KR101023050B1 - 진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치 - Google Patents

진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101023050B1
KR101023050B1 KR1020080106958A KR20080106958A KR101023050B1 KR 101023050 B1 KR101023050 B1 KR 101023050B1 KR 1020080106958 A KR1020080106958 A KR 1020080106958A KR 20080106958 A KR20080106958 A KR 20080106958A KR 101023050 B1 KR101023050 B1 KR 101023050B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
motor
robot body
arm
chamber
rotating shaft
Prior art date
Application number
KR1020080106958A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100047996A (ko
Inventor
승 욱 안
수 종 이
최은재
명 진 김
Original Assignee
주식회사 티이에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 티이에스 filed Critical 주식회사 티이에스
Priority to KR1020080106958A priority Critical patent/KR101023050B1/ko
Publication of KR20100047996A publication Critical patent/KR20100047996A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101023050B1 publication Critical patent/KR101023050B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67721—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips, lead frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

로봇아암을 구동하는 아암모터는 진공환경에서 설치하여 사용하기가 곤란하다. 그런데 반송챔버는 진공상태와 상압상태를 넘나들기 때문에 종래에는 아암모터를 반송챔버 내에 설치할 수가 없어서 아암모터를 반송챔버의 외부에 설치하여 반송챔버의 내부에 위치하는 기판반송로봇을 구동시켰다. 따라서 복잡한 동력전달구조가 요구되었다. 그러나 본 발명에 따른 기판반송장치는 아암모터(511, 512)가 반송챔버(10) 내에 있는 로봇본체(200)내에 직접 설치되는 것을 특징으로 하기 때문에 기판을 기울어짐없이 수평회전 및 수평직선운동시키기 위한 동력전달구조가 간단하게 된다.
기판반송장치, 반송챔버, 진공, 볼 스크류, LM 가이드, 자성유체 씰, 모터

