KR20010040595A - 노광장치 및 기판수납 카세트의 위치결정장치 - Google Patents

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Abstract

기판수납 카세트 (43) 를 설치대 (40) 상의 소정 위치로 위치결정하는 기판수납 카세트의 위치결정장치로서, 기판수납 카세트 (43) 를 소정 위치로 위치결정할 때, 기판수납 카세트 (43) 를 소정 위치로 안내하는 안내부 (59) 를 설치한다.

Description

노광장치 및 기판수납 카세트의 위치결정장치 {EXPOSURE SYSTEM AND APPARATUS FOR POSITIONING SUBSTRATE STORING CASSETTE}
일반적으로, 반도체소자를 제조하기 위한 포토리소그래피 공정에서 사용되고 있는 노광장치에서는, 포토마스크 또는 레티클의 패턴을 효율적으로 웨이퍼카세트에 수납된 1 로트의 웨이퍼 상에 노광하기 위해, 웨이퍼카세트에 대한 웨이퍼의 반입 및 반출을 행하기 위한 웨이퍼로더계가 구비되어 있다.
또, 노광장치에는, 다수의 레티클을 선택하여 노광장치에 설정하기 위한 레티클로더계도 구비되어 있다.
이러한 종류의 로더계는, 웨이퍼가 복수 수납된 웨이퍼카세트로부터 로봇암 등에 의해 웨이퍼를 꺼내어 웨이퍼스테이지 상에 반송함과 동시에, 이 웨이퍼스테이지로부터 웨이퍼카세트로 반송하는 것이다.
그리고, 상기 웨이퍼카세트는, 로봇이 웨이퍼를 정확하게 꺼낼 수 있도록 로봇에 대해 위치매칭된 설치대 상의 소정 위치로 위치결정된 상태에서 설치된다.
한편, 근래 웨이퍼의 대구경화 (예를 들면 직경 300 nm) 가 진행됨에 따라 이 웨이퍼에 대응하는 웨이퍼카세트도 여러 종류가 개발되어 제공되고 있다.
그리고, 이러한 종류의 웨이퍼카세트에서의 설치대로의 위치결정방법의 하나로서, 설치대에 설치할 때의 이동탑재 정밀도가 러프하더라도, 설치대로의 위치결정이 고정밀도로 행해지도록 키네마틱커플링의 방법이 반도체 제조관련 메이커 사이에서 표준으로 채용되고 있다.
도 10 에 키네마틱커플링에 의해 위치결정되는 웨이퍼카세트 및 설치대의 일례를 나타낸다.
이 도에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼카세트 (1) 의 바닥면에는, 하측을 향해 홈의 간격이 넓어지는 V 홈을 갖는 홈부재 (2) 가 120。 간격으로 방사선상으로 세군데 설치되어 있다.
그리고, 설치대 (3) 에는, 홈부재 (2) 의 V 홈에 걸어맞추는 키네마틱커플링핀 (4) 이 V 홈에 대응하여 대향배치되어 있다.
상기 구성의 설치대 (3) 에 대해, 웨이퍼카세트 (1) 를 V 홈과 키네마틱커플링핀 (4) 이 걸어맞춰지도록 상측부터 설치함으로써, 웨이퍼카세트 (1) 가 설치대 (3) 상의 소정 위치로 위치결정된다.
그러나, 상술한 바와 같은 종래의 노광장치에는 다음과 같은 문제가 존재한다.
작업자가 웨이퍼카세트 (1) 를 설치대 (3) 에 설치할 때에는, 상측에서 보면 홈부재 (2) 및 키네마틱커플링핀 (4) 이 웨이퍼카세트 (1) 에 의해 숨겨져 버리기 때문에, 바로 옆에서 홈부재 (2) 및 키네마틱커플링핀 (4) 의 위치관계를 확인할 필요가 있어 많은 작업시간이 소요되었다.
또, V 홈이 키네마틱커플링핀 (4) 에 대해 허용될 수 있는 위치어긋남에는 한계가 있으나, 이 한계를 넘는 경우에 있어서도 웨이퍼카세트 (1) 를 설치대 (3) 에 설치할 수는 있다.
이 경우, 웨이퍼카세트 (1) 는 설치대 (3) 에 대해 소정 위치로 위치결정되지 않은 상태에서 설치되어버리기 때문에, 로봇암이 웨이퍼를 꺼내러 갈 때에 웨이퍼에 간섭하게 됨으로써, 암이나 웨이퍼 또는 양쪽이 파손되어 버리거나, 때로는 로봇 본체까지 파손되어 버리는 문제가 있었다.
본 발명은, 이상과 같은 점을 고려하여 이루어진 것으로, 웨이퍼카세트의 설치에 관한 작업시간을 단축할 수 있음과 동시에, 웨이퍼카세트를 확실하게 소정 위치로 위치결정함으로써, 각 부의 파손을 회피하여 그 신뢰성을 향상시키는 노광장치, 기판수납 카세트의 위치결정장치, 및 기판수납 카세트의 반송방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
발명의 개시
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 실시형태를 나타내는 도 1 내지 도 6 에 대응시킨 다음과 같은 구성을 채용하고 있다.
제 1 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 기판수납 카세트 (43)를 설치대 (40, 41) 상의 소정 위치로 위치결정하는 기판수납 카세트의 위치결정장치로서, 기판수납 카세트 (43) 를 소정 위치로 위치결정할 때, 기판수납 카세트 (43) 를 소정 위치로 안내하는 안내부 (59) 를 설치한 것이다.
따라서, 본 발명의 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 기판수납 카세트 (43) 를 설치대 (40, 41) 상에 설치할 때에, 기판수납 카세트 (43) 가 위치결정되는 소정 위치로 안내부 (59) 에 의해 안내된다.
제 2 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 제 1 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치에 있어서, 기판수납 카세트 (43) 의 바닥면 (51) 에 위치결정용의 오목부 (52) 가 형성되고, 설치대 (40, 41) 상에 기판수납 카세트 (43) 의 오목부 (52) 에 걸어맞춤이 자유로운 볼록부 (57) 가 형성된 것이다.
따라서, 본 발명의 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 기판수납 카세트 (43) 의 바닥면 (51) 에 형성된 오목부 (52) 와 설치대 (40, 41) 상에 형성된 볼록부 (57) 를 걸어맞춤으로써, 기판수납 카세트 (43) 가 설치대 (40, 41) 상의 소정 위치로 위치결정된다.
제 3 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치에 있어서, 기판수납 카세트 (43) 가 설치대 (40, 41) 의 상측에서부터 소정 위치로 위치결정되는 구성으로 되고, 설치대 (40, 41) 는 기판수납 카세트 (43) 를 소정 위치에서 지지하는 지지부재 (55) 를 갖고, 안내부 (59) 는 지지부재 (55) 에 형성된 경사면으로 이루어지며, 기판수납 카세트 (43) 는 기판수납 카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부가 경사면에 맞닿아 소정 위치로 안내되는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 기판수납 카세트의 위치결정장치에서는, 기판수납 카세트 (43) 를 설치대 (40, 41) 상측에서 설치할 때, 기판수납 카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부가 지지부재 (55) 의 안내부 (59) 인 경사면에 맞닿아 소정 위치로 안내됨과 동시에, 이 소정 위치에서 지지부재 (55) 에 의해 지지된다.
