KR102116450B1 - 디바이스 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 트레이가 적재되는 트레이 공급부; 및 상기 트레이 공급부에서 공급된 트레이를 냉각 또는 건조시키는 처리 장치;를 포함하되, 상기 트레이 공급부는, 트레이가 적층되는 적재부; 상기 적재부의 하부에 설치되어, 상기 적재부에 적층되어 서로 밀착된 트레이를 이격시키는 트레이 이격부; 상기 트레이 이격부의 하측에서 승하강 가능하게 배치되되, 상면에 안착되는 트레이를 그립한 상태에서 하강하여 서로 밀착된 상태의 인접한 트레이를 분리하는 트레이 분리부; 상기 트레이 분리부를 승하강시키되, 상면에 트레이가 안착된 상태의 상기 트레이 분리부를 하강시키는 트레이 승하강부; 및 상기 트레이 승하강부에 의해 하강한 트레이를 상기 처리 장치 측으로 이송시키는 이송부;를 포함하는 디바이스 처리 장치를 제공할 수 있다.

Description

디바이스 처리 장치{APPARATUS FOR DEVICE DISPOSAL}
본 발명은 디바이스 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 장비나 의료용 장비와 같은 다양한 산업 현장에서 사용되는 디바이스를 제조할 때, 전기 회로가 설치되는 디바이스(디스플레이 소자, 반도체 소자 등)는 여러 공정 과정을 거쳐 만들어진다. 구체적으로, 디스플레이소자 또는 반도체소자를 제조하는 공정에는 소자 제조용 기판 상에 여러 전기ㆍ전자회로들, 또는 기타 패턴을 형성하기 위해 포토리소그래피 공정이 진행된다. 이러한 포토리소그래피 공정은 기판 상에 감광액을 도포한 후, 빛으로 패턴을 노광하고 현상하고, 그 다음 마스크를 이용한 포토레지스트의 식각 과정을 거쳐 기판 상에 패턴을 형성하는 공정이다.
디스플레이소자 또는 반도체소자 제조 공정 중 베이킹 공정은 기판을 수십도 또는 백수십도의 온도로 가열하는 공정인데, 대표적으로 기판 상에 감광액을 도포하기 전에 기판과 감광액의 접착력을 개선하기 위해 기판의 표면에 HMDS(Hexa Methyl Di Silazane, Si2(CH3)6) 처리와 같은 일종의 화학처리를 할 때, 도포된 감광액을 고화 또는 경화시킬 때 필요하다. 특히, 도포된 감광액을 고화 또는 경화시키기 위해 수행되는 베이킹 공정 중에는 유동성 부여를 위해 감광액에 포함되어 있던 솔벤트 성분이 베이킹 공정이 진행됨에 따라 가열 기화되어 빠져나오고 감광액은 고분자 물질만 남아 포토레지스트 막으로 고형화되어 디바이스의 수율을 높인다.
또한, 베이킹 공정이 완료된 디스플레이소자 또는 반도체소자를 냉각 장치로 이송되어 냉각 공정이 이루어질 수 있다. 즉, 고온에서 베이킹 된 디스플레이소자 또는 반도체소자의 온도 균일성이 유지되도록 하여 디스플레이소자 또는 반도체소자의 수율을 높일 수 있다.
종래에는, 상기의 베이킹 공정 및 냉각 공정 진행 시, 베이킹 챔버와 냉각 챔버 각각이 구비되고, 디스플레이소자 또는 반도체소자가 한 개씩 베이킹 챔버와 냉각 첨버로 이송되어 각 공정이 진행된다. 구체적으로, 복수의 소자가 트레이에 적재된 상태에서, 트레이가 한 개씩 베이킹 챔버와 냉각 챔버에서 베이킹 및 냉각되는 방식이다. 또는, 한 개의 디스플레이소자 또는 반도체소자가 베이킹 챔버에서 베이킹되고, 베이킹 공정이 완료된 한 개의 디스플레이소자 또는 반도체소자가 냉각 챔버에서 냉각되는 방식이다. 이와 같이 트레이를 한 개씩 공급하여 베이킹 또는 냉각하는 경우, 공정 시간이 증가하게되고, 그에 따라 생산률이 저하되는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1135547호(2012.04.04)
본 발명은 고온에서 베이킹 처리된 디바이스를 대량으로 냉각시킬 수 있는 디바이스 처리 장치에 관한 것이다.
또한, 밀착되어 있는 복수의 트레이를 자동으로 분리하여 처리 장치로 공급할 수 있는 디바이스 처리 장치에 관한 것이다.
또한, 하나의 장치에서 베이킹 공정 및 냉각 공정을 진행할 수 있는 디바이스 처리 장치에 관한 것이다.
또한, 열풍, 냉풍 또는 송풍으로 디바이스에 잔류하는 수분을 제거할 수 있는 디바이스 처리 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 트레이가 적재되는 트레이 공급부; 및 상기 트레이 공급부에서 공급된 트레이를 냉각 또는 건조시키는 처리 장치;를 포함하되, 상기 트레이 공급부는, 트레이가 적층되는 적재부; 상기 적재부의 하부에 설치되어, 상기 적재부에 적층되어 서로 밀착된 트레이를 이격시키는 트레이 이격부; 상기 트레이 이격부의 하측에서 승하강 가능하게 배치되되, 상면에 안착되는 트레이를 그립한 상태에서 하강하여 서로 밀착된 상태의 인접한 트레이를 분리하는 트레이 분리부; 상기 트레이 분리부를 승하강시키되, 상면에 트레이가 안착된 상태의 상기 트레이 분리부를 하강시키는 트레이 승하강부; 및 상기 트레이 승하강부에 의해 하강한 트레이를 상기 처리 장치 측으로 이송시키는 이송부;를 포함하는 디바이스 처리 장치를 제공한다.
또한, 상기 트레이 분리부는, 상기 트레이가 안착되는 안착 플레이트; 및 상기 안착 플레이트의 양 측에 배치되어, 상기 안착 플레이트의 상면에 안착되는 트레이를 그립하여 고정하는 그립부;를 포함하는 디바이스 처리 장치를 제공할 수 있다.
