 전환시킬 수 있는 캐리어 회전구동유닛(120)과, 캐리어 적재유닛(100)에 설치되어 캐리어 적재유닛(100)으로부터 캐리어의 이탈을 차단하는 캐리어 이탈차단모듈(131) 및 캐리어 이탈차단모듈(131)을 구동시키는 이탈방지 구동모듈(160)을 구비하되 이탈방지 구동모듈(160)을 진공영역의 외부에 설치할 수 있는 캐리어 이탈방지유닛(130)을 포함한다.

도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 구성요소들을 상세하게 설명하면 다음과 같이 기술될 수 있다.

먼저, 본 실시 예에 따른 캐리어 적재유닛(100)은, 캐리어의 적재부(105)가 마련되며, 캐리어 적재부(105)의 캐리어 출입구(106)가 상호 대향하도록 배치되는 회전박스(110)를 포함할 수 있다.

회전박스(110)는 직육면체 형상으로서, 캐리어의 반입 및 반출이 용이한 구조를 제공할 수 있도록 다수의 프레임들(111)을 상호 직각 및 평행하게 배치하고 이들을 결합시켜 제작할 수 있다. 회전박스(110)의 내부에서 캐리어가 적재되는 캐리어 적재부(105)는 수평으로 배치되는 지지선반 프레임(112)에 의해 마련될 수 있다.

이때 캐리어 적재부(105)는, 회전박스(110)의 상부와 하부 중 어느 하나로 캐리어를 반입받고 동시에 다른 하나로부터 다른 캐리어를 반출하도록 회전박스(110)의 상부와 하부에 각각 마련될 수 있다.

즉, 회전박스(110)는 상부에 배치되는 캐리어 적재부(105)로 캐리어를 반입받고, 상부에 있는 캐리어와 반대로 회전되어 하부에 배치되어 있는 다른 캐리어 적재부(106)로부터 다른 캐리어가 반출되는 작업이 함께 수행될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이 본 실시 예에 따르면, 상부 우측으로 반입되는 캐리어는 회전되어 하부 좌측으로 반출될 수 있다.

또한 본 실시 예에 따른 캐리어 회전구동유닛(120)은, 회전박스(110)의 중앙부를 관통하여 설치되어 회전박스(110)를 회전시키는 회전구동모듈(121)을 포함할 수 있다.

회전구동모듈(121)은 자세하게 도시되지 않았으나, 내부의 고정 샤프트와 외부의 회전 샤프트를 갖는 이중 샤프트 구조로서, 외부 샤프트가 내부의 고정 샤프트에 설치되는 구동모터에 의해 회전되도록 구성될 수 있다.

또한, 캐리어 회전구동유닛(120)은, 회전박스(110)가 회전가능하게 배치되며 회전구동모듈(121)이 수평으로 설치되는 회전구동본체(122)와, 회전구동본체(122)에 상호 대향하게 설치되어 적재부(105)에 대한 캐리어의 반입 및 반출을 안내하는 복수의 캐리어 안내부재(미도시)를 포함할 수 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 바에 바와 같이, 본 실시 예에 따르면 캐리어 적재유닛(100)의 외측에는, 캐리어 적재유닛(100)을 둘러싸서 진공공간을 제공하는 진공챔버(125)가 설치되는데, 진공챔버(125)의 외벽부에 이탈방지 구동모듈(160)이 고정되도록 설치될 수 있다.

이러한 진공챔버(125)는 캐리어가 캐리어 적재유닛(100)으로 반입되어 적재되고, 캐리어 적재유닛(100)이 캐리어 회전구동유닛(120)에 의해 회전되고, 다시 캐리어가 캐리어 적재유닛(100)으로부터 반출되는 캐리어의 반입, 회전, 및 반출 과정이 진행되는 동안, 진공펌프에 연결되는 진공 배기부(미도시)에 의해 배기됨으로써 진공상태로 유지될 수 있다.

이러한 진공챔버(125)에는 캐리어가 캐리어 적재유닛(100)에 적재되어 회전되는 동안, 캐리어의 적재위치로부터 캐리어의 이탈 및 움직임을 제한할 수 있는 캐리어 이탈차단모듈(131)을 구동시키기 위한 이탈방지 구동모듈(160)이 설치된다.

이러한 이탈방지 구동모듈(160)이 진공챔버(125)의 외벽부에 설치됨으로써 진공챔버(125)의 내부에 설치되어야 하는 캐리어 적재유닛(100)과 캐리어 회전구동유닛(120)의 설치공간을 충분히 확보할 수 있으며, 캐리어 이탈차단모듈(131)을 작동시키는 구동에 따른 진공챔버(125) 내부에 대한 이물질의 유출을 방지할 수 있다.

