KR101437937B1

KR101437937B1 - 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치

Info

Publication number: KR101437937B1
Application number: KR1020130078197A
Authority: KR
Inventors: 백운영; 노정훈
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2013-07-04
Filing date: 2013-07-04
Publication date: 2014-09-11

Abstract

본 발명은 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치에 관한 것으로, 세정 및 열건조된 마스크를 수평 이송하는 수평이송부와, 상기 수평이송부에 의해 이송된 마스크를 적재하여 수직방향으로 이동시키는 다단버퍼부와, 상기 다단버퍼부를 상하로 이동시키는 수직이동부와, 상기 다단버퍼부가 하향 이동할 때 상기 다단버퍼부에 적재된 마스크가 간섭되지 않도록 상기 수평이송부를 상기 다단버퍼부로부터 멀어지는 방향으로 수평이동시키는 좌우이동부를 포함한다. 본 발명은 건조 후 수평으로 이송된 마스크를 그 이송방향에 대하여 수직방향으로 이동시킨 상태에서 마스크를 냉각시킴으로써, 마스크의 냉각을 위하여 수평 이송형 마스크 세정장비의 면적이 증가 되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치{Horizontal transfer type mask cleaning device}

본 발명은 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 장치의 면적을 줄일 수 있는 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치에 관한 것이다.

일반적으로 유기발광 표시소자(Organic Luminescent Emission Diode)는 전자와 정공의 재결합으로 형광체를 발광시키는 자발광 소재인 유기발광층을 이용한 것으로, 콘트라스트 비와 응답속도 등의 특성이 우수하며, 기존의 LCD나 PDP에 비하여 휨이 가능한 표시장치의 구현에 적합한 것으로 알려져 있다.

유기발광 표시소자는 다수의 화소 영역이 매트릭스형으로 배열되어 있으며, 각 화소에는 화소를 구동하기 위한 마이크로 패턴이 마련되어 있다. 이때 광을 발생시키는 유기 발광층의 경우 내화학성이 취약한 유기물질이기 때문에 종래 디스플레이 장치에 사용하던 사진식각에 의한 패턴의 형성이 어렵다.

따라서 유기물을 증착할 때 마스크를 사용하여, 기화된 유기물이 특정 패턴으로 증착될 수 있도록 하는 방법을 사용하고 있다.

상기 유기발광 표시소자의 유기발광층을 형성하기 위해 사용하는 마스크의 표면에도 유기물이 증착되기 때문에 그 마스크를 주기적으로 세정할 필요가 있다.

종래 유기발광 표시소자 증착용 마스크를 세정하는 장치는, 공개특허 10-2009-0073455호(공개일자 2009년 7월 3일, 유기발광 표시소자 증착용 마스크의 세정장비와 이를 이용한 마스크 세정방법)에 공개된 바와 같이 마스크를 지그에 결합한 상태로 로봇으로 이송하면서, 다수의 세정조에 순차적으로 침지하는 방식을 사용하고 있다. 그러나 이러한 방식은 세정공정에 필요한 시간이 상대적으로 많이 소요될 뿐만 아니라 대면적의 유기발광 표시소자를 제조하기 위해 사용되는 마스크의 크기가 커지고 그에 따라 무게가 증가하게 되면서, 필요한 이송로봇과 세정조들의 용량이 커지게 되는 문제점이 있었다.

또한 현재의 기술에 비하여 앞으로 더 큰 면적인 유기발광 표시소자를 제조하기 위해서는 상기 이송로봇들과 세정조들을 모두 교체하거나, 새로운 생산라인을 갖춰야 하기 때문에 설비 투자비용이 많이 소요되는 문제점이 있었다.

이러한 문제점들을 감안하여 시장에서는 마스크를 수평으로 이송하면서 세정, 건조 및 검사를 수행할 수 있는 세정장비의 개발이 요구되고 있다. 특히 마스크를 건조할 때 가열된 마스크를 검사하기 위해서는 냉각시킬 필요가 있으나, 냉각까지는 시간이 소요되어 수평 방향으로 냉각이 될 때까지 이송해야 하기 때문에 장비의 면적이 증가하게 되는 문제점을 예측할 수 있다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 유기발광 표시소자 제조에 사용되는 마스크의 크기가 커지고, 무게가 증가하는 것에 무관하게 적용할 수 있는 수평 이송형 마스크 세정장비에 적용하여, 건조과정에서 가열된 마스크를 좁은 면적 내에서 효과적으로 냉각시킬 수 있는 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치를 제공함에 있다.

