KR102073306B1 - 마스크 승강장치 - Google Patents

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KR102073306B1
KR102073306B1 KR1020180110000A KR20180110000A KR102073306B1 KR 102073306 B1 KR102073306 B1 KR 102073306B1 KR 1020180110000 A KR1020180110000 A KR 1020180110000A KR 20180110000 A KR20180110000 A KR 20180110000A KR 102073306 B1 KR102073306 B1 KR 102073306B1
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이학원
장영주
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아레텍 주식회사
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Abstract

마스크 승강장치에 관한 것으로,
는 폭조절모터, 승강모터, 이송지지대, 회전절환유니트가 설치되는 베이스플레이트; 베이스플레이트의 상단 정중앙에 설치되고, 전방과 후방으로 각각 회전전달유니트에 접속되는 제1회전축이 마련된 폭조절모터; 베이스플레이트의 상단 정중앙의 폭조절모터의 상부에 설치되고, 전방과 후방으로 각각 회전전달유니트에 접속되는 제2회전축이 마련된 승강모터; 베이스플레이트의 상단 전방 양측과 상단 후방 양측에 설치되고, 내부 하부에 회전전달유니트에 접속되는 회전이송축이 설치되고, 내부 상부에 회전전달유니트에 접속되는 승강회전축이 설치되는 이송지지대; 베이스플레이트의 상단 전방 중앙과 상단 후방 중앙에 설치되고, 폭조절모터의 제1회전축의 회전을 회전이송축로 전달하고, 승강조절모터의 제2회전축의 회전을 승강회전축으로 전달하는 회전전달유니트; 각 회전이송축에 좌우방향으로 이송 가능하게 설치되는 이송블록; 각 이송블록의 내측 상부에 마련된 승강이송축에 승강 가능하게 설치되는 승강블록; 베이스플레이트의 상단 양측 상부의 일측 전방 승강블록과 일측 후방 승강블록 사이 및 타측 전방 승강블록과 타측 후방 승강블록 사이에 설치되는 받침대;를 포함하는 기술 구성을 통하여
적재위치의 마스크를 작업위치로 안정적으로 하강시킬 수 있게 되고, 작업위치의 마스크를 하역위치로 안정적으로 상승시킬 수 있게 되고, 마스크의 승강과정에서 마스크의 오염 및 손상을 방지할 수 있게 된다.

Description

마스크 승강장치 {MASK ELEVATOR }
본 발명은 마스크 승강장치에 관한 것으로, 더 자세하게는 적은 접촉면적으로 마스크를 안전하게 적재하여 안정적으로 승강시키는 것에 의해 마스크의 손상을 방지할 수 있도록 한 것에 관한 것이다.
본 발명이 관계하는 마스크는 반도체 집적회로의 제조공정 중 포토공정에서 사용하는 미세한 전자회로가 그려진 유리판을 말한다.
상기 마스크는 전자빔 설비를 이용해 설계된 회로 패턴을 유리판 위에 그려 넣어 만들어지며, 포토공정은 웨이퍼 위에 전자회로를 그리는 단계로, 반도체 칩에 전자부품 수십억 개와 이를 연결하는 회로선을 그리는 작업으로, 설비에 마스크를 넣고 빛을 투과해 감광액이 칠해진 웨이퍼 위에 미세한 전자회로 그림이 만들어 지도록 한다.
한편, 블랭크 마스크는 포토리소그래피(Photolithography) 공정시 사용되는 포토 마스크의 원재료로서 반도체 및 FPD(Flat Pannel Display)를 제조하는데 널리 사용되고 있다.
이러한 블랭크 마스크 및 포토마스크는 일반적으로 바이너리 마스크 형태와 위상반전 마스크 형태로 분류되는데, 바이너리 형태의 마스크는 투명기판 위에 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성되고, 위상반전 형태의 마스크는 투명기판 위에 위상반전막, 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성된다.
블랭크 마스크는 일반적으로 블랭크 마스크 제조사에서 제조된 후 포토 마스크 제조사로 운반되어 포토 마스크로 제조되고, 포토 마스크는 반도체 및 FPD를 생산하는 제조사로 이송되어 사용된다.
