JPH0616239A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 浮上移動体を無摺動，無発塵で、しかも分岐
や追越しを可能にして、長時間安定して搬送することが
できる磁気浮上搬送装置の提供。 【構成】 平面状の架台と該架台上に格子状に配設され
た多数の磁気コイルとにより形成された搬送路と、複数
個の永久磁石を有し、前記磁気コイルに印加した電流に
より該永久磁石との間に発生する磁気モーメントを介し
て磁気コイル上に浮上して前記搬送路に沿って搬送され
る浮上移動体とを備えた磁気浮上搬送装置において、前
記磁気コイルを多角形状に形成し、該各磁気コイルを規
則的に、かつ連続して、互いに多角形状の辺を隣接させ
て該各辺間をほぼ隙間の無い状態に配設する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハや回路基板等を
搬送する磁気浮上搬送装置に係り、特に浮上移動体を無
摺動，無発塵で、しかも分岐や追越しを可能にして、長
時間安定して搬送するのに好適な磁気浮上搬送装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来の磁気浮上搬送装置として、凹形鉄
心と励磁用コイルとからなる浮上用の直流マグネット
を、磁性材料で構成された架台に取り付け、該架台にも
直流マグネットによる磁気回路が形成されるようにし、
前記励磁用コイルへの通電により凹形鉄心に発生する吸
引力を適宜制御することにより、鋼板を吸引して浮上搬
送させることができる構成のもの（例えば、実公昭５９
−２８９８５号公報）が提案されている。

【０００３】また、被搬送物を浮上移動させる浮上移動
体に、電源のほか演算増幅機や磁気コイル等を搭載し、
移動用のレールを跨いで浮上移動体に設けたセンサーで
磁気コイルを操作する構成のリニアモーターカーが公知
である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】半導体の搬送装置周辺
でのウエハの搬送や、大形液晶成膜装置周辺におけるガ
ラス基板の搬送等は、塵埃の発生を極度に防止した高ク
リーンルーム内で、かなり長距離にわたって安定して行
われる必要がある。しかし、前記従来の鋼板を吸引して
浮上搬送させる磁気浮上搬送装置は、反発式の磁気浮上
構造に比べて搬送中の制御が容易になる利点があるもの
の、浮上用の直流マグネットの配置は被搬送物の上方に
限定する必要があり、これらに積もった塵埃が被搬送物
上に落下してくる危険性が大きく、高クリーンルーム内
においては使用することができない問題点を有してい
た。

【０００５】また、前記リニアモーターカーは、電池電
源を搭載する場合は、長時間の搬送は困難であり、その
ため、移動可能範囲が限定されて長距離の搬送ができな
い問題点があった。一方、固定側より集電する場合に
は、発塵の問題点のほか、浮上移動体が大形にならざる
を得ない問題点を有し、ウエハ等の軽量物搬送には経済
的に不向きであるとともに、搬送路における浮上移動体
の分岐や追越しに際しては、ポイント切り換えのような
搬送路の移動を伴い、それが発塵の原因になっていた。

【０００６】さらに、反発式の磁気浮上構造の場合は、
反発力による回転モーメントが浮上移動体を横ずれまた
は回転させ、各種の位置誤差発生の原因になり、安定な
浮上を困難にしていた。また、浮上移動体に永久磁石を
設けるため、固定側の電磁石に磁性体からなる磁心を使
用すると、磁心の磁化には非直線性があり、磁心の磁気
飽和付近で磁気コイルの発生する磁界と磁気コイルの印
加電流との関係に線形性がなくなり、浮上移動体の位置
および方向の制御が困難になる。そして、浮上移動体に
設けた永久磁石が逆に磁心を磁化して互いに吸着するこ
とがあるため、強力な永久磁石を使用することができ
ず、被搬送物を安定して搬送することができない一原因
になっていた。

【０００７】そして、従来の反発式の磁気浮上構造で
は、円形の磁気コイルが使用されるが、その場合には隣
接する磁気コイル間にどうしても間隙が生じる配置構成
になる。このため、該間隙を形成する周囲の磁気コイル
を同磁性で励磁しても、該間隙部分が磁力線を吸い込
み、磁場と永久磁石の磁気モーメントの発生する力の位
置依存性を高める。この現象は、浮上移動体が前記間隙
部分を通過する際に、磁場の急激な変動により浮上移動
体の挙動を急に変化させることになり、浮上状態を不安
定にして、被搬送物を安定して搬送することができない
問題点を有していた。

