KR101436896B1 - 기판회전 진공장치 및 그 회전구동장치 - Google Patents

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Abstract

기판회전 진공장치의 회전구동장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치의 회전구동장치는, 진공공간에 설치되는 고정관축 유닛; 고정관축 유닛에 회전가능하게 설치되는 회전관축 유닛; 및 고정관축 유닛에 내부에 설치되되, 회전관축 유닛에 연결되어 회전관축 유닛을 회전시키는 회전구동유닛을 포함한다.

Description

기판회전 진공장치 및 그 회전구동장치{VACUUM MACHINE FOR TURNING OVER SUBSTRATE AND DRIVING DEVICE FOR ROTATING THEREOF}
본 발명은, 기판회전 진공장치의 회전구동장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공상태에서 반입된 기판을 회전시킬 수 있는 기판회전 진공장치의 회전구동장치에 관한 것이다.
일반적으로, 증착방식을 거쳐 증착되는 기판은 캐리어를 이용하여 반송될 수 있는데, 기판의 공정 흐름 상 기판의 상면과 저면을 뒤바꾸는 경우가 발생된다.
일 예로, 기판에 대해 하부에서 상부로 증착물질을 제공하는 상향 증착공정의 경우에는, 기판의 저면에 증착물질이 증착되므로, 반송장치가 기판의 저면에 접촉되지 않도록 상면과 저면의 위치가 바뀌는 반전회전 과정을 거치게 된다.
이에 따라 기판은 캐리어에 적재되어 상면과 저면의 위치가 바뀌도록 뒤집힌 후, 반송장치에 지지되어 다음 공정장소로 이송될 수 있다. 이러한 캐리어의 반전회전을 위해서는 특정위치를 기준으로 캐리어를 회전시키는 기판회전장치가 사용될 수 있다.
이러한 기판회전장치는 회전구동의 회전 중심축선 상에 모터, 커플링 등을 구성하거나, 또는 벨트와 풀리를 사용하여 구동축을 종동축과 다른 축선 상에 위치시키기도 하는데, 이러한 방식에 따른 구성요소들은 회전유닛의 외부에 배치된다.
그러나, 이러한 기판회전장치의 구동방식은 공간의 제약이 있는 진공상태에서 기판의 회전이 필요한 진공공정장비에는 사용하기 어렵다.
즉 이러한 기판회전장치가 진공장비로서 사용되는 경우에는, 기판을 회전시키기 위한 각종 기계요소들을 회전유닛과 함께 배치하기에는 내부 진공공간이 협소하고 복잡할 수 있을 뿐만 아니라, 기계요소들의 작동 시에 마찰로 인한 이물질이 발생할 수 있으며, 이를 차단하기 위해 기계요소들을 둘러싸는 대기압 박스를 사용하기에는 상당히 진공공간의 제약이 있다.
대한민국특허청 공개특허 제2006-0000704호
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판을 회전시키는 요소들로부터 발생되는 이물질에 의한 기판의 오염을 방지할 수 있는 기판회전 진공장치의 회전구동장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 진공공간에 설치되는 고정관축 유닛; 상기 고정관축 유닛에 회전가능하게 설치되는 회전관축 유닛; 및 상기 고정관축 유닛에 내부에 설치되되, 상기 회전관축 유닛에 연결되어 상기 회전관축 유닛을 회전시키는 회전구동유닛을 포함하는 기판회전 진공장치의 회전구동장치가 제공될 수 있다.
상기 고정관축 유닛은, 상기 회전구동유닛이 내부에 설치되는 중공관축; 및 상기 중공관축의 단부에 결합되되, 상기 회전구동유닛과 상기 회전관축 유닛의 연결을 위한 연결통로가 마련되며, 상기 회전관축 유닛이 회전가능하게 설치되는 지지관축을 포함할 수 있다.
