JPH06156731A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH06156731A JPH06156731A JP33008092A JP33008092A JPH06156731A JP H06156731 A JPH06156731 A JP H06156731A JP 33008092 A JP33008092 A JP 33008092A JP 33008092 A JP33008092 A JP 33008092A JP H06156731 A JPH06156731 A JP H06156731A
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- Japan
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- path
- transport path
- carrier
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｔ字路又は十字路において、搬送台の姿勢を
変更することなく走行方向を変えることができる搬送装
置を提供する。 【構成】 密閉された搬送路１０と、搬送路１０内を走
行する搬送台１５とを備えた搬送装置において、搬送路
１０を第１搬送路１１と、第１搬送路１１に略直交する
第２搬送路１２とで構成し、搬送台１５を矩形状に形成
するとともにその外形寸法を第１，第２搬送路１１，１
２の通路幅に近接させた。
変更することなく走行方向を変えることができる搬送装
置を提供する。 【構成】 密閉された搬送路１０と、搬送路１０内を走
行する搬送台１５とを備えた搬送装置において、搬送路
１０を第１搬送路１１と、第１搬送路１１に略直交する
第２搬送路１２とで構成し、搬送台１５を矩形状に形成
するとともにその外形寸法を第１，第２搬送路１１，１
２の通路幅に近接させた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送装置に係り、特に密
閉された搬送通路内でＳｉウエハ、ガラス基板等の搬送
物をプロセス装置内、又は、プロセス装置間を搬送する
必要のある半導体産業、液晶産業等の搬送ラインに好適
な搬送装置に関する。
閉された搬送通路内でＳｉウエハ、ガラス基板等の搬送
物をプロセス装置内、又は、プロセス装置間を搬送する
必要のある半導体産業、液晶産業等の搬送ラインに好適
な搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電磁石の作動により発生する吸引力によ
り搬送台を浮上させ、リニアモータにより推進力が与え
られ、搬送路に沿って搬送台を非接触で移動させる磁気
浮上式の搬送装置が提案されている。
り搬送台を浮上させ、リニアモータにより推進力が与え
られ、搬送路に沿って搬送台を非接触で移動させる磁気
浮上式の搬送装置が提案されている。
【０００３】上記搬送装置は、電磁石の作動により発生
する磁気吸引力を、センサの出力値を基にして制御を行
うことにより、搬送台を搬送路に非接触状態に浮上さ
せ、リニアモータ駆動と浮上磁極の切替えにより搬送路
に従って移動させている。かかる搬送装置においては、
搬送台の停止・保持、搬送台の移動のいずれの場合も、
搬送台と、その軌道となる搬送路とは非接触状態を維持
しているので、接触部での塵埃発生の恐れがなく、その
ため、塵埃の発生を極端に嫌う半導体産業、液晶産業等
の搬送ラインに好適に使用されうる。
する磁気吸引力を、センサの出力値を基にして制御を行
うことにより、搬送台を搬送路に非接触状態に浮上さ
せ、リニアモータ駆動と浮上磁極の切替えにより搬送路
に従って移動させている。かかる搬送装置においては、
搬送台の停止・保持、搬送台の移動のいずれの場合も、
搬送台と、その軌道となる搬送路とは非接触状態を維持
しているので、接触部での塵埃発生の恐れがなく、その
ため、塵埃の発生を極端に嫌う半導体産業、液晶産業等
の搬送ラインに好適に使用されうる。
【０００４】しかして、従来の搬送装置においては、搬