아울러 본 발명은 건조 후 가열된 마스크가 냉각될 때까지 시간이 소요됨에 따라 세정, 건조 및 검사과정의 진행이 지체되는 것을 방지할 수 있는 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치는, 세정 및 열건조된 마스크를 수평 이송하는 수평이송부와, 상기 수평이송부에 의해 이송된 마스크를 적재하여 수직방향으로 이동시키는 다단버퍼부와, 상기 다단버퍼부를 상하로 이동시키는 수직이동부와, 상기 다단버퍼부가 하향 이동할 때 상기 다단버퍼부에 적재된 마스크가 간섭되지 않도록 상기 수평이송부를 상기 다단버퍼부로부터 멀어지는 방향으로 수평이동시키는 좌우이동부를 포함한다.

본 발명 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치는, 건조 후 수평으로 이송된 마스크를 그 이송방향에 대하여 수직방향으로 이동시킨 상태에서 마스크를 냉각시킴으로써, 마스크의 냉각을 위하여 수평 이송형 마스크 세정장비의 면적이 증가되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치는, 열건조 처리된 다수의 마스크를 그 처리 순서에 따라 수직방향으로 적재하여 냉각시키고, 그 처리 순서에 따라 검사부로 이송하도록 구성하여, 다른 과정에 비하여 시간이 더 소요되는 냉각과정에 의해 다른 과정들의 진행이 정체되는 것을 방지하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치의 평면구성도이다.
도 2는 도 1의 측면 구성도이다.
도 3은 도 1을 마스크의 진행방향을 따라 본 측면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 주요 부분의 구성도이다.
도 5는 도 3에서 다단버퍼부가 상승한 상태의 구성도이다.
도 6은 도 4에서 일부 상세 구성도이다.
도 7은 본 발명이 적용되는 수평 이송형 마스크 세정장비의 일실시 구성도이다.

이하, 본 발명 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치의 평면 구성도이고, 도 2는 그 측면도이며, 도 3은 마스크의 진행방향측의 측면 구성도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치의 주요 부분 구성도이다.

도 1 내지 도 4를 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치(100)는, 마스크(1)의 저면 양측 가장자리에 접하는 다수의 롤러를 구비하여 마스크(1)를 수평 이송할 수 있는 수평이송부(110)와, 상기 수평이송부(110)를 상기 마스크(1)의 이송방향과 평행한 직각방향으로 왕복이동시키는 좌우이동부(130)와, 상기 수평이송부(110)를 통해 이송된 마스크(1)를 적재하는 다수의 버퍼부가 상하로 마련된 다단버퍼부(140)와, 상기 다단버퍼부(140)를 상하로 이동시켜 냉각시킬 마스크(1)를 상기 수평이송부(110)에서 이탈시키고, 냉각이 완료된 마스크(1)를 수평이송부(110)에 로딩하여 수평이송이 되도록 하는 수직이동부(120)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치의 구성과 작용에 대하여 보다 상세히 설명한다.

먼저, 수평이송부(110)는 수평 이송형 마스크 세정장비 내에서 마스크(1)를 수평이송하는 이송부들과 연속되는 구성이지만, 수평이송부(110) 자체가 좌우로 이동할 필요가 있기 때문에 별도의 구동모터를 포함하고 있다.

도 5는 상기 수평이송부(110)의 측면측 일부 확대도이다.

도 5와 도 4를 참조하면 상기 수평이송부(110)는, 지지프레임(111)과, 상기 지지프레임(111)의 하부에 고정설치되어 회전력을 발생시키는 모터(112)와, 상기 모터(112)의 구동력을 종동축(114)에 전달하는 기어부(113)와, 종동축(114)에 다수로 결합되어 종동축(114)의 회전력을 전달하는 기어(115)와, 상기 기어(115)의 회전력을 전달받아 상기 마스크(1)의 저면 가장자리에 접하는 롤러(117)에 전달하여 마스크(1)를 수평방향으로 이송시키는 다수의 이송기어(116)를 포함하여 구성된다.

이와 같은 구성에서 상기 지지프레임(111)은 박스형상이거나, 적어도 상기 이송기어(116)와 롤러(117) 사이에 수직으로 마련되어 이송기어(116)와 롤러(117) 사이의 회전축을 회전가능하게 지지하며, 모터(112)를 고정하는 구조이다.

