KR101297380B1

KR101297380B1 - 스토커

Info

Publication number: KR101297380B1
Application number: KR1020110113323A
Authority: KR
Inventors: 전현수; 김성헌; 신대호
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2011-11-02
Filing date: 2011-11-02
Publication date: 2013-08-19
Also published as: KR20130048466A

Abstract

스토커가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커는, 레일 상에서 이동되는 스토커 본체와, 스토커 본체에 결합되며, 마스크를 세워진 상태로 파지하여 핸들링하는 마스크 포크유닛을 포함한다.

Description

스토커{STOCKER}

본 발명은, 스토커에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 마스크를 세워서 이송 및 적재하는 스토커에 관한 것이다.

평면디스플레이는 개인 휴대단말기를 비롯하여 TV나 컴퓨터의 모니터 등으로 널리 채용된다. 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.

이러한 평면디스플레이 중에서 특히 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 평면디스플레이로서 주목받고 있다.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.

또한, 유기전계발광표시장치(OLED)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 평면디스플레이로서 주목받고 있다.

유기전계발광표시장치(OLED)는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기 발광소자와 저분자 유기 발광소자로 나뉘어질 수 있으며, 풀 칼라를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 대형 OLED를 제작하는 방식으로는 FMM(fine metal mask)를 이용한 직접 패터닝 방식과 LITI(laser induced thermal imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 있다.

FMM(fine metal mask)를 이용한 직접 패터닝 방식은, 마스크 방식이라고 하는데, 패터닝(patterning)된 얇은 금속 마스크를 이용하여 기판에 물질을 증착하는 방식이다.

이러한 마스크(10)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 소정의 슬롯(11)이 패터닝된 얇은(대략 50마이크로미터) 플레이트 형상을 갖는다. 슬롯(11)은 다양한 형태로 마련될 수 있다. 또한 마스크(10)의 가장자리에는 중앙부보다 두께가 큰 마스크 프레임(12)이 마련된다.

마스크(10)도, 기판과 같이, 생산된 후 바로 다음 유기전계발광표시장치(OLED) 제조 설비로 이송되는 것이 아니라, 각 유기전계발광표시장치(OLED) 제조 설비들의 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위하여, 스토커 시스템의 선반에 임시로 보관되어야 할 것이며, 필요에 따라 해당 공정을 수행하는 OLED 제조 설비로 이송되어야 할 것이다.

그런데 마스크는 얇은 플레이트 형상을 갖기 때문에 이송 및 보관과정에서 마스크를 수평으로 적재할 경우 마스크가 중력방향으로 처지는 현상이 발생된다.

이와 같이 마스크를 수평으로 적재하여 마스크가 중력방향으로 처지게 되면, 마스크 증착 공정에 악영향을 미치게 되어 유기전계발광표시장치(OLED) 제품의 품질이 떨어지는 문제점이 있다.

따라서 마스크의 이송 및 보관을 위한 새로운 스토커의 개발이 필요한 데, 마스크의 이송 및 보관 시 마스크가 중력방향으로 처지는 것을 방지할 수 있는 스토커가 고려되어야 한다.

특허공개번호 KR 10-2002-0095075 (삼성전자 주식회사), 2002.12.20

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 마스크의 이송 및 보관 시 마스크를 세워서 이송 및 보관할 수 있어 수평으로 이송 및 보관 시에 마스크가 중력방향으로 처짐에 따라 발생할 수 있는 문제를 해결할 수 있는 스토커를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 레일 상에서 이동되는 스토커 본체와, 상기 스토커 본체에 결합되며, 상기 마스크를 세워진 상태로 파지하여 핸들링하는 마스크 포크유닛을 포함하는 스토커를 제공할 수 있다.

상기 마스크 포크유닛은, 세워진 상기 마스크를 파지하는 마스크 파지부가 마련되는 포크 몸체와, 상기 포크 몸체를 왕복 이동시키는 수평 구동부를 포함할 수 있다.

상기 수평 구동부는, 상기 포크 몸체와 연결되어 상기 포크 몸체를 상기 레일에 대해 교차되는 방향으로 구동시키는 포크 아암과, 상기 포크 아암을 지지하는 아암 지지부를 포함할 수 있다.

상기 포크 아암은, 서로 대칭되어 배치되고 일측이 상기 아암 지지부에 회동 가능하게 링크 결합되는 한 쌍의 제1 링크와, 상기 제1 링크의 일측에서 이격된 상기 제1 링크의 타측에서 제1 링크와 상대회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 제2 링크를 포함할 수 있다.

상기 아암 지지부는 상기 마스크 포크유닛에 상대회전 가능하게 마련될 수 있다.

상기 마스크 파지부는, 상기 포크 몸체에 결합되어 상기 마스크의 측부를 파지하는 측부 그립퍼와, 상기 세워진 마스크의 하단부를 지지하는 하면 지지부를 포함할 수 있다.

상기 하면 지지부는, 상기 포크 몸체에 결합되되 전방으로 연장되어 배치되는 하부 지지바아와, 상기 하부 지지바아에 상호 이격되어 마련되는 적어도 하나 이상의 서포트를 포함할 수 있다.

상기 마스크 파지부는, 상기 포크 몸체에 결합되어 상기 마스크의 측부를 파지하는 측부 그립퍼와, 상기 포크 몸체에 결합되되 전방으로 연장되는 상부 지지 바아에 결합되어 상기 마스크의 상부를 파지하는 적어도 하나의 상부 그립퍼를 포함할 수 있다.

상기 마스크 파지부는, 상기 포크 몸체에 결합되어 상기 마스크의 측부를 파지하는 측부 그립퍼와, 상기 포크 몸체에 결합되되 전방으로 연장되는 상부 지지 바아에 결합되어 상기 마스크의 상부를 파지하는 적어도 하나의 상부 그립퍼를 포함하고, 상기 아암 지지부에는 상기 마스크 파지부에 파지된 마스크의 하단부를 지지하는 하부 지지봉이 마련될 수 있다.

