KR101553618B1 - 기판 이송시스템 - Google Patents

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KR101553618B1
KR101553618B1 KR1020130160915A KR20130160915A KR101553618B1 KR 101553618 B1 KR101553618 B1 KR 101553618B1 KR 1020130160915 A KR1020130160915 A KR 1020130160915A KR 20130160915 A KR20130160915 A KR 20130160915A KR 101553618 B1 KR101553618 B1 KR 101553618B1
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Abstract

기판 이송시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송시스템은, 적어도 일 영역이 진공챔버 내의 상부 영역에 배치되어 기판을 픽 업/다운(pick up/down) 구동시키는 기판 픽 업/다운장치; 및 기판이 어느 방향으로 투입되더라도 물류를 구성할 수 있도록 기판을 턴(turn) 동작시키는 부분은 진공챔버 내에서 기판 픽 업/다운장치의 하부 영역에 배치되어 기판 픽 업/다운장치와 상호작용하고, 나머지 부분들은 진공챔버의 외부에 배치되는 기판 턴장치를 포함한다.

Description

기판 이송시스템{SYSTEM FOR TRANSFERRING GLASS}
본 발명은, 기판 이송시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 공정 물류 상 어느 방향으로 기판이 투입되더라도 물류를 구성할 수 있으며, 대형 기판이 적용되더라도 진공 조건 하에서 파티클(particle) 발생 없이 수평자세(Face-Down)로 기판을 정밀하게 이송시킬 수 있어 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있는 기판 이송시스템에 관한 것이다.
최근들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 각광받고 있다.
평면디스플레이용 기판에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이와 같은 평면디스플레이용 기판(이하, 기판이라 함)은 유리(Glass) 재질로 이루어지는 것이 일반적이기 때문에 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성인 취성을 갖는다.
따라서 기판을 제조하는 전 공정 단계로부터 후 공정 단계에 이르기까지 기판이 훼손되지 않고 효율적으로 이송되어야 하며, 그러기 위해 기판 이송시스템의 필요성이 대두된다.
종전만하더라도 TV는 20 인치 내지 30 인치 정도의 크기를 가지며, 모니터는 17 인치 이하의 크기를 갖는 것이 주류였다.
하지만, 근자에 들어서는 40 인치 이상의 대형 TV와 20 인치 이상의 대형 모니터에 대한 선호도가 높아지고 있다.
따라서 기판을 제조하는 제조사의 경우, 보다 큰 대형 기판을 제작하기에 이르렀으며, 현재, 가로/세로의 길이가 2.6m/2.4m에 이르는 8세대(8G) 대형 기판이 적용되고 있는 것으로 알려지고 있다.
한편, 진공 내 성막공정에서 기판은 그 두께가 얇기 때문에 고정과 평탄도 유지를 위해 공정 시 대개 어떠한 형태로든 구조물을 가진 몸체에 부착 또는 흡착되어 공정이 이루어지는 것이 일반적이다.
통상적으로는 기판의 고정과 성막면의 평탄도 유지를 위해 정전척(ESC)을 많이 사용하고 있다.
하지만, 현재까지는 효율적인 기판 이송시스템의 부재로 인해 기판 사이즈의 대형화 또는 다양화에 따른 기판과 정전척 간의 고정도 얼라인(Align) 또는 어태치(Attach) 과정에 많은 어려움이 있기 때문에 기판 이송의 효율이 저하될 수밖에 없다.
특히, 공정 물류 상 어느 방향으로 기판이 투입되더라도 물류를 구성할 수 있어야 하는데, 앞서 기술한 것처럼 8세대 기판의 경우, 대형 기판이기 때문에 이러한 대형 기판을 이송시키는 것이 쉬운 문제는 아닐 뿐만 아니라 대형 기판을 진공 조건 하에서 수평자세(Face-Down)로 정밀하게 물류 이송시키는 것 자체가 어려운 기술이며, 파티클(particle) 문제도 고려해야 한다는 점을 감안할 때, 이와 같은 모든 조건을 만족시키면서 기판을 이송시킬 수 있도록 하는 기판 이송시스템에 대한 구조 개발이 필요한 실정이다.
대한민국특허청 출원번호 제10-2006-0058222호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 공정 물류 상 어느 방향으로 기판이 투입되더라도 물류를 구성할 수 있으며, 대형 기판이 적용되더라도 진공 조건 하에서 파티클(particle) 발생 없이 수평자세(Face-Down)로 기판을 정밀하게 이송시킬 수 있어 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 적어도 일 영역이 진공챔버 내의 상부 영역에 배치되어 기판을 픽 업/다운(pick up/down) 구동시키는 기판 픽 업/다운장치; 및 상기 기판이 어느 방향으로 투입되더라도 물류를 구성할 수 있도록 상기 기판을 턴(turn) 동작시키는 부분은 상기 진공챔버 내에서 상기 기판 픽 업/다운장치의 하부 영역에 배치되어 상기 기판 픽 업/다운장치와 상호작용하고, 나머지 부분들은 상기 진공챔버의 외부에 배치되는 기판 턴장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템이 제공될 수 있다.
상기 기판 픽 업/다운장치는, 상기 기판을 파지하는 기판 파지유닛; 및 상기 기판 파지유닛에 연결되어 상기 기판 파지유닛을 구동시키는 파지 구동유닛을 포함할 수 있다.
상기 기판 파지유닛은 상기 진공챔버의 내부에 배치되고, 상기 파지 구동유닛은 상기 진공챔버의 외부에 배치될 수 있다.
상기 기판 파지유닛은 상기 기판의 네 변 영역에 각각 배치되어 상호간 접근 또는 이격 구동되면서 상기 기판을 파지하는 다수의 기판 단위파지부를 포함할 수 있다.
상기 다수의 기판 단위파지부 각각은, 상기 파지 구동유닛에 의해 구동되는 파지 바디; 및 상기 파지 바디에 연결되어 상기 기판의 테두리의 하부를 지지하는 다수의 파지 핸드를 포함할 수 있다.
상기 기판 턴장치는, 상호간 이격 배치되어 기판을 이송하는 다수의 롤러 컨베이어 유닛; 상기 다수의 롤러 컨베이어 유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 기판의 턴(turn) 동작 또는 상기 기판의 얼라인 동작 시 상기 기판을 지지하는 기판 지지용 프레임을 선택적으로 척킹하는 척킹 유닛; 상기 다수의 롤러 컨베이어 유닛을 지지하며, 상기 다수의 롤러 컨베이어 유닛과 함께 턴(turn) 동작되는 턴 상판 어셈블리(turn upper assembly); 및 상기 턴 상판 어셈블리의 하부 영역에 배치되어 상기 턴 상판 어셈블리를 회전 가능하게 지지하는 턴 하판 어셈블리(turn lower assembly)를 포함할 수 있다.