이후에 상세히 설명되는 바와 같이 세정과 열건조가 완료된 마스크(1)가 냉각버퍼장치(100)로 이송될 때 상기 모터(112)가 회전하여 기어부(113)를 통해 상기 마스크(1)의 이송방향과 평행한 방향으로 길게 배치되는 종동축(114)을 회전시킨다.

상기 종동축(114)에는 다수의 기어(115)가 소정의 간격을 두고 설치되어 있으며, 기어(115)와 맞물린 이송기어(116)들은 회전방향을 상기 종동축(114)과 직교하는 방향으로 전환시켜, 롤러(117)들을 일방향으로 일정한 속도로 회전시킨다.

상기와 같은 수평이송부(110)의 구성은 이송방향의 좌측과 우측으로 한 쌍이 마련되어 있으며, 상기 롤러(117)는 마스크(1)의 저면 가장자리를 지지한 상태로 마스크(1)를 수평 이송시킨다.

상기 마스크(1)는 열건조에 의해 가열된 것이며, 세정이 완전하게 되었는지 검사하는 과정 이전에 상온으로 냉각시킬 필요가 있다.

상기 수평이송부(110)에 의해 이송된 마스크(1)가 상기 다단버퍼부(140)의 가장 상단인 제1버퍼부(141)에 위치하게 될 때, 상기 수평이송부(110)의 모터(112)가 정지하여, 냉각이 필요한 마스크(1)를 상기 제1버퍼부(141)의 상부측에 위치시킨다.

도 4에 도시한 바와 같이 상기 다단버퍼부(140)는 수직프레임(144)들의 사이에 상기 마스크(1)의 이송방향을 가로지르는 수평프레임(145)들이 상하로 다수 마련되어 있으며, 그 수평프레임(145)의 상부 일부에서 돌출되어 마스크(1)의 저면 일부를 지지하는 안착부(146)가 마련되어 있다.

상기 수평이송부(110)에 의해 마스크(1)가 다단버퍼부(140)의 최상부에 위치하는 제1버퍼부(141)의 위치로 이동 후, 정지하면, 상기 다단버퍼부(140)가 상향으로 이동하여 제1버퍼부(141)의 안착부(146)에 마스크(1)가 안착된 상태로 상기 수평이송부(110)로부터 상향 이탈시킨다.

상기 다단버퍼부(140)는 수직이동부(120)에 의해 상하로 이동될 수 있으며, 마스크(1)가 제1버퍼부(141)에 수용된 상태로 상향이동하여 제2버퍼부(142)가 수평이송부(110)의 위치에 위치하게 된다.

도 6은 상기 수직이동부(120)의 상세 구성도이다.

도 6을 참조하면 상기 수직이동부(120)는, 구동부(121)와, 수직방향으로 마련된 이송가이드(122)와, 상기 구동부(121)의 구동에 의해 수직방향으로 상하 이동되는 이동부(123)와, 상기 이동부(123)의 측면에 결합되며, 상기 다단버퍼부(140)의 저면을 지지하여 다단버퍼부(140)를 상하로 이동시키는 지지부(124)를 포함하여 구성된다.

이처럼 상기 수직이동부(120)에 의해 상향으로 이동한 다단버퍼부(140)는 제1버퍼부(141)에 냉각될 마스크(1)가 수용된 상태이며, 다음에 열건조된 마스크가 이동되면 제2버퍼부(142)에 수용하여 다시 상향으로 이동하게 된다.

이와 동일하게 제3버퍼부(143)에 열건조된 마스크를 수용한 후 다시 상향으로 이동한 후, 그 다음 네 번째로 열건조 처리되어 이송되는 마스크를 수용하기 위해서는 상기 제1버퍼부(141)에 수용된 마스크(1)를 다음 단계인 검사가 이루어지도록 이송해야 하며, 그 제1버퍼부(141)에 마련된 마스크(1)를 이송하기 위해 상기 수직이동부(120)는 이동부(123)를 하향으로 이동시킨다.

이때 상기 수평이송부(110)의 롤러(117)가 상기 제3버퍼부(143)에 수용된 마스크(1)의 저면에 접촉되기 때문에, 상기 다단퍼버부(140)를 하향으로 이동시킬 때는 수평이송부(110)가 간섭되지 않도록 좌우이동부(130)로 이동시킨다.

도 7은 상기 좌우이동부(130) 및 수평이송부(110)의 일부 구성도이다.