상기 하부 지지봉는 업/다운(up/down) 가능할 수 있다.

상기 포크 몸체는, 상기 마스크가 상기 마스크 적재유닛에 세로로 세워서 적재 시 상기 마스크가 상기 마스크의 하단부를 중심으로 회전되도록 상기 마스크를 가압하는 스토커용 푸셔를 더 포함할 수 있다.

상기 스토커 본체는, 상기 레일 상에 배치되어 상기 마스크 포크유닛을 원하는 위치로 이동시키기 위하여 상기 레일을 따라 이동되는 본체하부와, 상기 본체하부에 마련되어 상기 마스크 포크유닛을 지지하는 한 쌍의 수직프레임을 포함할 수 있다.

상기 수직프레임은, 상기 마스크 포크유닛을 상기 수직프레임을 따라 업/다운(up/down)시키는 포크 업/다운(up/down) 구동부를 포함할 수 있다.

상기 포크 업/다운(up/down) 구동부는는, 상기 마스크 포크유닛이 결합되는 포크유닛용 엘엠 블록(LM block)과, 상기 엘엠 블록(LM block)의 업/다운(up/down)을 가이드하는 포크유닛용 엘엠 가이드(LM guide)와, 상기 엘엠 블록을 업/다운(up/down)시키는 포크유닛용 구동모터를 포함할 수 있다.

상기 스토커 본체는, 상기 마스크가 세로로 세워서 적재되는 마스크 적재유닛 및 마스크 인입인출유닛의 주변에 이동 가능하게 배치되며, 상기 마스크는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판 증착용 마스크일 수 있다.

본 발명의 실시예들은, 마스크 적재부에 마스크가 세워져서 보관되고, 스토커가 마스크를 세워진 상태로 파지하여 마스크 적재부 또는 마스크 인입인출유닛으로 전달함으로써, 수평으로 마스크를 이송 및 보관하는 과정에서 마스크가 중력방향으로 처짐에 따라 발생할 수 있는 문제점을 해결할 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 스토커에 사용되는 마스크가 도시된 평면도이다.
도 2는 종래기술에 따른 스토커에 사용되는 마스크가 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스토커가 사용되는 스토커 시스템이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 4는 도 3의 스토커 시스템이 개략적으로 도시된 정면도이다.
도 5는 도 4의 A영역의 확대도이다.
도 6은 도 도 3의 스토커 시스템의 마스크 적재유닛이 도시된 정면도이다.
도 7은 도 3의 스토커 시스템의 마스크 인입인출유닛이 도시된 정면도이다.
도 8은 도 3의 스토커 시스템의 인입인출유닛 구동부가 개략적으로 도시된 분해사시도이다.
도 9는 도 3의 스토커 시스템의 동작상태도이다.
도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스토커가 도시된 사시도이다.
도 11은 도 10의 스토커의 마스크 포크유닛이 도시된 사시도이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 스토커의 마스크 포크유닛이 도시된 측면도이다.
도 13은 본 발명의 제3 실시예에 따른 스토커의 마스크 포크유닛이 측면도이다.
도 14는 도 13의 B영역의 확대도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 평면디스플레이란 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중 어떠한 것이 적용되어도 좋다. 다만, 본 실시예에서는 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 평면디스플레이라 간주하기로 한다.

이하, 편의를 위해, OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 단순히 기판이라 하여 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스토커가 사용되는 스토커 시스템이 개략적으로 도시된 평면도이고, 도 4는 도 3의 스토커 시스템이 개략적으로 도시된 정면도이며, 도 5는 도 4의 A영역의 확대도이고, 도 6은 도 도 3의 스토커 시스템의 마스크 적재유닛이 도시된 정면도이며, 도 7은 도 3의 스토커 시스템의 마스크 인입인출유닛이 도시된 정면도이고, 도 8은 도 3의 스토커 시스템의 인입인출유닛 구동부가 개략적으로 도시된 분해사시도이며, 도 9는 도 3의 스토커 시스템의 동작상태도이고, 도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스토커가 도시된 사시도이며, 도 11은 도 10의 스토커의 마스크 포크유닛이 도시된 사시도이다.

도 3 내지 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스토커가 사용되는 스토커 시스템은, 마스크(mask, M)가 세워져 적재되는 마스크 적재부(100)와, 마스크 적재부(100)에 이웃하게 배치되며, 마스크(M)가 적재되는 방향을 따라 이동 가능한 마스크 인입인출유닛(210)을 마련되는 인입인출 포트(port,200)와, 마스크 적재부(100)와 마스크 인입인출유닛(210)의 주변에 이동 가능하게 배치되며, 마스크(M)를 세워진 상태로 파지하여 마스크 적재부(100) 또는 마스크 인입인출유닛(210)으로 전달하는 스토커(300)를 포함한다.

마스크(M)는 소정의 슬롯(M1)이 패터닝된 두께가 얇은 플레이트 형상을 갖으며, 가장자리에 중앙부보다 두께가 큰 마스크 프레임(M2)이 마련된다.

마스크(M) 제작공정에 의해 제작된 마스크(M)는, 세정 후 마스크(M)는 본 발명인 스토커 시스템으로 이송되어 소정기간 적재되었다가 기판 증착공정을 공정 섹터로 이송된다.

마스크 적재부(100)에는 마스크(M)가 세워서 적재된다. 이를 위해 마스크 적재부(100)는 마스크(M)를 세워진 상태로 적재하는 다수개의 마스크 적재유닛(110)을 포함한다.

마스크 적재유닛(110)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 스토커(300)의 이동 방향에 나란하게 양측으로 배치된다. 본 실시예에서 마스크 적재유닛(110)은 스토커(300)의 이동 방향에 나란하게 2열로 배치되지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며 마스크 적재유닛(110)이 1열로 배치될 수 있다

마스크 적재유닛(110)이 스토커(300)의 이동 방향에 나란하게 양측으로 배치되면 좁은 면적에도 많은 마스크(M)를 적재할 수 있어 공간 활용도가 높아진다.