제 4 항에 기재된 본 발명의 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치에 있어서, 기판수납 카세트 (43) 가 설치대 (40, 41) 의 상측에서부터 소정 위치로 위치결정되는 구성으로 되고, 설치대 (40, 41) 는 기판수납 카세트 (43) 를 소정 위치에서 지지하는 지지부재 (55) 를 가지며, 안내부 (59) 는 기판수납 카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부에 형성된 경사면으로 이루어지고, 기판수납 카세트 (43) 는 기판수납 카세트 (43) 에 형성된 경사면이 지지부재 (55) 에 맞닿아 소정 위치로 안내되는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 기판수납 카세트의 위치결정장치에서는, 기판수납 카세트 (43) 를 설치대 (40, 41) 의 상측부터 설치할 때, 기판수납 카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부에 형성된 경사면이 지지부재 (55) 에 맞닿아 소정 위치로 안내됨과 동시에, 이 소정 위치에서 지지부재 (55) 에 의해 지지된다.
제 5 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 제 3 항 또는 제 4 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치에 있어서, 지지부재 (55) 근방에 설치대 (40, 41) 상의 먼지와 티끌를 흡인하는 흡인기구 (61) 를 갖춘 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 기판수납 카세트의 위치결정장치에서는, 기판수납 카세트 (43) 를 설치대 (40, 41) 상에 설치할 때, 기판수납 카세트 (43) 가 안내부 (59) 에 맞닿아 먼지와 티끌가 발생하여도, 이 근방에 설치된 흡인기구 (61) 에 의해 그 먼지와 티끌를 흡인하여 배제할 수 있다.
제 6 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치에 있어서, 기판수납 카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 또는 안내부 (59) 에는, 기판수납 카세트 (43) 가 안내부 (59) 에 맞닿을 때의 충격을 완화하는 충격흡수부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 기판수납 카세트 (43) 를 설치대 (40, 41) 상에 설치할 때에, 기판수납 카세트 (43) 가 안내부 (59) 에 맞닿아도 충격흡수부재에 의해 맞닿을 때의 충격이 완화되기 때문에, 맞닿음에 의해 발생하는 먼지와 티끌를 감소시킬 수 있다.
제 7 항에 기재된 본 발명의 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 제 1 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치에 있어서, 안내부 (59) 가 설치대 또는 기판수납 카세트 중 적어도 어느 한 쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 것이다.
제 8 항에 기재된 본 발명의 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 제 7 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치에 있어서, 안내부 (59) 가 설치대에 설치된 설치부재의 경사면인 것을 특징으로 하는 것이다.
제 9 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 제 8 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치에 있어서, 안내부 (59) 가 기판수납 카세트에 형성된 경사면인 것을 특징으로 하는 것이다.
제 10 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 제 1 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치에 있어서, 소정 위치에서의 위치결정이, 기판수납 카세트에 설치된 제 1 걸어맞춤 부재 (53) 와, 탑재대 상에 설치되고 제 1 걸어맞춤 부재와 걸어맞춤하는 제 2 걸어맞춤 부재 (54) 와의 걸어맞춤에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 것이다.
제 11 항에 기재된 노광장치는, 조명계로부터의 광에 의해 투영광학계 (24) 를 통해 마스크 (25) 의 패턴 이미지를 기판 (22) 에 전사하는 노광장치에 있어서, 기판 (22) 을 수납하는 기판수납 카세트 (43) 를 설치대 (40, 41) 상의 소정 위치로 위치결정하는 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 기판수납 카세트 (43) 의 위치결정장치 (42) 를 갖춘 것이다.
따라서, 본 발명의 노광장치에서는, 기판수납 카세트 (43) 를 설치대 (40, 41) 상에 설치할 때에, 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 위치결정장치 (42) 에 의해 기판수납 카세트 (43) 가 설치대 (40, 41) 상의 위치결정되는 소정 위치로 안내된다.
제 12 항에 기재된 기판수납 카세트 (43) 를 설치대 (40, 41) 상의 소정 위치로 반송하는 기판수납 카세트의 반송방법에서는, 기판수납 카세트 (43) 의 외주면과 설치대 상에 설치된 부착부재를 접촉시키고, 기판수납 카세트 (43) 를 소정 위치까지 이동시키는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명은, 예를 들면 반도체소자 제조공정에서 사용되는 노광장치 및 이 노광장치에서 노광되는 기판을 수납하는 기판수납 카세트의 위치결정장치에 관한 것으로, 특히 설치대에 위치결정된 기판수납 카세트에 대해, 로더계에 의해 기판을 반출 및 반입하는 노광장치 및 기판수납 카세트의 위치결정장치, 또는 기판수납 카세트의 반송방법에 관한 것이다.
도 1 은 본 발명의 실시형태를 나타내는 도로서, 위치결정장치에 의해 위치결정되는 웨이퍼카세트와 설치대의 외관 사시도이다.
도 2 는 본 발명의 실시형태를 나타내는 도로서, 웨이퍼카세트의 위치결정장치를 갖춘 노광장치의 평면 단면도이다.
도 3 은 도 2 에서의 A-A 선에서 본 단면도이다.
도 4 는 본 발명의 실시형태를 나타내는 도로서, 홈부재의 V 홈과 키네마틱커플링핀의 구면부가 걸어맞춤되는 정면도이다.
도 5 는 본 발명의 실시형태를 나타내는 도로서, 설치대에 가이드부재 및 먼지티끌 제거장치가 설치되는 단면도이다.
도 6 은, 본 발명의 실시형태를 나타내는 도로서, (a) 는 설치대 상에 키네마틱커플링핀이 120。 간격으로 방사선상으로 뻗어있도록 설치되어 있는 평면도, (b) 는 웨이퍼카세트가 설치대에 설치된 모습을 나타내는 정면도이다.
도 7 은, 본 발명의 실시형태를 나타내는 도로서, 웨이퍼카세트를 설치대 상에 위치결정할 때의 동작도이다.
도 8 은, 본 발명의 실시형태를 나타내는 도로서, 웨이퍼카세트를 설치대 상에 위치결정할 때의 동작도이다.
도 9 는, 본 발명의 실시형태를 나타내는 도로서, 설치대 상에 가이드부재가 3 군데 설치된 외관 사시도이다.
도 10 은, 종래 기술에 의해 설치대 상의 소정 위치로 위치결정되는 웨이퍼카세트의 외관 사시도이다.
다음에서, 본 발명의 노광장치 및 기판수납 카세트의 위치결정장치의 제 1 실시형태를 도 1 내지 도 6 을 참조하여 설명한다.
도 2 는, 노광장치의 평면 단면도이고, 도 3 은 도 2 에서의 A-A 선에서 본 단면도로서, 이들 도에서 부호 (5) 는 노광장치이다.