도 7을 참조하면 상기 좌우이동부(130)는, 수평가이드(131)와, 수평가이드(131)를 따라 상기 마스크(1)의 이동방향에 대하여 직교하는 수평 방향으로 이동하며, 상기 수평이송부(110)의 지지프레임(111)에 연결된 수평이동부(132)를 포함한다. 도면에는 생략되었으나 상기 수평이동부(132)를 수평가이드(131)를 따라 이동시키는 모터 등의 구동부가 함께 설치된다.

상기와 같은 구성의 좌우이동부(130)에 의하여 상기 수직이동부(120)는 다단버퍼부(140)가 하향으로 이동할 때, 그 다단버퍼부(140)로부터 멀어지는 방향으로 이동하여 그 다단버퍼부(140)의 제3버퍼부(143)와 제2버퍼부(142)에 적재된 마스크에 간섭되는 것을 회피할 수 있다.

상기 다단버퍼부(140)가 하향으로 이동하여 제2버퍼부(142)와 제1버퍼부(141)의 사이 공간이 상기 수평이송부(110)의 롤러(117)의 측면에 위치하면 다단버퍼부(140)의 이동을 중단하고, 상기 좌우이동부(130)로 수평이송부(110)를 원래의 위치로 이동시킨다. 따라서 상기 수평이송부(110)의 롤러(117)는 상기 제1버퍼부(141)에 위치하는 마스크(1)의 저면 가장자리 하부에 위치하게 된다.

이와 같은 상태에서 다시 다단버퍼부(140)가 하향으로 이동하면 마스크(1)가 수평이송부(110)의 롤러(117)에 접촉되며 모터(112)의 구동에 의해 회전하면서 냉각된 마스크(1)를 다음 공정인 검사가 이루어질 수 있도록 수평이송하게 된다.

상기 마스크(1)가 이송되어진 제1버퍼부(141)에는 다음으로 열건조된 마스크가 적재되어 상향으로 이동하게 되며, 다음은 제2버퍼부(142)와 제3버퍼부(143)에 각각 적재된 마스크가 검사장치측으로 순차 이송된다.

이처럼 본 발명은 마스크를 다수로 수직적재할 수 있는 다단버퍼부(140)를 두어 열건조된 마스크를 수평이송부(110)의 상부측으로 이동시켜 냉각시킴으로써, 장치의 평면상 면적을 증가시키지 않으며, 냉각에 소요되는 시간이 다른 공정시간에 비해 더 길지만 다수의 마스크를 상향 적재할 수 있기 때문에 세정이나 건조공정이 지체되는 것을 방지할 수 있다.

도면에는 생략되었으나, 상기 다단버퍼부(140)의 제1 내지 제3버퍼부(141~143)의 측면에는 적재된 마스크에 공기를 분사하는 분사노즐을 포함할 수 있으며, 공기의 분사에 의해 마스크의 냉각 소요시간을 단축할 수 있다.

도 8은 본 발명이 적용될 수 있는 수평 이송형 마스크 세정장비의 일실시 블록 구성도이다.

도 8을 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예의 냉각버퍼장치가 적용되는 수평 이송형 마스크 세정장비는, 외부에서 공급된 마스크를 수평으로 이송하면서 무기물세정과 유기물세정을 선택적으로 수행하거나, 무기물세정과 유기물세정을 동시에 수행하는 제1세정부(200)와, 상기 제1세정부(200)에서 세정된 마스크를 유기물과 무기물에 무관하게 공통적으로 세정하는 제2세정부(300)와, 상기 제2세정부(300)를 통해 세정된 마스크를 수평으로 이송하면서 건조하는 건조부(400)와, 상기 건조된 마스크를 수직방향으로 다수 적재하여 냉각시키는 본 발명에 따른 냉각버퍼부(100)와, 상기 냉각버퍼부(100)에서 냉각된 마스크를 검사하는 검사부(500)와, 상기 검사부(500)에서 검사가 완료된 마스크를 외부로 반출하는 반출부(600)를 포함하여 구성될 수 있다.

먼저, 제1세정부(200)는 로딩부(210), 무기세정부(220) 및 유기세정부(230)를 포함하며, 무기세정부(220)는 상기 수평으로 이송되는 마스크에 무기용매를 분사하여 무기물을 세정하고, 유기세정부(230)는 마스크에 유기용매를 분사하여 유기물을 제거하게 된다.