또한, 상기 안착 플레이트가 상기 트레이 이격부 하측까지 상승한 상태에서, 상기 돌출부가 삽입되어, 최하층의 트레이가 상기 안착 플레이트 상면으로 낙하하면, 상기 그립부가 상기 안착 플레이트의 상면에 안착된 트레이를 고정하며, 상기 돌출부가 돌출되어 최하층의 트레이와 밀착되어 있던 다른 트레이의 하면을 지지하고, 상기 트레이 승하강부가 상기 안착 플레이트를 하강시켜서, 서로 밀착된 두 개의 트레이를 분리하는 디바이스 처리 장치를 제공할 수 있다.
또한, 상기 이송부는, 상기 안착 플레이트의 양 측에 배치되되, 상기 트레이 공급부에서 상기 처리 장치까지 배치되는 이송 레일을 포함하며, 상면에 트레이가 안착된 상태의 상기 안착 플레이트가 하강하여 상기 안착 플레이트의 상면과 상기 이송 레일의 상면이 동일 높이에 위치되면, 상기 그립부가 트레이의 고정을 해지하여 상기 이송 레일을 따라 트레이가 이송되는 디바이스 처리 장치를 제공할 수 있다.
또한, 상기 처리 장치는, 상기 이송 레일 상측에 배치되되, 상기 이송 레일을 따라 공급된 트레이가 상측으로 통과할 수 있는 개방부가 형성된 지지프레임; 및 상기 개방부의 양 측에 배치되되, 지면과 평행하게 돌출 형성되는 안착 돌기를 포함하는 적층 벨트;를 포함하되, 상기 적층 벨트가 회전함에 따라, 상기 이송 레일에 의해 공급된 트레이가 상기 안착 돌기에 안착되어, 상기 적층 벨트의 회전에 따라 트레이가 상승하는 디바이스 처리 장치를 제공할 수 있다.
또한, 상기 처리 장치는, 상기 적층 벨트와 상기 적층 벨트에 안착되는 트레이를 내부에 수용하며 상기 지지프레임의 상측에 고정되는 하우징;을 포함하되, 상기 하우징은, 냉풍 또는 열풍이 공급되는 공급부; 및 순환된 냉풍 또는 열풍이 배출되는 배출부;를 포함하는 디바이스 처리 장치를 제공할 수 있다.
또한, 상기 처리 장치에서 트레이를 공급받아, 공급받은 트레이를 냉각 또는 건조시키면서 하강시키는 서브 처리장치; 상기 처리 장치와 상기 서브 처리장치의 상측에 배치되어, 상기 처리 장치의 상부에 위치한 트레이를 상기 서브 처리장치로 이동시키는 트레이 이동부; 및 상기 서브 처리장치의 하부로 하강한 트레이를 공급받아 냉각 또는 건조가 완료된 트레이를 적재하는 배출 트레이 적재부;를 더 포함하는 디바이스 처리 장치를 제공할 수 있다.
또한, 상기 서브 처리장치는, 지면과 평행하게 돌출 형성되는 서브 안착 돌기를 포함하는 서브 적층 벨트;를 포함하되, 상기 서브 적층 벨트는, 상기 트레이 이동부에 의해 공급받은 트레이를 하강시키는 방향으로 회전하는 디바이스 처리 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 고온에서 베이킹 처리된 디바이스를 대량으로 냉각시킬 수 있다.
또한, 밀착되어 있는 복수의 트레이를 자동으로 분리하여 처리 장치로 공급할 수 있다.
또한, 하나의 장치에서 베이킹 공정 및 냉각 공정을 진행할 수 있다.
또한, 열풍, 냉풍 또는 송풍으로 디바이스에 잔류하는 수분을 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디바이스 처리 장치를 나타낸 도면
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 공급부를 나타낸 도면
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 분리부를 나타낸 도면
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 승하강부를 나타낸 도면
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 안착 플레이트에 트레이가 안착된 것을 나타낸 도면
도 11 내지 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송부를 나타낸 도면
도 15 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치를 나타낸 도면
도 19는 도 16에 따른 적층벨트의 다른 실시예를 나타낸 도면
도 20 내지 도 22는 서브 처리 장치 및 배출 트레이 적재부를 더 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 디바이스 처리 장치를 나타낸 도면
도 23 및 도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이동부를 나타낸 도면
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디바이스 처리 장치(1)를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 디바이스 처리 장치(1)는 서로 밀착되어 적층되어 있는 복수의 트레이(100)를 하나씩 분리하여 냉각 또는 건조시킬 수 있다. 본 실시예에서는, 복수의 디바이스가 트레이(100)에 안착되어 공급되는 것을 예로 들어 설명하도록 한다.
디바이스 처리 장치(1)는 트레이 공급부(10), 처리 장치(20) 및 바디부(30)를 포함할 수 있다.
트레이 공급부(10)에는 트레이(100)가 적재될 수 있다. 일 예로, 트레이 공급부(10)에는 트레이(100)가 하부에서부터 상부까지 순차적으로 적층될 수 있다.
또한, 트레이 공급부(10)는 서로 밀착되어 적재된 복수개의 트레이(100)를 한 개씩 처리 장치(20)로 공급할 수 있다. 이때, 트레이 공급부(10)는 최하층에 위치된 트레이(100)부터 순차적으로 처리 장치(20) 측으로 공급할 수 있다.
처리 장치(20)는 트레이 공급부(10)에서 공급되는 트레이(100)를 냉각 또는 건조시킬 수 있다. 일 예로, 처리 장치(20)로 공급되는 트레이(100)는 처리 장치(20)의 하부에서부터 적재된 트레이(100)부터 공급될 수 있다.
바디부(30)에는 트레이 공급부(10) 및 처리 장치(20)가 설치될 수 있다. 일 예로, 바디부(30)는 트레이 공급부(10) 및 처리 장치(20)가 설치될 수 있는 하나의 플레이트 형상으로 이루어질 수 있다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 공급부(10)를 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 트레이 공급부(10)는 설치 프레임(110), 적재부(120) 및 트레이 이격부(130)를 포함할 수 있다.
트레이 공급부(10)는 설치 프레임(110), 적재부(120) 및 트레이 이격부(130)를 포함할 수 있다.
설치 프레임(110)은 바디부(30)에 설치될 수 있다. 설치 프레임(110)은 소정 높이로 형성되어, 설치 프레임(110)의 하면이 바디부(30)의 상면과 소정 간격 이격될 수 있다. 이때, 설치 프레임(110)과 바디부(30) 사이 공간에는 이송부(160)가 설치될 수 있다.
