KR102493451B1 - 기판 공급용 로딩 유닛 - Google Patents

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Abstract

기판 공급용 로딩 유닛은, 고정 플레이트, 상기 고정 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 고정 플레이트에 대하여 승강 가능하게 구비된 승강 플레이트, 상기 승강 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 고정 플레이트와 연결되며 상기 승강 플레이트의 장축 방향을 따라 배열되며, 래치 방식으로 회전하여 상기 기판의 제1 측부를 지지하거나 해제할 수 있도록 구비된 제1 래치들 및 상기 승강 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 고정 플레이트와 연결되며 상기 승강 플레이트의 단축 방향을 따라 배열되며, 래치 방식으로 회전하여 상기 기판의 제2 측부를 지지하거나 해제할 수 있도록 구비된 제2 래치를 포함한다. 이로써, 박형 기판의 휨이 억제될 수 있다.

Description

기판 공급용 로딩 유닛{LOADING UNIT FOR PROVIDING A SUBSTRATE}
본 발명의 실시예들은 기판 공급용 로딩 유닛에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명의 실시예들은 상부 금형 및 하부 금형의 사이에 기판을 공급하거나 또는 반출하는 기판 공급용 로딩 유닛에 관한 것이다.
일반적인 반도체 소자를 제조하는 후 공정에 있어서, 웨이퍼(Wafer)에서 절단되고 낱개로 분리된 복수의 반도체 칩을 리드프레임이나 인쇄회로기판과 같은 기판에 부착한다. 이후, 상기 칩을 보호하기 위해 몰딩수지(EMC; Epoxy molding compound)와 같은 봉지재로 칩의 외부를 감싸는 몰딩(Molding) 공정이 수행된다.
이후, 상기 봉지재로 몰딩된 반도체 소자는, 댐바(Dambar) 부분을 커팅하는 트리밍(Trimming) 공정, 기판 자재의 리드를 원하는 형태로 구부리는 포밍(Forming) 공정 및 상기 공정을 거쳐 완성된 반도체소자 패키지의 양부를 검사하는 테스트 공정을 거쳐 반도체 소자가 제조된다.
여기서, 상기 몰딩 공정에 있어서, 반도체 소자 몰딩 장치가 기판 및 봉지재를 금형 내에 위치시키고, 가열 및 가압하여 반도체소자를 봉지재로 성형한다.
이하, 도 1을 참조하여, 종래의 반도체소자 몰딩 금형장치의 구성, 및 이러한 몰딩 공정이 종래의 반도체소자 몰딩 금형장치에 의해 수행되는 반도체소자 몰딩방법을 보다 구체적으로 설명한다.
종래의 반도체소자 몰딩 금형장치는, 반도체소자(SD)가 흡착 고정되는 상부 금형(1), 성형 수지(EMC; Epoxy Molding Compound)와 같은 봉지재가 위치되며 상기 상부금형(1)과 클램핑 될 수 있도록 그 하측에 위치되는 하부 금형(2), 상부 금형(1)에 칩이 부착된 기판(SD)을 공급하거나 몰딩된 기판(SD)을 상부금형(1)으로부터 반출하는 기판 공급용 로딩 유닛(3), 하부 금형(2)에 성형 수지(EMC)를 공급하는 수지 공급 유닛(4), 성형 완료된 직후의 기판(SD)을 냉각시키는 냉각 유닛(5) 및 몰딩 완료된 반도체소자(SD)가 반도체 소자 몰딩 장치용 로더(3)에 의해 회수된 후 상부금형(1)을 클리닝하는 클리닝유닛(6)을 포함한다.
우선, 상기 상부 금형(1) 및 하부금형( 2)의 사이로 기판 공급용 로딩 유닛(3)이 이동하여 칩이 부착된 기판(SD)을 상부 금형(1)의 하면에 위치시킨다. 이때, 상부 금형(1)은 기판(SD)을 흡착하고, 기판 공급용 로딩 유닛(3)은 상부 금형(1) 및 하부 금형(2)의 사이로부터 반출된다.