Description

진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치 {Apparatus for transferring large size substrate for use in transfer chamber at vacuum atmosphere}
본 발명은 기판반송용 로봇에 관한 것으로서, 특히 진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는 데 적합한 기판반송용 진공로봇에 관한 것이다.
최근 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 및 태양전지 등에 사용되는 유리 기판의 크기가 대형화됨에 따라 기판을 효율적으로 반송시키기 위한 기판반송로봇에 대한 개발이 많이 이루어지고 있다.
이러한 기판은 통상적으로 반송챔버를 경유에서 이동되어지는데, 기판의 대형화로 인해서 기판을 기울어짐이 없이, 그리고 반송챔버라는 한정된 공간 내에서 최소한의 궤적으로 이동시키는 것이 중요하다. 특히, 반송챔버는 공정의 진행에 따라 상압과 진공상태를 넘나들기 때문에 여기에서 사용되는 기판반송로봇은 진공환경에서 사용하기에도 적합해야 한다.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 아암모터를 진공환경의 반송챔버 내에 있는 로봇본체 내에 직접 설치하여 기판을 기울어짐없이 수평회전 및 수평직선운동시키기 위한 동력전달구조를 간단하게 함으로써 진공환경의 반송챔버 내에서 대형 기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치를 제공하는 데 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판반송장치는, 반송챔버 내에 가로로 길게 설치되는 로봇본체; 상기 반송챔버와 연통되도록 상기 반송챔버의 외부에서 상기 반송챔버의 저면에 세로로 고정 결합되는 반응챔버 지지관; 상기 지지관 내에 설치되는 실린더; 가운데에 케이블관이 형성되고 상기 케이블관이 상기 로봇본체의 내부와 연통되도록 윗단이 상기 로봇본체의 저면에 고정 연결되게 상기 실린더 내에 상기 본체에 대해 수직하게 삽입 설치되는 회전축; 상기 회전축을 둘러싸도록 설치되는 고정 베이스; 상기 로봇본체의 내부에 설치되되 상기 반송챔버의 내부공간과는 분리되는 모터수납공간를 제공하여 아암모터가 수납되는 모터함; 상기 회전축의 케이블관과 상기 모터함을 연결시키도록 설치되는 연결관; 상기 반송챔버의 외부로부터 상기 케이블관 및 연결관을 통하여 상기 아암모터에 연결되는 전력선; 상기 회전축을 회전시키도록 설치되는 T 모터; 상기 회전축을 사이에 두고 서로 마주보도록 상기 회전축에 대해 나란하게 설치되는 적어도 2개의 볼 스크류; 상기 볼 스크류를 회전시키도록 설치되는 Z 모터; 상기 볼 스크류의 회전에 따라 상하운동하도록 상기 볼 스크류에 각각 설치되며 상기 고정 베이스에 고정결합되는 스크류 너트; 상기 볼 스크류를 사이에 두고 서로 마주보도록 각각의 상기 볼 스크류의 양측에 각각 설치되는 LM 가이드; 및 상기 LM 가이드를 따라 상하로 활주하며 상기 고정 베이스에 고정 결합되는 LM 블록; 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 실린더와 회전축 사이에는 마그네틱이 포함되는 폴 피스(pole piece)가 상기 회전축을 둘러싸도록 설치되며, 상기 마그네틱과 상기 회전축 사이는 자성유체 씰에 의해 밀봉되는 것이 바람직하다.
본 발명은 상기 T모터와 상기 회전축 사이에는 감속기가 설치되며, 상기 감속기에는 가운데에 케이블관이 형성되는 구동회전축이 연결되도록 설치되며, 상기 구동 회전축의 케이블관과 상기 회전축의 케이블관이 서로 연결되도록 상기 회전축과 상기 구동축이 플랜지 결합되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 볼 스크류는 상기 로봇본체의 가로 방향으로 위치하도록 2개 설치되며, 상기 LM 가이드는 상기 로봇본체의 세로방향으로 위치하도록 상기 각각의 볼 스크류에 대해 2개씩 설치되는 것이 바람직하다.
상기 LM 블록은 각각의 상기 LM 가이드에 적어도 2개가 직렬로 설치되는 것이 바람직하다.
아암모터는 진공환경에서 설치하여 사용하기가 곤란하다. 그런데 반송챔버는 진공상태와 상압상태를 넘나들기 때문에 종래에는 아암모터를 반송챔버 내에 설치할 수가 없어서 아암모터를 반송챔버의 외부에 설치하여 반송챔버의 내부에 위치하는 기판반송로봇을 구동시켰다. 따라서 복잡한 동력전달구조가 요구되었다. 그러나 본 발명에 의하면 아암모터가 반송챔버 내에 있는 로봇본체내에 직접 설치되기 때문에 기판을 기울어짐없이 수평회전 및 수평직선운동시키기 위한 동력전달구조가 간단하게 된다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.