상기 턴 상판 어셈블리는, 평평한 판상체로 형성되는 턴 상판 플레이트; 및 상기 턴 상판 플레이트의 상면과 하면에 형성되는 다수의 턴 상판 보강 벽체를 포함하며, 상기 턴 하판 어셈블리는, 턴 하판 베이스; 상기 턴 하판 베이스의 상부 영역에서 상기 턴 상판 플레이트와 나란하게 배치되어 상기 턴 상판 플레이트의 하부를 지지하는 턴 하판 플레이트; 및 상기 턴 하판 베이스와 상기 턴 하판 플레이트 사이를 신축 가능하게 연결하는 다수의 연결 벨로우즈를 포함할 수 있다.
상기 턴 상판 플레이트와 상기 턴 하판 플레이트 중 어느 하나에는 상기 턴 상판 어셈블리의 턴(turn) 동작을 위한 다수의 볼 캐스터가 마련되며, 상기 턴 상판 플레이트와 상기 턴 하판 플레이트 중 다른 하나에는 상기 볼 캐스터가 회전 가능하게 삽입되는 볼 캐스터 레일이 마련될 수 있다.
상기 기판 턴장치는, 상기 턴 하판 어셈블리의 하부에 결합되어 상기 턴 하판 어셈블리를 XY 평면상에서 X축 방향, Y축 방향 및 θ축 방향으로 얼라인시키는 UVW 얼라인 스테이지를 더 포함할 수 있다.
상기 UVW 얼라인 스테이지의 내부에는 스테이지 관통부가 형성될 수 있다.
상기 기판 턴장치는, 상기 UVW 얼라인 스테이지의 스테이지 관통부 내에 배치되고 상단부가 상기 턴 상판 어셈블리와 연결되며, 상기 턴 상판 어셈블리의 턴(turn) 동작을 위한 구동력을 발생시키는 턴 구동 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 턴 구동 유닛은, 대기(ATM)와 진공(VAC)에 걸쳐 배치되는 축부와, 상기 축부의 단부에 형성되되 상기 축부보다 큰 직경을 갖는 머리부를 구비하는 턴 구동 회전축; 상기 턴 구동 회전축의 머리부에 결합되어 상기 턴 상판 어셈블리와 연결되는 턴 상판 연결판; 및 상기 턴 구동 회전축의 대기(ATM)와 진공(VAC)의 경계 영역에서 상기 대기(ATM) 측에 배치되는 턴 구동용 피드스루를 포함할 수 있다.
상기 턴 구동 유닛은, 턴 구동용 서보모터; 상기 턴 구동용 서보모터와 연결되어 상기 턴 구동용 서보모터의 회전력을 감속시키는 턴 구동용 감속기; 상기 턴 구동용 서보모터에 의해 동작되는 인덱스 드라이브; 및 상기 턴 구동용 피드스루에 이웃한 위치에서 상기 인덱스 드라이브를 상기 턴 구동 회전축의 축부에 결합시키는 커플링을 더 포함할 수 있다.
상기 롤러 컨베이어 유닛은, 상기 진공챔버 내의 진공(VAC) 측에 배치되어 상기 기판을 이송시키는 다수의 이송용 롤러; 상기 이송용 롤러들에 개별적으로 연결되며, 대기(ATM)와 진공(VAC)에 걸쳐 배치되는 다수의 이송용 롤러 종동 샤프트; 기어조립체에 의해 상기 다수의 이송용 롤러 종동 샤프트와 일체로 연결되는 메인 샤프트; 및 상기 메인 샤프트와 연결되어 상기 메인 샤프트를 회전구동시키는 메인 샤프트 회전구동부를 포함할 수 있다.
상기 롤러 컨베이어 유닛은, 상기 대기(ATM) 측에서 상기 기어조립체를 포함하는 상기 메인 샤프트와 상기 메인 샤프트 회전구동부를 커버링하는 롤러 컨베이어용 대기 박스(ATM Box)를 더 포함할 수 있다.
상기 롤러 컨베이어 유닛은, 상기 롤러 컨베이어용 대기 박스와 연결되며, 상기 진공(VAC) 측에서 상기 이송용 롤러들의 하부에 배치되어 상기 기판의 이송 중 발생되는 파티클(particle)을 포집하는 파티클 포집 받침대를 더 포함할 수 있다.
상기 롤러 컨베이어 유닛은, 상기 이송용 롤러들에 하나씩 대응되게 마련되어 상기 기판의 이송을 가이드하는 다수의 이송용 가이드 롤러; 및 상기 이송용 롤러 종동 샤프트 상에서 대기(ATM)와 진공(VAC)의 경계 영역에 결합되는 샤프트 피드스루를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 턴장치는, 상기 롤러 컨베이어 유닛의 주변에 배치되는 다수의 아이들 컨베이어 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 다수의 아이들 컨베이어 유닛들 중 일부는 상기 롤러 컨베이어 유닛과 나란하게 배치되고 나머지는 상기 롤러 컨베이어 유닛과 교차되게 배치되며, 상기 아이들 컨베이어 유닛과 상기 롤러 컨베이어 유닛은 동일한 구조를 가질 수 있다.
상기 척킹 유닛은, 상기 기판 지지용 프레임의 둘레 영역 하부에 배치되는 다수의 척킹용 대기 박스(ATM Box); 상기 척킹용 대기 박스에 연결되며, 회전되면서 상기 기판 지지용 프레임을 척킹하되 단부에 척킹볼이 결합되는 회전척; 및 상기 척킹용 대기 박스 내에 마련되어 상기 회전척과 연결되며, 상기 회전척을 회전구동시키는 회전척 회전구동부를 포함할 수 있다.
상기 회전척 회전구동부는, 직선 운동되는 에어 실린더; 상기 에어 실린더에 연결되는 랙 기어; 및 상기 랙 기어와 기어 맞물림되며, 상기 회전척과 연결되어 상기 에어 실린더의 직선 운동을 상기 회전척의 회전 운동으로 변환시키는 피니언 기어를 포함할 수 있다.