다음, 상기 수지 공급 유닛(4)이 상부 금형(1) 및 하부 금형(2)의 사이에 인입되어 하부금형(2)에 성형 수지(EMC)를 공급한 후 반출된다. 이후, 상부 금형(1) 및 하부 금형(2)이 클램핑되어 기판(SD)에 포함된 칩에 대한 몰딩 공정이 수행된다.
이어서, 기판 공급용 로딩 유닛(3)이 상부 금형(1) 및 하부 금형(2)의 사이에 반입되어, 몰딩된 기판(SD)을 상부 금형(1)으로부터 회수한다.
한편, 상기 기판이 박형화되어 그 두께가 얇아짐에 따라, 상기 로딩 유닛이 기판을 그립핑한 상태에서 상기 금형들 내부로 이송할 때 상기 기판이 휘어지는 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 기판 이송시 발생할 수 있는 기판의 휘어짐을 억제할 수 있는 기판 공급용 로딩 유닛이 요구된다.
본 발명의 실시예들은 기판 이송 중 기판의 휨을 억제할 수 있는 기판 공급용 로딩 유닛을 제공한다.
본 발명의 실시예들에 따른 기판 공급용 로딩 유닛은, 고정 플레이트, 상기 고정 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 고정 플레이트에 대하여 승강 가능하게 구비된 승강 플레이트, 상기 승강 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 고정 플레이트와 연결되며 상기 승강 플레이트의 장축 방향을 따라 배열되며, 래치 방식으로 회전하여 기판의 제1 측부를 지지하거나 해제할 수 있도록 구비된 제1 래치들 및 상기 승강 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 고정 플레이트와 연결되며 상기 승강 플레이트의 단축 방향을 따라 배열되며, 래치 방식으로 회전하여 상기 기판의 제2 측부를 지지하거나 해제할 수 있도록 구비된 제2 래치를 포함한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 래치들의 단부는 상기 제1 및 제2 측부들과 컨택하며 거칠기 가공된 컨택면을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 컨택면은 6.5 내지 12.5 μm 의 표면 거칠기를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 승강 플레이트는, 상기 승강 플레이트의 하측부으로부터 하방으로 돌출되고 상기 장축 방향을 따라 배열되며, 상기 제1 래치들이 상기 제1 측부의 하면을 지지한 상태에서 상기 승강 플레이트가 하강함으로써 상기 제1 측부의 상면을 가압하여 상기 제1 래치들과 함께 상기 제1 측부를 그리핑하는 제1 돌출부들 및 상기 승강 플레이트의 하측부으로부터 하방으로 돌출되고 상기 단축 방향을 따라 배열되며, 상기 제2 래치가 상기 제2 측부의 하면을 지지한 상태에서 상기 승강 플레이트가 하강함으로써 상기 제2 측부의 상면을 가압하여, 상기 제2 래치와 함께 상기 제2 측부를 그립핑하는 제2 돌출부를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 고정 플레이트와 기계적으로 연결되며, 상기 승강 플레이트를 상기 고정 플레이트에 대하여 승강시키는 승강 구동부가 추가적으로 구비될 수 있다.
여기서, 상기 승강 구동부는, 상기 고정 플레이트의 상면에 고정된 실린더 및 상기 고정 플레이트를 수직 방향으로 관통하여 상기 실린더 및 상기 승강 플레이트를 상호 연결시키며, 상기 고정 플레이트에 대하여 상기 승강 플레이트를 승강시키는 승강축을 포함할 수 있다.
또한, 상기 승강 플레이트는, 하측부으로부터 하방으로 돌출되고 상기 장축 방향을 따라 상기 제1 돌출부에 인접하게 배열되며, 상기 기판이 정렬된 얼라인 유닛을 향하여 하강시 상기 기판을 사이에 두고 상기 얼라인 유닛의 측부에 형성된 단턱부와 컨택하는 스토퍼를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 래치들을 회전시켜 상기 기판을 지지하거나 지지 해제하는 회전 구동부가 추가적으로 구비될 수 있다.