도 1은 본 발명에 따른 기판반송용 진공로봇을 설명하기 위한 단면도이고, 도 2는 도 1의 로봇본체(200)를 설명하기 위한 사시도이다. 도 2에서는 이해의 편의상 아암 블레이드(411, 412)와 모터함 덮개(550)의 도시를 생략하였다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 로봇본체(200)는 직육면체기둥 형태를 하며 넓은 면이 위로 향하도록 가로로 길게 눕혀지게 반송챔버(10) 내에 설치된다. 로봇본 체(200)는 대형 기판용일 경우 그 무게가 거의 2톤에 달하기도 한다. 따라서 로봇본체(200)에는 무게를 줄이기 위하여 각 면에 경량화용 관통홀(700)이 복수개 형성된다. 제조의 편의성을 위하여 로봇본체(200)는 4개의 판을 조립하여 형성한다.
반송챔버(10)의 저면에는 반송챔버 지지관(110)이 반송챔버(10)에 연통되도록 수직하게 설치된다. 반송챔버 지지관(110) 내에서는 회전축(130)이 삽입 설치되며, 회전축(130)의 가운데에는 케이블관(H)이 형성된다. 로봇본체(200)의 내부와 케이블관(H)이 연통되도록 회전축(130)의 윗단은 로봇본체(200)의 중앙부 저면에 연결된다.
로봇본체(200)의 중앙부를 기준으로 그 앞쪽과 뒤쪽에는 반송챔버(10)의 내부공간과는 분리되는 아암모터함(211, 212)이 설치된다. 여기서 로봇본체(200)의 앞쪽이라 함은 아암 블레이드(411, 412)가 향하는 쪽을 말하며, 뒤쪽이라 함은 그 반대편을 말한다. 양쪽 모터함(211, 212)은 T형 벨로우즈 형태의 연결관(140)에 의해 케이블관(H)과 연통된다.
아암모터함(211, 212)의 내부에는 하부아암 모터(511)와 상부아암 모터(512)가 각각 설치된다. 전력선(131)은 케이블관(H)을 통하여 반송챔버(10)의 외부에서 삽입되어 들어와 연결관(140)을 통하여 아암모터함(211, 212) 내의 아암 모터(511, 512)에 전력을 공급한다. 따라서 회전축(130)이 회전하여 로봇본체(200)가 회전축(130)을 중심축으로 하여 수평회전하더라도 전력선(131)이 꼬이는 경우는 발생하지 않는다.
하부아암모터(511)가 회전하면 하부아암 워엄기어(531)가 회전하여 하부아암 구동풀리(521)가 회전하게 되고 그로인해 하부아암벨트(611)가 가동되어 하부아암(311)이 벨트를 따라 수평이동하고, 상부아암모터(512)가 회전하면 상부아암 워엄기어(532)가 회전하여 상부아암 구동풀리(522)가 회전하게 되고 그로인해 상부아암벨트(612)가 가동되어 상부아암(312)이 벨트를 따라 수평이동한다.
도 3은 하부아암 모터함(211)을 설명하기 위한 도면이다. 상부아암 모터함(212)은 하부아암 모터함(211)과 동일한 형태로 설치되기 때문에 상부아암 모터함(212)에 대해서는 설명을 생략한다.
도 3을 참조하면, 하부아암모터(511)의 회전축에는 회전방향을 전환하기 위한 하부아암 워엄기어(531)가 연결 설치되며 하부아암 구동풀리(521)는 하부아암 워엄기어(531)에 연결되어 로봇본체(200)의 양측으로 바퀴형태로 튀어나오도록 설치된다. 하부아암 구동풀리(521)를 로봇본체(200)의 양측에 설치하는 이유는 기판이 좌우로 기울어지게 이송되는 것을 방지하기 위함이다. 하부아암 모터함(211)은 모터함 덮개(550)에 의해 덮여진다. 따라서 하부아암 모터함(211)의 내부는 연결관(131)과 연결되는 연결공(A)을 통하여 궁극적으로 대기환경에 노출되며 반송챔버(10)의 진공환경과는 분리된다.
반송챔버(10)는 진공상태와 상압상태를 넘나든다. 아암모터(511, 512)는 진공환경에서는 설치하여 사용하기가 곤란하므로 종래에는 아암모터(511, 512)를 반송챔버(10) 내에 설치할 수가 없었다. 따라서 반송챔버(10)의 외부에 아암모터(511, 512)를 설치하여 반송챔버(10)의 내부에 위치하는 기판반송용 진공로봇을 구동시켰다. 그로인해 아암구동풀리(521, 522)를 로봇본체(200)의 양측에 배치시키 고, 로봇본체(200)를 수평회전시키고, 또한 로봇아암(311, 312)을 수평직선운동시키기 위해서 복잡한 동력전달구조가 요구되었다.
도 4는 도 1의 반송챔버 지지관(110)의 내부를 설명하기 위한 단면도이고, 도 5는 반송챔버 지지관(110)의 내부를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 반송챔버 지지관(110)은 반송챔버(10)에 연통되도록 지지관 결함판(202)을 통하여 반송챔버(10)의 저면에 수직하게 고정 설치된다. 반송챔버 지지관(110) 내에서는 회전축(130)이 삽입 설치되며, 회전축(130)의 가운데에는 케이블관(H)이 형성된다. 전력선(131)은 케이블관(H)을 통하여 반송챔버(10)의 외부에서 삽입되어 들어와 연결관(140)을 통하여 모터함(211, 212) 내의 아암 모터(511, 512)에 연결된다.
로봇본체(200)의 내부와 케이블관(H)이 연통되도록 회전축(130)의 윗단은 회전축 결합판(201)을 통하여 로봇본체(200)의 중앙부 저면에 고정 결합된다. 회전축(130)은 실린더(178)를 관통하도록 설치되며, 실린더(178)와 회전축(130)의 사이에는 폴 피스(pole piece, 175)가 회전축(130)을 둘러싸도록 설치된다. 폴 피스(175)에는 마그네틱(176)이 설치된다. 마그네틱(176)과 회전축(130) 사이는 자성유체 씰(magnetic fluid seal)에 의해 밀봉된다. 실린더(178)의 외측에는 실린더(178)를 감싸도록 고정 베이스(179)가 설치된다.