또한, 본 실시예에서 마스크 적재부(100)는 2층으로 구성되고 마스크 적재유닛(110)이 1층 및 2층에 배치되지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며 마스크 적재유닛(110)의 배치는 적용하고자 하는 시스템의 사양 따라 적절히 선택될 수 있다.

마스크 적재유닛(110)은 마스크(M)를 지지하는 선반(shelf,120)을 포함한다. 본 실시예에서 마스크 인입인출유닛(210) 역시 선반(220)을 포함하는 데, 설명의 편의를 위해 마스크 적재유닛(110)의 선반을 고정 선반(120)이라 하고 마스크 인입인출유닛(210)의 선반을 이동 선반(220)이라 한다.

고정 선반(120)은, 마스크(M)가 세워져 지지되는 지지공간이 복수개 마련되는 고정 선반 몸체(121)와, 고정 선반 몸체(121)에 결합되며, 마스크(M)의 하단부를 지지하는 고정 선반용 지지브라켓(122)을 포함한다.

고정 선반 몸체(121)에는, 마스크(M)가 세로로 세워져 지지되는 지지공간이 복수개 마련된다. 본 실시예에서 고정 선반 몸체(121)에 지지공간이 4개가 마련되지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 않으며, 적용하고자 하는 시스템의 사양 따라 적절한 갯수로 선택될 수 있다.

고정 선반용 지지브라켓(122)은, 고정 선반 몸체(121)에 결합되어 마스크(M)의 하단부를 지지한다. 고정 선반용 지지브라켓(122)은, 마스크(M)가 지지공간에서 미끄러지는 것을 방지하는 미끄럼 방지패드로 마련된다.

또한, 고정 선반(120)은 지지공간의 벽면에 마련되어 마스크(M)의 측벽을 접촉지지하는 고정 선반용 접촉지지부(123)를 포함한다. 마스크(M)가 고정 선반(120)에 적재 시 고정 선반(120)과 마스크(M)의 접촉면적을 최소한으로 하여야 한다. 왜냐하면 마스크(M)가 고정 선반(120)의 접촉면적이 커지면 그만큼 마스크(M)에 파티클(particle)이 부착될 가능성이 높기 때문이다. 따라서 본 실시예의 고정 선반용 접촉지지부(123)는 마스크 프레임(M2)의 일부분에 접촉된다.

한편, 지지공간 내에서 마스크(M)는 수직 방향에 대해 미리 결정된 각도만큼 기울어져서 적재된다. 이와 같이 마스크(M)를 미리 결정된 각도만큼 기울어져서 지지공간 내에 적재하면, 고정 선반용 접촉지지부(123)와 고정 선반용 지지브라켓(122)만으로 마스크(M)를 지지함으로써, 마스크(M)와 고정 선반(120)의 접촉면적을 최소화 할 수 있다.

또한, 마스크(M)가 미리 결정된 각도만큼 기울어져서 지지공간 내에 적재되면 마스크(M)의 일측 측벽만 고정 선반용 접촉지지부(123)와 접촉되기 때문에 접촉면적을 줄일 수 있어 마스크(M)에 파티클이 부착되는 것을 줄일 수 있다.

한편, 인입인출 포트(200)에서는, 세정된 마스크(M)가 스토커 시스템에 보관되기 위해 스토커 시스템으로 인입되는 마스크(M) 인입과정 및 스토커 시스템에 보관된 마스크(M)가 증착공정으로 이송되기 위해 스토커 시스템에서 외부로 인출되는 마스크(M) 인출과정이 수행된다.

마스크(M) 인입과정과 마스크(M) 인출과정은 트랜스퍼 유닛(400)을 통해 이루어지는 데, 설명의 편의를 위해 트랜스퍼 유닛(400)은 후술한다.

본 실시예에서 인입인출 포트(200)는 4곳에 마련되지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며 인입인출 포트(200)의 개수는 적용하고자 하는 시스템의 사양 따라 적절히 선택될 수 있다.

스토커 시스템으로 인입된 마스크(M)는 스토커(300)에 의해 마스크 적재부(100)로 이동되고, 스토커 시스템에서 외부로 인출되기 위한 마스크(M)는 역시 스토커(300)에 의해 마스크 적재부(100)에서 인입인출 포트(200)로 이동된다. 스토커(300)의 자세한 구성은 설명의 편의를 위해 후술한다.

인입인출 포트(200)에는 마스크 인입인출유닛(210)이 마련되는데, 마스크(M)가 인입되거나 인출되는 인입인출영역과, 마스크(M)가 스토커(300)에 의해 인입인출유닛에 적재되거나 적재 해제되는 스토커(300) 근접영역으로 이동된다.

마스크(M)는 스토커(300)에 의해 마스크 인입인출유닛(210)으로 옮겨지므로, 마스크 인입인출유닛(210)의 이동방향은 스토커(300)에 의해 마스크(M)가 마스크 인입인출유닛(210)에 적재되는 방향이다.

이러한 마스크 인입인출유닛(210)은 인입인출 포트(200)에서 수행되는 마스크 인입과정 및 마스크 인출과정 시 마스크(M)를 적재하는 역할을 수행한다.

따라서 인입인출유닛은 마스크(M)를 지지하는 이동 선반(shelf,220)을 포함한다.

이동 선반(220)은, 마스크(M)가 세워져 지지되는 지지공간이 복수개 마련되는 이동 선반 몸체(221)와, 이동 선반 몸체(221)에 결합되며, 마스크(M)의 하단부를 지지하는 이동 선반용 지지브라켓(222)을 포함한다.

이동 선반 몸체(221)에는, 마스크(M)가 세로로 세워져 지지되는 지지공간이 복수개 마련된다. 본 실시예에서 이동 선반 몸체(221)에 지지공간이 2개가 마련되지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 않으며, 적용하고자 하는 시스템의 사양 따라 적절한 갯수로 선택될 수 있다.