노광장치 (5) 는, 서로 독립하는 독립챔버 (6,7,8) 를 순차적으로 나열한 구성으로 되어 있고, 도 3 에 나타낸 바와 같이, 독립챔버 (8) 는 구획판 (9) 에 의해 하부챔버 (8A) 와 상부챔버 (8B) 로 분리되어 있다.
독립챔버 (6) 내에는 공조장치 (10) 가 설치되어 있으며, 이 공조장치 (10) 의 내부에는 공기를 온도조정하는 공조유닛 (도시생략) 이 배치되어 있다.
또, 공조장치 (10) 는, 공조유닛에서 온도조정된 공기를, 독립챔버 (7) 의 천정에 설치된 먼지티끌제거용 필터 (11) 를 통해 이 독립챔버 (7) 내로 다운플로우시킴과 동시에, 독립챔버 (7) 의 바닥에 설치된 리턴 (12) 에서 공조유닛으로 되돌리는 구성으로 되어 있다.
또, 공조장치 (10) 는, 하부챔버 (8A), 상부챔버 (8B) 에 있어서도, 각각의 천정에 설치된 필터 (13, 14) 를 통해 각 챔버 (8A, 8B) 안으로 다운플로우시킴과 동시에, 각 챔버 (8A, 8B) 의 바닥에 설치된 리턴 (15, 16) 에서 공조유닛으로 되돌리는 구성으로 되어 있다.
한편, 독립챔버 (7) 내에는 노광장치 본체 (17) 가 설치되어 있다.
노광장치 본체 (17) 는, 대략적으로 독립챔버 (7) 의 바닥 위에 진동방지패드 (18, 19) 를 통해 설치된 진동방지대 (20) 와, 이 진동방지대 (20) 상에 설치되고 노광시에 포토레지스트가 도포된 웨이퍼 (기판: 22) 가 로드되는 웨이퍼스테이지 (21) 와, 진동방지대 (20) 상에 입설된 칼럼 (23) 과, 이 칼럼 (23) 의 중간단에 고정된 투영광학계 (24) 와, 칼럼 (23) 의 상단부에 설치되고 레티클 (마스크: 25) 이 탑재되는 레티클홀더 (도시생략) 와, 조명계 (도시생략) 로 개략 구성되어 있다.
도 2 에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼스테이지 (21) 는, 베이스 (26), Y 스테이지 (27), X 스테이지 (28) 및 웨이퍼홀더 (29) 등으로 구성되어 있고, 웨이퍼홀더 (29) 상에는, 노광대상인 웨이퍼 (22) 가 진공흡착에 의해 지지되는 구성으로 되어 있다.
웨이퍼 (22) 의 외주에는 오리엔테이션플랫 (또는 노치) 으로 불리는 절단부가 형성되어 있고, 웨이퍼 (22) 는 이 절단부가 소정 방향으로 향하도록, 그리고 웨이퍼 (22) 의 중심이 웨이퍼홀더 (29) 에 대해 소정의 위치관계가 되도록 이 웨이퍼홀더 (29) 상에서 웨이퍼로더계 (30) 에 의해 로드되는 설정으로 되어 있다.
웨이퍼로더계 (30) 는 독립챔버 (8) 의 하부챔버 (8A) 내에 설치되어 있고, X 방향으로 뻗어있는 횡슬라이더 본체 (31) 및 Y 방향으로 뻗어있는 종슬라이더 본체 (32) 에 의해 가이드부가 구성되어 있다.
횡슬라이더 본체 (31) 상에는, X 방향으로 슬라이딩이 자유로운 로봇밴드 (33) 가 배치되어 있다.
로봇밴드 (33) 는 횡슬라이더 본체 (31) 를 따라 X 방향으로 이동하는 X 축 이동부 (34) 와, 이 X 축 이동부 (34) 상에서 XY 평면에 수직인 Z 방향으로 신축이 자유로운 Z 축 이동부 (35) 와, 이 Z 축 이동부 (35) 의 중심을 축으로 하여 회전하는 θ축 회전부 (36) 와, 이 θ축 회전부 (36) 의 선단에 회전이 자유롭게 설치된 R 축 회전부 (37) 와, 이 R 축 회전부 (37) 의 선단에 회전이 자유롭게 설치된 밴드부 (38) 로 구성되어 있고, 밴드부 (38) 의 선단부에는 진공흡착부 (39) 가 설치되어 있다.
밴드부 (38) 는 θ축 회전부 (36) 가 회전했을 때에 θ방향으로 회전이 자유로우며, R 축 회전부 (37) 및 밴드부 (38) 의 회전각을 조합함으로써 이 밴드부 (38) 의 중심에서 반경방향 (R 방향) 으로의 위치를 조정 가능한 구성으로 되어 있다.
또, 횡슬라이더 본체 (31) 의 측에는, 로봇밴드 (33) 에 대해 소정의 위치관계로 설정된 설치대 (40, 41) 가 배치되어 있다.
그리고, 이들 설치대 (40, 41) 상에는, 위치결정장치 (42) 에 의해 설치대 (40, 41) 의 소정 위치로 위치결정되는 웨이퍼카세트 (기판수납 카세트: 43) 가 탑재되는 구성으로 되어 있다.
또, 설치대 (40, 41) 상의 위치결정장치 (42) 는 동일구성이기 때문에 설치대 (40) 의 위치결정장치 (42) 에 대해서 설명한다.
도 1 에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼카세트 (43) 는, 천벽부(天壁部: 44) 와, 이 천벽부 (44) 에 대향배치된 저벽부 (45) 와, 이들 천벽부 (44), 저벽부 (45) 사이에 형성된 측벽부 (46) 로 구성되어 있다. 측벽부 (46) 의 일단부에 천벽부 (44) 가 형성되어 있고, 측벽부 (46) 의 타단부에는 저벽부 (45) 가 형성되는 구성이다.
각 측벽부 (46) 에는, 웨이퍼 (22) 를 수평상태에서 13 장 수납하는 슬롯 (47) 이 쌍으로 형성되어 있다.
또, 측벽부 (46) 의 일단부에는 도시를 생략한 이동탑재 로봇에 단단히 쥐여진 고정 플랜지 (48) 가 형성되고, 측벽부 (46) 의 일단부와 타단부의 사이에는 이동탑재 로봇에 단단히 쥐여진 사이드그립피트 (49) 가 형성되어 있다.
저벽부 (45) 의 타단부에는 이동탑재 로봇의 포크가 삽입되는 포크슬롯 (50) 이 형성되어 있다.
이 포크슬롯 (50) 은 웨이퍼 (22) 가 로드되는 방향을 따라 뻗어나가도록 형성되어 있다.
이렇게 구성된 웨이퍼카세트 (43) 를 이동탑재 로봇으로 지시할 때, 웨이퍼카세트 (43) 의 포크슬롯 (50) 에 이동탑재 로봇의 포크를 삽입함과 동시에, 고정 플랜지 (48) 및 사이드그립피트 (49) 에 이동탑재 로봇의 고정 암을 걸어맞춘다. 이렇게 해서, 웨이퍼카세트 (43) 를 이동탑재 로봇이 설치대 (40, 41) 에 대해 반출 또는 반입을 행한다.