회전축(130)의 밑에는 감속기(160)가 설치되며, 감속기(160)에는 T 모터(150)가 연결 설치된다. 감속기(160)의 내부에는 회전축(130)과 연결되는 구동회전축(151)이 설치된다. 구동회전축(151)도 회전축(130)과 마찬가지로 가운데에 케 이블관(H)이 형성된다. 구동회전축(151)과 회전축(130)은 케이블관(H)이 연통되도록 연결플랜지(171, 172)에 의해 플랜지 결합된다.
연결플랜지(171, 172)는 상하로 분해 가능하게 상하측 연결볼트(173)에 의해 상측 플랜지(172)와 하측 플랜지(171)가 결합된다. 상측 플랜지(172)는 축 연결볼트(174)에 의해 회전축(130)에 고정결합된다. 따라서 T 모터(150)가 회전하면 감속기(160)를 통하여 회전속도가 적절히 감속되어 구동회전축(151)이 회전하고 그로 인해 회전축(130)이 회전한다. 그러면 케이블(131)의 꼬임이 없이 회전축(130)이 회전하게 되고 그로 인해 로봇본체(200)가 수평 회전하게 된다.
로봇본체(200)에 대해 가로방향으로 위치하도록 반송챔버 지지관(110)의 내부에는 회전축(140)을 사이에 두고 서로 마주보도록 2개의 상하승강장치가 설치된다. 각각의 상하승강승장치는 2개의 Z 모터(190a, 190b)에 의해 각각 구동된다. 상하승강장치를 1개만 설치하면 Z 모터의 용량이 매우 커야 하기 때문에 작은 용량의 Z 모터를 사용할 수 있도록 이렇게 2개의 승하강장치를 설치하는 것이다.
도 6은 로봇본체(200)의 왼쪽에 설치되는 상하승강장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 5와 결부하여 도 6을 설명하면, 볼 스크류(191a)가 수직하게 설치되고 볼 스크류(191a)에는 Z 모터(190a)가 연결되도록 설치된다. Z 모터(190a)의 회전축과 볼 스크류(191a)는 축 커플링(195a)에 의해 연결된다. Z 모터(190)가 회전하면 볼 스크류(191a)가 회전하고 그에 따라 스크류 너트(192a)가 상하이동한다. 스크류 너트(192a)는 고정 베이스(179)에 결합된다. 볼 스크류(191a)는 지지너트(194a)에 의해 수직한 상태로 고정되며 지지너트(194a)는 지지판(193a)에 고정된다.
볼 스크류(191a)를 사이에 두고 로봇본체(200)의 세로방향으로 위치하도록 볼 스크류(191a)의 양측에는 2개의 LM 가이드(291, 292)가 볼 스크류와 나란하게 설치되고 각각의 LM 가이드(291, 292)에는 LM 가이드(291, 292)를 따라서 상하로 활주하는 2개의 LM 블록이 소정간격 이격되어 직렬로 설치되어 총 4개의 LM 블록(391, 392, 491, 492)이 설치된다. LM 블록(391, 392, 491, 492)은 스크류 너트(192a)와 마찬가지로 고정 베이스(179)에 결합된다.
로봇 아암(311, 322)이 로봇본체(200)의 앞쪽과 뒤쪽으로 움직이는 경우에 로봇본체(200)의 중심을 기준으로 할 때 앞쪽과 뒤쪽의 하중이 변하게 된다. 이 때 로봇아암(311, 322)과 아암 블레이드(411, 412)의 전체 무게는 규모가 커서 상당히 무겁기 때문에 이에 따라 로봇본체(200)가 기울어질 수 있다. 이를 방지하기 위하여 로봇 본체(200)의 앞쪽과 뒤쪽에 위치하도록 볼 스크류(191a)의 양쪽에 LM 가이드(291, 292)를 더 설치하는 것이다. 이 때 각 LM 가이드(291, 292)에 직렬로 2개의 LM 블록(391, 392 및 491, 492)을 설치하는 이유는 더 큰 하중을 지탱할 수 있도록 하기 위함이다.
도 7은 회전축(130)이 상승한 경우를 보여주는 도면이다. 고정 베이스(179)와 지지관 결합판(202) 사이에는 회전축(130)을 감싸도록 벨로우즈(180)가 설치되며, 회전축(130)이 상승하면 벨로우즈(180)가 수축되고 회전축(130)이 하강하면 벨로우즈(180)가 신장된다.
도 8은 아암(311, 312)과 아암벨트(611, 612)의 연결관계를 설명하기 정면도이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 하부아암(311)은 하부아암 고정 브라켓(311a)에 의해 수평 지지되며, 하부아암 고정 브라켓(311a)은 하부아암벨트(611)를 잡도록 하부아암벨트(611)에 고정 결합된다. 그리고 상부아암(312)은 상부아암 고정 브라켓(312a)에 의해 수평지지되며, 상부아암 고정 브라켓(312a)은 상부아암벨트(612)를 잡도록 상부아암벨트(612)에 고정 결합된다.
도 9 및 도 10은 하부아암벨트(611)와 상부아암벨트(612)를 설명하기 위한 도면이다. 도 9 및 도 10에서는 이해의 편의상 하부아암(311)과 상부아암(312)의 도시를 생략하였으며, 하부아암 고정 브라켓(311a)이 결합되는 벨트 부위를 참조부호 L로 표시하였고, 상부아암 고정 브라켓(312a)이 결합되는 벨트부위를 참조부호 H로 표시하였다.