상기 회전척 회전구동부는, 상기 랙 기어와 연결되며, 상기 에어 실린더의 동작 시 상기 랙 기어와 함께 전후진 동작되는 이동 블록; 및 상기 이동 블록과 이격 배치되며, 상기 이동 블록의 이동거리를 제한하는 블록 스토퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 턴장치는, 상기 롤러 컨베이어 유닛과 상기 척킹 유닛에 연결되며, 상기 롤러 컨베이어 유닛과 상기 척킹 유닛에 사용되는 케이블(Cable)을 대기(ATM)로 배출시키는 진공배관 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 진공배관 유닛은, 상기 롤러 컨베이어 유닛과 상기 척킹 유닛 사이의 센터 영역에 배치되는 케이블 배출용 메인 바디; 상기 케이블 배출용 메인 바디의 양측으로 연장되어 상기 롤러 컨베이어 유닛에 연결되는 다수의 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암; 및 상기 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암에 교차되게 상기 케이블 배출용 메인 바디의 양측으로 연장되어 상기 척킹 유닛에 연결되는 다수의 척킹 유닛용 배관 아암을 포함할 수 있다.
상기 다수의 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암과 상기 다수의 척킹 유닛용 배관 아암 중 적어도 어느 하나에는 성형 벨로우즈가 마련되며, 상기 다수의 척킹 유닛용 배관 아암에는 케이블 배출용 분기 바디가 더 결합될 수 있다.
본 발명에 따르면, 공정 물류 상 어느 방향으로 기판이 투입되더라도 물류를 구성할 수 있으며, 대형 기판이 적용되더라도 진공 조건 하에서 파티클(particle) 발생 없이 수평자세(Face-Down)로 기판을 정밀하게 이송시킬 수 있어 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송시스템이 적용되는 순환식 진공물류에서의 턴(turn) 구간을 도시한 도면이다.
도 2는 기판 이송시스템의 개략적인 구조도이다.
도 3a는 기판 픽업장치의 측면 구조도이다.
도 3b는 도 3a의 요부 확대 사시도이다.
도 4a는 기판 턴장치의 정면 사시도이다.
도 4b는 기판 턴장치의 배면 사시도이다.
도 4c는 기판 턴장치의 평면도로서 기판의 이송을 도시한 도면이다.
도 5 내지 도 8은 롤러 컨베이어 유닛에 대한 도면들이다.
도 9 내지 도 11은 척킹 유닛에 대한 도면들이다.
도 12 내지 도 13은 턴 상판 어셈블리에 대한 도면들이다.
도 14는 턴 하판 어셈블리에 대한 도면이다.
도 15 내지 도 16은 UVW 얼라인 스테이지에 대한 도면들이다.
도 17 내지 도 19는 턴 구동 유닛에 대한 도면들이다.
도 20 내지 도 21은 아이들 컨베이어 유닛에 대한 도면들이다.
도 22 내지 도 23은 진공배관 유닛에 대한 도면들이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송시스템이 적용되는 순환식 진공물류에서의 턴(turn) 구간을 도시한 도면이다.
이 도면에 도시된 바와 같이, 순환방식(Circulation) 진공물류에서 대형 기판은 90도 또는 180도로 방향전환, 즉 턴(turn) 동작되면서 이송될 수 있다.
앞서 기술한 것처럼 대형 기판은 가로/세로의 길이가 2m를 넘는 8세대(8G)의 기판을 가리키는데, 이러한 단순한 이재기 등을 이용해서는 대형 기판의 턴(turn) 동작 구현이 어렵다.
특히, 공정 물류 상 어느 방향으로 기판이 투입되더라도 물류를 구성해야 하는데, 진공 조건 하에서 파티클(particle) 발생 없이 수평자세(Face-Down)로 기판을 정밀하게 이송시키기가 곤란하다.
이에, 아래와 같은 기판 이송시스템(100)이 요구된다.
도 2는 기판 이송시스템의 개략적인 구조도이고, 도 3a는 기판 픽업장치의 측면 구조도이며, 도 3b는 도 3a의 요부 확대 사시도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 이송시스템(100)은 공정 물류 상 어느 방향으로 기판이 투입되더라도 물류를 구성할 수 있으며, 대형 기판이 적용되더라도 진공 조건 하에서 파티클(particle) 발생 없이 수평자세(Face-Down)로 기판을 정밀하게 이송시킬 수 있어 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있도록 한 것으로서, 기판 픽 업/다운장치(110)와, 기판 턴장치(120)를 포함한다.
기판 픽 업/다운장치(110)는 적어도 일 영역이 진공챔버(C) 내의 상부 영역에 배치되어 기판을 픽 업/다운(pick up/down) 구동시키는 역할을 한다. 이때의 기판은 앞서 기술한 것처럼 가로/세로의 길이가 2m를 넘는 8세대(8G)의 대형 기판일 수 있다.
이러한 기판 픽 업/다운장치(110)는 기판을 파지하는 기판 파지유닛(111)과, 기판 파지유닛(111)에 연결되어 기판 파지유닛(111)을 구동시키는 파지 구동유닛(116)을 포함한다.
이때, 실질적으로 기판에 접촉되어 기판을 파지하는 기판 파지유닛(111)은 진공챔버(C)의 내부에 배치되고, 기판 파지유닛(111)을 구동시키는 파지 구동유닛(116)은 진공챔버(C)의 외부에 배치된다.
아무래도 파티클(particle) 발생에 취약한 파지 구동유닛(116) 부분을 진공챔버(C)의 외부에 배치시킴으로써 진공챔버(C) 내로 파티클이 비산됨에 따라 기판의 불량을 초래하는 현상을 효율적으로 방지할 수 있으며, 또한 진공챔버(C) 내의 공간 활용을 극대화시킬 수 있다.
기판 파지유닛(111)은 기판의 네 변 영역에 각각 배치되어 상호간 접근 또는 이격 구동되면서 기판을 파지하는 다수의 기판 단위파지부(112)를 포함한다.
이때, 기판 단위파지부(112) 각각은, 파지 구동유닛(116)에 의해 구동되는 파지 바디(112a)와, 파지 바디(112a)에 연결되어 기판의 테두리의 하부를 지지하는 다수의 파지 핸드(112b)를 포함한다. 파지 바디(112a)는 다수의 지지대(112c)에 의해 파지 구동유닛(116)과 연결될 수 있다.
한편, 기판 턴장치(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 기판이 어느 방향으로 투입되더라도 물류를 구성할 수 있도록 기판을 턴(turn) 동작시키는 부분은 진공챔버(C) 내에서 기판 픽 업/다운장치(110)의 하부 영역에 배치되어 기판 픽 업/다운장치(110)와 상호작용하고, 나머지 부분들은 진공챔버(C)의 외부에 배치된다.
이와 같은 기판 턴장치(120)의 세부구조에 대해 도 4a 내지 도 23을 참조하여 자세히 알아보도록 한다.