送台の走行方向を変える場合には、図７に示されるよう
に搬送路１を大きな曲率半径でカーブさせ、搬送台２を
この搬送路１に沿って走行させることによって搬送台の
走行方向を変更していた。また、図８に示されるように
搬送路１の分岐部１ａにターンテーブル３を設置し、搬
送台２をターンテーブル３上に載せて９０°回転させる
ことにより搬送台２の走行方向を変更していた。
送台の走行方向を変える場合には、図７に示されるよう
に搬送路１を大きな曲率半径でカーブさせ、搬送台２を
この搬送路１に沿って走行させることによって搬送台の
走行方向を変更していた。また、図８に示されるように
搬送路１の分岐部１ａにターンテーブル３を設置し、搬
送台２をターンテーブル３上に載せて９０°回転させる
ことにより搬送台２の走行方向を変更していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図７に示す従来の搬送
装置においては、曲線搬送路の部分の壁面間の距離を直
線搬送路のそれより大きくしなければ、搬送台が壁面に
接触してしまうという問題点があった。また、比較的大
きな曲率半径の曲線搬送路にしなければ、９０°方向転
換ができず、大きな設置スペースを必要とするという問
題点があった。
装置においては、曲線搬送路の部分の壁面間の距離を直
線搬送路のそれより大きくしなければ、搬送台が壁面に
接触してしまうという問題点があった。また、比較的大
きな曲率半径の曲線搬送路にしなければ、９０°方向転
換ができず、大きな設置スペースを必要とするという問
題点があった。
【０００６】また、図８に示す従来の搬送装置において
は、ターンテーブル部を複雑かつ特殊な構造にする必要
があるという問題点があった。
は、ターンテーブル部を複雑かつ特殊な構造にする必要
があるという問題点があった。
【０００７】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、Ｔ字路又は十字路において、搬送台の姿勢を変更す
ることなく走行方向を変えることができる搬送装置を提
供することを目的とする。
で、Ｔ字路又は十字路において、搬送台の姿勢を変更す
ることなく走行方向を変えることができる搬送装置を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため、本発明の搬送装置は密閉された搬送路と、この搬
送路内を走行する搬送台とを備えた搬送装置において、
前記搬送路を第１搬送路と、この第１搬送路に略直交す
る第２搬送路とで構成し、前記搬送台を矩形状に形成す
るとともにその外形寸法を前記第１，第２搬送路の通路
幅に近接させたことを特徴とするものである。
ため、本発明の搬送装置は密閉された搬送路と、この搬
送路内を走行する搬送台とを備えた搬送装置において、
前記搬送路を第１搬送路と、この第１搬送路に略直交す
る第２搬送路とで構成し、前記搬送台を矩形状に形成す
るとともにその外形寸法を前記第１，第２搬送路の通路
幅に近接させたことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】前述した構成からなる本発明によれば、搬送台
は第１搬送路から交叉点に向かって走行し、交叉点でそ
のままの姿勢で略９０°走行方向を変更し、第２搬送路
を走行することができる。また、同様に、第２搬送路か
ら交叉点に向かって走行し、交叉点でそのままの姿勢で
略９０゜走行方向を変更し、第１搬送路を走行すること
ができる。
は第１搬送路から交叉点に向かって走行し、交叉点でそ
のままの姿勢で略９０°走行方向を変更し、第２搬送路
を走行することができる。また、同様に、第２搬送路か
ら交叉点に向かって走行し、交叉点でそのままの姿勢で
略９０゜走行方向を変更し、第１搬送路を走行すること
ができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明に係る搬送装置の一実施例を図
１乃至図６を参照して説明する。図１及び図２は本発明
の搬送装置の基本構成を示す図であり、図１は搬送装置
の平面図、図２は搬送装置における搬送台を示す斜視図
である。
