TW201836192A - 用以於一處理系統中依循路線傳送一載體之設備、用以處理載體上之一基板之一系統、及於一真空系統中依循路線傳送一載體之路線之方法 - Google Patents

用以於一處理系統中依循路線傳送一載體之設備、用以處理載體上之一基板之一系統、及於一真空系統中依循路線傳送一載體之路線之方法 Download PDF

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Abstract

一種用以於一處理系統中依循路線傳送一載體之設備係說明。此設備包括一第一支承組件，貼附於一真空腔室，用以沿著一第一方向傳送載體；一第二支承組件，貼附於真空腔室，用以沿著一第二方向傳送載體，第二方向不同於第一方向；以及一可旋轉支撐件，用以從第一方向旋轉載體至第二方向。

Description

用以於一處理系統中依循路線傳送一載體之設備、用以處理載體上之一基板之一系統、及於一真空系統中依循路線傳送一載體之路線之方法
本發明之數個實施例是有關於在一處理系統中依循路線傳送一載體，舉例為在一旋轉模組中。本發明之數個實施例特別是有關於一種用以於一處理系統中依循線路傳送一載體之設備、一種用以處理在載體上之一基板之系統，及一種於一真空系統中傳送一載體之方法。
有機蒸發器係為用於製造有機發光二極體(organic light-emitting diodes，OLED)的工具。OLEDs係為發光二極體之一種特別的形式。在OLEDs中，發光層包括特定之有機化合物的薄膜。OLEDs係使用來製造電視螢幕、電腦螢幕、行動電話、用以顯示資訊之其他手持裝置等。OLEDs可亦使用來作為一般空間照明之用。OLED顯示器之可能顏色、亮度、及視角的範圍可大於傳統之液晶顯示器(LCD)的可能顏色、亮度、及視角的範圍，因為OLED像素係直接地發光。因此，相較於傳統之LCD之能量損耗，OLED顯示器之能量損耗係相當地少。再者，可製造於撓性基板上之OLEDs係產生其他的應用。一般之OLED顯示器係舉例為可包括數個有機材料層，位於兩個電極之間。此兩個電極全都以形成矩陣顯示面板之形式沈積於基板上，矩陣顯示面板具有個別可致能之像素。OLED一般位於兩個玻璃面板之間，且玻璃面板之邊緣係密封，以封裝OLED於其中。或者，OLED可舉例為利用阻擋膜以薄膜技術封裝。
OLED顯示器製造具有數個挑戰。粒子產生可能致使製程惡化。因此，以減少或最小化粒子產生之方式提供於處理系統中之載體之傳送係有利的。再者，裝置之污染物可能致使裝置劣化，特別是具有OLED層之裝置之污染物可能致使裝置劣化，使得於處理系統中製造完整之層堆疊及封裝完整之層堆疊係有利的。此係產生大型處理系統，而此系統之佔地面積係需考慮。因此，於垂直定向中傳送載體可為有利的。在處理系統中安置載體成垂直狀態可舉例為利用旋轉模組完成。旋轉模組可連接於二或多個相鄰之腔室，舉例為連接於四個相鄰之腔室，使得載體可旋轉而用於在相鄰之腔室之任意腔室中傳送。在考慮粒子產生、佔地面積、節拍時間(tact time)、及亦考慮所有權的成本之至少一者之情況下，依循路線傳送載體將有所改善。
根據一實施例，提出一種用以於一處理系統中依循路線傳送(routing)一載體之設備。此設備包括一第一支承組件，貼附於一真空腔室，用以沿著一第一方向傳送載體；一第二支承組件，貼附於真空腔室，用以沿著一第二方向傳送載體，第二方向不同於第一方向；以及一可旋轉支撐件，用以從第一方向旋轉載體至第二方向。
根據另一實施例，提出一種用以於一處理系統中依循路線傳送一載體之設備。此設備包括一第一支承組件，於一真空腔室中為靜止的，用以沿著一第一方向傳送；一第二支承組件，至少部份地於真空腔室中為靜止的，用以沿著一第二方向傳送，第二方向不同於第一方向；以及一可旋轉支撐件，用以從第一方向旋轉載體至第二方向。
根據另一實施例，提出一種用以處理於一載體上之一基板之系統。此系統包括一設備，用以於一處理系統中依循路線傳送載體。此設備包括一第一支承組件，貼附於一真空腔室，用以沿著一第一方向傳送載體；一第二支承組件，貼附於真空腔室，用以沿著一第二方向傳送載體，第二方向不同於第一方向；以及一可旋轉支撐件，用以從第一方向旋轉載體至第二方向。此系統更包括一處理腔室，固定於真空腔室，用以沿著第一方向之載體至處理腔室中的傳送。