도 8에서는 로딩부(210)와 무기세정부(220), 유기세정부(230)가 순차적으로 연속구성된 것으로 도시하였으나, 로딩부(210), 유기세정부(230), 무기세정부(220)가 순차적으로 연속하여 구성될 수 있다.

이러한 구성에서 본 발명은 필요에 따라 로딩부(210)에 로딩된 마스크를 무기세정부(220)를 사용하여 무기세정만 수행하거나, 유기세정부(230)를 사용하여 유기세정하거나, 무기세정부(220)와 유기세정부(230)를 모두 사용하여 마스크에서 무기물과 유기물을 모두 세정하는 것이 가능하다.

상기 제1세정부(200)의 구성은 유기물과 무기물 세정에 따라 선택적으로 사용될 수 있는 것이며, 그 제1세정부(200)에 연속적으로 연결된 제2세정부(300)는 유기물 세정과 무기물 세정과는 무관하게 공통적으로 작용할 수 있는 것이다.

제2세정부(300)의 구성은 탈이온수(DI Water)를 마스크에 분사하여 무기용매 또는 유기용매를 세정하는 린스부(310)와, 이소프로필알코올(IPA)를 사용하여 마스크를 세정하는 IPA세정부(320)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 린스부(310)는 탈이온수를 직접 상기 마스크에 분사하여 제1세정부(200)에서 세정처리된 마스크의 표면의 무기 또는 유기용매와, 무기 및 유기 이물을 제거하는 역할을 하게 된다.

그 다음, IPA세정부(320)에서는 상기 탈이온수로 린스 된 마스크를 IPA로 세정한다. 상기 IPA는 무극성 물질을 용해하며, 자기 얼룩을 남기지 않고 쉽게 증발하는 특징이 있다. 따라서 상기 린스에 사용된 탈이온수의 물얼룩, 제1세정부(200)에서 사용된 용매의 잔류물의 얼룩을 제거할 수 있게 된다.

이와 같이 마스크의 세정을 진행한 후, 마스크를 건조부(400)에서 건조시킨다. 상기 건조부(400)의 구성은 정화된 건조공기(Clean Dry Air)를 마스크에 분사하여 1차 건조하는 제1건조부(410)와, 마스크에 원적외선을 조사하여 가열 및 건조하는 제2건조부(420)와, 가열된 공기를 마스크에 분사하여 건조하는 제3건조부(430)와, 진공 분위기에서 마스크를 건조시키는 제4건조부(440)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1건조부(410)는 슬릿 분사구를 가지는 에어나이프로 마스크에 CDA를 분사하는 구성으로, 상기 IPA의 기화를 촉진하고, 탈이온수나 용매를 공기의 분사압을 이용하여 건조한다.

그 다음, 제2건조부(420)는 금속재인 마스크에 원적외선을 조사하는 원적외선 광원을 포함하고 있으며, 그 원적외선의 조사에 의하여 금속재인 마스크가 가열된다. 이때 마스크의 가열에 의해 건조가 이루어지게 된다.

그 다음, 제3건조부(430)에서는 상기 원적외선의 조사에 의해 건조 및 가열된 마스크에 열풍을 분사한다. 상기 열풍은 에어나이프를 사용할 수 있다. 상기 열풍에 의한 건조는 상기 원적외선에 의해 가열된 마스크를 처리할 때 더 우수한 건조특성을 나타낸다.

즉, 열풍으로 건조한 후 원적외선 가열에 의해 건조하는 방식에 비해서, 원적외선 가열 건조 후 열풍으로 처리하는 것이 건조효율이 더 우수하다.

그 다음, 제4건조부(440)에서는 진공분위기에서 상기 마스크를 가열하여 미세한 수분을 건조시킨다.

상기 제4건조부(440)에서 가열된 마스크는 상기 세정과 린스과정에서 사용된 처리액의 기화 온도 이상으로 가열된 것이며, 이를 앞서 설명한 본 발명의 냉각버퍼장치(100)의 다단버퍼부(140)에 차례로 적재하여 냉각시킨 후, 다시 검사부(500)로 반송하여 검사되도록 한다.

이와 같이 수평으로 이송되며 처리되는 다수의 마스크를 상기 냉각버퍼장치(100)에서 수직방향으로 운반한 상태로 냉각되도록 함으로써, 공간 사용 효율을 높일 수 있게 된다. 또한 상기 마스크가 냉각될 때까지 세정 및 건조처리가 중단되는 것을 방지하여 생산성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

그리고 검사부(500)에서 검사를 수행할 동안 충분히 마스크를 냉각시킬 수 있기 때문에 상기 건조부(400)에서 마스크를 종래에 비하여 더 높은 온도로 가열처리하는 것이 가능하기 때문에 건조효율을 높일 수 있게 된다.