설치 프레임(110)에는 관통부(111)가 형성될 수 있다. 관통부(111)를 통해 트레이(100)가 설치 프레임(110)을 관통하여, 설치 프레임(110)의 상측과 하측으로 승하강할 수 있다.
설치 프레임(110)의 상면에는 복수개의 적재부(120)가 설치될 수 있다.
적재부(120)에는 하나 이상의 트레이(100)가 적층될 수 있다. 구체적으로, 적재부(120)는 기둥바 형태로 형성되어, 복수개가 설치 프레임(110) 상면에 설치될 수 있다. 이때, 적재부(120)는 관통부(111)의 둘레를 따라 관통부(111) 외측에 설치될 수 있다.
예를 들어, 4개의 적재부(120)가 설치 프레임(110) 상면에 설치되되, 관통부(111)의 전방 및 후방에 2개씩 배치되고, 전방 및 후방에 배치되는 2개는 각각 좌우 방향을 따라 이격 배치될 수 있다. 다시 말해, 관통부(111)의 전방에 설치된 2개의 적재부(120)는 좌우 방향으로 이격된 상태이고, 관통부(111)의 후방에 설치된 2개의 적재부(120)는 좌우 방향으로 이격된 상태일 수 있다.
복수의 적재부(120)의 내측에는 트레이(100)가 적재될 수 있다. 즉, 복수의 적재부(120) 내측에 트레이(100)가 위치될 수 있도록, 복수의 적재부(120) 각각은 트레이(100)의 양 측면에서 트레이(100)의 꼭지점과 인접하게 배치될 수 있다.
본 실시예에서는, 트레이 공급부(10)에서 처리 장치(20) 측으로 트레이(100)가 공급되는 진행 방향을 기준으로 전후 방향을 결정하도록 한다. 즉, 트레이 공급부(10) 측의 방향이 후방인 것으로 하고, 처리 장치(20) 측이 전방인 것으로 한다. 이를 기준으로 좌우 방향이 결정될 수 있다.
여기서, 도 2 및 도 3을 참조하면, 트레이 이격부(130)는 적재부(120)에 적층된 최하층의 트레이(100)의 하면을 지지할 수 있도록, 적재부(120)의 하부 일 측에 설치될 수 있다. 트레이 이격부(130)는 적재부(120)에서 서로 밀착된 인접한 트레이(100)가 한 개씩 트레이 분리부(140)로 공급될 수 있도록, 인접한 트레이(100)를 이격시킬 수 있다.
구체적으로, 트레이 이격부(130)는 돌출부(131)와 돌출부(131)를 구동시키기 위한 실린더(미도시) 등을 수용하는 하우징 형태로 형성될 수 있다.
트레이 이격부(130)는 돌출부(131)를 포함할 수 있다.
돌출부(131)는 트레이 이격부(130) 내측에서 외측으로 돌출되거나, 내측으로 삽입될 수 있다.
이때, 돌출부(131)가 돌출되는 방향은 트레이(100)가 적재된 방향(즉, 관통부(111))측으로 돌출될 수 있다. 도면에는 도시되지 않았으나, 돌출부(131)는 실린더와 같은 구성에 의해 돌출 또는 삽입될 수 있다.
돌출부(131)가 돌출되어 트레이(100)에 형성된 오목부(101, 도 8 참조)로 인입되거나, 돌출부(131)가 트레이 이격부(130) 내부로 삽입되어 오목부(101)에서 인출될 수 있다. 따라서, 돌출부(131)는 오목부(101)와 동일 선상에 배치될 수 있다.
돌출부(131)가 돌출되면, 돌출부(131) 상측에 배치된 트레이(100)의 오목부(101)의 하면을 지지하여, 상측에 적층된 트레이(100)를 지지할 수 있다.
트레이(100)의 하면에는 오목부(101)가 형성될 수 있다. 따라서, 복수의 트레이(100)가 적층되더라도, 오목부(101)에 의해 인접한 트레이(100) 사이에 틈새가 형성될 수 있다. 오목부(101)를 통해 서로 밀착된 트레이(100)를 용이하게 분리할 수 있다.
본 발명에서는, 오목부(101)는 트레이(100)의 양 측면에서 전후 방향을 따라 서로 이격되어 형성되는 것을 예로 들어 설명하도록 한다. 이러한 경우, 트레이 이격부(130)는 트레이(100)의 측면 측에 형성될 수 있다. 예를 들어, 4개의 트레이 이격부(130)가 설치되되, 전후 방향을 따라 양 측에 2개씩 설치될 수 있다. 이때, 트레이(100)의 전방 측에 설치된 2개의 트레이 이격부(130)는 좌우 방향으로 이격된 상태이고, 트레이(100)의 후방 측에 설치된 2개의 트레이 이격부(130)는 좌우 방향으로 이격된 상태일 수 있다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 분리부(140)를 나타낸 도면이다.
도 4 내지 도 7을 참조하면, 트레이 공급부(10)는 트레이 분리부(140)를 포함할 수 있다.
트레이 분리부(140)는 밀착된 상태의 인접한 트레이(100)를 분리하여 최하층의 트레이(100)를 하강시킬 수 있다.
트레이 분리부(140)는 안착 플레이트(141), 그립퍼(142), 피스톤부(143) 및 실린더부(144)를 포함할 수 있다.
안착 플레이트(141)는 관통부(111)를 통해 설치 프레임(110)의 상측과 하측 사이에서 승하강할 수 있다. 특히, 안착 플레이트(141)는 트레이 이격부(130)의 하측까지 상승 가능하다.
안착 플레이트(141)의 상면에는 트레이(100)가 안착될 수 있다. 안착 플레이트(141)는 트레이(100)의 전후 방향을 따른 길이보다 소정 길이 짧게 형성될 수 있으며, 안착 플레이트(141)의 좌우 방향을 따른 폭은 트레이(100)의 폭보다 좁게 형성될 수 있다.
안착 플레이트(141)가 트레이 이격부(130)의 하측까지 상승된 상태에서, 최하층의 트레이(100)를 지지하고 있던 돌출부(131)가 트레이 이격부(130) 내측으로 삽입되면, 최하층의 트레이(100)가 소정 높이 낙하하여 안착 플레이트(141)의 상면에 안착될 수 있다.