이동 선반용 지지브라켓(222)은, 이동 선반 몸체(221)에 결합되어 마스크(M)의 하단부를 지지한다. 이동 선반용 지지브라켓(222)은, 마스크(M)가 지지공간에서 미끄러지는 것을 방지하는 미끄럼 방지패드로 마련된다.

또한, 이동 선반(220)은 지지공간의 벽면에 마련되어 마스크(M)의 측벽을 접촉지지하는 이동 선반용 접촉지지부(223)를 포함한다. 마스크(M)가 이동 선반(220)에 적재 시 이동 선반(220)과 마스크(M)의 접촉면적은, 앞서 설명한 고정 선반(120)과 마찬가지로, 최소한으로 하여야 한다. 따라서 본 실시예의 이동 선반용 접촉지지부(223)는 마스크 프레임(M2)의 일부분에 접촉된다.

또한, 앞서 설명한 고정 선반(120)과 마찬가지로, 이동 선반(220)의 지지공간 내에서 마스크(M)는 수직 방향에 대해 미리 결정된 각도만큼 기울어져서 적재된다.

한편, 이동 선반 몸체(221)는, 마스크(M)의 인출 시 지지공간 내에서 기울여 지지된 마스크(M)가 수직으로 세워질 수 있도록 마스크(M)를 가압하는 선반용 푸셔(230)를 더 포함한다.

선반용 푸셔(230)는, 마스크(M)의 가압 시 마스크(M)와 접촉되는 가압부재(251)과, 마스크(M)의 가압 시 가압부재(251)를 마스크(M)로 전진시키고 마스크(M)의 가압 해제 시 가압부재(251)를 마스크(M)로부터 후퇴시키는 가압부재 구동모터(252)를 포함한다.

이러한 선반용 푸셔(230)는, 마스크(M)가 수직으로 세워진 상태를 유지할 수 있도록 상호 대칭되어 한 쌍으로 마련된다.

이와 같이 선반용 푸셔(230)를 통해 지지공간 내에서 마스크(M)를 수직으로 세우면 후술한 트랜스퍼 유닛(400)이 마스크(M)를 마스크 인입인출유닛(210)로부터 용이하게 인출하거나 마스크 인입인출유닛(210)에 용이하게 인입할 수 있다.

한편, 인입인출 포트(200)는, 마스크 인입인출유닛(210)을 인입인출영역과 스토커(300) 근접영역으로 이동시키는 인입인출유닛 구동부(230), 인입인출 포트(200)의 상단부에 마련되어 인입인출 포트(200)의 상단부의 적어도 일영역을 개폐하는 상부도어(240)를 더 포함한다.

인입인출유닛 구동부(230)는, 외부에서 스토커 시스템으로 마스크(M)를 인입하거나 스토커 시스템에서 외부로 마스크(M)를 인출시키기 위해 마스크 인입인출유닛(210)을 인입인출영역으로 이동시킨다. 또한 스토커(300)에 의해 마스크 인입인출유닛(210)에 마스크(M)를 적재하거나 적재 해제하기 위해 마스크 인입인출유닛(210)을 스토커(300) 근접영역으로 이동시킨다.

이러한 인입인출유닛 구동부(230)는, 마스크 인입인출유닛(210)을 지지하는 인입인출유닛용 엘엠 블록(LM block, 231)과, 인입인출 포트(200)에 마련되고 인입인출유닛용 엘엠 블록(231)의 이동을 가이드하는 인입인출유닛용 엘엠 가이드(LM guide, 232)와, 인입인출유닛용 엘엠 블록(231)을 이동시키는 인입인출유닛용 구동모터(미도시)를 포함한다.

인입인출유닛용 구동모터의 동작에 의해 인입인출유닛용 엘엠 블록(231)이 인입인출유닛용 엘엠 가이드(232)를 따라 이동되어 마스크 인입인출유닛(210)이 인입인출영역과 스토커(300) 근접영역으로 이동된다.

또한, 본 실시예에 따른 스토커 시스템은, 상단부는 마스크 인입인출유닛(210)과 결합되고 하단부는 인입인출유닛용 엘엠 블록(231)에 회전 가능하게 결합되어 마스크 인입인출유닛(210)을 회전시키는 회전판(233)을 더 포함한다.

회전판(233)의 회전에 의해 마스크 인입인출유닛(210)은 인입인출 포트(200)의 내부에서 회전된다. 이와 같이 마스크 인입인출유닛(210)이 인입인출 포트(200)의 내부에서 회전가능하면 마스크(M)의 인입 및 인출을 위한 트랜스퍼 유닛(400)의 다양한 레이아웃 방향에 용이하게 대응할 수 있다.

상부도어(240)는, 인입인출 포트(200)의 상단부에 마련되어 인입인출 포트(200)의 상단부의 적어도 일영역을 개폐한다. 이러한 상부도어(240)를 통해 마스크(M)가 스토커 시스템으로 인입되거나 스토커 시스템에서 인출된다. 따라서 상부도어(240)는 마스크 인입인출유닛(210)의 인입인출영역에 해당되는 위치에 마련된다.

트랜스퍼 유닛(400)은, 마스크 인입인출유닛(210)으로 마스크(M)를 인입시키기거나 마스크 인입인출유닛(210)으로부터 마스크(M)를 인출한다.

본 실시예에서 트랜스퍼 유닛(400)은, 인입인출 포트(200)의 상부에 배치되어 마스크(M)를 인출하거나 마스크(M)를 인입시키는 오버헤드 호이스트 트랜스포터(OHT, Overhead Hoist Transporter,400)이다.

오버헤드 호이스트 트랜스포터(400)는, 마스크(M)를 세로로 세워서 이송하는 이송부(410)와, 이송부(410)가 이송되는 경로를 형성하는 궤도부(420)와, 이송부(410)에 결합되어 마스크(M)를 파지하는 트랜스포터용 파지부(미도시)와, 이송부(410)와 연결되어 이송부(410)를 궤도부(420)를 따라 이송시키는 추진부(미도시)를 포함한다.