１乃至図６を参照して説明する。図１及び図２は本発明
の搬送装置の基本構成を示す図であり、図１は搬送装置
の平面図、図２は搬送装置における搬送台を示す斜視図
である。
【００１１】図１に示すように、本実施例の搬送装置
は、第１搬送路１１と第１搬送路１１に略直交した第２
搬送路１２とからなるＴ字路状の密閉された搬送路１０
と、このＴ字路状の搬送路１０を走行する搬送台１５と
から構成されている。前記第１搬送路１１の幅はｌに設
定され、第２搬送路１２の幅はＬに設定されている。そ
して、搬送台１５は前記搬送路１１，１２の幅にそれぞ
れ対応するように、縦幅を略ｌ（正確にはｌよりやや小
さい寸法）、横幅を略Ｌ（正確にはＬよりやや小さい寸
法）に設定している。一方、搬送台１５は、図２に示さ
れるようにウエハ等の搬送物を取り出し、又は、受取る
ための開口１５ａを４方向に備えている。
は、第１搬送路１１と第１搬送路１１に略直交した第２
搬送路１２とからなるＴ字路状の密閉された搬送路１０
と、このＴ字路状の搬送路１０を走行する搬送台１５と
から構成されている。前記第１搬送路１１の幅はｌに設
定され、第２搬送路１２の幅はＬに設定されている。そ
して、搬送台１５は前記搬送路１１，１２の幅にそれぞ
れ対応するように、縦幅を略ｌ（正確にはｌよりやや小
さい寸法）、横幅を略Ｌ（正確にはＬよりやや小さい寸
法）に設定している。一方、搬送台１５は、図２に示さ
れるようにウエハ等の搬送物を取り出し、又は、受取る
ための開口１５ａを４方向に備えている。
【００１２】以上の構成により搬送台１５は、密閉され
た搬送路１１をＣ方向へ走行し（図１参照）、交叉点１
０Ｃにおいてそのままの姿勢で略９０°走行方向を変更
し、搬送路１２をＤ又はＥ方向に走行することができ
る。
た搬送路１１をＣ方向へ走行し（図１参照）、交叉点１
０Ｃにおいてそのままの姿勢で略９０°走行方向を変更
し、搬送路１２をＤ又はＥ方向に走行することができ
る。
【００１３】次に、搬送路の構成を図３乃至図６を参照
して説明する。図３及び図４に示すように、搬送路１０
には、多数の浮上用電磁石１３が列設され、搬送台１５
は浮上用電磁石１３の磁力により浮上支持され、搬送路
１０に沿って設置されたリニアインダクションモータ
（図示せず）から発生する推進力によって移動するよう
になっている。また、搬送路１０の交叉点１０Ｃには、
搬送台１５の走行方向を転換する切替手段１６が設備さ
れている。この切替手段１６は、交叉点１０Ｃにおいて
複数（この図では４個）の第１搬送路１１の方向に列設
された電磁石１７ａと、これと同数の搬送方向の異なる
方向に配設された電磁石１７ｂとをそれぞれ隣接配置し
た構成からなり、搬送台１５が一方の搬送路（例えば第
１搬送路１１）から交叉点１０Ｃに到達した時に作動状
態の一方の浮上用電磁石（例えば電磁石１７ａ）から非
作動状態の他方の浮上用電磁石（例えば電磁石１７ｂ）
に徐々に切替えるようになっている。
して説明する。図３及び図４に示すように、搬送路１０
には、多数の浮上用電磁石１３が列設され、搬送台１５
は浮上用電磁石１３の磁力により浮上支持され、搬送路
１０に沿って設置されたリニアインダクションモータ
（図示せず）から発生する推進力によって移動するよう
になっている。また、搬送路１０の交叉点１０Ｃには、
搬送台１５の走行方向を転換する切替手段１６が設備さ
れている。この切替手段１６は、交叉点１０Ｃにおいて
複数（この図では４個）の第１搬送路１１の方向に列設
された電磁石１７ａと、これと同数の搬送方向の異なる
方向に配設された電磁石１７ｂとをそれぞれ隣接配置し
た構成からなり、搬送台１５が一方の搬送路（例えば第
１搬送路１１）から交叉点１０Ｃに到達した時に作動状
態の一方の浮上用電磁石（例えば電磁石１７ａ）から非
作動状態の他方の浮上用電磁石（例えば電磁石１７ｂ）
に徐々に切替えるようになっている。
【００１４】本実施例における搬送路は、図３乃至図６
に示すように、搬送路１０の本体フレーム２０の下面
に、浮上磁極とも呼ばれている左右一対の多数の電磁石
１３を、搬送方向Ｃ，Ｄ又はＥに対して所定のピッチで
列設している。一次側をなす電磁石１３はコイルと磁性