하부아암모터(511)가 회전하면 하부아암 구동풀리(521)가 회전하고 그에 따라 하부아암벨트(611)가 가동되어 하부아암(311)이 로봇본체(200)를 따라 수평이동한다. 그리고 상부아암모터(512)가 회전하면 상부아암 구동풀리(522)가 회전하고 그에 따라 상부아암벨트(612)가 가동되어 상부아암(312)이 로봇본체(200)를 따라 수평이동한다.
하부아암 구동풀리(521)의 양쪽에는 벨트의 장력을 조절하기 위한 아이들러(521a, 521b)가 각각 설치되며, 상부아암 구동풀리(522)의 양쪽에도 마찬가지로 아이들러(522a, 522b)가 설치된다. 로봇본체(200)의 양단에는 피동풀리(710. 720, 810, 820)가 각각 설치되며, 피동풀리(710, 720, 810, 820)의 전단에도 벨트의 장력을 조절하기 위한 아이들러(710a, 720a, 810a, 820a)가 각각 설치된다.
도 11은 도 10의 피동풀리부(T)와 구동풀리부(S)를 설명하기 위한 도면이다. 도 11에 도시된 바와 같이, 하부아암 피동풀리(720)와 상부아암 피동풀리(820)는 하나의 축에 설치되며 또한 각각 독자적으로 회전하도록 설치된다. 그리고 그 전단에 있는 피동풀리부 하부아암 아이들러(720a) 및 피동풀리부 상부아암 아이들러(820a)도 하나의 축에 설치되며 또한 각각 독자적으로 회전하도록 설치된다. 따라서 벨트장력 조절시 피동풀리부 아이들러(720a, 820a)는 하나의 세트로서 동시에 수평이동하게 되고, 그로 인해 하부아암벨트(611)와 상부아암벨트(612)의 장력이 피동풀리부 아이들러(720a, 820a)의 움직임에 의해 동시에 한꺼번에 조절된다.
도 12a는 하부아암(311)이 전진하는 경우를 설명하기 위한 개략도이고, 도 12b는 하부아암(311)이 후진하는 경우를 설명하기 위한 개략도이다. 도 12a에 도시된 바와 같이, 하부아암 구동풀리(521)가 반시계 방향으로 회전하면 하부아암벨트(611)가 반시계 방향으로 이동되고, 그로 인해 하부아암 고정 브라켓(311a)에 의해 하부아암벨트(611)에 고정 설치되는 하부아암(311)이 전진한다. 벨트의 장력에 의해서 로봇본체(200)의 양측에 있는 하부아암 피동풀리(710, 720)도 각각 반시계 방향으로 회전한다. 그리고 도 12b에 도시된 바와 같이, 하부아암 구동풀리(521)가 시계 방향으로 회전하면 하부아암벨트(611)가 시계 방향으로 이동되고, 그로 인해 하부아암(311)이 후진한다.
도 13a는 상부아암(312)이 전진하는 경우를 설명하기 위한 개략도이고, 도 13b는 상부아암(312)이 후진하는 경우를 설명하기 위한 개략도이다. 도 13a에 도시된 바와 같이, 상부아암 구동풀리(522)가 반시계 방향으로 회전하면 상부아암벨트(612)가 반시계 방향으로 이동되고, 그로 인해 상부아암 고정 브라켓(312a)에 의 해 상부아암벨트(612)에 고정 설치되는 상부아암(312)이 전진한다. 그리고 도 13b에 도시된 바와 같이, 상부아암 구동풀리(522)가 시계 방향으로 회전하면 상부아암벨트(612)가 시계 방향으로 이동되고, 그로 인해 상부아암(312)이 후진한다.
도 1은 본 발명에 따른 기판반송용 진공로봇을 설명하기 위한 단면도;
도 2는 도 1의 로봇본체(200)를 설명하기 위한 사시도;
도 3은 도 1의 하부아암 모터함(211)을 설명하기 위한 도면;
도 4는 도 1의 반송챔버 지지관(110)의 내부를 설명하기 위한 단면도;
도 5는 도 1의 반송챔버 지지관(110)의 내부를 설명하기 위한 분해 사시도;
도 6은 로봇본체(200)의 왼쪽에 설치되는 상하승강장치를 설명하기 위한 도면;
도 7은 회전축(130)이 상승한 경우를 보여주는 도면;
도 8은 아암(311, 312)과 아암벨트(611, 612)의 연결관계를 설명하기 정면도;
도 9 및 도 10은 하부아암벨트(611)와 상부아암벨트(612)를 설명하기 위한 도면들;
도 11은 도 10의 피동풀리부(T)와 구동풀리부(S)를 설명하기 위한 도면;
도 12a는 하부아암(311)이 전진하는 경우를 설명하기 위한 개략도;
도 12b는 하부아암(311)이 후진하는 경우를 설명하기 위한 개략도;
도 13a는 상부아암(312)이 전진하는 경우를 설명하기 위한 개략도;
도 13b는 상부아암(312)이 후진하는 경우를 설명하기 위한 개략도이다.
<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명>
10: 반송챔버 110: 반송챔버 지지관
130: 회전축 131: 전력선
140: 연결관 150: T 모터
151: 구동회전축 160: 감속기
171, 172: 연결플랜지 173, 174: 연결볼트
175: 폴 피스(pole piece) 176: 마그네틱
178: 실린더 179: 고정 베이스
190a, 190b: Z 모터 191a: 볼 스크류
192a: 스크류 너트 193a: 지지판
194a: 지지너트 195a: 축 커플링
200: 로봇본체 201: 회전축 결합판
211, 212: 아암 모터함 291, 292: LM 가이드
311, 312: 아암 391, 392, 491, 492: LM 블록
411, 412: 아암 블레이드 511, 512: 아암모터
521, 522: 구동풀리 531, 532: 워엄기어
611, 612: 아암벨트 700: 경량화용 관통홀
H: 케이블관