여기서, 상기 회전 구동부는, 상기 고정 플레이트의 하면과 연결되며, 상기 장축의 양 단부에 인접하며 상기 단축을 따라 연장된 고정 블록들, 상기 고정 블록을 관통하여 상기 장축을 따라 연장된 제1 회전축, 상기 고정 플레이트의 하면과 연결되며, 상기 제1 회전축에 상기 제1 래치들 각각을 연결하는 제1 연결 블록들, 상기 제1 회전축과 웜기어로 연결되며, 상기 단축을 따라 연장된 제2 회전축 및 상기 고정 플레이트의 하면과 연결되며, 상기 제2 회전축에 상기 제2 래치를을 연결하는 제2 연결 블록을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 승강 플레이트의 하면 중심부에 상기 단축 방향으로 따라 연장된 복수의 흡착 패드들이 추가적으로 구비될 수 있다.
여기서, 상기 흡착 패드들을 상기 기판에 대하여 흡착시 진공력의 누설을 감지하는 감지 센서가 제공될 수 있다.
이러한 본 발명에 따른 기판 공급용 로딩 유닛은 장축 방향을 따라 배열된 제1 래치 뿐만 아니라 단축 방향을 따라 형성된 제2 래치를 포함함으로써, 기판의 제2 측부를 지지할 수 있다. 따라서, 상기 제1 래치들 및 제2 래치는 상기 기판의 제1 측부 및 제2 측부를 동시에 지지함으로써, 박형화된 기판의 휨을 억제할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 공급용 로딩 유닛을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 3은 도 1의 기판 공급용 로딩 유닛을 도시한 저면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 기판 공급용 로딩 유닛을 도시한 측면도들이다.
도 7은 얼라인 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 8은 도 7의 얼라인 유닛을 도시한 정면도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 공급용 로딩 유닛을 설명하기 위한 사시도들이다. 도 3은 도 1의 기판 공급용 로딩 유닛을 도시한 저면도이다. 도 4 내지 도 6은 도 1의 기판 공급용 로딩 유닛을 도시한 측면도들이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 공급용 로딩 유닛(100)은 반도체 소자의 몰딩 장치에 포함되며, 상기 반도체 소자가 부착된 기판을 금형 유닛 내부로 공급하고, 상기 금형 유닛으로부터 소자 몰딩된 기판을 인출하는 유닛에 해당한다. 보다 상세하게, 상기 기판 공급용 로딩 유닛(100)은 상기 반도체 소자의 몰딩 장치에 포함된 얼라인 유닛(300; 도 7 참조) 및 금형 유닛 사이로 기판을 이송할 수 있다.
상기 기판 공급용 로딩 유닛(100)은, 고정 플레이트(110), 승강 플레이트(130), 제1 래치들(150) 및 제2 래치(170)를 포함한다.
상기 고정 플레이트(110)는 사각형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 상기 고정 플레이트(110)의 하부에는 한 쌍의 승강 플레이트들(130)이 위치할 수 있다.
상기 승강 플레이트(130)는 상기 고정 플레이트(110)의 하부에 배치된다. 상기 승강 플레이트(130)는 상기 고정 플레이트(110)에 대하여 승강함으로서, 이격되거나 접근할 수 있다.
상기 승강 플레이트(130)는 예를 들면 사각형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 상기 승강 플레이트는 장축 및 단축으로 정의될 수 있다.
또한, 상기 승강 플레이트(130)는 예를 들면 한 쌍으로 제공될 수 있다. 상기 한 쌍의 승강 플레이트(130)는 상기 고정 플레이트에 대하여 동시에 승강 가능하게 구비된다.