根據另一實施例，提出一種於一真空系統中依循路線一傳送載體之方法。此方法包括於一真空腔室中沿著一第一方向傳送載體；擺置載體於一可旋轉支撐件上；旋轉可旋轉支撐件；以及沿著一第二方向傳送載體離開真空腔室，第二方向不同於第一方向。為了對本發明之上述及其他方面有更佳的瞭解，下文特舉實施例，並配合所附圖式詳細說明如下：
詳細的參照將以數種實施例達成，數種實施例的一或多個例子係繪示於圖式中。在圖式之下方說明中，相同參考編號係意指相同之元件。一般來說，只有有關於個別實施例之相異處係進行說明。各例子係藉由說明的方式提供且不意味為一限制。再者，所說明或敘述而做為一實施例之部份之特徵可用於其他實施例或與其他實施例結合，以取得進一步之實施例。此意指本說明包括此些調整及變化。
本揭露之數個實施例係提及於處理系統中傳送載體。處理系統可為顯示器製造系統，特別是用於大面積基板或對應於大面積基板之載體之顯示器製造系統。傳送載體通過系統可特別是在載體於本質上垂直狀態中提供。載體之傳送(routing)也就是載體之運動。舉例來說，載體可裝配以支承用以遮蔽基板之遮罩，或可裝配以支承基板。遮罩例如是 精密金屬遮罩(fine metal mask)。基板例如是玻璃板材。
根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，基板載體可為靜電吸座(electrostatic chuck，E-chuck)，提供靜電力來支承基板且選擇地支承遮罩於基板載體，且特別是支承基板且選擇地支承遮罩於支撐表面。作為一例子來說，基板載體包括電極配置，裝配以提供作用於基板上之吸引力。
根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，載體係裝配以用於在實質上垂直定向中支承或支撐基板及遮罩。如本揭露通篇所使用，「實質上垂直」係特別在意指基板定向時理解為允許從垂直方向或定向±20°或以下之偏差，舉例為從垂直方向或定向±10°或以下之偏差。此偏差可提供，舉例為因為具有從垂直定向之一些偏差的基板支撐件可致使更穩定之基板位置。再者，當基板係向前傾斜時，較少之粒子係到達基板表面。然而，舉例為在真空沈積製程期間，基板定向係視為實質上垂直，而不同於水平基板定向。水平基板定向可視為水平之±20°或以下。
名稱「垂直方向」或「垂直定向」係理解為與「水平方向」或「水平定向」有所區別。也就是說，「垂直方向」或「垂直定向」係有關於舉例為載體之實質上垂直定向，其中從準確垂直方向或垂直定向之達10°或甚至達15°之一些角度之偏移係仍視為「實質上垂直方向」或「實質上垂直定向」。垂直方向可實質上平行於重力。
此處所述之實施例可應用於大面積基板上之蒸發，舉例為用於OLED顯示器製造。特別是，提供而用於根據此處所述實施例之結構及方法之基板係為大面積基板。舉例來說，大面積基板或載體可為第4.5代、第5代、第7.5代、第8.5代、或甚至是第10代。第4.5代對應於約0.67 m2 之表面積(0.73 m x 0.92 m)、第5代對應於約1.4 m2 之表面積(1.1 m x 1.3 m)、第7.5代對應於約4.29 m2 之表面積(1.95 m x 2.2 m)、第8.5代對應於約5.7 m²之表面積(2.2 m x 2.5 m)、第10代對應於約8.7 m2 之表面積(2.85 m × 3.05 m)。甚至例如是第11代及第12代之更高代及對應之表面積可以類似之方式應用。此些代之一半的尺寸可亦提供於OLED顯示器製造中。
根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，基板厚度可為從0.1至1.8 mm。基板厚度可為約0.9 mm或以下，例如是0.5 mm。如此處所使用之名稱「基板」可特別是包含實質上非撓性基板，舉例為晶圓、例如是藍寶石或類似者之透明水晶片、或玻璃板材。然而，本揭露係不以此為限，且名稱「基板」可亦包含撓性基板，例如是網格(web)或箔。名稱「實質上非撓性」係理解為與「撓性」有所區別。特別是，實質上非撓性基板可具有某種程度之撓性，舉例為具有0.9 mm或以下之厚度的玻璃板材，例如是具有0.5 mm或以下之厚度之玻璃板材，其中實質上非撓性基板之撓性相較於撓性基板係小的。