한편, 블랭크 마스크에 포토레지스트를 코팅하는 설비 등에서는 적재로봇을 통해 적재된 마스크를 작업위치로 하강시키고, 작업을 마친 후에 다시 하역위치로 상승시키는 마스크 승강장치가 사용된다.
하기의 특허문헌 1에는 하나의 장치를 통해 포토레지스트(PR;Photoresist)내에 포함된 유기용제(Solvent)를 제거함과 동시에 건조시키는 한편, 경화시킬 수 있도록 하는 포토레지스트 건조 경화 장치 및 그 방법이 개시되어 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-0671170호 (2007년 01월 12일 등록)
그런데 특허문헌 1을 포함한 종래 기술에 따른 마스크 승강장치는 다수의 접촉핀이 마련된 승강판을 통해 마스크를 승강시키는 방식이었기 때문에 마스크의 승강동작이 원활하지 못하게 됨은 물론 마스크의 승강을 지지하는 과정에서 다수의 접촉핀이 마스크의 하단에 접촉되어 마스크의 오염 및 손상이 유발되는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 종래 기술에 따른 마스크 승강장치의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적이 마스크를 적재위치에서 작업위치로 하강시키는 동작 및 작업위치에서 하역위치로 상승시키는 동작이 원활하게 이루어질 수 있도록 함은 물론 승강 지지과정에서 마스크의 오염 및 손상을 방지할 수 있도록 하는 마스크 승강장치를 제공하는 데에 있는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 승강장치는 폭조절모터, 승강모터, 이송지지대, 회전절환유니트가 설치되는 베이스플레이트; 베이스플레이트의 상단 정중앙에 설치되고, 전방과 후방으로 각각 회전전달유니트에 접속되는 제1회전축이 마련된 폭조절모터; 베이스플레이트의 상단 정중앙의 폭조절모터의 상부에 설치되고, 전방과 후방으로 각각 회전전달유니트에 접속되는 제2회전축이 마련된 승강모터; 베이스플레이트의 상단 전방 양측과 상단 후방 양측에 설치되고, 내부 하부에 회전전달유니트에 접속되는 회전이송축이 설치되고, 내부 상부에 회전전달유니트에 접속되는 승강회전축이 설치되는 이송지지대; 베이스플레이트의 상단 전방 중앙과 상단 후방 중앙에 설치되고, 폭조절모터의 제1회전축의 회전을 회전이송축로 전달하고, 승강조절모터의 제2회전축의 회전을 승강회전축으로 전달하는 회전전달유니트; 각 회전이송축에 좌우방향으로 이송 가능하게 설치되는 이송블록; 각 이송블록의 내측 상부에 마련된 승강이송축에 승강 가능하게 설치되는 승강블록; 베이스플레이트의 상단 양측 상부의 일측 전방 승강블록과 일측 후방 승강블록 사이 및 타측 전방 승강블록과 타측 후방 승강블록 사이에 설치되는 받침대;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 승강장치의 받침대는 승강블록에 고정 설치되고, 승강블록과 승강바를 연결하는 접속축 접속축의 상단에 설치되는 승강바; 승강바의 하단에 전후방향으로 배열 설치되는 다수의 받침부재; 승강바의 내측의 각 받침부재의 상단에 설치되는 접촉부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 승강장치는 승강바의 전방부와 후방부에 체결볼트 삽입구멍이 마련되고, 승강바가 그의 상부로부터 접속축에 체결되는 체결볼트를 통해 접속축의 상단에 체결되고, 승강바의 전방부 체결볼트 삽입구멍과 후방부 체결볼트 삽입구멍 중의 어느 하나가 열팽창에 안정적으로 대응할 수 있도록 전후방향의 길이가 긴 장원형으로 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 승강장치는 승강바의 하단에 전후방향으로 다수의 받침부재 삽입홈이 형성되고, 받침부재가 승강바의 받침부재 삽입홈에 삽입되는 삽입부의 내측 하단부에 두께가 얇은 받침부가 돌출된 형태를 가지고, 받침부재가 삽입부의 하부로부터 체결되는 체결나사를 통해 삽입부의 내측단이 승강바의 내측단에서 내측방향으로 약간 돌출되도록 승강바에 고정되고, 접촉부재가 승강바의 내측면에 밀착되는 승강바 밀착부의 상단 외측에 승강바의 상단면에 밀착되는 상부 접촉부가 돌출 형성되고, 승강바 밀착부의 내측면에 하부로 갈수록 폭이 증가하는 경사면이 형성되고, 승강바 밀착부의 하단에 승강바의 내측단으로 돌출된 받침부재의 삽입부와 밀착되는 받침부재 밀착부가 마련되고, 받침부재 밀착부의 내측 하단부에 마스크 접촉부가 돌출 형성되고, 마스크 접촉부의 하단에 받침부재의 받침부가 삽입되는 받침부재 삽입부가 마련된 형태를 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 승강장치는 접촉부재의 마스크 접촉부의 상단면이 수평선을 기준으로 할 때에 받침부재 쪽보다 그 반대쪽이 낮은 경사면으포 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 승강장치에 의하면, 적재위치의 마스크를 작업위치로 안정적으로 하강시킬 수 있게 되고, 작업위치의 마스크를 하역위치로 안정적으로 상승시킬 수 있게 된다.