제1 래치들(150)은 상기 승강 플레이트(130)의 하부에 배치된다. 즉, 상기 제1 래치들(150)은 상기 승강 플레이트(130)와 일정 간격으로 이격되도록 배치될 수 있다. 상기 제1 래치들(150)은 상기 고정 플레이트(110)와 연결된다. 따라서, 상기 제1 래치들(150)은 상기 고정 플레이트(110)를 기준으로 수직 위치를 일정하게 유지할 수 있다.
상기 제1 래치들(150)은 상기 승강 플레이트(130)의 장축 방향을 따라 배열된다. 상기 제1 래치들(150) 각각은 고리 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 래치들(150)은 래치 방식으로 회전한다. 이로써, 상기 제1 래치들(150)은 상기 기판의 제1 측부를 지지하거나 해제할 수 있도록 구비된다. 즉, 상기 제1 래치들(150)이 시계방향으로 회전할 경우, 상기 제1 래치들(150)이 클로징 되어 상기 기판의 제1 측부를 지지할 수 있다. 이와 반대로, 상기 제1 래치들(150)이 반시계방향으로 회전할 경우, 제1 래치들(150)이 오픈되어 상기 기판의 제1 측부의 지지를 해제할 수 있다.
상기 기판의 제1 측부는 상기 장축 방향을 따라 연장될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 래치들(150)이 상기 기판의 제1 측부를 지지할 수 있다. 이때, 상기 기판 공급용 로딩 유닛(100)은 상기 기판을 금형 유닛의 내부로 반입시키거나 또는 금형 유닛으로부터 반출할 수 있다. 또한, 상기 제1 래치들(150)이 회전축으로 회전하여 상기 기판의 지지를 해제할 수 있다. 이로써, 상기 기판 공급용 로딩 유닛은 상기 기판을 목적 위치로 이송한 후 최초 위치로 회복할 수 있다.
상기 제2 래치(170)는 상기 승강 플레이트(130)의 하부에 배치된다. 상기 제2 래치(170)는 상기 제1 래치들(150)과 동일한 수직 높이를 가질 수 있다. 상기 제2 래치(170)는 상기 고정 플레이트(110)와 연결된다. 따라서, 상기 제2 래치(170)는 수직 높이를 일정하게 유지할 수 있다.
상기 제2 래치(170)는 상기 승강 플레이트(130)의 단축 방향을 따라 배열된다. 상기 제2 래치(170)는 래치 방식으로 회전한다. 상기 제2 래치(170)는 상기 기판의 제2 측부를 지지하거나 해제할 수 있도록 구비된다. 이때, 상기 기판의 제2 측부는 상기 단축 방향을 따라 연장될 수 있다.
도시된 바와 같이 상기 제2 래치(170)는 적어도 하나로 제공될 수 있다. 이와 다르게, 상기 제2 래치(170)는 복수개로 상기 단축 방향을 따라 배열될 수도 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 제2 래치(170)는 상기 기판의 제2 측부를 지지하고 상기 제1 래치들(150)은 상기 기판의 제1 측부를 지지함으로써, 기판 공급용 로딩 유닛(100)이 기판을 보다 안정적으로 지지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170) 각각의 선단부은 상기 제1 및 제2 측부들와 컨택하며 거칠기 가공된 컨택면을 포함할 수 있다. 상기 컨택면이 거칠기 가공됨으로써, 상기 컨택면이 상기 제1 및 제2 측부들과 보다 견고하게 컨택할 수 있다. 이로써, 상기 기판 공급용 로딩 유닛(100)이 상기 기판을 지지하면서 이송할 때 상기 기판의 낙하가 억제될 수 있다.
여기서, 상기 컨택면은 6.5 내지 12.5 μm 의 표면 거칠기를 가질 수 있다. 상기 컨택면이 6.5 미만 μm 의 표면 거칠기를 가질 경우, 이송 중 기판이 상기 제1 및 제2 래치들(150, 1700)로부터 미끌어질 수 있다. 이와 다르게, 상기 컨택면은 12.5 μm 초과의 표면 거칠기를 가질 경우, 상기 컨택면과 상기 기판 간의 접촉 면적이 지나치게 감소되어 이송 중 기판이 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170)로부터 낙하될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 승강 플레이트(130)는, 제1 돌출부들(135) 및 제2 돌출부(137)를 포함한다.