도 4a는 기판 턴장치의 정면 사시도, 도 4b는 기판 턴장치의 배면 사시도, 도 4c는 기판 턴장치의 평면도로서 기판의 이송을 도시한 도면, 도 5 내지 도 8은 롤러 컨베이어 유닛에 대한 도면들, 도 9 내지 도 11은 척킹 유닛에 대한 도면들, 도 12 내지 도 13은 턴 상판 어셈블리에 대한 도면들, 도 14는 턴 하판 어셈블리에 대한 도면, 도 15 내지 도 16은 UVW 얼라인 스테이지에 대한 도면들, 도 17 내지 도 19는 턴 구동 유닛에 대한 도면들, 도 20 내지 도 21은 아이들 컨베이어 유닛에 대한 도면들, 그리고 도 22 내지 도 23은 진공배관 유닛에 대한 도면들이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 턴장치(120)는 롤러 컨베이어 유닛(130), 척킹 유닛(140), 턴 상판 어셈블리(150, turn upper assembly), 턴 하판 어셈블리(160, turn lower assembly), UVW 얼라인 스테이지(165), 턴 구동 유닛(170), 아이들 컨베이어 유닛(180), 그리고 진공배관 유닛(190)을 포함하고 있으며, 이들의 유기적인 동작에 의해 도 4c처럼 A 방향으로 진입된 기판이 턴(turn) 동작된 후, B 방향으로 이송되도록 하는 역할을 한다.
이하, 도면 대비 설명의 편의를 위해 롤러 컨베이어 유닛(130), 척킹 유닛(140), 턴 상판 어셈블리(150, turn upper assembly), 턴 하판 어셈블리(160, turn lower assembly), UVW 얼라인 스테이지(165), 턴 구동 유닛(170), 아이들 컨베이어 유닛(180), 그리고 진공배관 유닛(190)의 구조를 순차적으로 설명한다.
우선, 롤러 컨베이어 유닛(130)은 상호간 이격 배치되어 기판을 이송하는 역할을 한다.
본 실시예의 경우, 롤러(roller) 방식이 적용되고 있다. 이는 대형 기판을 진공 조건 하에서 수평자세(Face-Down)로 정밀하게 물류 이송시키는 것 자체가 어려운데, 특히 기판의 이송 시 기판의 테두리 부분만을 접촉할 수밖에 없는 제한된 조건으로 이송해야 하기 때문에 한 쌍의 롤러 컨베이어 유닛(130)이 적용되고 있는 것이다.
한 쌍의 롤러 컨베이어 유닛(130)은 배치 위치만이 상이할 뿐 동일한 구조를 갖는다.
이러한 롤러 컨베이어 유닛(130)은 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 전술한 바와 같이, 기판을 이송시키는 다수의 이송용 롤러(131)를 포함한다.
이송용 롤러(131)들은 진공챔버(C, 도 2 참조) 내의 진공(VAC) 측에 배치되어 기판의 테두리 부분에 접촉되어 기판을 이송시킨다.
이송용 롤러(131)들의 주변에는 이송용 롤러(131)들에 하나씩 대응되게 마련되어 기판의 이송을 가이드하는 다수의 이송용 가이드 롤러(137)가 마련된다. 이송용 가이드 롤러(137)는 이송용 롤러(131)와 교차 배치되어 기판의 이송을 가이드한다. 이송용 가이드 롤러(137)는 미세 조정 볼트에 의해 정밀 세팅이 가능하다.
이송용 롤러(131)들에는 이송용 롤러 종동 샤프트(132)가 개별적으로 결합된다. 즉 이송용 롤러 종동 샤프트(132) 하나당 하나의 이송용 롤러(131)가 적용된다.
이송용 롤러 종동 샤프트(132)는 길이가 긴 봉 형태의 축으로서, 이송용 롤러(131)를 회전 가능하게 지지하는데, 이송용 롤러 종동 샤프트(132)는 대기(ATM)와 진공(VAC)에 걸쳐 배치된다.
이처럼 이송용 롤러 종동 샤프트(132)가 대기(ATM)와 진공(VAC)에 걸쳐 배치될 수 있도록 이송용 롤러 종동 샤프트(132)에는 대기(ATM)와 진공(VAC)의 경계 영역에 샤프트 피드스루(138)가 결합된다.
다수의 이송용 롤러 종동 샤프트(132)들은 기어조립체(139)에 의해 메인 샤프트(133)와 일체로 연결된다. 즉 기어조립체(139)로서 헬리컬 기어를 이송용 롤러 종동 샤프트(132)들과 메인 샤프트(133)에 마련하여 기어 맞물림시킴으로써 하나의 메인 샤프트(133)에 다수의 이송용 롤러 종동 샤프트(132)들이 한 몸체를 형성할 수 있도록 한다.
따라서 메인 샤프트(133)가 회전되면 기어조립체(139)에 의해 이송용 롤러 종동 샤프트(132)들 모두가 동일한 속도와 방향으로 회전될 수 있다. 이를 위해, 메인 샤프트(133)에는 메인 샤프트(133)를 회전구동시키는 메인 샤프트 회전구동부(134)가 마련된다.
메인 샤프트 회전구동부(134)는 도 7에 도시된 바와 같이, 모터(134a)와, 모터(134a)에 연결되는 구동 풀리(134b)와, 메인 샤프트(133)에 연결되는 피동 풀리(134c)와, 구동 풀리(134b) 및 피동 풀리(134c)를 연결하는 벨트(134d)를 포함할 수 있다.
이에, 모터(134a)가 동작되면 모터(134a)의 회전력이 구동 풀리(134b), 벨트(134d) 및 피동 풀리(134c)로 전달되어 메인 샤프트(133)가 회전하게 되며, 메인 샤프트(133)가 회전되면 기어조립체(139)에 의해 이송용 롤러 종동 샤프트(132)들 모두가 동일한 속도와 방향으로 회전될 수 있게 됨으로써 결과적으로 이송용 롤러(131)들이 회전되면서 기판을 이송시킬 수 있다.
한편, 이와 같은 구조를 갖는 롤러 컨베이어 유닛(130)은 대기(ATM) 측에서 기어조립체(139)를 포함하는 메인 샤프트(133)와 메인 샤프트 회전구동부(134)를 커버링하는 롤러 컨베이어용 대기 박스(135, ATM Box)를 더 포함한다.
즉 구동수단들인 메인 샤프트(133)와 메인 샤프트 회전구동부(134)들이 대기(ATM) 부분에서 롤러 컨베이어용 대기 박스(135)에 커버링되어 보호되도록 하고 있다. 따라서 주로 구동수단들에서 야기되는 파티클 문제를 해소할 수 있다.