이 상태에서, 돌출부(131)가 다시 돌출되어, 안착 플레이트(141)의 상면에 안착된 트레이(100) 위층에서 밀착되어 있던 트레이(100)의 오목부(101)로 인입될 수 있다.
다시 말해, 최하층에 배치되어 있던 트레이(100)가 안착 플레이트(141) 상면으로 낙하된 상태에서, 그 위층 트레이(100)의 오목부(101)로 돌출부(101)가 인입될 수 있다.
따라서, 최하층에 배치되어 있던 트레이(100)만 안착 플레이트(141)의 상면에 지지된 상태이고, 그 위층에 적층되어 있던 트레이(100)들은 돌출부(101)에 지지된 상태가 된다.
그립퍼(142)는 안착 플레이트(141)에 안착된 트레이(100)를 그립할 수 있다. 구체적으로, 그립퍼(142)는 트레이(100)의 전방부와 후방부에 각각 밀착되어 트레이(100)를 안착 플레이트(141)상면에 위치 고정할 수 있다.
그립퍼(142)는 안착 플레이트(141)의 전방과 후방 각각에 배치되어, 피스톤부(143)와 실린더부(144)에 의해 전후 방향을 따라 이동될 수 있다.
그립퍼(142)는 지지부(1421), 밀착부(1422), 가압부(1423) 및 마찰부(1424)를 포함할 수 있다.
지지부(1421)은 안착 플레이트(141)의 전방 하측면과 후방 하측면 각각을 지지할 수 있다.
밀착부(1422)은 지지부(1421)에서 상방으로 돌출 형성되어, 안착 플레이트(141)의 전방 측면과 후방 측면 각각과 밀착될 수 있다.
가압부(1423)는 밀착부(1422)의 상부에서 서로 반대측 방향의 그립퍼(142) 측으로 돌출될 수 있다. 이때, 안착 플레이트(141)의 전방과 후방에 배치된 한 쌍의 밀착부(1422) 각각에 2개의 가압부(1423)가 서로 이격되어 돌출될 수 있다.
구체적으로, 안착 플레이트(141)의 전방에 배치된 그립퍼(142)의 가압부(1423)는 후방 측으로 돌출 형성되고, 안착 플레이트(141)의 후방에 배치된 그립퍼(142)의 가압부(1423)는 전방 측으로 돌출 형성될 수 있다.
안착 플레이트(141)의 전방과 후방에 배치된 한 쌍의 가압부(1423)가 서로 인접한 방향으로 이동되면, 한 쌍의 가압부(1423)가 안착 플레이트(141)의 상면에 위치된 트레이(100)의 전방 단부와 후방 단부를 가압할 수 있다. 따라서, 트레이(100)가 안착 플레이트(141) 상면에 고정될 수 있다.
반대로, 한 쌍의 가압부(1423)가 서로 이격한 방향으로 이동되면, 트레이(100)가 안착 플레이트(141) 상면에 위치된 상태가 유지되며, 고정된 상태는 아닐 수 있다.
마찰부(1444)는 가압부(1423)의 단면에서 함몰부와 돌기가 교번하여 반복 형성되어, 트레이(100)와 가압부(1423) 단부 사이에 마찰력을 높임으로써, 트레이(100)의 고정력을 높일 수 있다.
이처럼, 그립퍼(142)가 안착 플레이트(141) 상면에 안착된 트레이(100)를 고정한 상태에서, 안착 플레이트(141)가 하강할 수 있다.
이 상태에서, 안착 플레이트(141)가 하강하게 되면, 안착 플레이트(141)의 상면에 안착된 트레이(100)와 돌출부(131)에 의해 지지되는 트레이(100)가 서로 분리될 수 있다.
즉, 안착 플레이트(141) 상면에서 그립퍼(142)에 의해 고정된 트레이(100)는 안착 플레이트(141)의 하강과 함께 하강하게 되고, 돌출부(131)에 의해 지지된 트레이(100)는 돌출부(131) 상측에 적재된 상태가 된다.
이와 같은 방법으로, 트레이 이격부(130)와 트레이 분리부(140)를 통해 밀착된 상태의 트레이(100)를 분리할 수 있다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 승하강부(150)를 나타낸 도면이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 안착 플레이트(141)에 트레이(100)가 안착된 것을 나타낸 도면이다.
도 8 내지 도 10을 참조하면, 트레이 공급부(10)는 트레이 승하강부(150)를 포함할 수 있다.
트레이 승하강부(150)는 안착 플레이트(141)의 하부에 연결되어, 안착 플레이트(141)를 승하강시킬 수 있다.
트레이 승하강부(150)는 실린더(151), 샤프트(152), 연결 플레이트(153), 및 연결축(154)을 포함할 수 있다.
실린더(151)는 샤프트(152)를 승하강시킬 수 있다.
샤프트(152)는 실린더(151)와 연결되어, 승하강 가능하게 배치되되, 바디부(30)를 관통할 수 있다.
연결 플레이트(153)는 바디부(30)의 하측에서 샤프트(152)의 소정 높이에 고정되는 플레이트일 수 있다.
연결축(154)은 연결 플레이트(153)의 상면에 고정되어, 바디부(30)를 관통하여 안착 플레이트(141)의 하면에 고정될 수 있다.
트레이 승하강부(150)의 작동 방법은 아래와 같다.
샤프트(152)가 승하강함에 따라, 연결 플레이트(153)가 승하강하고, 연결 플레이트(153)가 승하강함에 따라 연결축(154)이 승하강할 수 있다. 이처럼, 연결축(154)이 승하강함에 따라 연결축(154)과 연결된 안착 플레이트(141)가 승하강 할 수 있다.
이때, 안착 플레이트(141)는 트레이 이격부(130)의 하부에서부터 이송레일(161)의 상부 사이를 승하강할 수 있다.
도 11 내지 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송부(160)를 나타낸 도면이다.
도 11 내지 도 14를 참조하면, 트레이 공급부(10)는 이송부(160)를 포함할 수 있다.
이송부(160)는 트레이 공급부(10)에서 공급된 트레이(100)를 처리 장치(20)까지 이송시킬 수 있다. 이송부(160)는 바디부(30)의 하측에 배치될 수 있다.
이송부(160)는 이송레일(161) 및 구동부(162)를 포함할 수 있다.