상기 제1 돌출부들(135)은 상기 승강 플레이트(130)의 하측부으로부터 하방으로 돌출된다. 상기 제1 돌출부들(135)은 상기 승강 플레이트의 장축 방향을 따라 배열된다. 따라서, 상기 제1 돌출부들(135)은 기판의 제1 측부를 따라 배열된다. 상기 제1 돌출부들(135) 각각는 상기 제1 래치들(150) 각각과 마주보도록 구비된다.
따라서, 상기 제1 래치들(150)이 상기 제1 측부의 하면을 지지한 상태에서 상기 승강 플레이트(130)가 하강할 경우, 상기 승강 플레이트(130)의 하면으로부터 돌출된 상기 제1 돌출부들(135)은 상기 제1 측부의 상면을 가압하여 상기 제1 래치들(150)과 함께 상기 제1 측부를 그리핑 할 수 있다.
상기 제2 돌출부(137)는 상기 승강 플레이트(130)의 하측부으로부터 하방으로 돌출된다. 상기 제2 돌출부(137)는 상기 단축 방향을 따라 배열된다. 따라서, 상기 제2 돌출부(137)는 기판의 제2 측부를 따라 배열된다. 상기 제2 돌출부(137)는 상기 제2 래치(170)와 마주보도록 구비된다.
상기 제2 래치(170)가 상기 제2 측부의 하면을 지지한 상태에서 상기 승강 플레이트(130)가 하강하여 상기 제2 돌출부(137)가 상기 제2 측부의 상면을 가압할 수 있다. 이로써, 상기 승강 플레이트(130)로부터 돌출된 제2 돌출부(137)는 상기 제2 래치(170)와 함께 상기 제2 측부를 그립핑할 수 있다.
여기서, 상기 승강 플레이트를 승강시키기 위한 승강 구동부(140)가 추가적으로 구비될 수 있다.
상기 승강 구동부(140)는 상기 고정 플레이트(110)와 기계적으로 연결된다. 상기 승강 구동부(140)는 상기 승강 플레이트(130)를 상기 고정 플레이트(110)에 대하여 승강시킬 수 있다.
예를 들면, 상기 승강 구동부(140)는, 실린더(141) 및 승강축(145)을 포함할 수 있다.
상기 실린더(141)는 상기 고정 플레이트(110)의 상면에 고정된다. 상기 실린더(141)는 상기 고정 플레이트(110)의 상면으로부터 수직 방향으로 연장되거나 수축될 수 있다.
상기 승강축(145)은 상기 고정 플레이트(110)를 수직 방향으로 관통한다. 상기 승강축(145)은 상기 실린더(141) 및 상기 승강 플레이트(130)를 상호 연결시킨다. 이로써, 상기 실린더(141)가 구동할 경우, 상기 승강축(145)은 상기 고정 플레이트(110)에 대하여 상기 승강 플레이트(130)를 승강시킬 수 있다.
상기 승강축(145)은 예를 들면, 상기 단축 방향을 따라 연장된 승강 플레이트(130)의 중심선을 기준으로 서로 마주보도록 한 쌍으로 제공될 수 있다. 따라서, 상기 승강축(145)은 상기 승강 플레이트(130)를 상기 고정 플레이트(110)를 기준으로 균일한 높이로 승강시킬 수 있다. 상기 한 쌍의 승강축들(145)은 상기 실린더(141)와 연결시키기 위하여 연결 바(143)가 이용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 레치들(150, 170)을 회전시켜 상기 기판에 대하여 지지하거나 해제하는 회전 구동부(160)가 추가적으로 제공될 수 있다.