範例性參照第1圖，繪示用於處理系統之傳送(routing)模組100之實施例。特別是，傳送模組100之透視圖係繪示於第1圖中。如第1圖中範例性所示，傳送模組100一般係包括旋轉單元或可旋轉支撐件120，裝配以旋轉基板載體及/或遮罩載體，使得基板載體及/或遮罩載體可傳送至相鄰連接之真空腔室，舉例為處理模組。特別是，可旋轉支撐件120可設置於真空傳送腔室102中，特別是可旋轉支撐件120可設置於裝配以可於腔室中提供真空條件之真空傳送腔室中。更特別是，旋轉單元可包括旋轉驅動器，裝配以用於旋轉支撐結構122。支撐結構122用以繞著旋轉軸129支撐基板載體及/或遮罩載體。特別是，旋轉驅動器可裝配，以用於在順時針及/或逆時針方向中提供旋轉單元至少180°之旋轉。舉例來說，旋轉驅動器可裝配，以用於提供360°之旋轉。
根據一些實施例，可旋轉支撐件可包括桿(pole)，例如是包括旋轉軸之中心桿。二或多個臂之第一平台或第一組件可提供而朝向桿之下端。二或多個臂之第一平台或第一組件可支撐驅動結構162。第一平台可在旋轉期間接觸載體且可在旋轉期間支撐載體之重量。二或多個臂之第二平台或第二組件可提供而朝向桿之上端。二或多個臂之第二平台或第二組件可支撐側導件224及226。當載體係位於可旋轉支撐件上時，二或多個臂之第二平台或第二組件可接收載體之水平力。
再者，如第1圖中範例性所示，傳送模組100一般包括至少一第一連接凸緣132及至少一第二連接凸緣134。舉例來說，此至少一第一連接凸緣132可裝配，以用於連接如此處所述之處理模組。此至少一第二連接凸緣134可裝配，以用於連接過渡模組、其他傳送模組或真空擺動模組，如參照第4圖之範例性說明。一般來說，傳送模組包括四個連接凸緣，舉例為兩個第一連接凸緣及兩個第二連接凸緣。此兩個第一連接凸緣及此兩個第二連接凸緣之各對係配置於傳送模組之相反側上。因此，傳送模組可包括兩種不同形式之連接凸緣，舉例為用以連接處理模組之連接凸緣及用以連接過渡模組、 傳送模組之領域、或擺動模組之連接凸緣。一般來說，一些或全部之不同形式之連接凸緣具有外殼框狀結構，裝配以用於在外殼框狀結構之內側提供真空條件。再者，連接凸緣可包括用於遮罩載體之入口/出口及用於基板載體之入口/出口。
如參照第1圖所示，根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，一或多個傳送軌道可包括於真空傳送腔室102中。真空傳送腔室102設置有可旋轉支撐件120。其中，在操作處理系統期間所應用之設置於基板載體中之基板及/或設置於遮罩載體中之遮罩可繞著旋轉軸129旋轉。旋轉軸129舉例為垂直中央軸。
一般來說，可旋轉支撐件120係裝配，以用於從第一傳送軌道配置旋轉載體至第二傳送軌道配置。第一傳送軌道配置包括第一支承組件152，第二傳送軌道配置包括第二支承組件152。因此，在傳送模組之內側的載體之定向可改變。特別是，傳送模組可裝配，使得載體可旋轉至少90°，舉例為旋轉90°、180°或360°，使得軌道上之載體係旋轉至將傳送到處理系統之其中一個相鄰腔室中之位置。
根據可與此處所述其他實施例結合之本揭露之數個實施例，提出一種用以於處理系統中傳送載體之設備。設備包括此設備包括第一支承組件，貼附於真空腔室，用以沿著第一方向傳送載體；第二支承組件，貼附於真空腔室，用以沿著第二方向傳送載體，第二方向不同於第一方向；以及可旋轉支撐件，用以從第一方向旋轉載體至第二方向。
傳送軌道可包括支承組件152及驅動結構162，特別是裝配以用於基板載體及/或遮罩載體之非接觸平移。根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，第一傳送軌道可裝配以傳送基板載體，及第二傳送軌道可裝配以傳送基板載體。再者，可提供用於遮罩載體之第三傳送軌道及用於另一遮罩載體之第四傳送軌道。
根據本揭露之數個實施例，傳送軌道配置可裝配，以用於載體之懸浮及用於非接觸傳送。懸浮也就是非接觸支承。支承組件可設置有磁性元件，例如是主動磁性元件，配置於載體之上方。支承組件可從上方拉動載體。主動磁性元件可控制，以提供支承組件及載體之間的縫隙。非接觸支承係提供。驅動結構可設置，以沿著傳送方向提供用以傳送載體之驅動力。驅動結構可包括其他主動磁性元件，提供力於載體上。非接觸驅動可提供。