Claims (5)

  1. 반송챔버 내에 설치되어 기판을 반송하는 기판반송수단에 있어서,
    상기 반송챔버 내에 가로로 길게 설치되는 로봇본체;
    상기 반송챔버와 연통되도록 상기 반송챔버의 외부에서 상기 반송챔버의 저면에 세로로 고정 결합되는 반응챔버 지지관;
    상기 지지관 내에 설치되는 실린더;
    가운데에 케이블관이 형성되고 상기 케이블관이 상기 로봇본체의 내부와 연통되도록 윗단이 상기 로봇본체의 저면에 고정 연결되게 상기 실린더 내에 상기 본체에 대해 수직하게 삽입 설치되는 회전축;
    상기 회전축을 둘러싸도록 설치되는 고정 베이스;
    상기 로봇본체의 내부에 설치되되 상기 반송챔버의 내부공간과는 분리되는 모터수납공간를 제공하여 아암모터가 수납되는 모터함;
    상기 회전축의 케이블관과 상기 모터함을 연결시키도록 설치되는 연결관;
    상기 반송챔버의 외부로부터 상기 케이블관 및 연결관을 통하여 상기 아암모터에 연결되는 전력선;
    상기 회전축을 회전시키도록 설치되는 T 모터;
    상기 회전축을 사이에 두고 서로 마주보도록 상기 회전축에 대해 나란하게 설치되는 적어도 2개의 볼 스크류;
    상기 볼 스크류를 회전시키도록 설치되는 Z 모터;
    상기 볼 스크류의 회전에 따라 상하운동하도록 상기 볼 스크류에 각각 설치되며 상기 고정 베이스에 고정결합되는 스크류 너트;
    상기 볼 스크류를 사이에 두고 서로 마주보도록 각각의 상기 볼 스크류의 양측에 각각 설치되는 LM 가이드; 및
    상기 LM 가이드를 따라 상하로 활주하며 상기 고정 베이스에 고정 결합되는 LM 블록; 을 포함하여 이루어지고,
    상기 실린더와 회전축 사이에는 마그네틱이 포함되는 폴 피스(pole piece)가 상기 회전축을 둘러싸도록 설치되며, 상기 마그네틱과 상기 회전축 사이는 자성유체 씰에 의해 밀봉되는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 T모터와 상기 회전축 사이에는 감속기가 설치되며, 상기 감속기에는 가운데에 케이블관이 형성되는 구동회전축이 연결되도록 설치되며, 상기 구동 회전축의 케이블관과 상기 회전축의 케이블관이 서로 연결되도록 상기 회전축과 상기 구동축이 플랜지 결합되는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 볼 스크류는 상기 로봇본체의 가로 방향으로 위치하도록 2개 설치되며, 상기 LM 가이드는 상기 로봇본체의 세로방향으로 위치하도록 상기 각각의 볼 스크류에 대해 2개씩 설치되는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 LM 블록은 각각의 상기 LM 가이드에 적어도 2개가 직렬로 설치되는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
KR1020080106958A 2008-10-30 2008-10-30 진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치 KR101023050B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080106958A KR101023050B1 (ko) 2008-10-30 2008-10-30 진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080106958A KR101023050B1 (ko) 2008-10-30 2008-10-30 진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100047996A KR20100047996A (ko) 2010-05-11
KR101023050B1 true KR101023050B1 (ko) 2011-03-24