본 발명에 따른 마스크 승강장치에 의하면, 마스크 하단 양측에서 적은 접촉면적으로 안전하게 마스크를 적재할 수 있게 되어 마스크의 승강과정에서 마스크의 오염 및 손상을 방지할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 사시도,
도 2는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 평면도,
도 3은 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 요부 정면도,
도 4는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 받침대의 요부 분해사시도,
도 5a는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 받침대의 전방 접속축 체결부위의 종단면도,
도 5b는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 받침대의 후방 접속축 체결부위의 종단면도,
도 6은 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 받침대의 받침부재 및 접촉부재 설치부위의 종단면도,
도 7a는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 적재위치의 정면도,
도 7b는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 작업위치의 정면도.
이하 본 발명에 따른 마스크 승강장치를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
이하에서, "상방", "하방", "전방" 및 "후방" 및 그 외 다른 방향성 용어들은 도면에 도시된 상태를 기준으로 정의한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 사시도이고, 도 2는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 평면도이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)는 베이스플레이트(110), 폭조절모터(120), 승강모터(130), 이송지지대(140), 회전전달유니트(150), 이송블록(160), 승강블록(170), 받침대(180)를 포함한다.
베이스플레이트(110)는 폭조절모터(120), 승강모터(130), 이송지지대(140), 회전절환유니트(150)가 설치되는 부분으로, 사각형의 평면 형태를 가진다.
폭조절모터(120)는 한 쌍의 받침대(180) 사이의 거리를 조절하기 위한 것으로, 베이스플레이트(110)의 상단 정중앙에 설치된다.
폭조절모터(120)는 전방과 후방으로 각각 회전전달유니트(150)에 접속되는 제1회전축(121)이 마련된다.
승강모터(130)는 한 쌍의 받침대(120)를 승강시키기 위한 것으로, 폭조절모터(120)의 상부에 설치된다.
승강모터(130)는 전방과 후방으로 각각 회전전달유니트(150)에 접속되는 제2회전축(131)이 마련된다.
이송지지대(140)는 이송블록(150)의 좌우방향 이송을 지지하는 부분으로, 베이스플레이트(110)의 상단 전방 양측과 상단 후방 양측에 설치된다.
이송지지대(140)는 베이스플레이트(110)의 상단면에 밀착되는 수평착지부(141)의 양측에 수직지지부(142)가 마련된 형태를 가진다.
각 이송지지대(140)의 내부 하부에는 회전이송축(191)이 설치되고, 이송지지대(140)의 내부 상부에는 승강회전축(192)이 설치된다.
각 회전이송축(191)와 각 승강회전축(192)의 내측단은 이송지지대(140)의 내측 수직지지부(142)를 관통하여 회전전달유니트(150)에 접속된다.
상기에서 각 회전이송축(191)와 각 승강회전축(192)의 내측, 이송지지대(140)의 내측은 회전전달유니트(150) 쪽을 의미한다.
회전전달유니트(150)는 폭조절모터(120)의 제1회전축(121)의 회전을 회전이송축(191)로 전달하고, 승강조절모터(130)의 제2회전축(131)의 회전을 승강회전축(192)으로 전달하는 것으로, 베이스플레이트(110)의 상단 전방 중앙과 상단 후방 중앙에 설치된다.