根據可與此處所述其他實施例結合之本揭露之數個實施例，提出一種用以於處理系統中傳送載體之設備，其中第一支承組件及第二支承組件之至少一者可裝配，以用於非接觸傳送載體。第一及/或第二支承組件可包括數個主動磁性元件，用以懸浮載體。第一支承組件之主動磁性元件可配置成一列，於傳送軌道組件之第一方向中延伸，第一方向也就是傳送方向。 第二支承組件之主動磁性元件可配置成一列，於其他傳送軌道組件之第二方向中延伸，第二方向也就是不同之傳送方向。
根據一選擇，此支承組件或此些支承組件可貼附於可旋轉支撐件。在可旋轉支撐件之旋轉期間，載體可在藉由支承組件懸浮(沒有機械接觸)時旋轉。由於可旋轉支撐件之旋轉之故，傳送軌道配置之傳送的方向係改變。載體可在旋轉後於不同方向中傳送，舉例為相較於旋轉前之方向，在具有90°之方向中傳送。此種配置具有貼附於可旋轉支撐件之支承組件，其中支承組件係設置於真空傳送腔室102中。以提供此種設計來說，支承組件僅可從真空傳送腔室之內側可使用，提供高所有權的成本之內部佈纜，及提供剛性且重量重之結構的可旋轉支撐件。
繪示於第2圖中之傳送模組100具有真空傳送腔室102及可旋轉支撐件120。可旋轉支撐件120設置於真空傳送腔室中。此一或多個支承組件係貼附於真空傳送腔室102。此一或多個支承組件係因而相對於真空傳送腔室為靜止的。此一或多個支承組件係在可旋轉支撐件之旋轉期間為靜止的。此係提供較簡易佈纜之支承組件及能夠具有減少之剛性及較少之重量設計(重量減少)之可旋轉支撐件之優點，而減少所有權的成本。減少重量之可旋轉支撐件120更允許較小之馬達222，也就是具有減少扭矩之馬達，以旋轉可旋轉支撐件。所有權的成本係進一步減少。再者，真空傳送腔室102之高度可減少，而致使進一步之重量減少及所有權的成本減少。
根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，在載體旋轉期間，可旋轉支撐件可裝配以機械接觸載體。再者，傳送模組可額外地或選擇地更包括至少ㄧ第三支承組件，用以沿著第一方向非接觸傳送；及至少一第四支承組件，用以沿著第二方向非接觸傳送。
第2圖繪示設置於殼體250中之四個支承組件152之示意圖，殼體250也就是殼件。此四個支撐組件係作為於第一方向中之四個軌道。另外的四個支承組件可提供而用於第二方向。根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，二或多個支承組件可設置於殼體250中。殼體250設置於真空傳送腔室102之牆。舉例來說，殼體250及/或此二或多個支承組件152可提供於或貼附於真空傳送腔室之頂牆。根據一些實施例，支承組件可固定於腔室天花板，支承組件也就是升舉箱。殼體250係允許從真空傳送腔室102之外側使用支承組件。提供於真空傳送腔室中之真空係不妨礙支承組件之使用，舉理為針對維護之目的。升舉箱係為可使用的而無需開啟真空傳送腔室。根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，第一及/或第二支承組件之至少一部份可設置於真空腔室之外側。舉例來說，第一及/或第二支承組件之至少一部份可固定於真空腔室之頂牆。
根據一些實施例，傳送模組100可設置四個傳送軌道組件。舉例來說，如第2圖中所示，兩個傳送軌道組件可設置而用於基板載體202，及兩個傳送軌道組件可設置而用於遮罩載體204。各傳送軌道組件可包括支承組件152及驅動結構162。舉例來說，各傳送軌道組件可包括兩個支承組件及驅動結構。一個支承組件用於第一方向及一個支承組件用於不同之第二方向。支承組件152係貼附於真空傳送腔室102。支承組件係在可旋轉支撐件120旋轉時為靜止的。驅動結構162係固定於可旋轉支撐件120上，及在旋轉可旋轉支撐件時與可旋轉支撐件一起旋轉，舉例為用以改變負載於可旋轉支撐件上之一或多個載體之方向。