상기 회전구동유닛은, 상기 중공관축의 내부에 설치되는 구동모터; 상기 지지관축의 연결통로를 통과하여 상기 회전관축 유닛에 결합되는 구동 샤프트; 및 상기 구동모터의 회전축과 상기 구동 샤프트를 연결하는 커플러를 포함할 수 있다.
상기 구동모터의 회전축과 상기 커플러 사이에는, 상기 회전축의 회전을 감속하여 상기 커플러에 전달하는 감속기가 설치될 수 있다.
상기 지지관축의 연결통로에 설치되어 상기 구동 샤프트의 회전을 지지하는 제1 베어링을 더 포함할 수 있다.
상기 회전관축 유닛은, 상기 지지관축에 회전가능하게 설치되되, 상기 구동 샤프트에 결합되는 회전부싱; 및 상기 회전부싱과 상기 구동 샤프트를 결합시키는 결합부재를 포함할 수 있다.
상기 회전부싱과 상기 지지관축 사이에 설치되어 상기 회전부싱의 회전을 지지하는 제2 베어링을 더 포함할 수 있다.
상기 회전부싱의 외부에 설치되어 상기 회전부싱의 회전을 지지하는 제3 베어링을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 진공공간에 설치되는 고정관축 유닛; 상기 고정관축 유닛이 결합되어 지지되는 지지유닛; 상기 고정관축 유닛의 단부에 회전가능하게 외접되는 회전관축 유닛; 상기 고정관축 유닛에 내부에 설치되되, 상기 회전관축 유닛에 연결되어 상기 회전관축 유닛을 회전시키는 회전구동유닛; 및 상기 회전관축 유닛에 결합되어 회전되되, 캐리어가 반입되어 적재되는 캐리어 적재유닛을 포함할 수 있다.
상기 캐리어 적재유닛은, 상기 캐리어의 캐리어 적재부가 마련되며, 상기 캐리어 적재부의 캐리어 출입구가 상호 대향하도록 배치되는 회전박스를 구비할 수 있다.
상기 캐리어 적재부는, 상기 회전박스의 상부와 하부에 각각 마련될 수 있다.
상기 지지유닛은, 상기 회전박스가 회전가능하게 배치되며, 상기 고정관축 유닛이 결합되는 한 쌍의 지지 프레임; 및 상기 한 쌍의 지지 프레임에 하부에 설치되어 상기 한 쌍의 지지 프레임을 지지하는 복수의 지지다리를 포함하며, 상기 복수의 지지다리는 진동 및 충격을 흡수하는 댐퍼부를 포함할 수 있다.
상기 회전박스가 내부에 설치되며, 진공압력이 제공되는 진공챔버를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 진공공간과 분리되며 대기압 상태로 유지되는 고정관축 유닛의 내부에 회전구동유닛이 설치됨으로써 기판을 회전시켜 상면부와 저면부의 위치를 전환시키는 요소들로부터 발생되는 이물질에 의한 기판의 오염을 방지할 수 있으며, 진공공간에 필수적으로 설치되는 요소들의 설치공간을 충분히 확보할 수 있는 기판회전 진공장치의 회전구동장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치의 개략적인 분해도이다.
도 2는 도 1의 회전구동장치에 따른 단면도이다.
도 3은 도 2의 회전구동장치의 확대도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. 이하, 기판으로는 글라스(glass) 기판뿐만 아니라 플렉서블 기판 등 OLED 디스플레이 패널 및 태양광 패널 등 대면적 패널의 제작을 위한 다양한 기판이 사용될 수 있다. 그리고, 기판이 적재되어 있는 캐리어는 도면에서 도면부호 "c"로 지시되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치의 개략적인 분해도이며, 도 2는 도 1의 회전구동장치에 따른 단면도이며, 도 3은 도 2의 회전구동장치의 확대도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시 예에 따른 회전구동장치는, 기판이 수납된 캐리어의 상면부와 하면부의 위치를 전환시킬 수 있는 기판회전 진공장치(100)의 캐리어 적재유닛(110)을 회전시키는데 사용될 수 있다.
