KR200331031Y1 - 테이프 마운터의 웨이퍼 정렬장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조공정중 테이프를 이용하여 웨이퍼와 프레임을 일체로 부착시키는 테이프 마운터설비에 있어서, 웨이퍼 워페이지가 있는 웨이퍼의 테이프 마운터 작업시 웨이퍼의 중심을 잡기 위한 웨이퍼 정렬부에서 웨이퍼 워페이지에 의한 위치오차를 줄일 수 있는 기능을 갖는 테이프 마운터의 웨이퍼 정렬장치에 관한 것이다.

본 고안의 전체적인 구성은 본 고안의 전체적인 구성은 로더부의 웨이퍼를 트랜스퍼암에 의해 턴테이블로 이동시켜 양측에 설치된 척에 의해 정렬하는 통상의 테이프 마운터에 있어서, 상기 트랜스퍼암의 외측단부에 압착편을 부설하고, 이 압착편의 저면 중앙에 흡착패드와 외측에는 웨이퍼를 눌러주는 압착패드가 형성된 구성으로 이루어진 것이다.

상기의 구성에 의해 웨이퍼에 발생된 웨페이지를 일공정으로 제거할 수 있으므로 그만큼 작업효율이 향상되는 것이다.

Description

테이프 마운터의 웨이퍼 정렬장치{Wafer arrange apparatus tape mounter}

본 고안은 반도체 제조공정중 테이프를 이용하여 웨이퍼와 프레임을 일체로 부착시키는 테이프 마운터에 있어서, 웨이퍼의 테이프 마운터 작업시에 웨이퍼에 발생된 웨페이지를 제거하여 정확한 중심점을 잡아 위치오차를 줄일 수 있는 기능을 갖는 테이프 마운터의 웨이퍼 정렬장치에 관한 것이다.

종래 웨이퍼의 중심점은 도 4 및 도 5에 도시되어 있는 바와 같은 구성을 갖는 기구적인 장치인 정렬부(10)를 이용하다.

즉, 로더부(1:loader)에 적재된 웨이퍼(30:wafer)를 트랜스퍼암(5:transfer arm)을 이용하여 턴테이블(6)로 이동시킨 후, 상기 턴테이블(6)의 양측에 장착된 척(7:chuck)을 내측으로 이동시켜 웨이퍼(30)의 중심점을 잡아 주게 되는 것이다.

이와 같이 중심점이 잡힌 웨이퍼(30)는 웨이퍼프레임 공급부(20)에서 척테이블(13)로 공급되는 웨이퍼 프레임과 테이프 공급부(15)에서 공급되는 테이프를 이용하여 일체로 결합시킨 후, 웨이퍼프레임 언로더부(23)에 로딩(loading)함으로써 작업이 완료되는 것이다.

상기에서 웨이퍼(30)의 중심점은 트랜스퍼암(5)에 의해서 턴테이블(6:turn table)로 이송된 웨이퍼(30)는 정확한 중심점이 잡혀지지 않은 상태이므로 중심점을 잡기 위해서는 턴테이블(6)의 양측에 장착된 척(7)이 내측으로 슬라이드 되면서 기구적으로 턴테이블(6)의 중심점과 웨이퍼(30)의 중심점을 일치시키게되는 것이다.

하지만 PGK의 두께가 얇아지고, 하나의 PGK에 여러 개의 칩을 쌓아 고집적된 PGK를 만들기 위해서는 PGK안에 들어가는 칩(즉 웨이퍼)의 두께가 얇아져야 하는데, 웨이퍼의 두께가 얇아지면 질수록 웨이퍼의 특성상 웨이퍼에 워페이지(warpage: 외측이 내측으로 오므라드는 현상)가 발생하게 된다.

이러한 얇은 웨이퍼의 작업시에는 웨이퍼에 발생한 워페이지에 의해서 웨이퍼가 완전한 진원이 이루어지지 않아 기존의 방식으로는 정확한 웨이퍼의 중심점을 잡기가 어려운 문제점등을 가지고 있다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 최소화하기 위하여 제안하기에 이른 것으로서, 본 고안은 테이프 마운터 설비중 로더부에 있는 웨이퍼를 정렬부로 이동시키는 트랜스퍼암을 이용하여 웨이퍼의 워페이지가 발생한 웨이퍼를 압착하여 웨이퍼의 중심점을 정확하게 잡을 수 있는 테이프 마운터의 웨이퍼 정렬장치를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안의 전체적인 구성은 로더부의 웨이퍼를 트랜스퍼암에 의해 턴테이블로 이동시켜 양측에 설치된 척에 의해 정렬하는 통상의 테이프 마운터에 있어서, 상기 트랜스퍼암의 외측단부에 압착편을 부설하고, 이 압착편의 저면 중앙에 흡착패드와 외측에는 웨이퍼를 눌러주는 압착패드가 형성된 구성으로 이루어진 것이다.

본 고안의 다른 실시예는 로더부의 웨이퍼를 트랜스퍼암에 의해 턴테이블로 이동시켜 양측에 설치된 척에 의해 정렬하는 통상의 테이프 마운터에 있어서, 상기 턴테이블의 양측에 장착된 척의 중앙에 지지대와 압착패드로 구성된 압착부재를 부가한 구성으로 이루어진 것이다.