위치결정장치 (42) 는, 웨이퍼카세트 (43) 의 저벽부 (45) 의 바닥면 가장자리부 (51) 에 형성된 홈부재 (53: 제 1 걸어맞춤 부재) 와, 설치대 (40, 41) 에 설치된 키네마틱커플링핀 (54: 제 2 걸어맞춤 부재) 과, 설치대 (40, 41) 상에 설치된 웨이퍼카세트 (43) 를 소정 위치로 안내하는 안내부가 형성됨과 동시에, 이 위치에서 웨이퍼카세트 (43) 를 지지하는 지지부재 (55) 로 구성되어 있다.
도 4 에 나타낸 바와 같이, 홈부재 (53) 는 하측을 향해 홈의 간격이 넓어지는 V 홈 (오목부: 52) 을 갖는 것으로, 도 6(a) 에 나타낸 바와 같이 V 홈 (52) 이 120。 간격으로 방사선상으로 뻗어나가도록 3 군데에 형성되어 있다. 또, 이 V 홈 (52) 은 90。 각도로 넓어지고 있다.
또, 웨이퍼카세트 (43) 의 외형, 특히 지지부재 (55) 에 지지되는 부분은 곡률 (원호면) 을 가지고 있고, 이 곡률에 대응하여 지지부재 (55) 의 지지면 (58) 도 곡률을 가지고 있다 (도 6 참조). 즉, 지지부재 (55) 의 지지면 (58) 은 웨이퍼카세트의 외경에 대응한 형상을 갖는다.
도 4 에 나타낸 바와 같이, 키네마틱커플링핀 (54) 은, 설치대 (40) 의 상측으로 돌출하는 직경 12 mm 정도의 축부 (56) 와, 축부 (56) 의 선단에 형성되고 홈부재 (53) 의 V 홈 (52) 에 걸어맞춤이 자유로운 반경 15 mm 정도의 구면부 (볼록부: 57) 로 구성되어 있으며, V 홈 (52) 에 대응하도록 3 군데 배치되어 있다 (도 6 참조).
또, 이들 V 홈 (52) 과 구면부 (57) 는 서로 걸어맞춤했을 때, 홈부재 (53) 가 설치대 (40, 41) 에 대해 2 mm 정도 이간하는 구성으로 되어 있다.
지지부재 (55) 는, 웨이퍼카세트 (43) 가 소정 위치로 위치결정되었을 때에 웨이퍼카세트 (43) 의 지지를 써포트하는 것으로, 경사면 (59) 은 웨이퍼카세트 (43) 를 설치대 (40, 41) 상측에서 소정 위치로 위치결정할 때, 웨이퍼카세트 (43) 에 맞닿아 이 소정 위치로 안내하는 것이다.
여기서 소정 위치란, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부에 형성된 홈부재 (53) 의 V 홈과, 설치대 (40, 41) 에 설치된 키네마틱커플링핀 (54) 이 서로 걸어맞춤하는 위치이다.
또, 지지부재 (55) 는, 키네마틱커플링핀 (54) 과, 웨이퍼카세트 (43) 의 조합에 의해 위치결정을 써포트하고, 웨이퍼카세트 (43) 를 지지하는 구성으로 했으나, 지지부재 (55) 의 지지면 (58) 이 본 발명에 있어서 반드시 필수의 요건은 아니다. 즉, 지지부재 (55) 는, 경사면 (안내면) 이 형성되어 있을 만큼의 구성이면 된다. 따라서, 경사면이 형성되어 있을 만큼의 지지부재는, 단지 설치대 (40, 41) 에 부착된 부착부재에 해당한다.
지지부재 (55) 는 설치대 (40, 41) 에 대해 웨이퍼 (22) 를 로드하는 측과 반대측의 양단 2 군데에 배치되어 있고, 도 6(a) 에 나타낸 바와 같이 웨이퍼카세트 (43) 의 측면에 접촉 또는 수 mm 정도 이간하여 대향하는 지지면 (58) 과, 웨이퍼카세트 (43) 를 소정 위치로 위치결정할 때에 웨이퍼카세트 (43) 를 이 소정 위치로 안내하는 경사면 (안내부; 59) 이 형성되어 있다. 이 경사면 (59) 은, 웨이퍼카세트 (43) 를 소정 위치로 안내하는 안내면이라고도 하며, 웨이퍼카세트 (43) 를 소정 위치로 인도하도록 설치대 (40) 의 중앙부를 향하고 있는 내벽이 상기 상측을 향해 넓어지도록 기울어져 있다.
또, 도 5 에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 (51) 에는, 상기 경사면 (59) 에 맞닿았을 때 발생하는 응력집중을 완화하는 응력완화면 (60) 이 형성되어 있다.
이 응력완화면으로는, 바닥면 가장자리부 (51) 의 각을 떼어 형성된 테이퍼면일 수도 있고, 또 각을 둥글게 하여 원호면으로 할 수도 있다.
한편, 지지부재 (55) 의 근방에는, 상기 웨이퍼카세트 (43) 와 지지부재 (55) 의 접촉에 의해 발생하는 먼지와 티끌를 흡인하여 제거하는 먼지티끌 제거장치 (흡인기구: 61) 가 설치되어 있다.
먼지티끌 제거장치(61) 는, 대략, 설치대 (40) 의 지지부재 (55) 근방에 개구하는 흡인관 (62) 과, 이 흡인관 (62) 안을 음압흡인하는 음압흡인원 (63) 으로 개략 구성되어 있다.
다시 도 2 로 되돌아가서, 횡슬라이더 본체 (31) 의 측에는 웨이퍼 (22) 를 일시적으로 탑재하기 위한 가탑재대 (64, 65) 가 설치되어 있고, 이 가탑재대 (64, 65) 상에는 웨이퍼탑재용 핀이 복수개 설치되어 있다.
또, 설치대 (40, 41) 및 가탑재대 (64, 65) 근방의 독립챔버 (8) 의 측면에는, 각각 외부로부터 웨이퍼카세트 (43) 등을 교환하기 위한 개구 (66, 67, 68) 가 형성되어 있다.
한편, 종슬라이더 본체 (32) 는 독립챔버 (7) 의 측면 개구 (69) 및 독립챔버 (8) 의 하부챔버 (8A) 의 측면 개구 (70) 를 통해 독립챔버 (7) 안에 돌출되어 있다.
종슬라이더 본체 (32) 의 측면에는, 길이방향으로 슬라이딩이 자유롭도록 평면에서 보아 U 자형상의 슬라이더 (71, 72) 가 형성되어 있다.
슬라이더 (71, 72) 는 각각 진공 흡착에 의해 웨이퍼 (22) 를 지지가능한 구성으로, 독립챔버 (7) 안과 하부챔버 (8A) 안의 사이를 독립적으로 이동가능하게 되어 있다.