캐리어 적재유닛(110)은 후술되는 바와 같이 회전박스(120)를 포함하는데, 본 실시 예에 따른 회전구동장치(130)는 회전박스(120)의 중심을 관통하여 수평으로 설치될 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시 예에 따른 회전구동장치(130)는, 고정관축 유닛(135)이 회전박스(120)를 회전시킬 수 있도록 회전박스(120)를 관통하여 설치되며, 회전관축 유닛(150)을 회전시키기 위한 회전구동유닛(160)이 고정관축 유닛(135)의 내부에 설치될 수 있다.
먼저, 회전구동유닛(160)은, 고정관축 유닛(135)의 단부에 설치되는 회전관축 유닛(150)에 연결되어 후술되는 내부동력에 의해 회전관축 유닛(150)을 회전시킬 수 있으며, 이에 따라 회전관축 유닛(150)에 설치될 수 있는 캐리어의 회전박스(120)가 회전될 수 있다.
또한, 본 실시 예에 따른 기판회전 진공장치(100)의 회전구동장치(130)는, 진공공간과 분리되도록 대기압 상태로 유지되는 고정관축 유닛(135)의 내부에 회전구동유닛(160)이 설치되는데, 회전구동유닛(160)이 진공공간에 설치될 때에 비해 대기압 박스들의 설치가 필요하지 않은 컴팩트한 구조를 제공할 수 있으며, 이에 기판을 회전시키는 요소들로부터 발생되는 이물질에 의해 진공공간의 오염을 방지할 수 있고 진공공간에 필수적으로 설치되는 요소들의 설치공간을 충분히 확보할 수 있다.
즉 본 실시 예에 따른 기판회전 진공장치(100)의 회전구동장치(130)는, 복잡한 회전구동요소들의 배치공간을 고정관축 유닛(135)의 내부로 제한하여 캐리어를 회전시킬 수 있는 진공공간을 충분히 확보할 수 있으며, 회전구동유닛(160)의 설치공간에 대한 기밀을 확실히 보장하여 회전구동유닛(160)로부터 발생되는 이물질에 의한 진공공간의 오염을 방지할 수 있다.
이를 위해 본 실시 예에 따른 고정관축 유닛(135)은, 회전구동유닛(160)이 내부에 설치되는 중공관축(136)과, 중공관축(136)의 단부에 결합되되 회전구동유닛(160)과 회전관축 유닛(150)의 연결을 위한 연결통로(138)가 마련되며 회전관축 유닛(150)이 회전가능하게 설치되는 지지관축(137)을 포함할 수 있다.
중공관축(136)과 지지관축(137)은 진공공간에 대한 기밀을 유지하도록 실링처리되어 결합될 수 있다. 그리고, 중공관축(136)은 대기압을 제공할 수 있는 파이프라인(139)이 연결될 수 있으며, 그 양측에 결합되는 지지관축(137)은 후술되는 지지유닛(185)에 결합될 수 있다.
지지관축(137)은, 중공관축(136)에 결합되는 덮개부(140)의 중앙부에 연결통로(138)를 마련하기 위한 지지관부(141)가 연결되는 구조로서, 지지관부(141)는 회전관축 유닛(150)에 회전가능하게 삽입되어 결합될 수 있다.
본 실시 예에 따른 회전구동유닛(160)은, 중공관축(136)의 내부에 설치되는 구동모터(161)와, 지지관축(137)의 연결통로(138)를 통과하여 회전관축 유닛(150)에 결합되는 구동 샤프트(162)와, 구동모터(161)의 회전축(163)과 구동 샤프트(162)를 연결하는 커플러(165)를 포함할 수 있다.
이러한 구동모터(161)의 회전축(163)과 커플러(165) 사이에는 회전축(163)의 회전을 감속하여 커플러(165)에 전달하는 감속기(166)가 설치될 수 있다. 또한 지지관축(137)의 연결통로(138)에는 구동 샤프트(162)의 회전을 지지하는 제1 베어링(171)이 설치될 수 있다.