根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，用於遮罩載體之支承組件及用於基板載體之支承組件可在載體之一平面中相對於載體設置於相同高度或相同位置。再者，用於遮罩載體之驅動結構及用於基板載體之驅動結構可在載體之一平面中相對於載體設置於相同高度或相同位置。此可亦提供來於基板傳送軌道上移動遮罩載體及反之亦然。設備可包括第一軌道組件，第一軌道組件裝配以用於傳送基板載體及包括第一部份及第二部份。第一部份裝配以於基板載體之第一端支撐基板載體，第二部份裝配以於基板載體之第二端支撐或驅動基板載體。基板載體之第二端相反於基板載體之第一端。設備可包括第二軌道組件，第二軌道組件裝配以用於傳送遮罩載體及包括其他第一部份及其他第二部份。其他第一部份裝配以於遮罩載體之第一端支撐遮罩載體，其他第二部份係裝配以於遮罩載體之第二端支撐遮罩載體。遮罩載體之第二端相反於遮罩載體之第一端。第一軌道配置之第一部份及第二部份之間的第一距離及第二軌道配置之其他第一部份及其他第二部份之間的第二距離係本質上相同。舉例來說，第一部份及其他第一部份係配置於第一平面中，第一平面係由傳送方向及垂直於第一方向之另一方向定義，及第二部份及其他第二部份係配置於第二平面中，第二平面係由傳送方向及其他方向定義。舉例來說，第一傳送方向可為水平方向及此其他方向係另一個水平方向或垂直方向。對於垂直之基板來說，第二方向可為本質上垂直方向。遮罩載體及基板載體可在相同之傳送高度(level)。
對於載體之旋轉來說，載體係由支承組件懸浮及驅動結構162係沿著支承組件之傳送方向於真空傳送腔室102中移動載體。控制器270控制用於載體之傳送軌道之支承組件152。當載體係在懸浮狀態中時，控制器270利用驅動結構控制載體之平移運動。載體係位於可旋轉支撐件上，以舉例為利用側導件及/或可旋轉支撐件之支撐表面262與可旋轉支撐件機械接觸。舉例來說，支撐表面可設置於驅動結構162之上方。對於擺置載體於可旋轉支撐件上來說，支承組件係藉由控制器270控制及釋放載體。載體係從懸浮狀態轉變成非懸浮狀態。在非懸浮狀態中，載體係置於可旋轉支撐件上。
第2圖範例性繪示四個側導件之示意圖。兩個側導件224係提供而用以支撐遮罩載體204。兩個側導件226係提供而用以支撐基板載體202。在載體係置於可旋轉支撐件上之後，可旋轉支撐件可旋轉此一或多個載體至一個新的方向中，舉例為旋轉45°、90°、135°、180°、225°、270°、315°、或360°之角度。如第1圖中範例性所示，用於具有四個連接凸緣之傳送模組100之旋轉角度一般可為90°、180°、270°、或360°。在舉例為旋轉90°之後，載體係移動至相鄰之腔室。驅動結構162已經與可旋轉支撐件一起旋轉。也就是說，驅動結構已經不相對於載體移動且係定位而用於載體之其他傳送。根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，可旋轉支撐件可包括導引組件，舉例為側導件，裝配以用於在垂直定向中或從垂直方向偏移少於10°的定向中支撐載體。
前述傳送方向(旋轉前之傳送方向，舉例為第一方向)之支承組件152可能不適合用於在新的傳送方向中之載體之懸浮。支承組件152係於真空傳送腔室中為靜止的，也就是貼附於真空傳送腔室。因此，根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，用於第二、不同方向之傳送的其他支承組件係設置於真空傳送腔室102中。此係更詳細地繪示於第3A及3B圖中。其他支承組件可從可旋轉支撐件升舉載體。驅動結構可於第二方向中以懸浮狀態移動載體離開真空傳送腔室，第二方向不同於第一方向。
傳送模組或用以於處理系統中傳送載體之設備可包括控制器270，如舉例為繪示於第2圖中。傳送模組100或其之元件係藉由通信電纜272耦接於控制器270。控制器270係可操作以控制於傳送模組中之一或多個載體之傳送。控制器270包括可與記憶體及大量儲存裝置(mass storage device)一起操作之可程式之中央處理器(central processing unit，CPU)、輸入控制單元、及/或顯示單元(未繪示)，例如是電源供應器、時鐘、高速緩衝記憶體(cache)、輸入/輸出電路、及類似者，耦接於傳送模組之數種元件，以有助於控制基板之處理及檢視之過程。控制器270可亦包括硬體，用以監控載體之傳送。
為了有助於控制傳送模組100及傳送載體，CPU可為任何形式之通用電腦處理器之其中一者，用以控制基板處理。記憶體係耦接於CPU及記憶體係為非暫態的且可為一或多個易取得之記憶體，例如是隨機存取記憶體(random access memory，RAM)、唯讀記憶體(read only memory，ROM)、軟式磁碟驅動器(floppy disk drive)、硬碟、或任何其他形式之本地或遠端數位儲存器。支援電路係耦接於CPU，用以利用傳統方式支援CPU。藉由操作此一或多個傳送軌道組件及可旋轉支撐件之裝載載體的程序可儲存於記憶體中。用以依循路線傳送載體之程序可亦由第二CPU(未繪示)儲存及/或執行。第二CPU遠離CPU控制之硬體。