도 1은 본 고안의 구성상태를 나타낸 정면도

도 2는 웨이퍼를 턴테이블에 올려놓은 상태의 정면도

도 3은 본 고안의 다른 실시예를 나타낸 정면도

도 4는 종래의 웨이퍼 정렬부의 구성상태를 예시한 정면도

도 5(a)(b)는 도 4의 장치를 이용한 웨이퍼의 정렬상태를 나타낸 정면도 및 평면도

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1…로더부 3a…흡착패드 3b…압착패드 3…압착편

5…트랜스퍼암 6…턴테이블 7…척 8a…지지대

8b…압착패드 8…압착부재 10…정렬부 13…척테이블

15…테이프 공급부 25…테이프 마운터

이하 본 고안의 전체적인 구성상태 및 이로부터 얻게되는 특유의 효과 등에 대하여 첨부도면을 이용하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 고안의 전체적인 구성은 도 1 내지 도 3에 예시된 바와 같이, 웨이퍼(30)를 적재(loading)하는 로더부(1)와, 상기 로더부(1)의 웨이퍼(30)를 정렬부(10)가 운반하는 트랜스퍼암(5)과, 상기 트랜스퍼암(5)에 의해 운반된 웨이퍼(30)를 척(7)을 이용하여 중심점을 맞추는 정렬부(10)와, 정렬된 웨이퍼(30)를 척테이블(13)로 이동시켜 프레임 저장부(20)에서 상기 척테이블(13)로 공급되는 웨이퍼 프레임과 함께 테이프 공급부(15)의 테이프를 이용하여 일체로 결합시킨 후 웨이퍼프레임 언로더부(20)로 공급하는 구성으로 이루어진 통상의 테이프 마운터(25)에 있어서, 상기 정렬부(10)로 공급되는 웨이퍼(30)에 발생된 워페이지를 제거하기 위한 수단을 채용한 것이다.

본 고안의 제1수단은 웨이퍼(30)를 정렬부(10)로 운반하는 트랜스퍼 암(5)에 웨이퍼(30)를 눌러주는 압착편(3)을 부가한 것이며, 본 고안의 제2수단은 정렬부(10)의 일측에 압착편(9)을 부가 설치하여 턴테이블(6)로 이송되는 웨이퍼(30)를 압착하여 워페이지를 제거하는 기능을 갖는 것이다.

상기 제1수단은 도 1에 도시한 바와 같이, 드랜스퍼암(5)의 외측단부에 압착편(3)을 부설하고, 상기 압착편(3)의 저면 중앙에는 진공에 의해서 웨이퍼(30)를흡착하는 흡착패드(3a)가 부가되고, 외측에는 웨이퍼(30)를 눌러주는 압착패드(3b)가 형성된 구성으로 이루어진 것이다.

이는 자펙(jar pack)에 적재된 웨이퍼(30)를 진공패드(3a)에 의해 흡착하여 턴테이블(6)을 운반하고, 상기 턴테이블(6)의 상면에 올려지게 된다.

이때 웨이퍼(30)의 외측면을 흡착패드(3b)로 균일하게 눌러주므로서 웨이퍼(30)에 발생된 웨페이지를 제거하게 되는 것이다.

이와 같이 워페이지가 제거된 웨이퍼(30)는 턴테이블(6)의 양측에 장착된 척(7)이 내측으로 이동되어 정확한 중심점을 잡아주게 되는 것이다.

그리고 상기 제2수단은 도 3에서와 같이, 턴테이블(6)의 일측에 더 구체적으로는 턴테이블(6)의 양측에 장착된 척(7)의 중간지점에 장착되어 기계적인 장치에 의해 상,하 또는 회전운동이 가능토록 압착부재(8)가 부가 설치된 것이다.

이 압착부재(8)는 지지대(8a)의 단부에 원판형상의 압착패드(8b)를 부가한 구성으로 이루어진 것이다.

이는 웨이퍼(30)가 트랜스퍼암(5)에 의해 턴테이블(6)의 상면에 올려지면 상기 압착부재(8)가 서서히 하부로 이동되어 웨이퍼(30)의 외측면을 압착함으로써 웨이퍼(30)에 발생한 워페이지를 제거하게 되는 것이다.

이와 같이 압착부재(8)에 의해 웨이퍼(30)의 웨페이지가 제거되며 턴테이블(6)의 양측에 설치된 척(7)이 내측으로 이동되어 정확한 중심점을 잡아주게 되는 것이다.

상술한 바와 같이 본 고안에 의하면 두께가 얇은 웨이퍼에 발생되는 워페이지를 제거하여 정확한 중심점을 잡을 수 있게 되어 작업효율을 현저하게 향상시킬 수 있게 되는 것이다.

Claims (2)

1. 로더부(1)의 웨이퍼(30)를 트랜스퍼암(5)에 의해 턴테이블(6)로 이동시켜 양측에 설치된 척(7)에 의해 정렬하는 통상의 테이프 마운터(25)에 있어서, 상기 트랜스퍼암(5)의 외측단부에 압착편(3)을 부설하고, 이 압착편(3)의 저면 중앙에 흡착패드(3a)와 외측에는 웨이퍼(30)를 눌러주는 압착패드(3b)가 형성된 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 테이프 마운터의 웨이퍼 정렬장치.
2. 로더부(1)의 웨이퍼(30)를 트랜스퍼암(5)에 의해 턴테이블(6)로 이동시켜 양측에 설치된 척(7)에 의해 정렬하는 통상의 테이프 마운터(25)에 있어서, 상기 턴테이블(6)의 양측에 장착된 척(7)의 중앙에 지지대(8a)와 압착패드(8b)로 구성된 압착부재(8)를 부가한 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 테이프 마운터의 웨이퍼 정렬장치.