롤러 컨베이어용 대기 박스(135)는 박스 본체(135a)와, 박스 본체(135a)의 상부 개구를 개폐하는 박스 커버(135b)를 포함한다.
도면에는 박스 커버(135b)가 단순하게 도시되어 있으나 박스 커버(135b)는 박스 본체(135a)에 볼트 결합될 수도 있고 아니면 후크 결합될 수도 있다.
이때, 박스 본체(135a)와 박스 커버(135b) 사이에는 별도의 개스킷 등이 개재되어 이 사이를 기밀 유지시키는 것이 바람직할 수 있다.
그리고 롤러 컨베이어용 대기 박스(135)의 주변에는 파티클 포집 받침대(136)가 배치된다. 파티클 포집 받침대(136)는 진공(VAC) 측에서 즉 진공챔버(C) 내에서 이송용 롤러(131)들의 하부에 배치되어 기판의 이송 중 발생되는 파티클(particle)을 포집하는 역할을 한다.
다음으로, 척킹 유닛(140)은 다수의 롤러 컨베이어 유닛(130)에 이웃하게 배치되며, 기판의 턴(turn) 동작 또는 기판의 얼라인 동작 시 기판을 지지하는 기판 지지용 프레임(P)을 선택적으로 척킹하는 역할을 한다.
기판에 대한 턴(turn) 동작 또는 기판의 얼라인 동작 시 기판이 흔들리면 안 되기 때문에 기판의 흔들림을 없애기 위해 척킹 유닛(140)이 적용되는 것이다.
이러한 척킹 유닛(140)은 도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 기판 지지용 프레임(P)의 둘레 영역 하부에 배치되는 다수의 척킹용 대기 박스(141, ATM Box)와, 척킹용 대기 박스(141)에 연결되며, 회전되면서 기판 지지용 프레임(P)을 척킹하되 단부에 척킹볼(142a)이 결합되는 회전척(142)과, 척킹용 대기 박스(141) 내에 마련되어 회전척(142)과 연결되며, 회전척(142)을 회전구동시키는 회전척 회전구동부(143)를 포함한다.
척킹 유닛(140)에서도 구동과 관련된 회전척 회전구동부(143)를 척킹용 대기 박스(141) 내에 배치하여 기판 지지용 프레임(P)의 둘레 영역 하부에 배치시킴으로써 척킹 유닛(140)의 동작 시 파티클 비산을 원천적으로 방지할 수 있게 된다.
회전척 회전구동부(143)는 직선 운동을 회전척(142)의 회전 운동으로 변환시키는 장치로서, 도 10에 확대된 바와 같이, 회전척 회전구동부(143)의 동작에 의해 회전척(142)이 회전되면서 기판 지지용 프레임(P)을 척킹할 수 있다.
이러한 회전척 회전구동부(143)는 직선 운동되는 에어 실린더(143a)와, 에어 실린더(143a)에 연결되는 랙 기어(143b)와, 랙 기어(143b)와 기어 맞물림되며, 회전척(142)과 연결되어 에어 실린더(143a)의 직선 운동을 회전척(142)의 회전 운동으로 변환시키는 피니언 기어(143c)를 포함한다.
이에, 에어 실린더(143a)가 동작되어 랙 기어(143b)를 전진시키면 랙 기어(143b)에 기어 맞물림된 피니언 기어(143c)가 회전되면서 도 10의 확대부분 실선에서 점선처럼 회전척(142)을 회전시키게 됨으로써 기판 지지용 프레임(P)을 척킹할 수 있다.
이때, 에어 실린더(143a)의 동작 시 랙 기어(143b)와 함께 전후진 동작되는 이동 블록(143d)이 랙 기어(143b)와 연결되는데, 반대편에서 블록 스토퍼(143e)에 의해 이동 블록(143d)의 이동거리가 제한될 수 있다. 즉 랙 기어(143b)의 과도한 이동이 이동 블록(143d)과 블록 스토퍼(143e)에 의해 제한되기 때문에 부품의 파손을 방지시킬 수 있다.
다음으로, 턴 상판 어셈블리(150)는 다수의 롤러 컨베이어 유닛(130)을 지지하며, 다수의 롤러 컨베이어 유닛(130)과 함께 턴(turn) 동작되는 상판 구조물이다.
이러한 턴 상판 어셈블리(150)는 도 12 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 평평한 판상체로 형성되는 턴 상판 플레이트(151)로 이루어질 수 있다.
턴 상판 플레이트(151)의 상면과 하면에 형성되는 턴 상판 보강 벽체(152)가 마련될 수 있다.
턴 상판 플레이트(151)는 무게 절감을 위해 알루미늄 재질로 제작될 수 있으며, 모두 조립이 가능한 구조로 제작될 수 있다.
다음으로, 턴 하판 어셈블리(160)는 턴 상판 어셈블리(150)의 하부 영역에 배치되어 턴 상판 어셈블리(150)를 회전 가능하게 지지하는 하판 구조물이다.
턴 하판 어셈블리(160)는 턴 상판 어셈블리(150)가 턴(turn) 동작될 때, 턴 상판 어셈블리(150)의 처짐을 방지해주고 대기(ATM)와 진공(VAC)을 구분하는 역할을 한다.
이러한 턴 하판 어셈블리(160)는 도 14에 도시된 바와 같이, 턴 하판 베이스(161)와, 턴 하판 베이스(161)의 상부 영역에서 턴 상판 플레이트(151)와 나란하게 배치되어 턴 상판 플레이트(151)의 하부를 지지하는 턴 하판 플레이트(162)와, 턴 하판 베이스(161)와 턴 하판 플레이트(162) 사이를 신축 가능하게 연결하는 다수의 연결 벨로우즈(163)를 포함한다.
도 16에 도시된 바와 같이, 턴 하판 플레이트(162)의 직하방 위치에서 대기(ATM)와 진공(VAC)이 구분된다. 즉 턴 하판 플레이트(162)가 진공(VAC) 측에 배치되고 나머지 부분들 모두가 대기(ATM) 측에 배치된다.
한편, 턴 하판 어셈블리(160)에 대해 턴 상판 어셈블리(150)가 턴(turn) 동작을 위해, 턴 상판 플레이트(151)에는 다수의 볼 캐스터(153)가 마련되며, 턴 하판 플레이트(162)에는 상기 볼 캐스터(153)가 회전 가능하게 삽입되는 볼 캐스터 레일(164a,164b)이 마련된다.
다수의 볼 캐스터(153)는 턴 상판 플레이트(151)의 하면에 마련되고, 볼 캐스터 레일(164a,164b)은 턴 하판 플레이트(162)의 상면에 마련되는데, 볼 캐스터 레일(164a,164b)은 이너 레일(164a, inner rail)과 아우터 레일(164b, outer rail)의 이중 레일 구조를 가질 수 있다.