記憶體係為包含指令之電腦可讀取儲存媒體之形式。CPU執行指令時係有助於本揭露之數個實施例中所述之傳送模組之操作。於記憶體中之指令係為程式產品之形式，例如是應 用傳送模組100之操作的程式，舉例來說，包括舉例為依循路線傳送載體的操作之第5圖之方法500。程式碼可符合許多不同程式語言之任一者。
第3A圖繪示具有真空傳送腔室102之傳送模組100之示意圖。於第3A圖之上視圖中，繪示具有四個傳送軌道組件之傳送模組。其他實施例可包括兩個、三個、五個、或六個傳送軌道組件。 偶數個傳送軌道組件對於傳送概念係有利於的。在此傳送概念中，空的載體係於一或多個軌道上傳送，具有支撐於載體上之基板及遮罩之載體係亦於此一或多個軌道上傳送。在空的載體係於分離之軌道上傳送之情況中，也就是依循路線傳送之情況中，奇數個傳送軌道組件可亦有利地設置。
第3A圖範例性繪示設置於個別之軌道上的兩個遮罩載體204及兩個基板載體202之示意圖，兩個遮罩載體204及兩個基板載體202舉例為藉由個別之傳送軌道組件懸浮。於第3A圖之上視圖中，繪示支承組件152。支承組件係配置而用於分別沿著第一方向334及第二方向332之基板傳送。舉例為第一傳送軌道組件之具有舉例為數個升舉箱之第一支承組件係貼附於真空腔室，舉例為貼附於真空傳送腔室，用以沿著第一方向334傳送載體。舉例為第一傳送軌道組件之具有舉例為數個升舉箱之第二支承組件係貼附於真空腔室，用以沿著第二方向傳送載體。第二方向不同於第一方向。如第3A圖中範例性所示，第一方向可相對於第二方向具有90°之角度。再者，傳送模組包括可旋轉支撐件，用以從第一方向旋轉載體至第二方向。可旋轉支撐件係由圓320表示。根據可與其他方面及細節結合以取得再其他實施例之本揭露之數個實施例，第一方向及第二方向可分別視為第一傳送方向及第二傳送方向。
一或多個基板載體202及/或一或多個遮罩載體204可在可旋轉支撐件(見舉例為第2圖)上之個別傳送軌道組件上沿著第一方向334傳送。載體之傳送可藉由操作驅動結構提供，驅動結構例如是驅動箱，其中載體係藉由支承組件磁性地懸浮及藉由驅動結構磁性地驅動。第3A圖繪示位於右側上之載體，使得載體會在可旋轉支撐件上從右傳送至左。一個載體在一個傳送軌道上從右傳送到左，而另一個載體係於另一個傳送軌道上從左傳送到右係為可行的。在可旋轉支撐件之上方傳送此一或多個載體之後，此一或多個載體可擺置於可旋轉支撐件上，也就是靜止於可旋轉支撐件上。也就是說，個別之支承組件係切換成載體不再懸浮之狀態。
可旋轉支撐件可從第一方向334旋轉載體至舉例為第二方向332。提供用於第二方向332之支承組件之懸浮箱係切換到載體為懸浮之狀態。例如是驅動箱之驅動結構可操作，以沿著第二方向而舉例為如第3A圖中所示之向上或向下傳送此一或多個載體。一個載體向上傳送，而另一個載體向下傳送，也就是在相反方向中傳送係為可行的。
如第3A圖中所示，用於第一方向之第一支承組件之懸浮箱及用於第二方向之第二支承組件之懸浮箱可在空間上彼此干涉。因此，如第3B圖中所示，根據本揭露之一些實施例之傳送模組可包括支承元件352，例如是懸浮箱，讓第一方向及第二方向中之傳送能夠執行，第二方向不同於第一方向。此種支承元件352可視為結合用於第一支承組件及第二支承組件之支承元件。支承元件352可包括用於第一方向之第一主動磁性元件356及用於第二方向之第二主動磁性元件354。因此，第一支承組件可包括支承元件352，及第二支承組件可包括相同之支承元件352。
於第4圖中，處理系統之一部份係繪示。於處理系統中，兩個處理模組400係經由兩個傳送模組100彼此連接。第一個傳送模組100係連接於第一個處理模組400及過渡模組480，過渡模組480係連接於其他個傳送模組100。過渡模組係提供沿著從第一傳送模組至第二傳送模組之傳送方向之路徑。再者，過渡模組係提供停留位置及在此二或多個軌道上之載體，此二或多個軌道舉例為四個傳送軌道552，其中即使其他傳送模組還沒位於接受載體之位置中，載體可移動離開其中一個傳送模組。如第4圖中所示，沿著傳送模組及/或過渡模組之傳送方向可為第一方向。過渡模組可在載體沿著第一方向移動時提供用於載體之傳送路徑及可在載體定向以將沿著第一方向傳送時提供停留位置。