이송레일(161)은 안착 플레이트(141)의 좌우 방향을 따라 양 측에 배치되되, 트레이(100) 폭 내에서 배치될 수 있다.
이송레일(161)은 트레이 공급부(10) 하측에서부터 처리 장치(20) 하측까지 연결되도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 트레이 공급부(10)의 관통부(111)에서부터 처리 장치(20)의 개방부(211)까지 배치될 수 있다.
또한, 이송레일(161)은 안착 플레이트(141)가 하강한 상태일 때 동일 높이 또는 안착 플레이트(141) 보다 소정 높이 높게 위치되는 높이로 배치될 수 있다.
구동부(162)는 이송레일(161)을 회전시킬 수 있다. 이때, 이송레일(161)이 회전하는 방향은 전방 측으로 회전되어, 트레이 공급부(10)에서 공급된 트레이(100)를 처리 장치(20)로 공급할 수 있다.
이하에서는, 도 1 내지 도 14에서 상술한 트레이 공급부(10)의 작동 과정에 대해 설명하도록 한다.
먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 적재부(120)에 트레이(100)가 적재된 상태에서, 돌출된 상태의 돌출부(131)가 적층된 트레이(100) 중 최하층에 있는 트레이(100)의 오목부(101)의 하면을 지지할 수 있다.
돌출부(131)가 최하층의 트레이(100)를 지지하는 상태에서, 도 9에 도시된 바와 같이, 트레이 승하강부(150)가 안착 플레이트(141)를 상승시킬 수 있다.
안착 플레이트(141)가 트레이 이격부(130)의 하측까지 상승된 상태에서, 도 3과 같이, 최하층의 트레이(100)를 지지하고 있던 돌출부(131)가 트레이 이격부(130) 내측으로 삽입되면, 최하층의 트레이(100)가 소정 높이 낙하하여 안착 플레이트(141)의 상면에 안착될 수 있다. 이 상태에서, 돌출부(131)가 돌출되어, 안착 플레이트(141)의 상면에 안착된 트레이(100) 위층에서 밀착되어 있던 트레이(100)의 오목부(101)로 인입될 수 있다.
따라서, 최하층에 배치되어 있던 트레이(100)만 안착 플레이트(141)의 상면에 지지된 상태이고, 그 위층에 적층되어 있던 트레이(100)들은 돌출부(101)에 지지된 상태가 된다.
이후, 도 7에 도시된 바와 같이, 그립퍼(142)가 트레이(100)의 전방부와 후방부에 각각 밀착되어 트레이(100)를 안착 플레이트(141)상면에 위치 고정할 수 있다.
안착 플레이트(141)에 안착된 트레이(100)를 그립퍼(142)가 고정한 상태에서, 트레이 승하강부(150)가 안착 플레이트(141)를 하강시킬 수 있다.
도 10과 같이, 트레이 승하강부(150)가 안착 플레이트(141)를 적어도 이송레일(161)의 높이까지 하강시킬 수 있다.
안착 플레이트(141)가 이송레일(161)와 동일 높이까지 하강하면, 안착 플레이트(141)에 고정된 트레이(100)의 양 측 단부가 양 측의 이송레일(161)에 위치될 수 있다.
이 상태에서, 한 쌍의 그립퍼(142)가 서로 이격되어, 트레이(100)의 고정을 해지하면, 도 11에 도시된 바와 같이, 트레이(100)는 전방 측으로 회전하는 이송레일(161)을 따라 처리 장치(20) 측으로 이송될 수 있다.
도 15 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리 장치(20)를 나타낸 도면이다.
도 15 내지 도 18을 참조하면, 처리 장치(20)는 지지 프레임(210), 하우징(220), 적층 벨트(230) 및 동력부(240)를 포함할 수 있다.
지지 프레임(210)은 이송레일(161) 상측에 배치될 수 있다. 지지 프레임(210)에는 이송레일(161)을 따라 공급된 트레이(100)가 상측으로 통과할 수 있도록 형성된 개방부(211)가 형성될 수 있다.
하우징(220)은 지지 프레임(210)의 상측에 고정되되, 적층 벨트(230)와 적층 벨트(230)에 안착되는 트레이(100)를 내부에 수용할 수 있는 내부 공간을 포함할 수 있다.
즉, 하우징(220)은 지지 프레임(210)의 상측에 고정되어, 하우징(220)의 내부에는 적층 벨트(230) 등의 구성들이 수용될 수 있다.
하우징(220)은 공급부(221) 및 배출부(222)를 포함할 수 있다.
공급부(221)는 하우징(220)의 일 측면에 형성된 통공으로써, 하우징(220) 내부로 냉풍 또는 열풍을 공급할 수 있다. 일 예로, 공급부(221)는 100mm 크기의 파이프 홀로서, 외측으로 돌출 형성되어, 외부 냉동기(또는 보텍스 튜브) 또는 열풍기 등과 연결될 수 있다. 이 경우, 공급부(221)를 통해 냉각 시에는 냉풍이 상시 공급되고, 건조 시에는 열풍이 상시 공급될 수 있다.
배출부(222)는 하우징(220)의 일 측면에 형성된 통공으로써, 하우징(220) 내부를 순환한 냉풍 또는 열풍이 배출될 수 있다. 일 예로, 배출부(222)는 외측으로 돌출 형성될 수 있다.
적층 벨트(230)는 개방부(211)의 전후 방향을 따라 양 측에 배치될 수 있다. 이때, 적층 벨트(230)는 지지 프레임(210) 및 바디부(30)를 관통하여, 바디부(30)의 하부에 배치된 동력부(240)에 연결될 수 있다.
예를 들어, 총 4개의 적층 밸트(230)가 배치되되, 적층 벨트(230)는 개방부(211)의 전후 방향에 2개씩 배치될 수 있다. 전방에 배치된 2개의 적층 벨트(230)는 좌우 방향으로 서로 이격되어 배치될 수 있고, 후방에 배치된 2개의 적층 벨트(230)는 좌우 방향으로 서로 이격되어 배치될 수 있다.
적층 벨트(230)는 고무로 이루어질 수도 있고, 금속 재질의 체인으로 이루어질 수도 있다. 예를 들어, 저온에서 사용되는 적층 벨트(230)는 고무로 형성되고, 고온에서 사용되는 적층 벨트(230)는 금속으로 형성될 수 있다.