물론, 도시된 형상에 본 발명의 권리범위가 제한될 수 없다. 즉 턴 상판 플레이트(151)에 볼 캐스터 레일(164a,164b)이 마련되고, 턴 하판 플레이트(162)에 다수의 볼 캐스터(153)가 마련되는 구조 역시 본 발명의 권리범위에 속한다 하여야 할 것이다.
다음으로, UVW 얼라인 스테이지(165)는 턴 하판 어셈블리(160)의 하부에 결합되어 턴 하판 어셈블리(160)를 XY 평면상에서 X축 방향, Y축 방향 및 θ축 방향으로 얼라인시키는 역할을 한다.
이러한 UVW 얼라인 스테이지(165)는 도 15 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 얼라인 스테이지(166,167)가 다수의 얼라이너(168)에 의해 상대적으로 이동될 수 있는 구조를 갖는다. 즉 다수의 얼라이너(168)는 직선형 레일 구조를 갖는데, 이와 같은 직선형 레일 구조의 얼라이너(168) 동작에 의해 제2 얼라인 스테이지(167)가 XY 평면상에서 X축 방향, Y축 방향 및 θ축 방향으로 얼라인될 수 있도록 한다. 제2 얼라인 스테이지(167)는 턴 하판 베이스(161)에 연결된다.
이러한 구조를 갖는 UVW 얼라인 스테이지(165)의 내부에는 턴 구동 유닛(170)이 삽입되어 설치될 수 있도록 스테이지 관통부(165a)가 형성된다. 스테이지 관통부(165a)는 사각 형상일 수 있으나 반드시 그러할 필요는 없다.
다음으로, 턴 구동 유닛(170)은 UVW 얼라인 스테이지(165)의 스테이지 관통부(165a) 내에 배치되고 상단부가 턴 상판 어셈블리(150)와 연결되며, 턴 상판 어셈블리(150)의 턴(turn) 동작을 위한 구동력을 발생시킨다.
이러한 턴 구동 유닛(170)은 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 대기(ATM)와 진공(VAC)에 걸쳐 배치되는 축부(171a)와, 축부(171a)의 단부에 형성되되 축부(171a)보다 큰 직경을 갖는 머리부(171b)를 구비하는 턴 구동 회전축(171)과, 턴 구동 회전축(171)의 머리부(171b)에 결합되어 턴 상판 어셈블리(150)와 연결되는 턴 상판 연결판(172)을 포함한다.
턴 구동 회전축(171)의 축부(171a)는 내부가 빈 중공축으로 적용됨으로써 케이블의 이동 경로를 형성할 수 있도록 한다.
그리고 턴 구동 회전축(171)은 대형 구조물을 회전시킬 수 있을 정도의 구조적인 강성을 가져야 하기 때문에 스테인리스 스틸(stainless steel) 재질로 제작될 수 있으며, 여러 가공을 통해 강성이 높게 제작될 수 있다.
턴 구동 회전축(171)에는 턴 구동 회전축(171)의 대기(ATM)와 진공(VAC)의 경계 영역에서 대기(ATM) 측에 배치되는 턴 구동용 피드스루(173)가 결합된다.
턴 구동용 피드스루(173)를 기준으로 하여 턴 상판 연결판(172) 측이 진공(VAC), 즉 진공챔버(C) 내에 배치되고, 나머지가 진공챔버(C) 바깥쪽의 대기(ATM) 측에 배치된다. 이러한 턴 구동용 피드스루(173)는 중량물의 정방향 하중과 축방향 하중 모두를 지지하면서 회전될 수 있도록 하는 역할을 한다.
이러한 턴 구동 회전축(171)을 회전시키기 위해 턴 구동용 서보모터(174)와, 턴 구동용 서보모터(174)와 연결되어 턴 구동용 서보모터(174)의 회전력을 감속시키는 턴 구동용 감속기(175)와, 턴 구동용 서보모터(174)에 의해 동작되는 인덱스 드라이브(176)와, 턴 구동용 피드스루(173)에 이웃한 위치에서 인덱스 드라이브(176)를 턴 구동 회전축(171)의 축부(171a)에 결합시키는 커플링(177)을 포함한다.
이에, 턴 구동용 감속기(175)에 의해 감속된 상태에서 턴 구동용 서보모터(174)가 동작되면 인덱스 드라이브(176)에 의해 턴 구동 회전축(171)이 회전됨으로써 턴 상판 어셈블리(150)를 회전시킬 수 있게 되고, 이로 인해 기판의 턴(turn) 동작을 구현해낼 수 있다.
다음으로, 아이들 컨베이어 유닛(180)은 롤러 컨베이어 유닛(130)의 주변에 배치된다.
이때, 아이들 컨베이어 유닛(180)들 중 일부는 롤러 컨베이어 유닛(130)과 나란하게 배치되고 나머지는 롤러 컨베이어 유닛(130)과 교차되게 배치된다. 따라서 진입되는 기판을 교차 방향으로 이송시킬 수 있다.
이러한 아이들 컨베이어 유닛(180)은 도 20 내지 도 21에 도시된 바와 같은 구조를 가질 수 있는데, 이때의 아이들 컨베이어 유닛(180)의 구조는 전술한 롤러 컨베이어 유닛(130)과 동일한 구조를 갖는다.
즉 기판의 테두리에 접촉되어 기판을 이송하는 다수의 아이들 롤러(181)가 각각의 아이들 롤러 회전축(182)에 회전 가능하게 결합되며, 다수의 아이들 롤러 회전축(182)은 아이들 롤러 회전구동부(183)에 의해 한번에 회전될 수 있다.
이때, 아이들 롤러 회전구동부(183) 역시, 별도의 대기 박스(184) 내에 배치된 상태에서 대기(ATM) 측에 배치될 수 있다. 아이들 롤러 회전구동부(183)의 구조는 메인 샤프트 회전구동부(134)와 동일하므로 중복 설명은 피하도록 한다.
마지막으로, 진공배관 유닛(190)은 롤러 컨베이어 유닛(130)과 척킹 유닛(140)에 연결되며, 롤러 컨베이어 유닛(130)과 척킹 유닛(140)에 사용되는 케이블(Cable)을 대기(ATM)로 배출시키는 역할을 한다.
이러한 진공배관 유닛(190)은 도 22 내지 도 23에 도시된 바와 같이, 케이블 배출용 메인 바디(191), 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암(192), 그리고 척킹 유닛용 배관 아암(193)을 포함할 수 있다.