体ヨークからなっており、また、搬送台１５の上面の周
縁部には、浮上用ターゲットとなるヨーク（継鉄）等に
より形成されて二次側をなす磁性体ターゲット１８が取
付けられている。この磁性体ターゲット１８は励磁され
た電磁石１３の吸引力により搬送台１５を非接触状態で
浮上させるように、電磁石１３の下方に位置している。
上記一次側の電磁石１３と二次側の磁性体ターゲット１
８とにより搬送方向Ｃ，Ｄ，Ｅに展開された磁気浮上装
置を構成している。
に示すように、搬送路１０の本体フレーム２０の下面
に、浮上磁極とも呼ばれている左右一対の多数の電磁石
１３を、搬送方向Ｃ，Ｄ又はＥに対して所定のピッチで
列設している。一次側をなす電磁石１３はコイルと磁性
体ヨークからなっており、また、搬送台１５の上面の周
縁部には、浮上用ターゲットとなるヨーク（継鉄）等に
より形成されて二次側をなす磁性体ターゲット１８が取
付けられている。この磁性体ターゲット１８は励磁され
た電磁石１３の吸引力により搬送台１５を非接触状態で
浮上させるように、電磁石１３の下方に位置している。
上記一次側の電磁石１３と二次側の磁性体ターゲット１
８とにより搬送方向Ｃ，Ｄ，Ｅに展開された磁気浮上装
置を構成している。
【００１５】搬送台１５の移動は、図示しないリニアイ
ンダクションモータによって非接触で駆動されることに
よって行われる。搬送路１０には、リニアインダクショ
ンモータのステータが、搬送台１５の下面に非接触の状
態で配置されている。一方、搬送台１５の下面には、ア
ルミ板等の良導体が備えられており、リニアインダクシ
ョンモータのステータが形成する空間移動磁界によっ
て、搬送台１５の下面の良導体には渦電流が生じ、搬送
台１５は非接触で移動方向の推進力を受けるように構成
されている。列設された電磁石１３への電流を、搬送台
位置検出信号に基づいて搬送台１５の移動方向に従って
順次作動状態、非作動状態にして、浮上対象磁極を切替
えて搬送台１５の磁性体ターゲット１８への磁気吸引力
を次々に生成させることにより、搬送台１５は電磁石１
３の下面と所定のギャップを保持しながら搬送方向Ｃ，
Ｄ，Ｅに走行する。
ンダクションモータによって非接触で駆動されることに
よって行われる。搬送路１０には、リニアインダクショ
ンモータのステータが、搬送台１５の下面に非接触の状
態で配置されている。一方、搬送台１５の下面には、ア
ルミ板等の良導体が備えられており、リニアインダクシ
ョンモータのステータが形成する空間移動磁界によっ
て、搬送台１５の下面の良導体には渦電流が生じ、搬送
台１５は非接触で移動方向の推進力を受けるように構成
されている。列設された電磁石１３への電流を、搬送台
位置検出信号に基づいて搬送台１５の移動方向に従って
順次作動状態、非作動状態にして、浮上対象磁極を切替
えて搬送台１５の磁性体ターゲット１８への磁気吸引力
を次々に生成させることにより、搬送台１５は電磁石１
３の下面と所定のギャップを保持しながら搬送方向Ｃ，
Ｄ，Ｅに走行する。
【００１６】次に、交叉点１０Ｃにおいて行われる切替
手段１６の構成について図３及び図６により説明する。
交叉点１０Ｃにおいて、本体フレーム２０の下面には、
第１搬送路１１の浮上用電磁石１３と同一の方向を向い
て規則的な列状をなす第１搬送路方向に列設された電磁
石１７ａと、第２搬送路１２の浮上用電磁石１３と同一
の方向を向いて規則的な列状をなす第２搬送路方向に列
設された電磁石１７ｂとが、下方に向けて取付けられて
いる。また、両電磁石１７ａ，１７ｂは互いに直交する
位置関係にあり、搬送方向転換のために行われる浮上用
電磁石の切替時の振動防止のために可能な限り近づけて
隣接配設されている。さらに、各浮上用電磁石１７ａ，
１７ｂの直下位置には、搬送台１５の浮上位置を検出す
るためのセンサ２１が、搬送台１５の下方に配置されて
いる。
手段１６の構成について図３及び図６により説明する。
交叉点１０Ｃにおいて、本体フレーム２０の下面には、
第１搬送路１１の浮上用電磁石１３と同一の方向を向い
て規則的な列状をなす第１搬送路方向に列設された電磁
石１７ａと、第２搬送路１２の浮上用電磁石１３と同一