즉 이탈방지 구동모듈(160)은, 후술되는 바와 같이 실린더 방식으로 구성될 수 있는데, 일 예로 공압을 사용하는 경우에는, 공압 실린더 자체뿐만 아니라 공압 실린더를 작동시키기 위한 공압배관들을 진공챔버(125)의 내부로 설치하고, 이들로부터 발생될 수 있는 이물질의 오염을 방지하기 위해서 이들을 모두 차폐처리 즉 대기압을 제공할 수 있는 대기관 또는 대기박스의 내부로 배치시키는 처리를 해야 하지만, 본 실시 예에 따르면 이탈방지 구동모듈(160)이 진공챔버(125)의 외부로 설치되고, 이탈방지 구동모듈(160)이 진공챔버(125)를 관통하여 캐리어 이탈차단모듈(131)을 작동시키도록 구성되어 있으므로, 진공챔버(125)에 필수적으로 배치되는 요소들의 배치공간을 확보할 수 있고, 구동 시 마찰에 따른 이물질의 발생에 의한 오염도 방지할 수 있다.

이와 같이 캐리어 이탈방지유닛(130)은, 진공챔버(125)의 외벽부에 설치되는 이탈방지 구동모듈(160)과 진공챔버(125)의 내부에서 캐리어 적재유닛(100)에 설치되는 캐리어 이탈차단모듈(131)에 의해서 회전박스(110)의 회전동안 캐리어 적재유닛(100)에 캐리어를 고정시킬 수 있다.

이때 캐리어는 캐리어 적재유닛(100) 즉 회전박스(110)의 회전에 의해 하부로 이동되어 상면부와 저면부의 위치가 바뀌어 지는데, 이에 따라 캐리어의 내부에 적재되어 있는 기판의 상면부와 저면부의 위치가 전환될 수 있다.

이러한, 캐리어 이탈방지유닛(130)의 이탈방지 구동모듈(160)에 연결되어 캐리어를 캐리어 적재유닛(100)에 직접적으로 고정시키는 캐리어 이탈차단모듈(131)은 다음과 같이 구성될 수 있다.

즉 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시 예에 따른 캐리어 이탈차단모듈(131)은, 캐리어 적재유닛(100)에 회전가능하게 설치되되 캐리어의 움직임을 차단하는 회전 스토퍼부(132)와, 캐리어 적재유닛(100)에 설치되되 이탈방지 구동모듈(160)에 연결되어 회전 스토퍼부(132)를 회전시키는 구동력 전달부(145)를 포함할 수 있다.

먼저, 회전 스토퍼부(132)는, 캐리어 적재유닛(100)에 캐리어의 적재방향을 따라 회전가능하게 설치되는 회전봉(133)과, 회전봉(133)의 단부에 설치되어 회전봉(133)에 의해 캐리어 측으로 회전되는 회전 스토퍼(135)와, 회전봉(133)을 회전시키도록 회전봉(133)에 설치되되 구동력 전달부(145)에 의해 구동되는 피니언 기어(137)를 포함할 수 있다.

본 실시 예에 따르면, 회전 스토퍼(135)의 상부는 회전봉(133)의 선단부에 결합되는데, 회전 스토퍼(135)의 하부는 후술되는 스프링력에 의해 캐리어 적재유닛(100)으로부터 캐리어의 이탈을 차단하도록 캐리어 측으로 회전된 상태가 유지될 수 있다.

이러한 회전 스토퍼부(132)에는, 회전봉(133)이 관통하여 회전가능하도록 설치되되, 피니언 기어(137)와 구동력 전달부(145)를 둘러싸서 구동력 전달부(145)에 의한 피니언 기어(137)의 구동 시에 발생되는 이물질의 유출을 차단하는 제1 이물질 차단부(138)가 설치될 수 있다.

제1 이물질 차단부(138)는, 캐리어 적재유닛(100) 상에서 회전봉(133)을 회전가능한 상태로 지지할 수 있는데, 구동력 전달부(145)와 피니언 기어(137)의 기어결합부위 및 피니언 기어(137)가 배치되어 배치공간을 둘러싸서 피니언 기어(137)의 구동 즉 마찰에 의해 발생되는 미세한 이물질에 의한 진공챔버(125) 내부의 오염을 방지할 수 있다.