여기서, 상기 회전 구동부(160)는, 고정 블록들(161), 제1 회전축(163), 제1 연결 블록들(165), 제2 회전축(166) 및 제2 연결 블록(168)을 포함한다.
상기 고정 블록(161)은 상기 고정 플레이트(110)의 하면과 연결된다. 예를 들면, 상기 고정 블록(161)은 고정 플레이트의 하면에 고정된다. 또한, 상기 고정 블록(161)은 상기 장축의 양 단부에 인접하며 상기 단축 방향을 따라 연장된다.
상기 제1 회전축(163)은 상기 고정 블록(161)을 관통한다. 상기 제1 회전축(163)은 상기 장축 방향을 따라 연장된다. 상기 제1 회전축(163)은 회전 모터(미도시)와 연결되어 회전 가능하게 제공된다.
상기 제1 연결 블록(165)은 상기 고정 플레이트(110)의 하면과 연결된다. 상기 제1 연결 블록(165)은 상기 제1 회전축(163)에 상기 제1 래치들(150) 각각을 연결한다. 따라서, 제1 회전축(163)이 회전함에 따라 상기 제1 연결 블록(165)에 연결된 제1 래치들(150)이 회전할 수 있다.
한편, 제2 회전축(166)은 상기 제1 회전축(163)과 웜기어로 연결된다. 상기 제2 회전축(166)은 상기 제1 회전축(163)에 대하여 90도로 변환된 회전축을 가질 수 있다. 상기 제2 회전축(166)은 상기 단축 방향을 따라 연장된다.
상기 제2 연결 블록(168)은 상기 고정 플레이트(110)의 하면과 연결된다. 상기 제2 연결 블록(168)은 상기 제2 회전축(166)에 상기 제2 래치(170)를 연결시킨다. 따라서, 제1 회전축(163)이 회전함에 따라 제2 회전축(166)이 함께 회전하고, 상기 제2 연결 블록(168)에 연결된 제2 래치(170)가 회전할 수 있다.
따라서, 하나의 회전 구동원으로서 회전 모터를 이용하여 상기 제1 래치들(150) 및 상기 제2 래치(170)가 회전함으로써, 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170)이 동시에 기판을 지지하거나, 지지 해제할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 공급용 로딩 유닛(100)은 흡착 패드들(180)을 더 포함할 수 있다.
상기 흡착 패드들(180)은 상기 승강 플레이트(130)의 하면 중심부에 구비된다. 상기 흡착 패드들(180)은 단축 방향을 따라 배열될 수 있다. 상기 흡착 패드들(180)은 진공력을 이용하여 기판의 중심부를 흡착할 수 있다. 이로써, 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170)과 함께 상기 흡착 패드들(180)은 기판을 고정할 수 있다.
이때, 상기 흡착 패드들(180)이 상기 기판에 대하여 흡착시 진공력의 누설을 감지하는 감지 센서(미도시)가 추가적으로 제공될 수 있다. 상기 감지 센서는 진공력의 누설을 감지함으로써, 상기 기판이 상기 얼라인 유닛(200; 도 7 참조)에 안착된 기판이 오정렬되어 있음을 감지할 수 있다.
도 7은 얼라인 유닛을 설명하기 위한 사시도이다. 도 8은 도 7의 얼라인 유닛을 도시한 정면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 얼라인 유닛(200) 상에는 기판이 안착될 수 있다. 상기 얼라인 유닛(200)에는 장축을 따라 형성된 단턱부(211) 및 리세스부(215)를 포함한다. 상기 기판 공급용 로딩 유닛(100; 도 1 참조)은 상기 얼라인 유닛(200)으로부터 상기 기판을 픽업할 수 있다.
이때, 상기 로딩 유닛(100)이 상기 얼라인 유닛(200)에 안착된 기판을 향하여 접근할 때, 상기 로딩 유닛(100)이 상기 얼라인 유닛(200)과의 하강 높이를 고정할 필요가 있다.