또, 슬라이더 (71, 72) 의 하측, 그리고 횡슬라이더 본체 (31) 의 측에는 상하 움직임이 가능한 턴테이블 (73) 이 배치되어 있다.
한편, 독립챔버 (8) 의 상부챔버 (8B) 안에는 레티클로더계 (74) 가 설치되어 있다.
레티클로더계 (74) 는 종슬라이더 본체 (77) 에 의해 가이드부가 구성되어 있고, 이 종슬라이더 본체 (77) 는 독립챔버 (7) 의 개구 (75) 및 상부챔버 (8B) 의 개구 (76) 를 통해 독립챔버 (7) 안에 돌출되어 있다.
또, 종슬라이더 본체 (77) 에는, 이 슬라이더본체 (77) 를 따라 슬라이딩이 자유로운 슬라이더 (78, 79) 가 부착됨과 동시에, 그 근방에는 로봇밴드 (80) 가 설치되어 있다.
로봇밴드 (80) 는, 베이스 (81) 와, 이 베이스 (81) 상에서 XY 평면에 수직인 Z 방향으로 신축하는 Z 축 이동부 (82) 와, 이 Z 축 이동부 (82) 의 중심을 축으로 하여 회전하는 θ축 회전부 (83) 와, 이 θ축 회전부 (83) 의 선단에 회전이 자유롭게 설치된 R 축 회전부 (84) 와, 이 R 축 회전부 (84) 의 선단에 회전이 자유롭게 설치된 밴드부 (85) 로 구성되어 있다.
그리고, 로봇밴드 (80) 의 근방에는 레티클을 보관하는 보관선반 (86) 이 설치되어 있다.
상기 구성의 노광장치 및 기판수납 카세트의 위치결정장치 안, 우선 기판수납 카세트의 위치결정장치의 작용에 대해 다음에서 설명한다.
슬롯 (47) 에 웨이퍼 (22) 가 수납된 웨이퍼카세트 (43) 는, 노광장치 (5) 의 독립챔버 (8) 근방으로 반송된다.
다음으로, 이동탑재 로봇이, 웨이퍼카세트 (43) 의 파지플랜지 (48) 및 사이드그립피트 (49) 를 단단히 쥠과 동시에, 그 포크가 포크슬롯 (50) 에서 웨이퍼카세트 (43) 를 하측에서부터 지지하여 들어올린다.
그리고, 이 상태에서 독립챔버 (8) 의 개구 (66) 로부터 독립챔버 (8) 안에 수평방향으로 삽입된다.
이때, 웨이퍼카세트 (43) 는, 포크에 의해 저벽부 (45) 의 양측에서 지지됨과 동시에, 양 측벽부 (46) 에서 고정 플랜지 (48) 및 사이드그립피트 (49) 가 단단히 쥐고 있기 때문에, 회전방향으로의 위치변동이 없는 상태로 삽입된다.
다음으로, 웨이퍼카세트 (43) 의 위치결정을 도 5 에 근거하여 설명한다. 도 5 에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼카세트 (43) 가 설치대 (40) 에 대한 소정 위치의 상측에 도달하기 약간 전에 수평방향의 이동을 정지한다.
이 경우, 소정 위치의 상측에 도달하기 약간 전은, 지지부재 (55) 에 형성된 경사면 (안내면: 59) 내부라면 어느 위치여도 상관없다.
또, 이동탑재 로봇이 상기의 약간 전부터, 웨이퍼카세트 (43) 를 하강시키는 경우, 그 도중에 웨이퍼카세트 (43) 가 경사면 (59) 을 따라 이동하기 때문에 웨이퍼카세트 (43) 가 비스듬히 하강하게 된다. 따라서, 이동탑재 로봇은 하강할 때, 하강방향과 직교하는 방향으로 신축하는 구성인 것이 바람직하다.
이 다음, 도 5 에 나타낸 바와 같이, 설치대 (40) 의 상측에서부터 웨이퍼카세트 (43) 를 하강시키면 (① 의 상태), 웨이퍼카세트 (43) 는 그 바닥면 가장자리부 (51) 의 단부 (60) 가 지지부재 (55) 의 경사면 (59) 에 맞닿음과 동시에, 경사면 (59) 을 따라 미끄러져 내려온다 (② 의 상태). 그리고, 웨이퍼카세트 (43) 는 2 개의 지지부재 (55) 로 형성되는 위치결정 공간으로 떨어지고 (③ 의 상태), 최종적으로 지지면 (58) 으로 안내되어 상술한 소정 위치로 위치결정된다. 웨이퍼카세트 (43) 는 설치대 (40) 에 설치된 모습을 도 6(a)(b) 에 나타낸다.
즉, 도 4 에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼카세트 (43) 에 설치된 홈부재 (53) 의 V 홈 (52) 과, 설치대 (40) 에 설치된 키네마틱커플링핀 (54) 의 구면부 (57) 가 걸어맞춤되어, 웨이퍼카세트 (43) 는 설치대 (40) 상의 소정 위치로 위치결정된다. 이 때, 홈부재 (53) 와 설치대 (40) 사이에는 약간의 간극 (2 mm 정도) 이 있다.
상기와 같은 방법으로, 웨이퍼카세트 (43) 는 지지부재 (55) 의 경사면 (59) 을 통해 소정 위치로 위치결정된다.
또, 이 때, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 (51) 에는 응력완화면 (60) 이 형성되어 있기 때문에 원활하게 경사면을 따를 수 있음과 동시에, 맞닿음에 의한 응력집중이 완화되기 때문에 이 부분에서의 먼지와 티끌의 발생을 억제할 수 있다.
또, 미소량이지만 발생된 먼지와 티끌도 음압흡인원 (63) 의 음압흡인에 의해 흡인관 (62) 에서 흡인되어 제거된다.
이어서, 노광장치 (5) 의 동작에 대해서 설명한다.
도 2, 3 에 나타낸 바와 같이 로봇밴드 (33) 가, 설치대 (40) 에 위치결정된 웨이퍼카세트 (43) 로부터 웨이퍼 (22) 를 꺼낸 다음, 위치 (Q) 로 이동하여 턴테이블 (73) 을 통해 슬라이더 (71) 또는 (72) 에 웨이퍼 (22) 를 넘긴다.
슬라이더 (71, 72) 는 웨이퍼 (22) 를 진공흡착에 의해 지지한 상태에서 웨이퍼스테이지 (21) 의 웨이퍼홀더 (29) 로 소정 위치가 되도록 로드한다.
웨이퍼홀더 (29) 의 진공흡착에 의해 지지된 웨이퍼 (22) 는, 조명계로부터의 노광광에 의해 투영광학계 (24) 를 통해 레티클 (25) 의 패턴 이미지를 웨이퍼 (22) 에 전사한다.
패턴 이미지가 전사된 웨이퍼 (22) 는, 다시 슬라이더 (71 또는 72) 에 의해 로드되고, 턴테이블 (73) 의 상하 이동을 통해 로봇밴드 (33) 로 넘겨진다.
그리고, 로봇밴드 (33) 는 이 웨이퍼 (22) 를, 예를 들면 웨이퍼케이스 (43) 로 되돌린다.