즉 본 실시 예에 따르면, 캐리어 적재유닛(100)에는, 제1 이물질 차단부(138)가 지지되는 한 쌍의 지지 프레임(139)이 설치되며, 제1 이물질 차단부(138)는, 한 쌍의 지지 프레임(139) 사이에 배치되는 제1 이물질 차단관(141)과, 회전봉(133)이 회전가능하게 삽입되며 제1 이물질 차단관(141)의 개구를 차폐하도록 제1 이물질 차단관(141)에 결합되되 한 쌍의 지지 프레임(139)에 지지되는 제1 이물질 차단덮개(142)를 포함할 수 있다.

이때 제1 이물질 차단덮개(142)의 회전봉(133)이 회전가능하게 결합되는 회전결합부위는, 제1 이물질 차단관(141)의 내부로부터 이물질의 유출을 완전히 차단할 수 있도록 실링처리될 수 있다.

본 실시 예에 따르면, 캐리어 이탈방지유닛(130)의 구동력 전달부(145)는 피니언 기어(137)에 기어결합될 수 있도록 제1 이물질 차단부(138)의 하부에서 회전 스토퍼부(132)의 회전봉(133)에 직교하게 설치될 수 있다.

즉 도 1 내지 도 3을 참조하면, 구동력 전달부(145)는, 캐리어 적재유닛(100)에 이동가능하게 설치되며 피니언 기어(137)에 기어결합되는 랙 기어(146)를 구비하는 랙 샤프트(147)와, 랙 샤프트(147)에 설치되어 회전 스토퍼(135)를 캐리어 측으로 회전시킬 수 있는 복원력을 제공하는 스토퍼 복귀스프링(148)을 포함할 수 있다.

본 실시 예에 따르면 랙 샤프트(147)는 회전봉(133)의 하부에 직교하게 배치되며, 랙 기어(146)는 피니언 기어(137)에 기어결합될 수 있다. 또한, 스토퍼 복귀스프링(148)은, 랙 샤프트(147)를 복수 지점에서 지지할 수 있도록 랙 기어(146)를 중심으로 상호 대향하게 설치되는 한 쌍일 수 있다.

랙 샤프트(147)는, 구동 실린더(161)에 공압이 제공됨에 따라 좌측에서 우측으로 이동되어 랙 기어(146)에 의해 피니언 기어(137)를 회전시킬 수 있으며, 피니언 기어(137)의 회전에 의해 회전 스토퍼(135)는 캐리어의 이탈을 차단하고 있는 캐리어에 인접한 상태에서 캐리어의 이탈을 허용하는 상태로 회전될 수 있다.

반대로, 랙 샤프트(147)는 구동 실린더(161)의 공압이 배기됨에 따라 스토퍼 복귀스프링(148)의 복원력에 의해 우측에서 좌측으로 이동될 수 있으며, 이에 따라 랙 기어(146)에 의해 피니언 기어(137)가 반대로 회전될 수 있으며, 회전 스토퍼(135)는 다시 제자리 즉 캐리어의 이탈을 차단할 수 있는 상태로 복귀될 수 있다.

이러한 랙 샤프트(147)에는, 랙 기어(146)에 의한 피니언 기어(137)의 회전 시에 발생되는 이물질의 유출을 차단하는 제2 이물질 차단부(152)가 설치될 수 있다.

본 실시 예에 따른 제2 이물질 차단부(152)는, 랙 기어(146)를 감싸도록 랙 샤프트(147)에 설치되며, 단부에 플랜지(155)를 구비하는 제2 이물질 차단관(153)과, 제2 이물질 차단관(153)의 단부에 삽입되어 결합되며, 랙 샤프트(147)가 이동가능하게 결합되는 샤프트 부싱(154)을 포함할 수 있다.

이러한 제2 이물질 차단관(153)은 전술한 제1 이물질 차단관(141)에 직교하게 배치되는데, 제1, 2 이물질 차단관(141, 153)은 피니언 기어(137)와 랙 기어(146)를 감싸서 이물질의 유출을 차단할 수 있고, 일부 설치공간이 공유되도록 교차하게 배치되어 결합될 수 있다.

또한 구동력 전달부(145)는, 랙 샤프트(147)를 따라 배치되어 스토퍼 복귀스프링(148)을 감싸도록 제2 이물질 차단관(153)의 플랜지(155)에 결합되는 스프링 자바라(157)와, 스프링 자바라(157)의 내부에 설치되어 스토퍼 복귀스프링(148)을 가압하는 스프링 가압부재(158)를 더 포함할 수 있다. 이때 랙 샤프트(147)는 스프링 가압부재(158)를 관통하여 스프링 가압부재(158)에 이동가능하게 결합될 수 있다. 랙 샤프트(147)에는 스프링 가압부재(158)와의 사이에서 복귀스프링(148)을 가압할 수 있도록 스프링 지지부재(159)가 고정되게 결합될 수 있다.