이를 위하여, 상기 승강 플레이트(130)는 스토퍼(138)를 더 포함할 수 있다. 상기 스토퍼(138)는 상기 승강 플레이트(130)의 하측부으로부터 하방으로 돌출되고 상기 장축 방향을 따라 상기 제1 돌출부(135)에 인접하게 배열된다. 상기 스토퍼(138)는, 상기 기판이 정렬된 얼라인 유닛(200)을 향하여 하강시 상기 기판을 사이에 두고 상기 얼라인 유닛(200)의 측부에 형성된 단턱부(211)와 컨택할 수 있다. 이로써, 상기 로딩 유닛(100)이 상기 얼라인 유닛(200)에 대하여 하강 높이를 고정할 수 있다.
한편, 리세스부(215)는 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170)이 회전하여 래치 오픈/클로징 할 때, 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170)의 회전 공간을 제공할 수 있다. 상기 리세스부(215)는, 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170) 및 상기 얼라인 유닛(200) 사이의 간섭을 억제할 수 있는 회전 공간을 형성한다.
이하, 기판 공급용 로딩 유닛(100)의 동작을 설명하기로 한다. 상기 로딩 유닛(100)이 상기 얼라인 유닛(200)을 향하여 접근한다. 이때, 상기 로딩 유닛(100)이 상기 얼라인 유닛(200)을 향하여 하강할 수 있다. 상기 스토퍼(138)는, 상기 기판이 정렬된 얼라인 유닛(200)을 향하여 하강시 상기 기판을 사이에 두고 상기 얼라인 유닛(200)의 측부에 형성된 단턱부(211)와 컨택할 수 있다. 이로써, 상기 로딩 유닛(100)이 상기 얼라인 유닛(200)에 충돌하는 것이 억제될 수 있다. 이때, 제1 및 제2 래치들(150, 170)은 오픈된 상태이다.
이어서, 상기 회전 구동부(160)가 구동하여 상기 제1 및 제2 회전축들(163, 166)이 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170)을 회전시킨다. 이로써 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170)은 클로징 상태로 변화되어 상기 기판의 제1 측부 및 제2 측부들을 지지한다.
이어서, 승강 구동부(140)에 포함된 실린더(141)가 구동하여 상기 승강축(145)을 하강시켜 상기 승강축(145)과 연결된 승강 플레이트(130)를 하강시킨다. 이때, 상기 승강 플레이트(130)와 포함된 제1 및 제2 돌출부들(135, 137)이 함께 하강함으로써, 상기 제1 및 제2 돌출부들(135, 137) 및 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170)이 상기 기판의 제1 측부들 및 제2 측부를 그리핑할 수 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 래치들(150, 170) 및 제1 및 제2 돌출부들(135, 137)이 상기 기판의 측부들을 그립핑 함으로써, 상기 로딩 유닛(100)이 박판형의 기판 이송 중 기판의 휨이 억제될 수 있다.
한편, 상기 흡착 패드들(180)은 진공력을 이용하여 기판의 중심부를 흡착할 수 있다. 이로써, 상기 제1 및 제2 돌출부들(135, 170)과 함께 상기 흡착 패드들(180)은 기판을 고정할 수 있다. 이때, 상기 감지 센서는 진공력이 누설을 감지함으로써, 상기 기판이 상기 얼라인 유닛에 안착된 기판이 오정렬되어 있음을 감지할 수 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부되어 있는 청구범위에 속함은 당연한 것이다.