적층 벨트(230)는 안착 돌기(231)를 포함할 수 있다.
안착 돌기(231)에 트레이(100)가 안착될 수 있다.
안착 돌기(231)는 적층 벨트(230)에서 지면과 평행하게 돌출되도록 배치될 수 있다. 안착 돌기(231)는 복수개가 적층 벨트(230)의 길이 방향을 따라 소정 간격 이격 배치될 수 있다. 일 예로, 안착 돌기(231)의 이격 간격은 20mm일 수 있다. 다만 이에 한정되는 것은 아니며, 인접한 안착 돌기(231) 사이에 트레이(100)가 지지될 수 있는 간격 및 인접한 안착 돌기(231) 각각에 지지된 두 개의 트레이(100)가 서로 소정 간격 이격될 수 있는 이격 거리로 형성될 수 있다.
일 예로, 적층 벨트(230)와 안착 돌기(231)는 어태치먼트 벨트의 구성으로 이루어질 수 있다.
적층 벨트(230)는 안착 돌기(231)에 안착되는 트레이(100)를 상승시키는 방향으로 회전할 수 있다. 일 예로, 도 16을 참조하여 설명하면, 좌우 방향을 따라 서로 마주보는 적층 벨트(230)는 서로 반대 방향으로 회전할 수 있다. 일 예로, 좌측에 배치된 2개의 적층 벨트(230)는 시계 방향을 따라 회전하고, 우측에 배치된 2개의 적층 벨트(230)는 반시계 방향을 따라 회전할 수 있다. 따라서, 안착 돌기(231)에 지지된 트레이(100)가 상승될 수 있다.
여기서, 도 17을 참조하면, 동력부(240)는 기어(241), 기어박스(242) 및 서보모터(243)를 포함할 수 있다.
기어(241)는 4개의 적층 벨트(230) 각각의 상부과 하부에 배치되어, 적층 벨트(230)를 회전시킬 수 있다. 일 예로, 적층 벨트(230) 상부에 배치되는 기어(241)는 하우징(220) 내측에 배치되고, 적층 벨트(230) 하부에 배치되는 기어(241)는 바디부(30) 하측에 배치될 수 있다.
기어박스(242)는 바디부(30) 하면에 고정될 수 있다. 기어박스(242)는 적층 벨트(230)의 하부와 연결된 기어(241)와 연결될 수 있다. 기어박스(242)는 샤프트에 의해 기어(241)와 연결될 수 있다. 기어박스(242)에는 적층 벨트(230)와 연결된 기어(241)를 회전시키기 위한 구성들이 내장될 수 있다.
구체적으로, 기어박스(242)는 2개가 배치될 수 있다. 하나의 기어박스(242)는 좌측에 배치된 2개의 기어(241)와 연결될 수 있고, 다른 하나의 기어박스(242)는 우측에 배치된 2개의 기어(241)와 연결될 수 있다.
서보모터(243)는 2 개의 기어박스(242)와 연결되어, 기어박스(242)와 연결된 기어(241)를 구동시킬 수 있다. 서보모터(243)는 기어(241)를 회전시킬 수 있는 모터(미도시)와 제어를 위한 제어 보드(미도시)를 포함할 수 있다.
예를 들어, 서보모터(243)는 좌측에 배치된 2개의 기어(241)와 연결된 기어박스(242)를 통해, 좌측의 기어(241)를 시계 방향으로 회전시킬 수 있다. 마찬가지로, 서보모터(243)는 우측에 배치된 2개의 기어(241)와 연결된 기어박스(242)를 통해, 우측의 기어(241)를 반시계 방향으로 회전시킬 수 있다.
이러한 서보모터(243)의 제어에 따라 기어(241)가 회전하여, 적층 벨트(230)가 안착 돌기(231)에 안착되는 트레이(100)를 상승시키는 방향으로 회전될 수 있다.
도 19는 도 16에 따른 적층 벨트(230)의 다른 실시예를 나타낸 도면이다.
도 19를 참조하면, 안착 돌기(231)는 적층 벨트(230)의 일부 둘레에만 형성될 수 있다. 즉, 안착 돌기(231)가 배치된 적층 벨트(230)의 일측에만 트레이(100)가 안착될 수 있다. 안착 돌기(231)가 배치되지 않은 적층 벨트(230)의 면적에는 트레이(100)가 적층되지 않을 수 있다.
이하에서는, 상술한 처리 장치(20)의 구성에 의한 작동에 대해서 설명하도록 한다.
먼저, 도 13 및 도 14를 참조하면, 이송레일(161)을 따라 트레이(100)가 처리 장치(20)의 개방부(211) 하측으로 공급될 수 있다. 이 상태에서, 적층 벨트(230)가 회전함에 따라, 적층 벨트(230)에서 돌출 형성된 안착 돌기(231)에 트레이(100)의 하면이 안착되고, 이 상태에서 적층 벨트(230)가 회전하면서 안착 돌기(231)에 트레이(100)가 지지된 상태로, 트레이(100)가 상승할 수 있다.
이후, 이송레일(161)을 따라 다른 트레이(100)가 계속해서 공급되고, 적층 벨트(230)가 계속해서 회전함에 따라, 다른 안착 돌기(231)에 다른 트레이(100)가 지지될 수 있다.
상기와 같은 과정에 의해, 도 16 및 도 17과 같이, 적층 벨트(230)의 안착 돌기(231) 각각에 트레이(100)가 안착되어, 복수의 트레이(100)가 서로 소정 간격 이격된 상태로 적층될 수 있다.
이 상태에서, 공급부(221)를 통해 냉풍 또는 열풍이 공급되어, 트레이(100)가 냉각 또는 건조될 수 있다. 하우징(220) 내부에서 순환된 공기는 배출부(222)를 통해 배출될 수 있다.
이 경우, 복수의 트레이(100)가 서로 일정한 간격으로 이격되어 있기 때문에, 트레이(100) 각각의 상면과 하면 모두가 외부에 노출된다. 이러한 트레이(100)의 상면과 하면 모두에 냉풍 또는 열풍이 접촉하며 공정이 이루어지기 때문에, 냉각 또는 건조 공정이 균일하고 효율적으로 이루어질 수 있게 된다.