회전전달유니트(150)는 한 쌍의 베벨기어를 통해 전후방향 회전축의 회전을 좌우방향 회전축으로 전달하는 것으로, 본 발명이 속하는 기술분야에서 자명한 구성요소이므로 그에 대한 구체적인 설명을 생략한다.
도 3은 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 요부 정면도이다.
이송블록(160)은 승강블록(170) 및 받침대(180)를 좌우방향으로 이송하기 위한 부분으로, 각 회전이송축(191)에 좌우방향으로 이송 가능하게 설치된다.
이송블록(160)의 승강회전축(192)이 관통하는 부분의 내측에는 승강회전축(192)과 함께 회전하는 구동베벨기어(194)가 설치된다.
이송블록(160)의 내측 상단과 내측 중앙에는 지지브라켓트(161)가 마련되고, 양 지지브라켓트(161)의 사이에는 승강이송축(193)이 설치된다.
상기에서 이송블록(160)의 내측은 회전전달유니트(150) 쪽을 의미한다.
하부 지지브라켓트(161)의 하부로 돌출된 승강이송축(193)의 하단부에는 구동베벨기어(194)와 접속되는 종동베벨기어(195)가 설치된다.
승강블록(170)은 받침대(180)를 승강시키기 위한 부분으로, 이송블록(160)의 내측 상부에 마련된 승강이송축(193)에 승강 가능하게 설치된다.
도 4는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 받침대의 요부 분해사시도이고, 도 5a는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 받침대의 전방 접속축 체결부위의 종단면도이고, 도 5b는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 받침대의 후방 접속축 체결부위의 종단면도이고, 도 6은 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 받침대의 받침부재 및 접촉부재 설치부위의 종단면도이다.
받침대(180)은 마스크(200)를 받쳐주는 부분으로, 베이스플레이트(110)의 상단 양측 상부의 일측 전방 승강블록(170)과 일측 후방 승강블록(170) 사이 및 타측 전방 승강블록(170)과 타측 후방 승강블록(170) 사이에 설치된다.
받침대(180)는 접속축(181), 승강바(182), 받침부재(183), 접촉부재(184)를 포함한다.
접속축(181)은 승강블록(170)과 승강바(182)를 연결하는 부분으로, 전방 승강블록(170)과 후방 승강블록(170)에 고정 설치된다.
접속축(181)의 상단에는 승강바(182)를 체결할 수 있도록 하는 암나사(181a)가 마련된다.
승강바(182)는 접속축(181)을 통해 승강블록(170)과 연결되는 부분으로, 전, 후 한 쌍의 접속축(181) 상단에 설치된다.
승강바(182)는 경량화를 도모하기 위해 알루미늄과 같은 경량 금속재질로 구성된다.
승강바(182)의 전방부와 후방부에는 체결볼트 삽입구멍(182a)이 마련되고, 승강바(182)의 상부로부터 접속축(181)에 체결되는 체결볼트(185)를 통해 접속축(181)의 상단에 승강바(182)가 체결된다.
이때 승강바(182)의 전방부 체결볼트 삽입구멍(182a)과 후방부 체결볼트 삽입구멍(182a) 중의 어느 하나는 열팽창에 안정적으로 대응할 수 있도록 전후방향의 길이가 긴 장원형으로 형성된다.
승강바(182)의 하단에는 전후방향으로 다수의 받침부재 삽입홈(182b)이 형성된다.
받침부재(183)은 마스크(200)의 하중을 지탱하는 부분으로, 승강바(182)의 하단에 다수개가 전후방향으로 배열 설치된다.
받침부재(183)는 승강바(182)의 받침부재 삽입홈(182b)에 삽입되는 삽입부(183a)의 내측 하단부에 두께가 얇은 받침부(183b)가 돌출된 형태를 가진다.
받침부재(183)는 삽입부(183a)의 하부로부터 체결되는 체결나사(186)를 통해 승강바(182)에 고정되고, 이때 받침부재(183)의 삽입부(183a)의 내측단은 승강바(182)의 내측단에서 내측방향으로 약간 돌출된다.
받침부재(183)는 스테인레스와 같은 강성이 좋은 금속재질로 구성된다.