此其他個傳送模組100係連接於其他個處理模組400。如第4圖中所示，閘閥405可沿著第一方向設置於相鄰之真空腔室之間，舉例為設置在過渡模組及相鄰之傳送模組之間。閘閥405可關閉或開啟，以提供真空腔室之間的真空密封。閘閥之存在可根據處理系統之應用決定，舉例為根據沈積於基板上之有機材料層之種類、數量、及/或順序決定。因此，一或多個閘閥可設置於傳送腔室之間。或者，任何傳送腔室之間可不設置閘閥。
根據典型之實施例，第一傳送軌道552及第二傳送軌道552係裝配，以用於基板載體及/或遮罩載體之非接觸傳送。特別是，第一傳送軌道及第二傳送軌道可包括支承組件及驅動結構，裝配以用於基板載體及/或遮罩載體之非接觸平移。
如第4圖中所示，於此第一個傳送模組100中，兩個基板係旋轉。基板所在之此兩個傳送軌道係旋轉，以對準第一方向。因此，傳送軌道上之兩個基板係設置於將傳送至過渡模組及相鄰之此其他個傳送模組100之一位置中。
根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，傳送軌道配置之傳送軌道可從真空處理腔室402延伸至真空傳送腔室102中，也就是可定向於第二方向中。第二方向不同於第一方向。因此，一或多個基板可從真空處理腔室傳送至相鄰之真空傳送腔室。再者，如第4圖中範例性所示，閘閥405可設置於處理模組及傳送模組之間。閘閥405可開啟而用以此一或多個基板之傳送。因此，將瞭解的是，基板可從第一處理模組傳送到第一傳送模組，從第一傳送模組傳送至其他傳送模組，及從其他傳送模組傳送至其他處理模組。因此，舉例為沈積數個有機材料層於基板上之數個製程可執行，而無需暴露基板於不需要之環境，例如是大氣環境或非真空環境。
根據可與此處所述其他實施例結合之一些實施例，可提供用以處理載體上之基板之系統。系統可包括用以依循路線傳送之設備，也就是根據本揭露之數個實施例之傳送模組，及更包括處理腔室，處理腔室係固定於真空腔室，用以沿著第一方向傳送載體至處理腔室中。系統可更包括其他真空腔室，舉例為真空處理腔室，固定於真空腔室，用以沿著第二方向傳送載體至其他真空腔室中。系統可更包括其他真空腔室，舉例為真空過渡腔室，固定於真空腔室，用以沿著第一方向傳送載體至再其他真空腔室中。
第5圖繪示真空系統中之依循路線傳送載體之方法500之示意圖。方法包括於真空腔室中沿著第一方向傳送(方塊502)載體，置放(方塊504)載體於可旋轉支撐件上，旋轉(方塊506) 可旋轉支撐件，從可旋轉支撐件升舉(方塊508)載體，及沿著第二方向傳送(方塊510)載體離開真空腔室，第二方向不同於第一方向。舉例來說，傳送可藉由磁性懸浮系統提供。載體可額外地或選擇地利用磁性懸浮系統升舉。根據可與此處所述其他實施例結合之本揭露之一些實施例，載體可於垂直定向中或於從垂直方向偏移少於10°的定向中支撐於真空腔室中。
本揭露具有數個優點，包括能夠具有較少之剛性及較少之重量設計(重量減少)之可旋轉支撐件，及支承組件之佈纜較容易，而減少所有權的成本。支承組件之固定位置係提供從真空傳送腔室之外側使用支承組件。懸浮箱係可使用，而無需開啟真空傳送腔室。
綜上所述，雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
100‧‧‧傳送模組
102‧‧‧真空傳送腔室
120‧‧‧可旋轉支撐件
122‧‧‧支撐結構
129‧‧‧旋轉軸
132‧‧‧第一連接凸緣
134‧‧‧第二連接凸緣
152‧‧‧支承組件
162‧‧‧驅動結構
202‧‧‧基板載體
204‧‧‧遮罩載體
222‧‧‧馬達
224、226‧‧‧側導件
250‧‧‧殼體
262‧‧‧支撐表面
270‧‧‧控制器
272‧‧‧通信電纜
320‧‧‧圓
332‧‧‧第二方向
334‧‧‧第一方向
352‧‧‧支承元件
354‧‧‧第二主動磁性元件
356‧‧‧第一主動磁性元件
400‧‧‧處理模組
402‧‧‧真空處理腔室
405‧‧‧閘閥
480‧‧‧過渡模組
500‧‧‧方法
502、504、506、508、510‧‧‧流程步驟
552‧‧‧傳送軌道