도 20 내지 도 22는 서브 처리 장치(20') 및 배출 트레이 적재부(10')를 더 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 디바이스 처리 장치(1)를 나타낸 도면이고, 도 23 및 도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이동부(40)를 나타낸 도면이다.
도 20 내지 도 24를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디바이스 처리 장치(1)는 서브 처리장치(20'), 트레이 이동부(40) 및 배출 트레이 적재부(10')를 더 포함할 수 있다.
이러한 경우, 하우징(220)은 처리 장치(20)와 서브 처리장치(20')를 내측에 동시에 수용할 수 있다. 따라서, 하나의 공급부(221)와 배출부(222)를 통해 냉풍 또는 열풍을 공급하고 순환된 공기를 배출할 수 있다.
서브 처리장치(20')는 처리 장치(20)에서 트레이(100)를 공급받아, 공급받은 트레이(100)를 냉각 또는 건조시키면서 하강시킬 수 있다.
서브 처리장치(20')는 처리 장치(20)와 동일한 구성 및 동일한 기능을 하되, 서브 처리장치(20')는 처리 장치(20)에서 공급받은 트레이(100)를 하강시키는 점에서 차이가 있다.
즉, 처리 장치(20)의 적층 벨트(230)는 적층되는 트레이(100)를 상승시키는 방향으로 회전하고, 서브 처리장치(20')의 적층 벨트(230)는 적층되는 트레이(100)를 하강시키는 방향으로 회전할 수 있다.
여기서, 도 22를 참조하면, 처리 장치(20)와 서브 처리장치(20')는 하나의 동력부(240)에 의해 작동될 수 있다.
동력부(240)는 기어(241, 241'), 기어박스(242) 및 서보모터(243)를 포함할 수 있다.
처리 장치(20)의 기어(241)는 4개의 적층 벨트(230) 각각의 상부과 하부에 배치되어, 적층 벨트(230)를 회전시킬 수 있다. 마찬가지로, 서브 처리장치(20')의 기어(241')는 적층 벨트(230') 각각의 상부과 하부에 배치되어, 적층 벨트(230')를 회전시킬 수 있다.
기어박스(242)는 바디부(30) 하면에 고정될 수 있다. 기어박스(242)는 적층 벨트(230, 230')의 하부에 연결된 기어(241, 241')와 연결될 수 있다. 기어박스(242)는 샤프트에 의해 기어(241, 241')와 연결될 수 있다. 기어박스(242)에는 적층 벨트(230, 230')와 연결된 기어(241, 241')를 회전시키기 위한 구성들이 내장될 수 있다.
구체적으로, 기어박스(242)는 2개가 배치될 수 있다. 하나의 기어박스(242)는 좌측에 배치된 처리 장치(20)의 2개의 기어(241) 및 서브 처리장치(20')의 2개의 기어(241')와 연결될 수 있다. 다른 하나의 기어박스(242)는 우측에 배치된 처리 장치(20)의 2개의 기어(241) 및 서브 처리장치(20')의 2개의 기어(241')와 연결될 수 있다.
서보모터(243)는 2 개의 기어박스(242)와 연결되어, 기어박스(242)와 연결된 기어(241)를 구동시킬 수 있다. 서보모터(243)는 기어(241)를 회전시킬 수 있는 모터(미도시)와 제어를 위한 제어 보드(미도시)를 포함할 수 있다.
예를 들어, 서보모터(243)는 좌측에 배치된 처리 장치(20)의 2개의 기어(241)를 시계 방향으로 회전시키고, 좌측에 배치된 서브 처리장치(20')의 2개의 기어(241)를 반시계 방향으로 회전시킬 수 있다. 또한, 서보모터(243)는 우측에 배치된 처리 장치(20)의 2개의 기어(241)를 반시계 방향으로 회전시키고, 서브 처리장치(20')의 2개의 기어(241')를 시계 방향으로 회전시킬 수 있다.
이러한 서보모터(243)의 제어에 따라 기어(241)가 회전하여, 처리 장치(20)의 적층 벨트(230)는 안착 돌기(231)에 안착되는 트레이(100)를 상승시키고, 서브 처리장치(20')의 적층 벨트(230)는 안착 돌기(231)에 안착되는 트레이(100)를 하강시킬 수 있다.
트레이 이동부(40)는 처리 장치(20)와 서브 처리장치(20')의 상측에 배치되도록 하우징(220)에 설치되어, 처리 장치(20)의 최상층에 위치한 트레이(100)를 서브 처리장치(20')로 이동시킬 수 있다.
여기서, 도 23 및 도 24를 참조하면, 트레이 이동부(40)는 가이드 레일(41), 이동 블록(42) 및 그립퍼(43)를 포함할 수 있다.
가이드 레일(41)은 처리 장치(20)에서부터 서브 처리장치(20')까지 배치될 수 있다.
이동 블록(42)은 가이드 레일(41)에서 이동 가능하게 설치되어, 처리 장치(20)의 상측에서부터 서브 처리장치(20')의 상측 사이를 왕복 이동 가능하게 설치될 수 있다.
그립퍼(43)는 이동 블록(42)의 좌우 양측에 배치될 수 있다. 이때, 좌우 양측에 배치되는 그립퍼(43)가 이격되는 거리는 트레이(100)의 좌우 방향을 따른 길이 이상으로 이격될 수 있다.
양 측에 배치된 그립퍼(43)는 이동 블록(42)에 설치된 상태에서 동력장치의 작동에 의해 서로 인접해지거나 이격되는 방향으로 이동할 수 있다.
양 측의 그립퍼(43)가 서로 인접되도록 이동하여, 처리 장치(20)의 최상층에 위치된 트레이(100)를 그립할 수 있다. 그립퍼(43)가 트레이(100)를 그립한 상태에서 이동 블록(42)이 가이드 레일(41)을 따라 서브 처리장치(20') 측으로 이동할 수 있다.
이 상태에서, 양 측에 배치된 그립퍼(43)가 서로 이격되면서 트레이(100)가 서브 처리장치(20')의 최상부에 위치한 안착 돌기(231)에 안착될 수 있다.
이후, 서브 처리장치(20')의 서브 적층 벨트(230')는 트레이(100)가 하강하는 방향으로 회전하고, 서브 처리장치(20')의 서브 적층 벨트(230')가 회전함에 따라, 서브 적층 벨트(230')의 다른 서브 안착 돌기(231')에 다른 트레이(100)가 지지될 수 있다.