접촉부재(184)는 마스크(200)가 직접적으로 접촉되는 부분으로, 승강바(182)의 내측의 각 받침부재(183)의 상단에 설치된다.
접촉부재(184)는 승강바(182)의 내측면에 밀착되는 승강바 밀착부(184a)의 상단 외측에 승강바(182)의 상단면에 밀착되는 상부 접촉부(184b)가 돌출 형성되고, 승강바 밀착부(184a)의 내측면에 하부로 갈수록 폭이 증가하는 경사면(184c)이 형성되고, 승강바 밀착부(184a)의 하단에 승강바(182)의 내측단으로 돌출된 받침부재(183)의 삽입부(183a)와 밀착되는 받침부재 밀착부(184d)가 마련되고, 받침부재 밀착부(184c)의 내측 하단부에 마스크 접촉부(184e)가 돌출 형성되고, 마스크 접촉부(184d)의 하단에 받침부재(183a)의 받침부(183b)가 삽입되는 받침부재 삽입부(184f)가 마련된 형태를 가진다.
접촉부재(184)의 마스크 접촉부(184d)의 상단면은 수평선을 기준으로 할 때에 받침부재 쪽보다 그 반대쪽이 낮은 경사면(184g)으포 구성되고, 이때 마스크 접촉부(184d)의 경사면의 경사각도(α)는 예를 들면 2°정도로 설정할 수 있다.
접촉부재(184)는 승강바(182)의 외측으로부터 체결되는 체결나사(186)을 통해 승강바(182)에 고정 설치된다.
접촉부재(184)는 마스크(200)의 손상을 최소화하기 위해 PEEK(Poly Ether Ether Ketone)과 같은 합성수지재질로 구성하는 것이 극히 바람직하다.
PEEK(Poly Ether Ether Ketone)은 연속 사용온도가 250℃에 달하며, 내열성, 내화학성, 내마모성, 기계가공성에 있어서 엔지니어링 플라스틱 가운데 최고의 성능을 가지는 첨단산업용 소재이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)는 포토레지스트리 코팅설비 등의 마스크 제작 설비에 장착되어 마스크(200)를 안정적으로 승강시킨다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)는 폭조절모터(120)를 통해 마스크(200)의 폭에 맞추어 한 쌍의 받침대(180) 사이의 거리를 조절할 수 있다.
즉, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)에 있어서 폭조절모터(120) 및 제1회전축(121)을 일방향으로 회전 작동시키게 되면 제1회전축(121)의 회전이 회전전달유니트(150)를 통해 회전이송축(191)으로 전달되고, 회전이송축(191)의 일방향 회전 또는 타방향 회전을 통해 각 이송블록(160) 및 그에 장착된 승강블록(170), 받침대(180)가 회전전달유니트(150)쪽 방향인 내측방향으로 이동하게 되어 한 쌍의 받침대(180) 사이가 좁혀지게 된다.
그리고 폭조절모터(120) 및 제1회전축(121)을 타방향으로 회전 작동시키게 되면 회전이송축(191)이 타방향 회전거나 일방향으로 회전하게 되고, 그에 따라 각 이송블록(160) 및 그에 장착된 승강블록(170), 받침대(180)가 회전전달유니트(150) 반대쪽 방향인 외측방향으로 이동하게 되어 한 쌍의 받침대(180) 사이가 벌어지게 된다.
한편, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)는 적재로봇 등의 적재수단을 통해 양 받침대(180) 사이에 적재된 마스크(200)를 안정적으로 승강시킬 수 있게 된다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)는 받침대(180)의 승강바(182)의 내측에 전후방향으로 배열 설치된 다수의 받침부재(183)에 접촉부재(184)가 설치된 형태이고, 그에 따라 적재수단을 통해 적재되는 마스크(200)가 각 접촉부재(184)의 마스크 접촉부(184d)의 상단에 접촉된다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)에서 접촉부재(184)의 마스크 접촉부(184d)의 상단면은 그에 적재되는 마스크(200)의 하단면을 기준으로 할 때에 받침부재(183) 쪽보다 그 반대쪽이 낮은 경사면(184g)으포 구성되므로 마스크(200)의 하단 양측단 부위가 선접촉 형태로 마스크 접촉부(184d)에 접촉하게 되고, 그에 따라 마스크(200)의 접촉면적이 아주 작게 되어 마스크(200)의 손상이 최소화된다.