한편, 레티클 (25) 을 세트할 때에는, 보관선반 (86) 으로부터 로봇밴드 (80) 의 밴드부 (85) 에서 진공흡착에 의해 레티클 (25) 을 꺼내고, 이 꺼낸 레티클 (25) 을 종슬라이더 본체 (77) 의 슬라이더 (78 또는 79) 로 넘긴다.
이 후, 슬라이더 (78 또는 79) 는 레티클 (25) 을 진공흡착에 의해 지지한 상태에서 종슬라이더 본체 (77) 를 따라 독립챔버 (7) 내로 이동하고, 도시를 생략한 레티클 수수 수단을 통해 노광장치 본체 (17) 의 칼럼 (23) 상의 레티클홀더 상에 이 레티클 (25) 을 설치한다.
또, 레티클 (25) 을 교환할 때에는, 레티클홀더로부터 꺼낸 레티클 (25) 이, 슬라이더 (78 또는 79) 및 로봇밴드 (80) 를 통해 보관선반 (86) 으로 되돌려진다.
그리고, 새로운 레티클을 상기와 동일한 동작에 의해 레티클홀더에 설치함으로써 교환이 완료된다.
본 실시형태의 노광장치 및 기판수납 카세트의 위치결정장치에 의하면, 웨이퍼카세트 (43) 를 상측에서부터 설치할 때에 지지부재 (55) 의 경사면 (59) 을 따라 안내하기 때문에, 이동탑재로봇의 반송 정밀도가 그다지 높지않더라도 확실하면서 용이하게 설치대 (40) 상의 소정 위치로 위치결정할 수 있다,
즉, 웨이퍼카세트 (43) 를 상측에서부터 설치할 때의 웨이퍼카세트 (43) 와 지지부재 (55) 의 위치관계는, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 (51) 가 경사면 (59) 의 면안에 있으면 된다. 이 정도의 위치매칭은, 높은 반송 정밀도를 갖지 않는 이동탑재 로봇의 정밀도로 충분히 달성할 수 있다.
또, 이동탑재 로봇을 사용하지 않고, 작업자가 이동 탑재하는 경우라도 용이하게, 또한 단시간에 작업을 완료시킬 수 있다.
또, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 (51) 에 응력완화면 (60) 을 형성했기 때문에, 상기 지지부재 (55) 의 경사면 (59) 에 맞닿았을 때에도 원활하게 안내됨과 함께 맞닿음 시에 먼지와 티끌의 발생을 미소량으로 억제할 수 있다.
또, 이 미소량 발생된 먼지와 티끌도 먼지티끌 제거장치 (61) 에 의해 제거될 수 있기 때문에, 웨이퍼카세트 (43) 내의 웨이퍼 수납공간에 먼지와 티끌이 섞이지 않아 고도로 클린하게 유지할 수 있다.
그리고, 웨이퍼카세트 (43) 가 확실하게 소정 위치로 위치결정됨으로써, 노광장치 (5) 에서 로봇밴드 (33) 가 웨이퍼 (22) 를 로드할 때에 간섭 등에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있다.
도 9 는, 본 발명의 노광장치 및 기판수납 카세트의 위치결정장치의 제 2 실시형태를 나타내는 도이다.
이 도에 있어서, 도 1 내지 도 6 에 나타내는 제 1 실시형태의 구성요소와 동일한 요소에 대해서는 동일부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.
제 2 실시형태와 상기 제 1 실시형태가 상이한 점은, 지지부재 (55) 를 3 군데에 설치한 것이다.
즉, 설치대 (40) 에는, 지지부재 (55) 가 웨이퍼 (22) 를 로드하는 측의 한 군데과 그 반대측 양단의 두 군데 합계 3 군데에 배치되어 있고, 이는 홈부재 (53) 및 키네마틱커플링핀 (54) 의 사이에 배치되게 된다.
다른 구성은 상기 제 1 실시형태와 동일하다.
본 실시형태의 노광장치 및 기판수납 카세트의 위치결정장치에 의하면, 상기 제 1 실시형태와 동일한 작용 및 효과가 얻을 수 있고 동시에, 웨이퍼카세트 (43) 의 이동탑재시에 웨이퍼카세트 (43) 가 어느 방향으로 어긋나 있어도 지지부재 (55) 의 경사면 (59) 이 맞닿아 소정 위치로 안내할 수 있다.
또, 본 발명의 노광장치 및 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 다음과 같은 변경을 더한 것을 포함한다.
본 실시형태에서는 설치대 (40) 를 독립챔버 내에 설치하는 구성으로 설명했으나 이 구성에 한정되는 것은 아니고, 설치대 (40) 를 독립챔버의 바깥에 설치하고 로봇밴드에 의해 웨이퍼를 챔버 안으로 로드하도록 할 수도 있다.
또, 본 실시형태의 위치결정장치는, 웨이퍼카세트 (43) 의 저벽부 (45) 의 바닥면 가장자리부 (51) 에 설치된 홈부재 (53) 와, 설치대 (40) 에 설치된 키네마틱커플링핀 (54) 으로 구성되었으나 이 구성에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 홈부재 (53) 를 설치대 (40) 상에 설치하고, 핀 (54) 을 저벽부 (45) 에 설치하는 구성일 수도 있다.
또한, 핀 (45) 와 홈부재 (53) 에 의해 기계적으로 위치결정하고 있으나, 자기적인 위치결정일 수도 있다. 이 경우, 카세트 (43) 의 저벽부 (45) 에 S 극의 자석을 부착하고, 설치대 (40) 에는 N 극 또는 S 극의 양자극을 발생하는 자극부재를 설치한다. 그리고 위치결정 시에는, 자극부재에서 N 극의 자극을 발생시키고, 웨이퍼카세트 (43) 를 설치대 (40) 에서 떼어낼 시에는 자극부재로 S 극의 자극을 발생시키면 된다.
또, 본 실시형태에서의 경사면 (59) 은, 설치대 (40) 상에 설치된 지지부재 (55) 에 형성되는 구성이지만 이 구성에 한정되는 것이 아니라, 예를 들면 도 7 에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 (51) 에 경사면 (100) 을 형성하는 구성일 수도 있다.
즉, 경사면 (100) 은, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 (51) 가 설치대 (40) 상에서 하강하는 방향을 향해 수속하도록 (면적이 작아지도록) 기울어져 형성되어 있다. 또, 이 경우, 설치대 (40) 상의 지지부재 (55) 는, 웨이퍼카세트 (43) 의 경사면 (100) 에 맞닿았을 때에 발생하는 응력집중을 완화하는 응력완화면 (101) 을 형성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 있어서, 설치대 (40) 의 상측부터 웨이퍼카세트 (43) 를 하강시키면 (① 의 상태), 웨이퍼카세트 (43) 는 그 바닥면 가장자리부 (51) 에 형성된 경사면 (100) 이 지지부재 (55) 의 응력완화면 (101) 을 따라 미끄러져 내려간다 (② 의 상태).