상기와 같은 과정의 반복을 통해, 서브 처리장치(20')에는 복수개의 트레이(100)가 적층될 수 있다.
배출 트레이 적재부(10')는 상술한 트레이 공급부(10)와 대응되는 구성을 포함할 수 있다.
이때, 배출 트레이 적재부(10')의 이송부(160)는 서브 처리장치(20')에서부터 배출 트레이 적재부(10')까지 배치될 수 있다. 따라서, 서브 처리장치(20')에서 하강하여 공급된 트레이(100)는 배출 트레이 적재부(10')의 이송부(160)를 따라 적재부(120)로 공급될 수 있다.
마찬가지로, 안착 플레이트(141)에 트레이(100)가 안착되고, 트레이 승하강부(150')가 상승시켜서 트레이 이격부(130)의 돌출부(131)에 안착시킬 수 있다. 이에, 배출 트레이 적재부(10')에 트레이(100)가 적재될 수 있다.
이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허 청구 범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
1: 디바이스 처리 장치 100: 디바이스
101: 오목부 10: 트레이 공급부
110: 설치 프레임 111: 개방부
120: 적재부 130: 트레이 이격부
131: 돌출부 140: 트레이 분리부
141: 안착 플레이트 142: 그립퍼
1421: 지지부 1422: 밀착부
1423: 가압부 1424: 마찰부
143: 피스톤부 144: 실린더부
150: 트레이 승하강부 151: 실린더
152: 샤프트 153: 연결 플레이트
154: 연결축 160: 이송부
161: 이송레일 162: 구동부
20: 처리 장치 210: 지지 프레임
211: 개방부 220: 하우징
221: 공급부 222: 배출부
230: 적층 벨트 231: 안착 돌기
240: 동력부 241: 기어
242: 기어박스 243: 서보모터
30: 바디부 40: 트레이 이동부
41: 가이드 레일 42: 이동 블록
43: 그립퍼 20': 서브 처리장치
10': 배출 트레이 적재부

Claims (8)

  1. 트레이가 적재되는 트레이 공급부; 및
    상기 트레이 공급부에서 공급된 트레이를 냉각 또는 건조시키는 처리 장치;
    상기 처리 장치에서 트레이를 공급받아, 공급받은 트레이를 냉각 또는 건조시키면서 하강시키는 서브 처리장치;
    상기 처리 장치와 상기 서브 처리장치의 상측에 배치되어, 상기 처리 장치의 상부에 위치한 트레이를 상기 서브 처리장치로 이동시키는 트레이 이동부; 및
    상기 서브 처리장치의 하부로 하강한 트레이를 공급받아 냉각 또는 건조가 완료된 트레이를 적재하는 배출 트레이 적재부;를 더 포함하되,
    상기 트레이 공급부는,
    트레이가 적층되는 적재부;
    상기 적재부의 하부에 설치되어, 상기 적재부에 적층되어 서로 밀착된 트레이를 이격시키는 트레이 이격부;
    상기 트레이 이격부의 하측에서 승하강 가능하게 배치되되, 상면에 안착되는 트레이를 그립한 상태에서 하강하여 서로 밀착된 상태의 인접한 트레이를 분리하는 트레이 분리부;
    상기 트레이 분리부를 승하강시키되, 상면에 트레이가 안착된 상태의 상기 트레이 분리부를 하강시키는 트레이 승하강부; 및
    상기 트레이 승하강부에 의해 하강한 트레이를 상기 처리 장치 측으로 이송 시키는 이송부;를 포함하는 디바이스 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 트레이 분리부는,
    상기 트레이가 안착되는 안착 플레이트; 및
    상기 안착 플레이트의 양 측에 배치되어, 상기 안착 플레이트의 상면에 안착되는 트레이를 그립하여 고정하는 그립부;를 포함하는 디바이스 처리 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 안착 플레이트가 상기 트레이 이격부 하측까지 상승한 상태에서, 상기 트레이 이격부의 돌출부가 삽입되어, 최하층의 트레이가 상기 안착 플레이트 상면으로 낙하하면,
    상기 그립부가 상기 안착 플레이트의 상면에 안착된 트레이를 고정하며, 상기 돌출부가 돌출되어 최하층의 트레이와 밀착되어 있던 다른 트레이의 하면을 지지하고,
    상기 트레이 승하강부가 상기 안착 플레이트를 하강시켜서, 서로 밀착된 두 개의 트레이를 분리하는 디바이스 처리 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 안착 플레이트의 양 측에 배치되되, 상기 트레이 공급부에서 상기 처리 장치까지 배치되는 이송 레일을 포함하며,
    상면에 트레이가 안착된 상태의 상기 안착 플레이트가 하강하여 상기 안착 플레이트의 상면과 상기 이송 레일의 상면이 동일 높이에 위치되면,
    상기 그립부가 트레이의 고정을 해지하여 상기 이송 레일을 따라 트레이가 이송되는 디바이스 처리 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 처리 장치는,
    상기 이송 레일 상측에 배치되되, 상기 이송 레일을 따라 공급된 트레이가 상측으로 통과할 수 있는 개방부가 형성된 지지프레임; 및
    상기 개방부의 양 측에 배치되되, 지면과 평행하게 돌출 형성되는 안착 돌기를 포함하는 적층 벨트;를 포함하되,
    상기 적층 벨트가 회전함에 따라, 상기 이송 레일에 의해 공급된 트레이가 상기 안착 돌기에 안착되어, 상기 적층 벨트의 회전에 따라 트레이가 상승하는 디바이스 처리 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 처리 장치는,
    상기 적층 벨트와 상기 적층 벨트에 안착되는 트레이를 내부에 수용하며 상기 지지프레임의 상측에 고정되는 하우징;을 포함하되,
    상기 하우징은,
    냉풍 또는 열풍이 공급되는 공급부; 및
    순환된 냉풍 또는 열풍이 배출되는 배출부;를 포함하는 디바이스 처리 장치.
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 서브 처리장치는,
    지면과 평행하게 돌출 형성되는 서브 안착 돌기를 포함하는 서브 적층 벨트;를 포함하되,
    상기 서브 적층 벨트는,
    상기 트레이 이동부에 의해 공급받은 트레이를 하강시키는 방향으로 회전하는 디바이스 처리 장치.
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