케이블 배출용 메인 바디(191)는 롤러 컨베이어 유닛(130)과 척킹 유닛(140) 사이의 센터 영역에 배치된다. 롤러 컨베이어 유닛(130)과 척킹 유닛(140) 쪽에서 모아진 케이블이 진공챔버(C) 외부로 향하는 장소를 이룬다.
롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암(192)은 케이블 배출용 메인 바디(191)의 양측으로 연장되어 롤러 컨베이어 유닛(130)에 연결된다. 한 쌍의 롤러 컨베이어 유닛(130)이 적용되기 때문에 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암(192) 역시 한 쌍으로 마련된다.
척킹 유닛용 배관 아암(193)은 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암(192)에 교차되게 케이블 배출용 메인 바디(191)의 양측으로 연장되어 척킹 유닛(140)에 연결된다.
이때, 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암(192)들과 척킹 유닛용 배관 아암(193)들 모두에는 성형 벨로우즈(194)가 마련된다. 따라서 약간의 위치 변경이 가능하다.
또한 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암(192)들과 척킹 유닛용 배관 아암(193)들 모두에는 아암(192,193)들을 지지하는 아암 지지용 블록(198)이 마련된다.
다수의 척킹 유닛용 배관 아암(193)에는 케이블 배출용 분기 바디(195)가 마련된다. 척킹 유닛(140)은 두 개씩 총 4개가 마련되기 때문에 두 개의 척킹 유닛(140)에 대응되게 케이블 배출용 분기 바디(195)가 하나씩 적용된다.
이상 설명한 바와 같은 구성과 동작을 갖는 본 실시예의 기판 이송시스템(100)에 따르면, 공정 물류 상 어느 방향으로 기판이 투입되더라도 물류를 구성할 수 있으며, 대형 기판이 적용되더라도 진공 조건 하에서 파티클(particle) 발생 없이 수평자세(Face-Down)로 기판을 정밀하게 이송시킬 수 있어 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 기판 이송시스템 110 : 기판 픽 업/다운장치
111 : 기판 파지유닛 112 : 기판 단위파지부
112a : 파지 바디 112b : 파지 핸드
112c : 지지대 116 : 파지 구동유닛
120 : 기판 턴장치 130 : 롤러 컨베이어 유닛
131 : 이송용 롤러 132 : 이송용 롤러 종동 샤프트
133 : 메인 샤프트 134 : 메인 샤프트 회전구동부
135 : 롤러 컨베이어용 대기 박스 136 : 파티클 포집 받침대
137 : 이송용 가이드 롤러 138 : 샤프트 피드스루
140 : 척킹 유닛 141 : 척킹용 대기 박스
142 : 회전척 142a : 척킹볼
143 : 회전척 회전구동부 143a : 에어 실린더
143b : 랙 기어 143c : 피니언 기어
143d : 이동 블록 143e : 블록 스토퍼
150 : 턴 상판 어셈블리 151 : 턴 상판 플레이트
152 : 턴 상판 보강 벽체 153 : 볼 캐스터
160 : 턴 하판 어셈블리 161 : 턴 하판 베이스
162 : 턴 하판 플레이트 163 : 연결 벨로우즈
164a,164b : 볼 캐스터 레일 165 : UVW 얼라인 스테이지
165a : 스테이지 관통부 170 : 턴 구동 유닛
171a : 축부 171b : 머리부
171 : 턴 구동 회전축 172 : 턴 상판 연결판
173 : 턴 구동용 피드스루 174 : 턴 구동용 서보모터
175 : 턴 구동용 감속기 176 : 인덱스 드라이브
177 : 커플링 180 : 아이들 컨베이어 유닛
190 : 진공배관 유닛 191 : 케이블 배출용 메인 바디
192 : 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암 193 : 척킹 유닛용 배관 아암
194 : 성형 벨로우즈 195 : 케이블 배출용 분기 바디

Claims (25)

  1. 적어도 일 영역이 진공챔버 내의 상부 영역에 배치되어 기판을 픽 업/다운(pick up/down) 구동시키는 기판 픽 업/다운장치; 및
    상기 기판이 어느 방향으로 투입되더라도 물류를 구성할 수 있도록 상기 기판을 턴(turn) 동작시키는 부분은 상기 진공챔버 내에서 상기 기판 픽 업/다운장치의 하부 영역에 배치되어 상기 기판 픽 업/다운장치와 상호작용하고, 나머지 부분들은 상기 진공챔버의 외부에 배치되는 기판 턴장치를 포함하며,
    상기 기판 턴장치는,
    상호간 이격 배치되어 기판을 이송하는 다수의 롤러 컨베이어 유닛;
    상기 다수의 롤러 컨베이어 유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 기판의 턴(turn) 동작 또는 상기 기판의 얼라인 동작 시 상기 기판을 지지하는 기판 지지용 프레임을 선택적으로 척킹하는 척킹 유닛;
    상기 다수의 롤러 컨베이어 유닛을 지지하며, 상기 다수의 롤러 컨베이어 유닛과 함께 턴(turn) 동작되는 턴 상판 어셈블리(turn upper assembly); 및
    상기 턴 상판 어셈블리의 하부 영역에 배치되어 상기 턴 상판 어셈블리를 회전 가능하게 지지하는 턴 하판 어셈블리(turn lower assembly)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 픽 업/다운장치는,
    상기 기판을 파지하는 기판 파지유닛; 및
    상기 기판 파지유닛에 연결되어 상기 기판 파지유닛을 구동시키는 파지 구동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기판 파지유닛은 상기 진공챔버의 내부에 배치되고, 상기 파지 구동유닛은 상기 진공챔버의 외부에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 기판 파지유닛은 상기 기판의 네 변 영역에 각각 배치되어 상호간 접근 또는 이격 구동되면서 상기 기판을 파지하는 다수의 기판 단위파지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 다수의 기판 단위파지부 각각은,
    상기 파지 구동유닛에 의해 구동되는 파지 바디; 및
    상기 파지 바디에 연결되어 상기 기판의 테두리의 하부를 지지하는 다수의 파지 핸드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 턴 상판 어셈블리는,
    평평한 판상체로 형성되는 턴 상판 플레이트; 및
    상기 턴 상판 플레이트의 상면과 하면에 형성되는 다수의 턴 상판 보강 벽체를 포함하며,
    상기 턴 하판 어셈블리는,
    턴 하판 베이스;
    상기 턴 하판 베이스의 상부 영역에서 상기 턴 상판 플레이트와 나란하게 배치되어 상기 턴 상판 플레이트의 하부를 지지하는 턴 하판 플레이트; 및
    상기 턴 하판 베이스와 상기 턴 하판 플레이트 사이를 신축 가능하게 연결하는 다수의 연결 벨로우즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 턴 상판 플레이트와 상기 턴 하판 플레이트 중 어느 하나에는 상기 턴 상판 어셈블리의 턴(turn) 동작을 위한 다수의 볼 캐스터가 마련되며,