구동모터(161)는 도시되지는 않았으나 연결통로(138)를 통해 설치되는 배선계통을 통해 외부전원을 공급받아 캐리어의 반전회전이 필요할 때에 구동될 수 있다.
구동모터(161)의 회전축(163)은, 감속기(166) 및 커플러(165)를 사이에 두고 구동 샤프트(162)와 연결되는데, 회전축(163)이 회전될 때 감속기(166)에 의해 회전력을 전달받도록 설치된 구동 샤프트(162)는 회전축(163)보다 회전속도가 감속되지만 토크가 증가된 회전력을 전달받을 수 있으며, 이에 따라 회전관축 유닛(150)에 결합되는 캐리어 적재유닛(110)의 회전박스(120)는, 크지 않은 최대토크를 갖는 구동모터(161)에 의해서도 쉽게 회전될 수 있다. 즉 고정관축 유닛(136)의 내부에 설치되는 구동모터(161)는 설치공간이 제한적이어서 용량의 제한이 있지만, 감속기를 사용하여 이러한 제한을 극복할 수 있다.
또한 본 실시 예에 따른 회전관축 유닛(150)은, 지지관축(137)에 회전가능하게 설치되되, 구동 샤프트(162)에 결합되는 회전부싱(172)과, 회전부싱(172)의 내측에 설치되어 회전부싱(172)과 구동 샤프트(162)를 결합시키는 결합부재(173)를 포함할 수 있다.
회전부싱(172)은, 캐리어 적재유닛(110)의 회전박스(120)에 결합되는 연결 플랜지(175)를 포함할 수 있다. 이때 회전부싱(172)은 회전박스(120)를 관통하여 설치되어 외부로 돌출되며, 외부로 돌출된 단부가 구동 샤프트(162)에 연결될 수 있다. 또한, 연결 플랜지(175)는 원형의 연결부재(176)에 의해서 회전박스(120)에 결합될 수 있다.
본 실시 예에 따른 결합부재(173)는, 자세하게 도시되진 않았으나, 일 예로서 측면에서 볼 때 구동 샤프트(162)의 단부가 각진 형상이라고 상정한다면, 이에 대응하여 각진 형상으로 형성될 수 있는데, 회전력을 전달받을 수 있는 구조를 가질 수 있다.
이러한 결합부재(173)를 회전시키기 위해 구동 샤프트(162)가 회전될 때는, 먼저 회전부싱(172)이 회전되는데, 회전부싱(172)과 지지관축(137) 사이에는 회전부싱(172)의 회전을 지지하는 제2 베어링(182)이 설치될 수 있다. 제2 베어링(182)은 제1 베어링(171)과 더불어 상호 이격되는 복수개로 배치될 수 있는데, 본 실시 예에 따르면 한쪽 회전부싱(172)에 한 쌍씩 배치될 수 있다.
회전부싱(172)은 제2 베어링(182)에 지지되어 회전되도록 설치되는데, 이러한 제2 베어링(182)이 설치된 내부뿐만 아니라 외부도 마찰을 줄이기 위한 구조가 제공될 수 있다. 즉 회전부싱(172)의 외부에는 회전부싱(172)의 회전을 지지하도록 외접되는 제3 베어링(183)이 설치될 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시되 바와 같이, 이러한 회전구동장치(130)가 설치되는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판회전 진공장치(100)는, 진공공간에 고정되게 설치되는 고정관축 유닛(135)과, 고정관축 유닛(135)이 결합되어 지지되는 지지유닛(185)과, 고정관축 유닛(135)의 단부에 회전가능하게 외접되는 회전관축 유닛(150)과, 고정관축 유닛(135)에 내부에 설치되되, 회전관축 유닛(150)에 연결되어 회전관축 유닛(150)을 회전시키는 회전구동유닛(160)과, 회전관축 유닛(150)에 결합되어 회전되되, 캐리어가 반입되어 적재되는 캐리어 적재유닛(110)을 포함할 수 있다.