트랜스포터용 파지부는, 마스크(M)를 파지하는 트랜스포터용 그립퍼(미도시)와, 트랜스포터용 그립퍼와 연결되어 트랜스포터용 그립퍼를 업/다운(up/down)시키는 그립퍼 업/다운부(미도시)를 포함한다.

트랜스포터용 그립퍼)가 마스크(M)를 파지하고 그립퍼 업/다운부가 트랜스포터용 그립퍼를 업/다운시켜 마스크(M)가 스토커 시스템으로 인입되거나 스토커 시스템에서 인출된다. 트랜스포터용 그립퍼에 파지된 마스크(M)는 이송부(410)에 의해 궤도부(420)를 따라 이동된다.

한편, 스토커(300)는, 마스크 적재부(100)와 마스크 인입인출유닛(210)의 주변에 이동 가능하게 배치되며, 마스크(M)를 세워진 상태로 파지하여 마스크 적재부(100) 또는 마스크 인입인출유닛(210)으로 전달한다.

본 실시예에서 스토커(300)는, 레일(R) 상에서 이동되는 스토커 본체(310)와, 스토커 본체(310)에 결합되며, 마스크(M)를 세워진 상태로 파지하여 핸들링하는 마스크 포크유닛(320)을 포함한다.

스토커 본체(310)는 레일(R)을 따라 원하는 위치로 이동되고, 마스크 포크유닛(320)은 마스크(M)를 세워진 상태로 파지하여 마스크 적재부(100)와 마스크 인입인출유닛(210)에 마스크(M)를 적재한다.

이러한 스토커 본체(310)는, 레일(R) 상에 배치되어 마스크 포크유닛(320)을 원하는 위치로 이동시키기 위하여 레일(R)을 따라 이동되는 본체하부(311)와, 본체하부(311)에 마련되어 마스크 포크유닛(320)을 지지하는 한 쌍의 수직프레임(312)을 포함한다.

본체하부(311)에는, 본체하부(311)가 이동되도록 추진력을 발생시키는 주행동력부(미도시)와, 본체하부(311)가 레일(R) 상의 원하는 위치에 정지될 수 있도록 주행동력부를 제어하는 이동제어부(미도시)가 마련된다.

수직프레임(312)은 본체하부(311)의 상단부에서 상측으로 직립되도록 마련되며 마스크 포크유닛(320)과 연결되어 마스크 포크유닛(320)을 지지한다. 이러한 수직프레임(312)은, 마스크 포크유닛(320)을 수직프레임(312)을 따라 업/다운(up/down)시키는 포크 업/다운(up/down) 구동부(330)를 포함한다.

포크 업/다운(up/down) 구동부(330)는, 마스크 포크유닛(320)이 결합되는 포크유닛용 엘엠 블록(LM block,331)과, 포크유닛용 엘엠 블록(331)의 업/다운(up/down)을 가이드하는 포크유닛용 엘엠 가이드(LM guide,332)와, 포크유닛용 엘엠 블록을 업/다운(up/down)시키는 포크유닛용 구동모터(미도시)를 포함한다.

이러한 포크 업/다운(up/down) 구동부(330)는 한 쌍의 수직프레임(312) 각각에 마련되기 때문에 포크유닛용 엘엠 블록(431)은 상호 대칭되어 마스크 포크유닛(320)과 결합된다. 따라서 한 쌍의 수직프레임(312)은 마스크 포크유닛(320)을 안정적으로 업/다운(up/down)시킬 수 있으며, 업/다운(up/down)이 완료된 후에도 마스크 포크유닛(320)을 안정적으로 지지할 수 있다.

한편 마스크 포크유닛(320)은, 마스크(M)를 세워진 상태로 파지하여 마스크 적재부(100) 또는 마스크 인입인출유닛(210)으로 전달한다. 이러한 마스크 포크유닛(320)은, 세워진 마스크(M)를 파지하는 마스크 파지부(340)가 마련되는 포크 몸체(350)와, 포크 몸체(350)를 왕복 이동시키는 수평 구동부(361,362)를 포함한다.

수평 구동부(361,362)는, 마스크 파지부(340)에 파지된 마스크(M)를 마스크 적재부(100) 및 마스크 인입인출유닛(210)에 적재하거나 적재 해제하기 위해 포크 몸체(350)를 이동시킨다.

앞서 설명한 바와 같이, 본 실시예에서 마스크 적재유닛(110)은 스토커(300)의 이동방향과 나란하게 배치되므로, 마스크(M)를 파지한 포크 몸체(350)는 마스크(M)를 마스크 적재유닛(110)에 적재 및 적재 해제하기 위해 스토커(300)의 이동방향에 교차하는 방향으로 이동되어야 한다.

따라서 수평 구동부(361,362)는, 포크 몸체(350)와 연결되어 포크 몸체(350)를 레일(R)에 대해 교차되는 방향으로 구동시키는 포크 아암(361)과, 포크 아암(361)을 지지하는 아암 지지부(362)를 포함한다.

포크 아암(361)은, 서로 대칭되어 배치되고 일측이 아암 지지부(362)에 회동 가능하게 링크 결합되는 제1 링크(363)와, 제1 링크(363)의 일측에서 이격된 제1 링크(363)의 타측에서 제1 링크(363)와 상대회전 가능하게 결합되는 제2 링크(364)를 포함한다. 제1 링크(363)와 제2 링크(364)는 각각 한 쌍으로 마련됨으로써 포크 몸체(350)를 안정적으로 지지한다.

제2 링크(364) 의 일측은 제1 링크(363)의 타측과 상대회동 가능하게 결합되고, 제2 링크(364)의 일측과 소정거리 이격된 제2 링크(364)의 말단부에는 포크 몸체(350)에 회전 가능하게 결합된다. 또한 수평 구동부(361,362)는 제1 링크(363)를 회동시키는 제1 링크 구동모터(미도시)를 더 포함한다.