그리고, 웨이퍼카세트 (43) 는 적어도 2 개의 지지부재 (55) 로 형성되는 위치결정 공간으로 떨어지고 (③ 의 상태), 최종적으로 지지면 (58) 으로 안내되어 소정 위치로 위치결정된다.
또, 경사면을 도 8 에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 (51) 와, 지지부재 (55) 에 각각 형성하는 구성일 수도 있다.
즉, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 (51) 의 경사면 (102) 은, 웨이퍼카세트 (43) 의 바닥면 가장자리부 (51) 가 설치대 (40) 상으로 하강하는 방향을 향해 수속하도록 (면적이 작아지도록) 기울어져 형성되고, 지지부재 (55) 의 경사면 (103) 은, 설치대 (40) 의 중앙부를 향하고 있는 내벽이 상측을 향해 넓어지도록 기울어져 형성되어 있다. 이 구성에 있어서, 설치대 (40) 의 상측에서부터 웨이퍼카세트 (43) 를 하강시키면 (① 의 상태), 웨이퍼카세트 (43) 는 그 바닥면 가장자리부 (51) 에 형성된 경사면 (102) 이 지지부재 (55) 에 형성된 경사면 (103) 에 맞닿는다.
그 후, 웨이퍼카세트 (43) 의 경사면 (102) 은, 지지부재 (55) 의 경사면 (103) 을 따라 미끄러져 내려간다 (② 의 상태).
그리고, 웨이퍼카세트 (43) 는, 적어도 2 개의 지지부재 (55) 로 형성되는 위치결정 공간으로 떨어지고 (③ 의 상태), 최종적으로 지지면 (58) 으로 안내되어 소정 위치로 위치결정된다.
또, 웨이퍼카세트 (43) 의 경사면 (102) 은, 지지부재 (55) 의 경사면 (103) 에 맞닿지만, 서로 면접촉하게 되어 마찰저항이 커지는 경우도 상정된다.
이 때는, 적어도 한쪽 면에 슬라이딩 부재를 설치하는 것이 바람직하다. 이 슬라이딩 부재로는 실리콘 오일 등을 들 수 있다.
또, 본 실시형태에서는 안내부로서 경사면을 설명했으나, 완전한 직선형상으로 기울어져 있지 않아도 좋고, 약간 곡률을 가지고 있는 경사면일 수도 있다.
즉, 웨이퍼카세트 (43) 가 상측부터 위치결정될 때에, 소정 위치로 미끄러져 떨어지는 면이라면 상기 곡률이 있어도 다소 요철이 있을 수도 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 위치결정 대상으로 웨이퍼수납 카세트를 예로 들어 설명했으나, 다른 기판 (예를 들면, 레티클, 마스크, 유리기판) 을 수납하는 카세트를 위치결정의 대상으로 할 수도 있다.
이 때 1 장의 기판을 수납하는 수납상자에 적용할 수도 있다. 또, 복수장의 웨이퍼를 밀폐공간 내에 수납하는 카세트 (USP 5,711,427, USP 5,642,713) 에 적용할 수도 있다.
또, 본 실시형태에서는, 설치 대상에 지지부를 2 군데 또는 3 군데에 형성하는 구성으로 했으나, 지지부를 4 군데 이상에 형성하거나, 지지부를 연속한 링 형상으로 형성할 수도 있다.
응력완화면으로, 챔퍼 (chamfer) 형상 및 테이퍼 형상으로 했으나, 카세트의 바닥면 가장자리부 또는 안내면에 접촉시에 생기는 충격을 흡수하는 충격흡수재를 설치하는 것이 바람직하다.
전술한 바와 같이, 웨이퍼카세트를 소정 위치로 위치결정할 때에, 위치결정장치를 구성하는 각 요소를 기계적 또는 전기적으로 연결함으로써 본 실시형태에 관한 위치결정장치가 짜여진다. 또, 이 위치결정장치를 갖춘 노광장치는, 이 노광장치를 구성하는 각 요소를, 전술한 바와 같은 노광동작을 행하기 위해 기계적 또는 전기적으로 연결함으로써 본 실시형태에 관한 노광장치가 짜여진다.
본 실시형태에서 설명한 노광장치는, 마스크와 기판을 동기 이동하여 마스크의 패턴을 노광하는 주사형 노광장치 (USP 5,473,410) 일 수도 있고, 마스크와 기판을 정지한 상태에서 마스크의 패턴을 노광하고, 기판을 순차적으로 스텝 이동시키는 스텝 앤드 리피트형 노광장치일 수도 있다.
또, 본 실시형태에서는 노광장치를 전제로 설명했으나, 웨이퍼에 형성된 패턴을 검사하는 검사장치나, 웨이퍼상의 레지스트 도포 불균일 및, 이물을 검사하는 결함검사장치, 레티클상의 패턴 상측을 측정하는 패턴측정장치 등, 웨이퍼 및 레티클을 반송하는 반송기구를 갖춘 장치라면 어떠한 장치에도 적용하는 것이 가능하다.
명세서, 특허청구범위, 도면, 및 요약을 각각 포함하는 1998 년 2 월 4 일자 제출의 일본 특허출원 제 10-23565 호의 전체 개시내용은, 전부 그대로 적용하여 본원에 포함되어 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 제 1 항에 관한 기판수납 카세트의 위치결정장치에서는, 기판수납 카세트를 설치대의 소정 위치로 위치결정할 때, 기판수납 카세트를 이 소정 위치로 안내하는 안내부를 설치한 구성으로 되어있다.
이로 인해, 로봇의 경우, 그 이동탑재 정밀도가 그다지 높지 않더라도 확실하고 용이하게 기판수납 카세를 설치대상의 소정 위치로 기판수납 카세트를 위치결정할 수 있어, 작업자가 이동탑재하는 경우에도 용이하게 또한 단시간에 작업을 완료시킬 수 있는 우수한 효과를 나타내는 것이다.
제 2 항에 관한 기판수납 카세트의 위치결정장치에서는, 기판수납 카세트의 바닥면에 위치결정용 오목부가 형성되고, 설치대 상에 이 오목부와 걸어맞춤이 자유로운 볼록부가 형성된 구성으로 되어 있다.
이로 인해, 예를 들면 키네마틱커플링핀에 의해 기판수납 카세트를 설치대 상에 위치결정할 때, 한층 확실하고 또 용이하게 소정 위치로 위치결정할 수 있는 우수한 효과를 나타낸다.
제 3 항에 관한 기판수납 카세트의 위치결정장치에서는, 기판수납 카세트를 상측부터 위치결정할 때, 기판수납 카세트의 바닥면 가장자리부가 맞닿을 때에 이 기판수납 카세트를 소정 위치로 안내하는 경사면이 지지부재에 형성되는 구성으로 되어 있다.
이로 인해, 기판수납 카세트를 경사면을 따라 미끄러져 떨어뜨려, 한층 확실하고 용이하게 설치대 상의 소정 위치로 위치결정할 수 있는 우수한 효과를 나타낸다.