즉 본 실시 예에 따른 기판회전 진공장치(100)는, 전술한 회전구동장치(130)를 사용할 수 있으므로, 회전구동장치(130)에 포함되는 고정관축 유닛(135), 회전관축 유닛(150), 및 회전구동유닛(160)에 대한 중복적인 상세한 설명은 생략한다. 이에 대해서는 전술한 사항들을 참조할 수 있다.
이러한 회전구동장치(130)의 적용에 따라 본 실시 예에 따른 기판회전 진공장치(100)는, 캐리어 적재유닛(110)과 지지유닛(185)에 대해서만 상세하게 설명한다.
먼저, 캐리어 적재유닛(110)은, 캐리어의 캐리어 적재부(190)가 마련되며, 캐리어 적재부(190)의 캐리어 출입구가 상호 대향하도록 배치되는 회전박스(120)를 포함할 수 있다. 캐리어 적재유닛(110)은 진공공간을 제공하는 진공챔버(198)의 내부에 설치되며, 캐리어 회전구동본체(194)의 내측에 설치된다. 회전구동본체(194)에는 회전구동장치(130)가 수평으로 설치될 수 있다.
전술한 바와 같이, 회전박스(120)는 회전부싱(172)의 연결 플랜지(175)에 결합되어 회전될 수 있는데, 회전박스(120)에 반입되는 캐리어는 일측으로 반입되어 회전된 후, 반대 측으로 반출될 수 있다.
즉, 캐리어 적재부(190)는, 회전박스(120)의 상부와 하부에 각각 마련될 수 있는데, 상부로 반입된 캐리어는 하부로 회전되어 반출될 수 있다. 이때 캐리어는 상면부와 저면부의 위치가 바뀐 상태로 반출될 수 있다. 이에 따라 캐리어에 수납되어 있는 기판의 상면부 및 저면부의 위치가 바뀐 상태에서 캐리어가 반출될 수 있다.
본 실시 예에 따른 회전박스(120)는 직육면체 형상으로서, 캐리어의 반입 및 반출이 용이한 구조를 제공할 수 있도록 다수의 프레임들(191)을 상호 직각 및 평행하게 배치하여 제작할 수 있다. 회전박스(120)의 내부에서 캐리어가 적재되는 캐리어 적재부(190)는 지지선반 프레임(192)에 의해 마련될 수 있다. 또한 회전박스(120)는 회전구동장치(130)가 수평으로 설치되는 캐리어 회전구동본체(194) 내에 회전가능하게 배치된다.
이때 캐리어 적재부(190)는, 회전박스(120)의 상부와 하부 중 어느 하나로 캐리어를 반입받고 동시에 다른 하나로부터 다른 캐리어를 반출하도록 회전박스(120)의 상부와 하부에 각각 마련될 수 있다.
즉, 회전박스(120)는 상부에 배치되는 캐리어 적재부(190)로 캐리어를 반입받고, 상부에 있는 캐리어와 반대로 하부에 배치되어 있는 다른 캐리어 적재부(190)로부터 다른 캐리어가 반출되는 작업이 함께 수행될 수 있다. 도 1에 도시된 본 실시 예에 따르면, 회전박스(120)의 상부 우측으로 반입되는 캐리어는 회전되어 하부 좌측으로 반출될 수 있다.
또한 본 실시 예에 따른 회전박스(120)가 회전가능하게 설치된 캐리어 회전구동본체(194)에는 상호 대향하게 설치되어 캐리어 적재부(190)에 대한 캐리어의 반입 및 반출을 안내하는 복수의 캐리어 안내부재(미도시)가 설치될 수 있다.