이러한 링크구조를 갖는 포크 아암(361)은, 제1 링크(363)의 회동에 의해 제1 링크(363)의 타측이 상호 접근하는 동시에 제2 링크(364)의 일측도 상호 접근한다. 제2 링크(364)의 타측이 상호 접근하면, 제2 링크(364)의 말단부는 포크 몸체(350)에 회전 가능하게 결합되어 있기 때문에, 포크 몸체(350)가 앞으로 전진한다.

이와 같이 한 쌍의 제1 링크(363)의 회동에 의해 제1 링크(363) 타측의 접근 및 멀어짐에 따라 포크 몸체(350)는 전진 및 후퇴하는 직선운동을 한다.

한편, 아암 지지부(362)는 마스크 포크유닛(320)에 상대회전 가능하게 마련된다. 본 실시예에서 복수개의 마스크 적재유닛(110)은 2열로 스토커(300)의 이동 방향에 나란하게 양측으로 배치되므로 아암 지지부(362)가 포크 몸체(350)를 180도 회전시킬 수 있는 구조로 마련된다. 따라서 마스크 포크유닛(320)에는 아암 지지부(362)를 회전시키는 아암 지지부 회전용 모터(미도시)가 마련된다.

본 실시예에서 포크 몸체(350)에는 세워진 마스크(M)를 파지하는 마스크 파지부(340)가 마련된다. 이러한 마스크 파지부(340)는, 포크 몸체(350)에 결합되어 마스크(M)의 측부를 파지하는 측부 그립퍼(341)와, 세워진 마스크(M)의 하단부를 지지하는 하면 지지부(342)를 포함한다.

측부 그립퍼(341)는 마스크(M)의 높이의 중간정도에서 마스크(M)의 측부를 파지한다. 본 실시예에서 측부 그립퍼(341)는 1개로 마련되지만, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며 2개 이상의 측부 그립퍼(341)가 마련될 수도 있다.

하면 지지부(342)는 세워진 마스크(M)의 하단부를 지지한다. 이러한 하면 지지부(342)는, 포크 몸체(350)에 결합되되 전방으로 연장되어 배치되는 하부 지지바아(343)와, 하부 지지바아(343)에 상호 이격되어 마련되는 적어도 하나 이상의 서포트(344)를 포함한다.

하부 지지바아(343)는 마스크(M)의 길이에 상응하는 길이로 마련되어 일단부가 포크 몸체(350)에 결합되고 타단부는 자유단부를 이룬다.

서포트(344)는, 하부 지지바아(343)의 측면으로 연장되어 마련되고, 상호 이격되어 각각 마스크(M)의 파지 시 마스크(M)의 하단부와 접촉된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 스토커(300)는, 측부 그립퍼(341)가 세워진 마스크(M)의 측부를 파지하고 하면 지지부(342)가 마스크(M)의 하단부를 지지함으로써 세워진 마스크(M)를 안정적으로 파지하여 마스크(M)를 마스크 적재부(100) 및 인입인출 포트(200)로 이동시킬 수 있다.

한편 포크 몸체(350)는, 마스크(M)가 마스크 적재유닛(110)에 세로로 세워서 적재 시 마스크(M)가 마스크(M)의 하단부를 중심으로 회전되도록 마스크(M)를 가압하는 스토커용 푸셔(370)를 포함한다.

앞서 설명한 바와 같이 마스크(M)는 얇은 플레이트의 형상을 갖기 때문에 마스크 적재유닛(110) 및 마스크 인입인출유닛(210)에 기울어져서 적재되는 데, 그 기울어지는 방향이 일정한 것이 이후 작업에 유리하다.

따라서 스토커용 푸셔(370)는 마스크 적재유닛(110) 및 마스크 인입인출유닛(210)에 마스크(M) 적재 시 마스크(M)를 일정한 방향으로 밀어주어 마스크(M)가 일정한 방향으로 기울어지도록 한다.

본 실시예에서 스토커용 푸셔(370)는 선반용 푸셔(230)는, 마스크(M)의 가압 시 회동되어 마스크(M)와 접촉되어 마스크(M)를 가압하는 회동식 가압부재(471)와, 회동식 가압부재(471)를 회동시키는 회동식 가압부재 구동모터(472)를 포함한다.

마스크(M)의 적재 시 회동식 가압부재(471)가 마스크(M)의 측부를 가압하기 때문에, 마스크(M)는 일정한 방향으로 기울어져서 마스크 적재유닛(110) 및 마스크 인입인출유닛(210)의 지지공간 내에 적재될 수 있다.

한편, 이와 같이 본 실시예에 따른 스토커가 사용되는 스토커 시스템은, 마스크 적재부(100)에 마스크(M)가 세워져서 보관되고, 스토커(300)가 마스크(M)를 세워진 상태로 파지하여 마스크 적재부(100) 또는 마스크 인입인출유닛(210)으로 전달함으로써, 마스크(M)의 이송 및 보관과정에서 마스크(M)가 중력방향으로 처지는 것을 방지할 수 있다.

이하에서 본 실시예에 따른 스토커의 작동에 대해 설명한다.

먼저 마스크(M)가 스토커 시스템으로 인입되어 마스크 적재부(100)에 적재되는 과정을 설명한다.

마스크(M) 제작공정에 의해 제작된 마스크(M)는, 세로로 세워진 상태로 마스크(M)는 트랜스퍼 유닛(400)을 통해 스토커 시스템의 인입인출 포트(200)로 이송된다. 이때 인입인출 포트(200)의 마스크 인입인출유닛(210)이 인입인출영역으로 이동된다.

이후 인입인출 포트(200)의 상부도어(240)가 열리고 마스크(M)가 마스크 인입인출유닛(210)의 이동 선반(220)에 세워진 상태로 적재된다.

다음, 인입인출 포트(200)의 상부도어(240)가 닫히며 이동 선반(220)은 스토커(300) 근접영역으로 이동된다. 이때 스토커 본체(310)가 레일(R)을 따라 인입인출 포트(200)쪽으로 이동한다.