더욱이 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)는 접촉부재(184)가 PEEK(Poly Ether Ether Ketone)과 같은 합성수지재질로 구성되어 있어서 마스크(200)의 접촉 손상이 거의 발생하지 않게 된다.
또한, 합성수지재질의 접촉부재(184)에 접촉된 마스크(200)의 하중은 승강바(182)에 견고하게 고정된 강성이 뛰어난 금속재질의 받침부재(183)를 통해 지탱될 수 있게 되므로 마스크(200)가 견고한 적재상태를 유지할 수 있게 된다.
도 7a는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 적재위치의 정면도이고, 도 7b는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치의 작업위치의 정면도이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)에서 승강모터(130)를 일방향으로 회전 작동하게 되면 도 7a의 적재위치의 마스크(200)를 도 7의 작업위치로 하강시킬 수 있게 된다.
즉, 도 7a의 적재위치에서 승강모터(130) 및 제2회전축(131)을 일방향으로 회전 작동하게 되면 제2회전축(131)의 회전이 회전전달유니트(150)를 통해 승강회전축(192) 및 그에 장착딘 구동베벨기어(194)으로 전달되고, 구동베벨기어(194)의 회전이 종동베벨기어(195) 및 승강이송축(193)로 전달되어 승강이송축(193)이 일방향으로 회전되고, 그에 따라 승강블록(170) 및 그에 장착된 받침대(180), 그리고 마스크(200)가 도 7b의 작업위치로 하강하게 된다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)에서 승강바(182)의 전방부와 후방부에 마련되는 체결볼트 삽입구멍(182a) 중의 어느 하나는 전후방향의 길이가 긴 장원형으로 형성되어 있다.
따라서 예를 들어 마스크(200)를 작업위치로 하강시키고 포토레지스트 코팅을 건조하기 위해 마스크(200)의 하부에 설치된 전열히터로 마스크(200)를 가열하는 과정에서 마스크(200)와 함께 가열되는 금속재질의 승강바(182)가 열팽창에 안정적으로 대응할 수 있게 되므로 승강바(182)의 휨이 발생되지 않게 되어 받침대(180)가 안정적으로 마스크(200)를 적재할 수 있게 된다.
도 7b의 작업위치에서 마스크(200)에 대한 건조작업 등을 마친 후에 마스크(200)를 적재위치와 동일한 하역위치로 상승시킬 때는 승강모터(130) 및 제2회전축(131)을 타방향으로 회전 작동하게 되면 제2회전축(131)의 회전이 회전전달유니트(150)를 통해 승강회전축(192) 및 그에 장착딘 구동베벨기어(194)으로 전달되고, 구동베벨기어(194)의 회전이 종동베벨기어(195) 및 승강이송축(193)로 전달되어 승강이송축(193)이 타방향으로 회전되고, 그에 따라 승강블록(170) 및 그에 장착된 받침대(180), 그리고 마스크(200)가 도 7a의 적재위치와 동일한 하역위치로 상승하게 된다.