스프링 자바라(157)는 스토퍼 복귀스프링(148)이 스프링 가압부재(158)에 의해 압축될 때 함께 압축되며, 스토퍼 복귀스프링(148)이 복원될 때 신장될 수 있는데, 이러한 스토퍼 복귀스프링(148)의 작동에 따라 발생될 수 있는 스프링 가압부재(158)와 스토퍼 복귀스프링(148)의 접촉 및 랙 샤프트(147)의 이동 등에 따른 마찰에 의해 발생될 수 있는 이물질의 유출을 차단하여 진공챔버(125) 내부의 오염을 방지할 수 있다.

본 실시 예에 따르면, 스프링 자바라(157)에는 후술되는 구동 실린더(161)의 로드(162)에 연결되는 랙 샤프트(147)가 연결될 수 있다.

다시, 도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 실시 예에 따른 캐리어 이탈차단모듈(131)을 작동시키기 위한 이탈방지 구동모듈(160)은, 진공챔버(125)의 외벽에서 내부로 설치되어 캐리어 이탈차단모듈(131)의 랙 샤프트(147)를 구동시키는 구동 실린더(161)와, 구동 실린더(161)의 로드(162)를 감싸도록 구동 실린더(161)에 설치되되, 로드(162)의 작동에 따라 신축되는 실린더 기밀유지부(164)를 포함할 수 있다. 본 실시 예에 따르면, 구동 실린더(161)의 로드(162)는 랙 샤프트(147)보다 위에 배치되며, 랙 샤프트(147)는 수직바(165)에 의해 로드(162)에 결합될 수 있다.

한편, 본 실시 예에 따른 캐리어 이탈방지유닛(130)은, 구동 실린더(161) 및 랙 기어(146)에 의해 피니언 기어(137)를 회전시켜 회전봉(133)과 함께 회전 스토퍼(135)가 회전되도록 구성되어 있는데, 본 발명의 권리범위는 이에 제한되지 않으며, 구동 실린더(161)와 같이 진공챔버(125)의 외벽부에 설치되는 모터 및 모터에 의해 회전되는 웜 기어에 의해 피니언 기어(137)를 회전시키도록 구성될 수 있다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100: 캐리어 적재유닛 105: 적재부
110: 회전박스 111: 프레임들
112: 지지선반 프레임 120: 캐리어 회전구동유닛
121: 회전구동모듈 122: 회전구동본체
125: 진공챔버 130: 캐리어 이탈방지유닛
131: 캐리어 이탈차단모듈 132: 회전 스토퍼부
133: 회전봉 135: 회전 스토퍼
137: 피니언 기어 138: 제1 이물질 차단부
139: 지지 프레임 141: 제1 이물질 차단관
142: 제1 이물질 차단덮개 145: 구동력 전달부
146: 랙 기어 147: 랙 샤프트
148: 스토퍼 복귀스프링 152: 제2 이물질 차단부
153: 제2 이물질 차단관 154: 샤프트 부싱
155: 플랜지 157: 스프링 자바라
158: 스프링 가압부재 160: 이탈방지 구동모듈
161: 구동 실린더 162: 로드
164: 실린더 기밀유지부 165: 수직 바