100 : 로딩 유닛 110 : 고정 플레이트
130 : 승강 플레이트 135 : 제1 돌출부들
137 : 제2 돌출부 150 : 제1 래치들
170 : 제2 래치 180 : 흡착 패드

Claims (11)

  1. 고정 플레이트;
    상기 고정 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 고정 플레이트에 대하여 승강 가능하게 구비된 승강 플레이트;
    상기 승강 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 고정 플레이트와 연결되며 상기 승강 플레이트의 장축 방향을 따라 배열되며, 래치 방식으로 회전하여 기판의 제1 측부를 지지하거나 해제할 수 있도록 구비된 제1 래치들;
    상기 승강 플레이트의 하부에 배치되며, 상기 고정 플레이트와 연결되며 상기 승강 플레이트의 단축 방향을 따라 배열되며, 래치 방식으로 회전하여 상기 기판의 제2 측부를 지지하거나 해제할 수 있도록 구비된 제2 래치; 및
    상기 승강 플레이트의 하면 중심부에 상기 단축 방향으로 따라 연장된 복수의 흡착 패드들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 공급용 로딩 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 래치들의 단부는 상기 제1 및 제2 측부들과 컨택하며 거칠기 가공된 컨택면을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 공급용 로딩 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 컨택면은 6.5 내지 12.5 μm 의 표면 거칠기를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 공급용 로딩 유닛.
  4. 제1항에 있어서, 상기 승강 플레이트는,
    상기 승강 플레이트의 하측부으로부터 하방으로 돌출되고 상기 장축 방향을 따라 배열되며, 상기 제1 래치들이 상기 제1 측부의 하면을 지지한 상태에서 상기 승강 플레이트가 하강함으로써 상기 제1 측부의 상면을 가압하여 상기 제1 래치들과 함께 상기 제1 측부를 그리핑하는 제1 돌출부들; 및
    상기 승강 플레이트의 하측부으로부터 하방으로 돌출되고 상기 단축 방향을 따라 배열되며, 상기 제2 래치가 상기 제2 측부의 하면을 지지한 상태에서 상기 승강 플레이트가 하강함으로써 상기 제2 측부의 상면을 가압하여, 상기 제2 래치와 함께 상기 제2 측부를 그립핑하는 제2 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 공급용 로딩 유닛.
  5. 제4항에 있어서, 상기 고정 플레이트와 기계적으로 연결되며, 상기 승강 플레이트를 상기 고정 플레이트에 대하여 승강시키는 승강 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 공급용 로딩 유닛.
  6. 제5항에 있어서, 상기 승강 구동부는,
    상기 고정 플레이트의 상면에 고정된 실린더;
    상기 고정 플레이트를 수직 방향으로 관통하여 상기 실린더 및 상기 승강 플레이트를 상호 연결시키며, 상기 고정 플레이트에 대하여 상기 승강 플레이트를 승강시키는 승강축을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 공급용 로딩 유닛.
  7. 제4항에 있어서, 상기 승강 플레이트는,
    하측부으로부터 하방으로 돌출되고 상기 장축 방향을 따라 상기 제1 돌출부에 인접하게 배열되며, 상기 기판이 정렬된 얼라인 유닛을 향하여 하강시 상기 기판을 사이에 두고 상기 얼라인 유닛의 측부에 형성된 단턱부와 컨택하는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 공급용 로딩 유닛.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 래치들을 회전시켜 상기 기판을 지지하거나 지지 해제하는 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 공급용 로딩 유닛.
  9. 제8항에 있어서, 상기 회전 구동부는
    상기 고정 플레이트의 하면과 연결되며, 상기 장축의 양 단부에 인접하며 상기 단축을 따라 연장된 고정 블록들;
    상기 고정 블록을 관통하여 상기 장축을 따라 연장된 제1 회전축;
    상기 고정 플레이트의 하면과 연결되며, 상기 제1 회전축에 상기 제1 래치들 각각을 연결하는 제1 연결 블록들;
    상기 제1 회전축과 기어로 연결되며, 상기 단축을 따라 연장된 제2 회전축; 및
    상기 고정 플레이트의 하면과 연결되며, 상기 제2 회전축에 상기 제2 래치를 연결하는 제2 연결 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 공급용 로딩 유닛.
  10. 삭제
  11. 제1항에 있어서, 상기 흡착 패드들을 상기 기판에 대하여 흡착시 진공력의 누설을 감지하는 감지 센서를 더 포함하는 기판 공급용 로딩 유닛.
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