본 실시 예에 따른 회전구동본체(194)는 전술한 지지유닛(185)을 포함하는데, 지지유닛(185)은 회전박스(120)가 회전가능하게 배치되며 고정관축 유닛(135)이 결합되는 한 쌍의 지지 프레임(195)과, 한 쌍의 지지 프레임(195)에 하부에 설치되어 한 쌍의 지지 프레임(195)을 지지하는 복수의 지지다리(196)를 포함하며, 복수의 지지다리(196)는 진동 및 충격을 흡수하는 댐퍼부(197)를 포함할 수 있다.
한 쌍의 지지 프레임(195)은 상호 이격되어 대향하게 설치되는데, 이들은 수평으로 배치되어 있는 연결 프레임에 의해 상호 연결되어 안정적으로 고정될 수 있다. 또한, 지지다리(196)의 댐퍼부(197)는 회전박스(120)가 회전될 때, 지면으로부터 전달되는 충격 및 진동을 차단하여, 회전박스(120)와 함께 회전되는 캐리어 내부의 기판을 보호할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 실시 예에 따른 캐리어 적재유닛(110) 및 지지유닛(185)의 외부에는, 회전박스(120)가 진공공간에서 회전될 수 있도록 진공을 제공하기 위한 진공챔버(198)가 설치될 수 있다. 진공챔버(198)는 도시되지는 않았으나, 진공 배기계에 연결되어 대기압 상태에서 진공상태로 전환될 수 있다.
이러한 진공챔버(198)는 캐리어가 캐리어 적재유닛(110)으로 반입되어 적재되고, 캐리어 적재유닛(110)이 캐리어 회전구동유닛(160)에 의해 회전되고, 다시 캐리어가 캐리어 적재유닛(110)으로부터 반출되는 캐리어의 반입, 회전, 및 반출 과정이 진행되는 동안, 진공펌프에 연결되어 있는 진공 배기계에 의해 배기됨으로써 진공상태로 유지될 수 있다.
이러한 본 실시 예에 따른 기판회전 진공장치(100)가 실질적으로 적용될 수 있는 증착공정의 캐리어 반송과정에 관한 일 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
도시되진 않았으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판회전 진공장치가 증착공정이 수행되는 증착공정 챔버유닛의 반입 개구 측과 반출 개구 측에 각각 설치된다고 상정하면, 반입 개구 측에 설치된 기판회전 진공장치는 기판의 증착면이 하방을 향하도록 반입 개구 측으로 캐리어를 상승 및 회전시킬 수 있고, 반대로 반출 개구 측에 설치된 기판회전 진공장치는 기판의 증착면이 상방을 향하도록 반출개구 측으로부터 캐리어를 하강 및 회전시킬 수 있다.
즉 증착공정 챔버유닛의 반입 개구 측에 배치되어 있는 기판회전 진공장치는, 트랜스퍼 챔버유닛으로부터 캐리어를 반송 받아서, 트랜스퍼 챔버유닛의 상방에 배치된 증착공정 챔버유닛의 반입 개구 위치까지 상승시키는 동시에, 캐리어에 수납되어 있는 기판의 증착될 상면이 하방을 향하도록 캐리어를 회전시킬 수 있다.
반대로, 증착공정 챔버유닛의 반출 개구 측에 배치되어 있는 기판회전 진공장치는, 증착공정이 완료된 기판을 반입 받아서 기판의 증착면이 상방을 항하도록 캐리어를 회전시킴과 동시에, 캐리어를 증착공정 챔버유닛의 하방에 배치된 트랜스퍼 챔버유닛의 반입 개구 위치까지 하강시킬 수 있다.