の方向を向いて規則的な列状をなす第２搬送路方向に列
設された電磁石１７ｂとが、下方に向けて取付けられて
いる。また、両電磁石１７ａ，１７ｂは互いに直交する
位置関係にあり、搬送方向転換のために行われる浮上用
電磁石の切替時の振動防止のために可能な限り近づけて
隣接配設されている。さらに、各浮上用電磁石１７ａ，
１７ｂの直下位置には、搬送台１５の浮上位置を検出す
るためのセンサ２１が、搬送台１５の下方に配置されて
いる。
【００１７】上記のように構成された搬送装置におい
て、制御装置（図示せず）からの制御信号により第１搬
送路１１の浮上用電磁石１３が制御されると、図３及び
図５に示すように、この浮上用電磁石１３の励磁により
発生する磁気吸引力により磁性体ターゲット１８が吸引
され、これにより、搬送台１５は浮上しながら第１搬送
路１１を矢印Ｃ方向に移動し、やがて交叉点１０Ｃに到
達する。
て、制御装置（図示せず）からの制御信号により第１搬
送路１１の浮上用電磁石１３が制御されると、図３及び
図５に示すように、この浮上用電磁石１３の励磁により
発生する磁気吸引力により磁性体ターゲット１８が吸引
され、これにより、搬送台１５は浮上しながら第１搬送
路１１を矢印Ｃ方向に移動し、やがて交叉点１０Ｃに到
達する。
【００１８】搬送台１５が交叉点１０Ｃに到達すると、
電磁石１７ａの磁極を徐々に開放していき、電磁石１７
ｂに励磁電流を流し始めて磁極の作動を開始する。上記
の工程により、図６に示されるように当初浮上対象磁極
であった第１搬送路１１の方向に列設された電磁石１７
ａから、搬送台走行面について約９０°回転させた位置
にある第２搬送路１２の方向に列設された浮上用電磁石
１７ｂに浮上対象磁極が切替わることとなり、搬送台１
５は、第２搬送路１２に従ってＤ方向又はＥ方向に走行
する。
電磁石１７ａの磁極を徐々に開放していき、電磁石１７
ｂに励磁電流を流し始めて磁極の作動を開始する。上記
の工程により、図６に示されるように当初浮上対象磁極
であった第１搬送路１１の方向に列設された電磁石１７
ａから、搬送台走行面について約９０°回転させた位置
にある第２搬送路１２の方向に列設された浮上用電磁石
１７ｂに浮上対象磁極が切替わることとなり、搬送台１
５は、第２搬送路１２に従ってＤ方向又はＥ方向に走行
する。
【００１９】図１乃至図６に示した実施例においては、
Ｔ字路状の搬送路に本発明を適用したが、十字路状の搬
送路にも本発明を適用できることは勿論であり、また第
１搬送路と第２搬送路とが直交している場合に限らず、
９０°以外の角度であってもよい。
Ｔ字路状の搬送路に本発明を適用したが、十字路状の搬
送路にも本発明を適用できることは勿論であり、また第
１搬送路と第２搬送路とが直交している場合に限らず、
９０°以外の角度であってもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、搬
送台は第１搬送路から交叉点に向かって走行し、交叉点
でそのままの姿勢で略９０°走行方向を変更し、第２搬
送路を走行することができる。また、同様にして、第２
搬送路から交叉点に向かって走行し、交叉点で走行方向
を変更し、第１搬送路を走行することができる。したが
って、搬送路の壁面間の距離を搬送台の外形寸法に近接
させることができ、必要以上に大きな搬送路を設ける必
要がない。
送台は第１搬送路から交叉点に向かって走行し、交叉点
でそのままの姿勢で略９０°走行方向を変更し、第２搬
送路を走行することができる。また、同様にして、第２
搬送路から交叉点に向かって走行し、交叉点で走行方向
を変更し、第１搬送路を走行することができる。したが
って、搬送路の壁面間の距離を搬送台の外形寸法に近接
させることができ、必要以上に大きな搬送路を設ける必
要がない。
【００２１】また、方向変換のために曲線搬送路やター
ンテーブルを必要とせず、建屋の壁面に搬送路を密接さ
せることができ、省スペース化を図ることができる。し
かも、ターンテーブルを設置する必要がないため、装置
の簡素化を図ることができる。
ンテーブルを必要とせず、建屋の壁面に搬送路を密接さ
せることができ、省スペース化を図ることができる。し