마스크 인입인출유닛(210)이 스토커(300) 근접영역으로 이동되면 스토커(300)의 포크 몸체(350)가 이동 선반(220)의 간섭을 피하며 마스크(M)쪽으로 전진하여 마스크(M)를 파지한다. 이때, 측부 그립퍼(341)는 마스크(M)의 측부를 파지하고 하면 지지부(342)는 마스크(M)의 하단부를 지지함으로써 안정적으로 마스크(M)를 세워서 파지할 수 있다.

마스크(M) 파지 후, 포크 몸체(350)는 이동 선반(220)과의 간섭을 피하며 후퇴하여 이동 선반(220)에서 마스크(M)를 적재해제 한다.

다음, 마스크(M)를 세워진 상태로 파지한 후에 스토커 본체(310)는 마스크(M)를 적재할 마스크 적재유닛(110)쪽으로 이동한다.

스토커 본체(310)가 마스크 적재유닛(110)에 인접되면, 포크 몸체(350)가 고정 선반(120)과의 간섭을 피하며 전진한다. 포크 몸체(350)의 전진에 의해 마스크(M)는 고정 선반(120)의 지지공간으로 진입되고, 마스크(M)의 하단부가 고정 선반용 지지브라켓(122)에 지지된다.

이후 측부 그립퍼(341)가 마스크(M)의 파지를 해제한다. 이때 스토커용 푸셔(370)가 마스크(M)의 측부를 가압함으로써 마스크(M)가 소정각도 기울어져서 세워진 상태로 고정 선반(120)에 적재된다.

다음 마스크(M)가 스토커 시스템에서 인출되어 추후 공정(예를 들어 증착공정)이 수행되는 장소로 이송되는 과정을 설명한다. 이는 앞서 설명한 마스크(M)가 스토커 시스템으로 인입과정과 반대로 수행되므로 간략히 설명한다.

스토커 본체(310)가 인출할 마스크(M)가 적재된 마스크 적재유닛(110)쪽으로 이동된 후, 포크 몸체(350)가 전진하여 고정 선반(120)에 적재된 마스크(M)를 세워진 상태로 파지한다. 마스크(M) 파지 후 포크 몸체(350)가 후진하여 고정 선반(120)에서 마스크(M)를 적재해제 한다.

이후 스토커 본체(310)는 인입인출 포트(200)쪽으로 이동되고, 마스크 인입인출유닛(210)의 이동 선반(220)에 마스크(M)를 세워진 상태로 적재한다.

다음 이동 선반(220)이 인입인출 영역으로 이동되고, 상부도어(240)가 개방되어 트랜스퍼 유닛(400)이 이동선반에 적재된 마스크(M)를 파지하여 마스크(M)를 마스크 인입인출유닛(210)에서 적제해제 한다.

다음 상부도어(240)가 닫히고 마스크(M)는 트랜스퍼 유닛(400)에 의해 차후 공정을 위한 장소로 세워진 상태로 이송된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 스토커가 사용되는 스토커 시스템은, 마스크 적재부(100)에 마스크(M)가 세워져서 보관되고, 스토커(300)가 마스크(M)를 세워진 상태로 파지하여 마스크 적재부(100) 또는 마스크 인입인출유닛(210)으로 전달함으로써, 마스크(M)의 이송 및 보관과정에서 마스크(M)가 중력방향으로 처지는 것을 방지할 수 있다.

도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 스토커의 마스크 포크유닛이 도시된 측면도이다.

본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 마스크 파지부(340a)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 3 내지 도 11의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 마스크 파지부(340a)의 구성을 위주로 설명하기로 한다.

마스크 파지부(340a)는, 포크 몸체(350)에 결합되어 마스크(M)의 측부를 파지하는 측부 그립퍼(341a)와, 포크 몸체(350)에 결합되되 전방으로 연장되는 상부 지지바아(345)에 결합되어 마스크(M)의 상부를 파지하는 적어도 하나의 상부 그립퍼(346)를 포함한다.

상부 지지바아(345)는 마스크(M)의 길이에 상응하는 길이로 마련되어 일단부가 포크 몸체(350)에 결합되고 타단부는 자유단부를 이룬다.

상부 그립퍼(346)는 마스크(M)의 상부 모서리 영역 2곳을 각각 파지한다. 본 실시예에서 상부 그립퍼(346)는 2개로 마련되지만, 이에 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며 2개 이상의 상부 그립퍼(346)가 마련될 수도 있다.

이와 같이 본 실시예에 따른 스토커는 측부 그립퍼(341)가 마스크(M)의 측부를 파지하고 상부 그립퍼(346)가 마스크(M)의 상부를 파지하기 때문에, 마스크(M)를 세워진 상태로 안정적으로 파지하여 이동시킬 수 있다.

도 13은 본 발명의 제3 실시예에 따른 스토커의 마스크 포크유닛이 측면도이고, 도 14는 도 13의 B영역의 확대도이다.

본 실시예는 제2 실시예와 비교할 때에 하부 지지봉(380)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 12의 제2 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 가스공급관(132a)의 구성을 위주로 설명하기로 한다.

본 실시예에서 아암 지지부(362)에는 마스크 파지부(340)에 파지된 마스크(M)의 하단부를 지지하는 하부 지지봉(380)이 마련된다. 하부 지지봉(380)이 마스크(M)의 하단부를 지지함으로써 스토커(300)가 더욱 안정적으로 마스크(M)를 파지할 수 있다.

이러한 하부 지지봉(380)은 업/다운(up/down) 가능하게 아암 지지부(362)에 마련된다.

즉, 포크 몸체(350)의 후퇴시(예를 들어, 고정 선반(120)에서 마스크(M)를 파지한 후 마스크(M)를 꺼내는 과정) 하부 지지봉(380)은 마스크(M)의 하단부와 접촉되지 않도록 다운(down) 상태에 있으며, 포크 몸체(350)의 후퇴가 완료되면 하부 지지봉(380)이 업(up)되어 마스크(M)의 하단부를 지지한다.