이러한 증착공정 챔버유닛과 트랜스퍼 챔버유닛 및, 기판회전 진공장치 간의 캐리어에 의한 기판의 반송 및 반출과정이 반복적으로 진행되면서 기판에 대한 증착이 수행될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 기판회전 진공장치 110: 캐리어 적재유닛
120: 회전박스 130: 회전구동장치
135: 고정관축 유닛 136: 중공관축
137: 지지관축 138: 연결통로
139: 파이프라인 140: 덮개부
141: 지지관부 150: 회전관축 유닛
160: 회전구동유닛 161: 구동모터
162: 구동 샤프트 165: 커플러
166: 감속기 171: 제1베어링
172: 회전부싱 173: 결합부재
175: 연결 플랜지 182: 제2 베어링
183: 제3 베어링 190: 캐리어 적재부
191: 프레임들 192: 지지선반 프레임
194: 회전구동본체 195: 지지 프레임
196: 지지다리 197: 댐퍼부
198: 진공챔버

Claims (13)

  1. 진공공간에 설치되는 고정관축 유닛;
    상기 고정관축 유닛에 회전가능하게 설치되는 회전관축 유닛; 및
    상기 고정관축 유닛에 내부에 설치되되, 상기 회전관축 유닛에 연결되어 상기 회전관축 유닛을 회전시키는 회전구동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치의 회전구동장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정관축 유닛은,
    상기 회전구동유닛이 내부에 설치되는 중공관축; 및
    상기 중공관축의 단부에 결합되되, 상기 회전구동유닛과 상기 회전관축 유닛의 연결을 위한 연결통로가 마련되며, 상기 회전관축 유닛이 회전가능하게 설치되는 지지관축을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치의 회전구동장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 회전구동유닛은,
    상기 중공관축의 내부에 설치되는 구동모터;
    상기 지지관축의 연결통로를 통과하여 상기 회전관축 유닛에 결합되는 구동 샤프트; 및
    상기 구동모터의 회전축과 상기 구동 샤프트를 연결하는 커플러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치의 회전구동장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동모터의 회전축과 상기 커플러 사이에는, 상기 회전축의 회전을 감속하여 상기 커플러에 전달하는 감속기가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치의 회전구동장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 지지관축의 연결통로에 설치되어 상기 구동 샤프트의 회전을 지지하는 제1 베어링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치의 회전구동장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 회전관축 유닛은,
    상기 지지관축에 회전가능하게 설치되되, 상기 구동 샤프트에 결합되는 회전부싱; 및
    상기 회전부싱과 상기 구동 샤프트를 결합시키는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치의 회전구동장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 회전부싱과 상기 지지관축 사이에 설치되어 상기 회전부싱의 회전을 지지하는 제2 베어링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치의 회전구동장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 회전부싱의 외부에 설치되어 상기 회전부싱의 회전을 지지하는 제3 베어링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치의 회전구동장치.
  9. 진공공간에 설치되는 고정관축 유닛;
    상기 고정관축 유닛이 결합되어 지지되는 지지유닛;
    상기 고정관축 유닛의 단부에 회전가능하게 외접되는 회전관축 유닛;
    상기 고정관축 유닛에 내부에 설치되되, 상기 회전관축 유닛에 연결되어 상기 회전관축 유닛을 회전시키는 회전구동유닛; 및
    상기 회전관축 유닛에 결합되어 회전되되, 캐리어가 반입되어 적재되는 캐리어 적재유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 캐리어 적재유닛은, 상기 캐리어의 캐리어 적재부가 마련되며, 상기 캐리어 적재부의 캐리어 출입구가 상호 대향하도록 배치되는 회전박스를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 캐리어 적재부는, 상기 회전박스의 상부와 하부에 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 지지유닛은,
    상기 회전박스가 회전가능하게 배치되며, 상기 고정관축 유닛이 결합되는 한 쌍의 지지 프레임; 및
    상기 한 쌍의 지지 프레임에 하부에 설치되어 상기 한 쌍의 지지 프레임을 지지하는 복수의 지지다리를 포함하며,
    상기 복수의 지지다리는 진동 및 충격을 흡수하는 댐퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 회전박스가 내부에 설치되며, 진공압력이 제공되는 진공챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판회전 진공장치.
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