상기 검사부(500)에서는 마스크를 검사한 후, 마스크를 반출부(600)로 이송하게 된다. 상기 반출부(600)는 외부의 로봇이 마스크를 반출할 수 있도록 하는 것이며, 제1언로딩부(610)와, 복수의 언로딩버퍼(620,630) 및 제2언로딩부(640)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 반출부(600)를 제1언로딩부(610)와 제2언로딩부(640)로 구분하는 이유는 목적에 따라 반출위치를 다르게 설정할 수 있도록 하기 위한 것이다. 상기 검사부(500)의 검사결과에 따라 양호한 마스크는 제2언로딩부(640)를 통해 반출되도록 하고, 검사결과 불량한 마스크는 제1언로딩부(610)에서 반출될 수 있도록 설정할 수 있다. 물론 그 반대의 경우도 가능하게 된다.

또한 세정의 차이로 마스크를 구분하여 제1언로딩부(610)와 제2언로딩부(640)에서 반출되도록 할 수 있다. 이는 마스크가 유기세정 또는 무기세정 된 것으로 구분하여 각기 다른 위치에서 반출할 수 있다는 의미이다.

상기 복수의 언로딩버퍼부(620,630)는 반출에 소요되는 시간과 공정처리 시간의 차이를 감안한 것으로 반출에 소요되는 시간이 공정처리 시간에 비하여 긴 경우 언로딩버퍼부(620,630)를 사용하여 시간의 차이를 극복할 수 있게 된다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

100:냉각버퍼장치 110:수평이송부
120:수직이동부 130:좌우이동부
140:다단버퍼부

Claims

세정 및 열건조된 마스크를 수평 이송하는 수평이송부;
상기 수평이송부에 의해 이송된 마스크를 적재하여 수직방향으로 이동시키는 다단버퍼부;
상기 다단버퍼부를 상하로 이동시키는 수직이동부; 및
상기 다단버퍼부가 하향 이동할 때 상기 다단버퍼부에 적재된 마스크가 간섭되지 않도록 상기 수평이송부를 상기 다단버퍼부로부터 멀어지는 방향으로 수평이동시키는 좌우이동부를 포함하는 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치.
제1항에 있어서,
상기 다단버퍼부는,
다수의 수직프레임;
상기 다수의 수직프레임에 양단이 고정되되, 상하로 소정 간격을 유지한 상태로 다수가 마련되어, 다단의 버퍼부를 제공하는 수평프레임들; 및
상기 수평프레임들 각각의 상부일부에서 돌출되도록 마련되어 상기 마스크의 저면을 지지하는 안착부를 포함하는 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치.
제1항에 있어서,
상기 수직이동부는,
구동부;
수직방향으로 마련된 이송가이드;
상기 구동부의 구동에 의해 상기 이송가이드를 따라 수직방향으로 상하 이동되는 이동부; 및
상기 이동부의 측면에 결합되며, 상기 다단버퍼부의 저면을 지지하여 상기 다단버퍼부를 상하로 이동시키는 지지부를 포함하는 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치.
제1항에 있어서,
상기 좌우이동부는,
구동부;
수평가이드; 및
상기 구동부의 구동에 의해 상기 수평가이드를 따라 상기 마스크의 이동방향에 대하여 직교하는 수평 방향으로 이동하여, 상기 수평이송부를 좌우로 이동시키는 수평이동부를 포함하는 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치.
제1항에 있어서,
상기 수평이송부는,
지지프레임;
상기 지지프레임의 하부에 고정설치되어 회전력을 발생시키는 모터;
상기 모터의 구동력을 종동축에 전달하는 기어부;
상기 종동축에 다수로 결합되어 상기 종동축의 회전력을 전달하는 기어;
상기 기어의 회전력을 전달받아 상기 마스크의 저면 가장자리에 접하는 롤러에 전달하여 마스크를 수평방향으로 이송시키는 다수의 이송기어를 포함하는 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치.
제1항에 있어서,
상기 다단버퍼부에 적재된 마스크에 공기를 분사하는 분사노즐을 더 포함하는 수평 이송형 마스크 세정장비의 냉각버퍼장치.