Claims

기판이 적재된 캐리어가 반입되어 적재되되, 진공상태로 유지가능한 진공공간에 회전가능하게 설치되는 캐리어 적재유닛;
상기 캐리어 적재유닛이 회전가능하게 설치되되, 상기 캐리어 적재유닛을 회전시켜 상기 캐리어의 배치양상을 전환시킬 수 있는 캐리어 회전구동유닛; 및
상기 캐리어 적재유닛에 설치되어 상기 캐리어 적재유닛으로부터 상기 캐리어의 이탈을 차단하는 캐리어 이탈차단모듈 및 상기 캐리어 이탈차단모듈을 구동시키는 이탈방지 구동모듈을 구비하되, 상기 이탈방지 구동모듈이 상기 진공공간의 외부에 설치되는 캐리어 이탈방지유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제1항에 있어서,
상기 캐리어 적재유닛의 외측에는, 상기 캐리어 적재유닛을 둘러싸서 상기 진공공간을 제공하는 진공챔버가 설치되며,
상기 진공챔버의 외벽에는, 상기 이탈방지 구동모듈이 설치되는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제2항에 있어서,
상기 캐리어 이탈차단모듈은,
상기 캐리어 적재유닛에 회전가능하게 설치되되, 상기 캐리어의 움직임을 차단하는 회전 스토퍼부; 및
상기 캐리어 적재유닛에 설치되되, 상기 이탈방지 구동모듈에 연결되어 상기 회전 스토퍼부를 회전시키는 구동력 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제3항에 있어서,
상기 회전 스토퍼부는,
상기 캐리어 적재유닛에 상기 캐리어의 적재방향을 따라 회전가능하게 설치되는 회전봉;
상기 회전봉의 단부에 설치되어 상기 회전봉에 의해 상기 캐리어 측으로 회전되는 회전 스토퍼; 및
상기 회전봉을 회전시키도록 상기 회전봉에 설치되되, 상기 구동력 전달부에 의해 구동되는 피니언 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제4항에 있어서,
상기 회전 스토퍼부에는, 상기 회전봉이 관통하여 회전가능하도록 설치되되, 상기 피니언 기어와 상기 구동력 전달부를 둘러싸서 상기 구동력 전달부에 의한 상기 피니언 기어의 구동 시에 발생되는 이물질의 유출을 차단하는 제1 이물질 차단부가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제5항에 있어서,
상기 캐리어 적재유닛에는, 상기 제1 이물질 차단부가 지지되는 한 쌍의 지지 프레임이 설치되며,
상기 제1 이물질 차단부는,
상기 한 쌍의 지지 프레임 사이에 배치되는 제1 이물질 차단관; 및
상기 회전봉이 회전가능하게 삽입되며 상기 제1 이물질 차단관의 개구를 차폐하도록 상기 제1 이물질 차단관에 결합되되, 상기 한 쌍의 지지 프레임에 지지되는 제1 이물질 차단덮개를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제4항에 있어서,
상기 구동력 전달부는,
상기 캐리어 적재유닛에 이동가능하게 설치되며, 상기 피니언 기어에 기어결합되는 랙 기어를 구비하는 랙 샤프트; 및
상기 랙 샤프트에 설치되어 상기 회전 스토퍼를 상기 캐리어 측으로 회전시킬 수 있는 복원력을 제공하는 스토퍼 복귀스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제7항에 있어서,
상기 스토퍼 복귀스프링은, 상기 랙 기어를 중심으로 상호 대향하게 설치되는 한 쌍인 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제7항에 있어서,
상기 랙 샤프트에는, 상기 랙 기어에 의한 상기 피니언 기어의 회전 시에 발생되는 이물질의 유출을 차단하는 제2 이물질 차단부가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제9항에 있어서,
상기 제2 이물질 차단부는,
상기 랙 기어를 감싸도록 상기 랙 샤프트에 설치되며, 단부에 플랜지를 구비하는 제2 이물질 차단관; 및
상기 제2 이물질 차단관의 단부에 삽입되어 결합되며, 상기 랙 샤프트가 이동가능하게 결합되는 샤프트 부싱을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제10항에 있어서,
상기 구동력 전달부는,
상기 랙 샤프트를 따라 배치되어 상기 스토퍼 복귀스프링을 감싸도록 상기 제2 이물질 차단관의 플랜지에 결합되는 스프링 자바라; 및
상기 스프링 자바라의 내부에 설치되어 상기 스토퍼 복귀스프링을 가압하는 스프링 가압부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제7항에 있어서,
상기 이탈방지 구동모듈은,
상기 진공챔버의 외벽에서 내부로 설치되어 상기 랙 샤프트를 이동시키는 구동 실린더; 및
상기 구동 실린더의 로드를 감싸도록 상기 구동 실린더에 설치되되, 상기 로드의 작동에 따라 신축되는 실린더 기밀유지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제1항에 있어서,
상기 캐리어 적재유닛은,
상기 캐리어의 캐리어 적재부가 마련되며, 상기 캐리어 적재부의 캐리어 출입구가 상호 대향하도록 배치되는 회전박스를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제13항에 있어서,
상기 캐리어 적재부는, 상기 회전박스의 상부와 하부에 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
제13항에 있어서,
상기 캐리어 회전구동유닛은,
상기 회전박스의 중앙부를 관통하여 설치되되, 내부 구동력에 의해 상기 회전박스를 회전시키는 회전구동모듈; 및
상기 회전박스가 회전가능하게 배치되며, 상기 회전구동모듈이 설치되는 회전구동본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.