이처럼 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 승강장치(100)는 적재위치의 마스크(200)를 작업위치로 하강시키는 동작 및 작업위치의 마스크(200)를 하역위치로 상승시키는 동작을 안정적으로 수행할 수 있게 되고, 마스크(200)의 하단 양측에서 접촉부재(184)를 통해 마스크(200)와의 최소한으로 접촉하여 마스크(200를 지지함으로써 승강과정에서 마스크(200)의 오염 및 손상을 방지할 수 있게 된다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
100 : 마스크 승강장치
110 : 베이스플레이트
120 : 폭조절모터
130 : 승강모터
140 : 이송지지대
150 : 회전전달유니트
160 : 이송블록
170 : 승강블록;
180 : 받침대

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 폭조절모터(120), 승강모터(130), 이송지지대(140), 회전절환유니트(150)가 설치되는 베이스플레이트(110);
    베이스플레이트(110)의 상단 정중앙에 설치되고, 전방과 후방으로 각각 회전전달유니트(150)에 접속되는 제1회전축(121)이 마련된 폭조절모터(120);
    베이스플레이트(110)의 상단 정중앙의 폭조절모터(120)의 상부에 설치되고, 전방과 후방으로 각각 회전전달유니트(150)에 접속되는 제2회전축(131)이 마련된 승강모터(130);
    베이스플레이트(110)의 상단 전방 양측과 상단 후방 양측에 설치되고, 내부 하부에 회전전달유니트(150)에 접속되는 회전이송축(191)이 설치되고, 내부 상부에 회전전달유니트(150)에 접속되는 승강회전축(192)이 설치되는 이송지지대(140);
    베이스플레이트(110)의 상단 전방 중앙과 상단 후방 중앙에 설치되고, 폭조절모터(120)의 제1회전축(121)의 회전을 회전이송축(191)로 전달하고, 승강조절모터(130)의 제2회전축(131)의 회전을 승강회전축(192)으로 전달하는 회전전달유니트(150);
    각 회전이송축(191)에 좌우방향으로 이송 가능하게 설치되는 이송블록(160);
    각 이송블록(160)의 내측 상부에 마련된 승강이송축(193)에 승강 가능하게 설치되는 승강블록(170);
    베이스플레이트(110)의 상단 양측 상부의 일측 전방 승강블록(170)과 일측 후방 승강블록(170) 사이 및 타측 전방 승강블록(170)과 타측 후방 승강블록(170) 사이에 설치되는 받침대(180);를 포함하고,
    받침대(180)는,
    승강블록(170)에 고정 설치되고, 승강블록(170)과 승강바(182)를 연결하는 접속축(181);
    접속축(181)의 상단에 설치되는 승강바(182);
    승강바(182)의 하단에 전후방향으로 배열 설치되는 다수의 받침부재(183);
    승강바(182)의 내측의 각 받침부재(183)의 상단에 설치되는 접촉부재(184);를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 승강장치.
  3. 제2항에 있어서,
    승강바(182)의 전방부와 후방부에 체결볼트 삽입구멍(182a)이 마련되고, 승강바(182)는 그의 상부로부터 접속축(181)에 체결되는 체결볼트(185)를 통해 접속축(181)의 상단에 체결되고, 승강바(182)의 전방부 체결볼트 삽입구멍(182a)과 후방부 체결볼트 삽입구멍(182a) 중의 어느 하나가 열팽창에 안정적으로 대응할 수 있도록 전후방향의 길이가 긴 장원형으로 형성된 것을 특징으로 하는 마스크 승강장치.
  4. 제2항에 있어서,
    승강바(182)의 하단에 전후방향으로 다수의 받침부재 삽입홈(182b)이 형성되고,
    받침부재(183)는 승강바(182)의 받침부재 삽입홈(182b)에 삽입되는 삽입부(183a)의 내측 하단부에 두께가 얇은 받침부(183b)가 돌출된 형태를 가지고,
    받침부재(183)는 삽입부(183a)의 하부로부터 체결되는 체결나사(186)를 통해 삽입부(183a)의 내측단이 승강바(182)의 내측단에서 내측방향으로 약간 돌출되도록 승강바(182)에 고정되고,
    접촉부재(184)는 승강바(182)의 내측면에 밀착되는 승강바 밀착부(184a)의 상단 외측에 승강바(182)의 상단면에 밀착되는 상부 접촉부(184b)가 돌출 형성되고, 승강바 밀착부(184a)의 내측면에 하부로 갈수록 폭이 증가하는 경사면(184c)이 형성되고, 승강바 밀착부(184a)의 하단에 승강바(182)의 내측단으로 돌출된 받침부재(183)의 삽입부(183a)와 밀착되는 받침부재 밀착부(184d)가 마련되고, 받침부재 밀착부(184c)의 내측 하단부에 마스크 접촉부(184e)가 돌출 형성되고, 마스크 접촉부(184d)의 하단에 받침부재(183a)의 받침부(183b)가 삽입되는 받침부재 삽입부(184f)가 마련된 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 승강장치.
  5. 제4항에 있어서,
    접촉부재(184)의 마스크 접촉부(184d)의 상단면은 수평선을 기준으로 할 때에 받침부재(183) 쪽보다 그 반대쪽이 낮은 경사면(184g)으포 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 승강장치.
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