為了使上述特徵可詳細地瞭解，簡要摘錄於上之更特有之說明可參照數個實施例。所附之圖式係有關於數個實施例且係說明於下方： 第1圖繪示根據此處所述實施例之處理系統之傳送模組之透視圖； 第2圖繪示根據此處所述實施例之處理系統之傳送模組之剖面圖； 第3A及3B圖繪示根據此處所述實施例之處理系統之傳送模組之上視圖； 第4圖繪示根據此處所述實施例之各具有處理模組連接於其之兩個相鄰之傳送模組之示意圖；以及 第5圖繪示根據此處所述實施例之於真空系統中傳送載體之方法之流程圖。

Claims (19)

  1. 一種用以於一處理系統中依循路線傳送一載體之設備，包括： 一第一支承組件，貼附於一真空腔室，用以沿著一第一方向傳送該載體； 一第二支承組件，貼附於該真空腔室，用以沿著一第二方向傳送該載體，該第二方向不同於該第一方向；以及 一可旋轉支撐件，用以從該第一方向旋轉該載體至該第二方向。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該第一支承組件及該第二支承組件之至少一者係裝配以用以非接觸傳送該載體。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之設備，其中該第一支承組件包括複數個主動磁性元件，用以懸浮該載體。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之設備，其中該些主動磁性元件係於該真空腔室中為靜止的。
  5. 如申請專利範圍第3項所述之設備，其中該些主動磁性元件係裝配，以從上方拉動該載體及提供該支承組件及該載體之間的一縫隙。
  6. 如申請專利範圍第1至5項之任一者所述之設備，其中該第二支承組件包括複數個主動磁性元件，配置成於該第二方向中延伸之一列。
  7. 如申請專利範圍第1至5項之任一者所述之設備，其中該可旋轉支撐件係裝配，以在該載體之旋轉期間機械接觸該載體。
  8. 如申請專利範圍第1至5項之任一者所述之設備，更包括： 至少一第三支承組件，用以沿著該第一方向非接觸傳送一載體；以及 至少一第四支承組件，用以沿著該第二方向非接觸傳送一載體。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之設備，其中該第一支承組件、該第二支承組件、該第三支承組件、及該第四支承組件各包括配置成一列之複數個主動磁性元件。
  10. 如申請專利範圍第1至5項之任一者所述之設備，其中該可旋轉支撐件係提供一導引組件或一側導件，裝配以用以於一垂直定向中或從一垂直方向偏移少於15°之一定向中支撐該載體。
  11. 如申請專利範圍第1至5項之任一者所述之設備，其中該第一支承組件之至少一部份係位於該真空腔室之外側。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之設備，其中該第一支承組件之該部份係固定於該真空腔室之一頂部牆。
  13. 一種用以處理於一載體上之一基板之系統，包括： 如申請專利範圍第1至5項之任一者所述之設備；以及 一處理腔室，固定於該真空腔室，用以沿著該第一方向傳送該載體至該處理腔室中。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之系統，更包括： 一其他真空腔室，固定於該真空腔室，用以沿著該第二方向傳送該載體至該其他真空腔室中。
  15. 一種於一真空系統中依循路線傳送一載體之方法，包括： 於一真空腔室中沿著一第一方向傳送該載體； 擺置該載體於一可旋轉支撐件上； 旋轉該可旋轉支撐件；以及 沿著一第二方向傳送該載體離開該真空腔室，該第二方向不同於該第一方向。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之方法，更包括： 在沿著該第二方向傳送該載體之前，從該可旋轉支撐件升舉該載體。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之方法，其中該載體係利用一磁性懸浮系統升舉。
  18. 如申請專利範圍第15至17項之任一者所述之方法，其中該傳送係由一磁性懸浮系統提供。
  19. 如申請專利範圍第15至17項之任一者所述之方法，其中該載體係於一垂直定向中或從一垂直方向偏移少於15°之一定向中支撐於該真空腔室中。
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