    상기 턴 상판 플레이트와 상기 턴 하판 플레이트 중 다른 하나에는 상기 볼 캐스터가 회전 가능하게 삽입되는 볼 캐스터 레일이 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기판 턴장치는,
    상기 턴 하판 어셈블리의 하부에 결합되어 상기 턴 하판 어셈블리를 XY 평면상에서 X축 방향, Y축 방향 및 θ축 방향으로 얼라인시키는 UVW 얼라인 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 UVW 얼라인 스테이지의 내부에는 스테이지 관통부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 기판 턴장치는,
    상기 UVW 얼라인 스테이지의 스테이지 관통부 내에 배치되고 상단부가 상기 턴 상판 어셈블리와 연결되며, 상기 턴 상판 어셈블리의 턴(turn) 동작을 위한 구동력을 발생시키는 턴 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 턴 구동 유닛은,
    대기(ATM)와 진공(VAC)에 걸쳐 배치되는 축부와, 상기 축부의 단부에 형성되되 상기 축부보다 큰 직경을 갖는 머리부를 구비하는 턴 구동 회전축;
    상기 턴 구동 회전축의 머리부에 결합되어 상기 턴 상판 어셈블리와 연결되는 턴 상판 연결판; 및
    상기 턴 구동 회전축의 대기(ATM)와 진공(VAC)의 경계 영역에서 상기 대기(ATM) 측에 배치되는 턴 구동용 피드스루를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 턴 구동 유닛은,
    턴 구동용 서보모터;
    상기 턴 구동용 서보모터와 연결되어 상기 턴 구동용 서보모터의 회전력을 감속시키는 턴 구동용 감속기;
    상기 턴 구동용 서보모터에 의해 동작되는 인덱스 드라이브; 및
    상기 턴 구동용 피드스루에 이웃한 위치에서 상기 인덱스 드라이브를 상기 턴 구동 회전축의 축부에 결합시키는 커플링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 롤러 컨베이어 유닛은,
    상기 진공챔버 내의 진공(VAC) 측에 배치되어 상기 기판을 이송시키는 다수의 이송용 롤러;
    상기 이송용 롤러들에 개별적으로 연결되며, 대기(ATM)와 진공(VAC)에 걸쳐 배치되는 다수의 이송용 롤러 종동 샤프트;
    기어조립체에 의해 상기 다수의 이송용 롤러 종동 샤프트와 일체로 연결되는 메인 샤프트; 및
    상기 메인 샤프트와 연결되어 상기 메인 샤프트를 회전구동시키는 메인 샤프트 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 롤러 컨베이어 유닛은,
    상기 대기(ATM) 측에서 상기 기어조립체를 포함하는 상기 메인 샤프트와 상기 메인 샤프트 회전구동부를 커버링하는 롤러 컨베이어용 대기 박스(ATM Box)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 롤러 컨베이어 유닛은,
    상기 롤러 컨베이어용 대기 박스와 연결되며, 상기 진공(VAC) 측에서 상기 이송용 롤러들의 하부에 배치되어 상기 기판의 이송 중 발생되는 파티클(particle)을 포집하는 파티클 포집 받침대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 롤러 컨베이어 유닛은,
    상기 이송용 롤러들에 하나씩 대응되게 마련되어 상기 기판의 이송을 가이드하는 다수의 이송용 가이드 롤러; 및
    상기 이송용 롤러 종동 샤프트 상에서 대기(ATM)와 진공(VAC)의 경계 영역에 결합되는 샤프트 피드스루를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  18. 제14항에 있어서,
    상기 기판 턴장치는,
    상기 롤러 컨베이어 유닛의 주변에 배치되는 다수의 아이들 컨베이어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 다수의 아이들 컨베이어 유닛들 중 일부는 상기 롤러 컨베이어 유닛과 나란하게 배치되고 나머지는 상기 롤러 컨베이어 유닛과 교차되게 배치되며,
    상기 아이들 컨베이어 유닛과 상기 롤러 컨베이어 유닛은 동일한 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  20. 제1항에 있어서,
    상기 척킹 유닛은,
    상기 기판 지지용 프레임의 둘레 영역 하부에 배치되는 다수의 척킹용 대기 박스(ATM Box);
    상기 척킹용 대기 박스에 연결되며, 회전되면서 상기 기판 지지용 프레임을 척킹하되 단부에 척킹볼이 결합되는 회전척; 및
    상기 척킹용 대기 박스 내에 마련되어 상기 회전척과 연결되며, 상기 회전척을 회전구동시키는 회전척 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 회전척 회전구동부는,
    직선 운동되는 에어 실린더;
    상기 에어 실린더에 연결되는 랙 기어; 및
    상기 랙 기어와 기어 맞물림되며, 상기 회전척과 연결되어 상기 에어 실린더의 직선 운동을 상기 회전척의 회전 운동으로 변환시키는 피니언 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 회전척 회전구동부는,
    상기 랙 기어와 연결되며, 상기 에어 실린더의 동작 시 상기 랙 기어와 함께 전후진 동작되는 이동 블록; 및
    상기 이동 블록과 이격 배치되며, 상기 이동 블록의 이동거리를 제한하는 블록 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  23. 제1항에 있어서,
    상기 기판 턴장치는,
    상기 롤러 컨베이어 유닛과 상기 척킹 유닛에 연결되며, 상기 롤러 컨베이어 유닛과 상기 척킹 유닛에 사용되는 케이블(Cable)을 대기(ATM)로 배출시키는 진공배관 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 진공배관 유닛은,
    상기 롤러 컨베이어 유닛과 상기 척킹 유닛 사이의 센터 영역에 배치되는 케이블 배출용 메인 바디;
    상기 케이블 배출용 메인 바디의 양측으로 연장되어 상기 롤러 컨베이어 유닛에 연결되는 다수의 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암; 및
    상기 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암에 교차되게 상기 케이블 배출용 메인 바디의 양측으로 연장되어 상기 척킹 유닛에 연결되는 다수의 척킹 유닛용 배관 아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 다수의 롤러 컨베이어 유닛용 배관 아암과 상기 다수의 척킹 유닛용 배관 아암 중 적어도 어느 하나에는 성형 벨로우즈가 마련되며,
    상기 다수의 척킹 유닛용 배관 아암에는 케이블 배출용 분기 바디가 더 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
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