Family

ID=42274827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080106958A KR101023050B1 (ko) 2008-10-30 2008-10-30 진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101023050B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101246362B1 (ko) * 2012-10-11 2013-03-25 주식회사 티이에스 기판 이송 장치
JP6869136B2 (ja) * 2017-07-28 2021-05-12 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006281440A (ja) * 2006-05-29 2006-10-19 Foi:Kk 真空チャンバ用回転伝動機構
JP2008030151A (ja) * 2006-07-28 2008-02-14 Daihen Corp 直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット
JP2008246644A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Daihen Corp 搬送装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006281440A (ja) * 2006-05-29 2006-10-19 Foi:Kk 真空チャンバ用回転伝動機構
JP2008030151A (ja) * 2006-07-28 2008-02-14 Daihen Corp 直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット
JP2008246644A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Daihen Corp 搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100047996A (ko) 2010-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101438150B1 (ko) 반송 로봇
US8272830B2 (en) Scissor lift transfer robot
KR101488649B1 (ko) 기판 반송 로봇 및 시스템
US7946799B2 (en) Transfer apparatus
KR20110052454A (ko) 아암 기구 및 그것을 구비한 진공 로봇
KR100987362B1 (ko) 반송챔버 내에서 사용하기에 적합한 기판반송장치
US20040123952A1 (en) FPD fabricating apparatus
JP2003188231A (ja) ワーク搬送用ロボット及びこのロボットを備えたワーク加工装置
KR101023050B1 (ko) 진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치
CN101459100B (zh) 紧凑式晶圆自动传输装置
KR20150072260A (ko) 기판 턴장치
KR101022057B1 (ko) 반송챔버 내에서 사용하기에 적합한 기판반송장치
KR101553625B1 (ko) 기판 턴장치
KR20160005647A (ko) 가공물 반송장치
CN220375747U (zh) 一种lcd显示屏加工面板转移机构
KR20090088733A (ko) 공정 챔버 및 이것을 포함하는 평판표시소자 제조장비
KR102577853B1 (ko) 기판 처리 장비용 고토크형 매뉴퓰레이터
KR101289703B1 (ko) 기판 적재장치
CN219658680U (zh) 一种晶圆升降装置及半导体加工设备
CN220300294U (zh) 一种物料运输装置
WO2019021833A1 (ja) 産業用ロボット
TW201428876A (zh) 基板搬送裝置及基板處理系統
KR102037724B1 (ko) 평면디스플레이용 기판 이송시스템
CN215326746U (zh) 运输装置及检测设备
CN217263206U (zh) 一种pcb板生产用机器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140228

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160304

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170307

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180312

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190307

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200310

Year of fee payment: 10