이와 같은 본 실시예에 따른 스토커는, 세로로 세워진 마스크(M)를 측부 및 상부에서 파지하는 동시에 하부 지지봉(380)이 파지된 마스크(M)의 하단부를 지지함으로써, 더욱 안정적으로 세로로 세워진 마스크(M)를 파지할 수 있다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100: 마스크 적재부 110: 마스크 적재유닛
120: 고정 선반 121: 고정 선반 몸체
122: 고정 선반용 지지브라켓 123: 고정 선반용 접촉지지부
200: 인입인출 포트 210: 마스크 인입인출유닛
220: 이동 선반 221: 이동 선반 몸체
222: 이동 선반용 지지브라켓 223: 이동 선반용 접촉지지부
230: 인입인출유닛 구동부 231: 인입인출유닛용 엘엠 블록
232: 인입인출유닛용 엘엠 가이드 233: 회전판
240: 상부도어 250: 선반용 푸셔
251: 가압부재 252: 가압부재 구동모터
300: 스토커 310: 스토커 본체
311: 본체하부 312: 수직프레임
320: 마스크 포크유닛 330: 포크 업/다운(up/down: 구동부
340,340a: 마스크 파지부 341: 측부 그립퍼
342: 하면 지지부 343: 하부 지지바아
344: 서포트 345: 상부 지지바아
346: 상부 그립퍼 350: 포크 몸체
361: 포크 아암 362: 아암 지지부
363: 제1 링크 364: 제2 링크
370: 스토커용 푸셔 380: 하부 지지봉
400: 트랜스퍼 유닛 M: 마스크

Claims

레일 상에서 이동되는 스토커 본체; 및
상기 스토커 본체에 결합되며, 마스크를 세워진 상태로 파지하여 핸들링하는 마스크 포크유닛을 포함하는 스토커.
제1항에 있어서,
상기 마스크 포크유닛은,
세워진 상기 마스크를 파지하는 마스크 파지부가 마련되는 포크 몸체; 및
상기 포크 몸체를 왕복 이동시키는 수평 구동부를 포함하는 스토커.
제2항에 있어서,
상기 수평 구동부는,
상기 포크 몸체와 연결되어 상기 포크 몸체를 상기 레일에 대해 교차되는 방향으로 구동시키는 포크 아암;
상기 포크 아암을 지지하는 아암 지지부를 포함하는 스토커.
제3항에 있어서,
상기 포크 아암은,
서로 대칭되어 배치되고 일측이 상기 아암 지지부에 회동 가능하게 링크 결합되는 한 쌍의 제1 링크; 및
상기 제1 링크의 일측에서 이격된 상기 제1 링크의 타측에서 제1 링크와 상대회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 제2 링크를 포함하는 스토커.
제3항에 있어서,
상기 아암 지지부는 상기 마스크 포크유닛에 상대회전 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 스토커.
제2항에 있어서,
상기 마스크 파지부는,
상기 포크 몸체에 결합되어 상기 마스크의 측부를 파지하는 측부 그립퍼; 및
상기 세워진 마스크의 하단부를 지지하는 하면 지지부를 포함하는 스토커.
제6항에 있어서,
상기 하면 지지부는,
상기 포크 몸체에 결합되되 전방으로 연장되어 배치되는 하부 지지바아; 및
상기 하부 지지바아에 상호 이격되어 마련되는 적어도 하나 이상의 서포트를 포함하는 스토커.
제2항에 있어서,
상기 마스크 파지부는,
상기 포크 몸체에 결합되어 상기 마스크의 측부를 파지하는 측부 그립퍼; 및
상기 포크 몸체에 결합되되 전방으로 연장되는 상부 지지바아에 결합되어 상기 마스크의 상부를 파지하는 적어도 하나의 상부 그립퍼를 포함하는 스토커.
제3항에 있어서,
상기 마스크 파지부는,
상기 포크 몸체에 결합되어 상기 마스크의 측부를 파지하는 측부 그립퍼;
상기 포크 몸체에 결합되되 전방으로 연장되는 상부 지지바아에 결합되어 상기 마스크의 상부를 파지하는 적어도 하나의 상부 그립퍼를 포함하고,
상기 아암 지지부에는 상기 마스크 파지부에 파지된 마스크의 하단부를 지지하는 하부 지지봉이 마련되는 것을 특징으로 하는 스토커.
제9항에 있어서,
상기 하부 지지봉는 업/다운(up/down) 가능한 것을 특징으로 하는 스토커.
제2항에 있어서,
상기 포크 몸체는,
상기 마스크가 상기 마스크 적재유닛에 세로로 세워서 적재 시 상기 마스크가 상기 마스크의 하단부를 중심으로 회전되도록 상기 마스크를 가압하는 스토커용 푸셔를 더 포함하는 스토커.
제1항에 있어서,
상기 스토커 본체는,
상기 레일 상에 배치되어 상기 마스크 포크유닛을 원하는 위치로 이동시키기 위하여 상기 레일을 따라 이동되는 본체하부; 및
상기 본체하부에 마련되어 상기 마스크 포크유닛을 지지하는 한 쌍의 수직프레임을 포함하는 스토커.
제12항에 있어서,
상기 수직프레임은, 상기 마스크 포크유닛을 상기 수직프레임을 따라 업/다운(up/down)시키는 포크 업/다운(up/down) 구동부를 포함하는 스토커.
제13항에 있어서,
상기 포크 업/다운(up/down) 구동부는;
상기 마스크 포크유닛이 결합되는 포크유닛용 엘엠 블록(LM block);
상기 엘엠 블록(LM block)의 업/다운(up/down)을 가이드하는 포크유닛용 엘엠 가이드(LM guide); 및
상기 엘엠 블록을 업/다운(up/down)시키는 포크유닛용 구동모터를 포함하는 스토커.
제1항에 있어서,
상기 스토커 본체는,
상기 마스크가 세로로 세워서 적재되는 마스크 적재유닛 및 마스크 인입인출유닛의 주변에 이동 가능하게 배치되며,
상기 마스크는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판 증착용 마스크인 것을 특징으로 하는 스토커.