제 4 항에 관한 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 기판수납 카세트를 상측에서부터 위치결정할 때, 기판수납 카세트의 바닥면 가장자리부가 맞닿을 때에 이 기판수납 카세트를 소정 위치로 안내하는 경사면이 바닥면 가장자리부에 형성되는 구성으로 되어 있다.
이로 인해, 기판수납 카세트를 경사면을 따라 미끄러져 떨어뜨려, 한층 확실하고 용이하게 설치대 상의 소정 위치로 위치결정할 수 있는 우수한 효과를 나타낸다.
제 5 항에 관한 기판수납 카세트의 위치결정장치는, 지지부재 근방에 설치대 상의 먼지와 티끌를 흡인하는 흡인기구를 갖춘 구성으로 되어 있다.
이로 인해, 기판수납 카세트가 안내부에 맞닿아도 기판 주변을 고도로 클린하게 유지할 수 있는 우수한 효과를 나타내는 것이다.
제 6 항에 관한 기판수납 카세트의 위치결정장치에서는, 기판수납 카세트의 바닥면 가장자리부 또는 안내부에, 기판수납 카세트가 맞닿을 때의 충격을 완화하는 충격흡수부재가 설치되는 구성으로 되어 있다.
이로 인해, 기판수납 카세트가 안내부에 맞닿아도, 먼지와 티끌의 발생을 미소량으로 억제하여 기판 주변을 클린하게 유지 가능한 우수한 효과를 나타내는 것이다.
제 11 항에 관한 노광장치에서는, 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치를 갖춘 구성으로 되어 있다.
이로 인해, 기판을 로드할 때에, 로드계가 파손되지 않아 신뢰성이 현저히 향상되는 우수한 효과를 나타내는 것이다.
제 12 항에 기재된 기판수납 카세트의 반송방법에서는, 기판수납 카세트의 외주면과 설치대 상에 부착된 부착부재를 접촉시키고, 기판수납 카세트를 소정 위치까지 이동시키는 구성으로 되어 있다.
이로 인해, 로봇의 경우는, 이 이동탑재 정밀도가 그다지 높지 않아도 확실하고 용이하게 설치대 상의 소정 위치로 기판수납 카세트를 위치결정할 수 있어, 작업자가 이동탑재하는 경우에도 용이하게 또 단시간에 작업을 완료시킬 수 있는 우수한 효과를 나타내는 것이다.

Claims (18)

  1. 기판수납 카세트를 설치대 상의 소정 위치로 위치결정하는 기판수납 카세트의 위치결정장치로서,
    상기 기판수납 카세트를 상기 소정 위치로 위치결정할 때, 상기 기판수납 카세트를 상기 소정 위치로 안내하는 안내부를 설치한 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 기판수납 카세트의 바닥면에는, 위치결정용의 오목부가 형성되고,
    상기 설치대 상에는, 이 기판수납 카세트의 오목부에 걸어맞춤이 자유로운 볼록부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 기판수납 카세트는, 상기 설치대의 상측에서부터 상기 소정 위치로 위치결정되는 구성으로 되고,
    이 설치대는, 상기 기판수납 카세트를 상기 소정 위치에서 지지하는 지지부재를 가지고,
    상기 안내부는 상기 지지부재에 형성된 경사면으로 이루어지며,
    상기 기판수납 카세트는 이 기판수납 카세트의 바닥면 가장자리부가 상기 경사면에 맞닿아 상기 소정 위치로 안내되는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 기판수납 카세트는 상기 설치대의 상측에서부터 상기 소정 위치로 위치결정되는 구성으로 되고,
    이 설치대는, 상기 기판수납 카세트를 상기 소정 위치에서 지지하는 지지부재를 가지며,
    상기 안내부는 상기 기판수납 카세트의 바닥면 가장자리부에 형성된 경사면으로 이루어지고,
    상기 기판수납 카세트는 상기 기판수납 카세트에 형성된 경사면이 상기 지지부재에 맞닿아 상기 소정 위치로 안내되는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 지지부재 근방에 상기 설치대 상의 먼지와 티끌을 흡인하는 흡인기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판수납 카세트의 바닥면 가장자리부 또는 안내부에는, 이 기판수납 카세트가 상기 안내부에 맞닿을 때의 충격을 완화하는 충격흡수부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 안내부는, 상기 설치대 또는 상기 기판수납 카세트중 적어도 어느 한쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 안내부는, 상기 설치대에 부착된 부착부재의 경사면인 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 안내부는, 상기 기판수납 카세트에 형성된 경사면인 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 소정 위치에서의 위치결정은, 상기 기판수납 카세트에 설치된 제 1 걸어맞춤 부재와, 상기 탑재대 상에 설치되고 상기 제 1 걸어맞춤 부재와 걸어맞춤하는 제 2 걸어맞춤 부재와의 걸어맞춤에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 위치결정장치.
  11. 조명계로부터의 광에 의해 투영광학계를 통해 마스크의 패턴 이미지를 기판에 전사하는 노광장치에 있어서,
    이 기판을 수납하는 기판수납 카세트를 설치대 상의 소정 위치로 위치결정하는 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 기판수납 카세트의 위치결정장치를 갖춘 것을 특징으로 하는 노광장치.
  12. 기판수납 카세트를 설치대 상의 소정 위치로 반송하는 기판수납 카세트의 반송방법에 있어서,
    상기 기판수납 카세트의 외주면과 상기 설치대 상에 설치된 부착부재를 접촉시키고, 상기 기판수납 카세트를 소정 위치까지 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 반송방법.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 소정 위치로 이동한 다음, 상기 기판수납 카세트에 설치된 제 1 걸어맞춤 부재와, 상기 기판수납 카세트에 설치되고 상기 제 1 걸어맞춤 부재와 걸어맞춤하는 제 2 걸어맞춤 부재를 걸어맞춤시키는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 반송방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 기판수납 카세트의 외주면과, 상기 설치대 상에 설치된 부착부재와의 접촉은, 상기 외주면과 상기 부착부재 중 적어도 어느 한 쪽에 설치되는 안내부에서 행해지고,
    상기 안내부를 통해 상기 기판수납 카세트를 상기 소정 위치까지 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 반송방법.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 안내부는, 상기 외주면과 상기 부착부재 중 적어도 어느 한 쪽에 형성된 안내면인 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 반송방법.
  16. 제 14 항에 있어서, 상기 기판수납 카세트를 상기 설치대의 상측으로 이동시키고,
    상기 상측에서 상기 기판수납 카세트를 상기 설치대를 향해 하강시키며,
    상기 하강하는 도중에, 상기 기판수납 카세트의 외주면과 상기 부착부재를 접촉시키는 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 반송방법.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 부착부재에 설치된 상기 안내부는, 상기 상측을 향해 넓어지도록 기울어진 경사면인 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 반송방법.
  18. 제 16 항에 있어서, 상기 기판수납 카세트의 외주면에 설치된 상기 안내부는, 상기 하강하는 방향을 항해 수속하도록 기울어진 경사면인 것을 특징으로 하는 기판수납 카세트의 반송방법.
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