かも、ターンテーブルを設置する必要がないため、装置
の簡素化を図ることができる。
【図１】本発明に係る搬送装置の基本構成を示す平面図
である。
である。
【図２】本発明に係る搬送装置における搬送台の斜視図
である。
である。
【図３】本発明に係る搬送装置における搬送路と搬送台
の関係を示す平面図である。
の関係を示す平面図である。
【図４】本発明に係る搬送装置における搬送路と搬送台
の関係を示す立面図である。
の関係を示す立面図である。
【図５】本発明に係る搬送装置における搬送路と搬送台
の関係を示す部分拡大斜視図である。
の関係を示す部分拡大斜視図である。
【図６】本発明に係る搬送装置における搬送路と搬送台
の関係を示す部分拡大斜視図である。
の関係を示す部分拡大斜視図である。
【図７】従来の搬送装置の説明図である。
【図８】従来の搬送装置の説明図である。
【符号の説明】 １０ 搬送路 １０Ｃ 交叉点 １１ 第１搬送路 １２ 第２搬送路 １３ 浮上用電磁石 １５ 搬送台 １６ 切替手段 １７ａ，１７ｂ 電磁石 １８ 磁性体ターゲット
Claims (2)
- 【請求項１】 密閉された搬送路と、この搬送路内を走
行する搬送台とを備えた搬送装置において、前記搬送路
を第１搬送路と、この第１搬送路に略直交する第２搬送
路とで構成し、前記搬送台を矩形状に形成するとともに
その外形寸法を前記第１，第２搬送路の通路幅に近接さ
せたことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 前記搬送台は搬送物を取り出し又は受取
るための開口を４方向に有することを特徴とする請求項
１記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33008092A JPH06156731A (ja) | 1992-11-16 | 1992-11-16 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33008092A JPH06156731A (ja) | 1992-11-16 | 1992-11-16 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06156731A true JPH06156731A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=18228562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33008092A Pending JPH06156731A (ja) | 1992-11-16 | 1992-11-16 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06156731A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019513291A (ja) * | 2017-03-17 | 2019-05-23 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 処理システム内のキャリアをルーティングするための装置、キャリア上の基板を処理するためのシステム、及び真空チャンバ内のキャリアをルーティングする方法 |
-
1992
- 1992-11-16 JP JP33008092A patent/JPH06156731A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019513291A (ja) * | 2017-03-17 | 2019-05-23 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 処理システム内のキャリアをルーティングするための装置、キャリア上の基板を処理するためのシステム、及び真空チャンバ内のキャリアをルーティングする方法 |
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