【０００８】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、
浮上移動体を無摺動，無発塵で、しかも分岐や追越しを
可能にして、長時間安定して搬送することができる磁気
浮上搬送装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の磁気浮上搬送装置は、平面状の架台と該架
台上に格子状に配設された多数の磁気コイルとにより形
成された搬送路と、複数個の永久磁石を有し、前記磁気
コイルに印加した電流により該永久磁石との間に発生す
る磁気モーメントを介して磁気コイル上に浮上して前記
搬送路に沿って搬送される浮上移動体とを備えた磁気浮
上搬送装置において、前記磁気コイルを多角形状に形成
し、該各磁気コイルを規則的に、かつ連続して、互いに
多角形状の辺を隣接させて該各辺間をほぼ隙間の無い状
態に配設する構成にしたものである。

【００１０】そして、前記磁気コイルを、非磁性で、か
つ良熱伝導性の材料からなる一定高さの多角柱状のコイ
ルボビンと、該コイルボビンの外側面に形成された導線
とからなる構成にするとよい。

【００１１】また、前記磁気コイルのコイルボビンを、
非磁性，良熱伝導性および電気的絶縁性を有する材料か
らなる構成にし、セラミックスまたはその結晶体により
形成することが好ましい。

【００１２】一方、前記磁気コイルの導線を、印刷また
は光学焼き付けによる成膜工程により形成された膜状の
回路と、該回路表面に生成した絶縁被膜とからなる構成
にするとよく、また、前記磁気コイルの導線を、表面に
前記回路を形成して前記コイルボビンの外周面に巻着さ
れたフィルム状の可撓性基板からなり、隣接するコイル
ボビン間の前記可撓性基板の回路端が、低融点金属によ
り接合された構成にしてもよい。そして、前記フィルム
状の可撓性基板を、多角形状を構成する複数枚の基板に
より形成してもよい。

【００１３】

【作用】上記のように構成したことにより、各磁気コイ
ルはその隣接部にほぼ間隙がなくなり、密接状態で配置
されることになるため、前記従来技術におけるような磁
力線を吸い込む現象が防止され、浮上移動体が各磁気コ
イル間を通過する際に発生していた磁場の急激な変動が
なくなり、安定した浮上状態で移動することが可能にな
る。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の第１の実施例を、図１ないし
図４を参照して説明する。図１は磁気浮上搬送装置の全
体構成を示す斜視図、図２は図１に示す磁気コイルの構
成を１個のみ示した側断面詳細図、図３は浮上移動体の
通過時に図１に示す磁気コイル間に発生する磁場のシミ
ュレーション図、図４は従来の円柱形磁気コイル間に発
生する磁場のシミュレーション図である。

【００１５】図１において、１は浮上移動体で、浮上移
動体１は、正３角形状のアルミニウム製の板からなるフ
レーム３と、該フレーム３の各頂点部に固着されている
３個の永久磁石２ａ，２ｂ，２ｃとにより構成されてい
る。４は搬送路で、搬送路４は、平板状の架台５と、該
架台５上に配設された多数の正６角柱状の磁気コイル６
とにより構成されている。ここで磁気コイル６は、図示
のように架台５上に規則的に、かつ連続して互いに正６
角形の辺を隣接させ、該各辺間をほぼ隙間のない状態に
して配置されている。そして、磁気コイル６の所定位置
には図示しない浮上移動体１に対する位置センサー等が
設けられていて、位置および移動方向が制御されるよう
になっている。このように、浮上移動体１に複数の永久
磁石の磁極を設け、これらの各位置を制御することによ
り、反発式磁気浮上構造であっても回転モーメントの発
生が防止され、浮上移動体１の横ずれ等の位置ずれを抑
制して安定な搬送をすることができる。また、浮上移動
体１は、搬送路４の平面内を安定して自在に移動するこ
とができるから、搬送路４上における分岐や追越しは自
在に可能である。

【００１６】また、図２において、７は非磁性で、かつ
熱伝導性の良好な材料、例えば、銅，アルミ，銀等によ
り一定高さの正６角柱状に形成されたコイルボビンで、
本実施例においては、純銅に近い組成のタフピッチ銅
（ＪＩＳ）が使用されている。コイルボビン７の下端部
には突起部分７ｃが形成されていて、架台５に設けられ
た穴に嵌入して正確に位置決めされるようになってい
る。８はコイルボビン７の外側面に巻き付けられた導線
で、コイルボビン７の上下に形成されたフランジ７ａ，
７ｂの間に位置ずれしないように巻かれている。９は突
起部分７ｃにより位置決めされた磁気コイル６を架台５
に固定する黄銅製の小ねじで、コイルボビン７の中心部
に設けられたボルト穴に黄銅製の座金１０を介して架台
５にねじこまれる。１１はタフピッチ銅製の平板状のバ
ックプレート、１１ａはバックプレート１１に設けられ
た小ねじ９用のねじ穴、１２は同じくタフピッチ銅製で
断面が楕円形状の架台５冷却用のパイプ、１３は冷却用
のパイプ１２をバックプレート１１に固着する銀ろうで
ある。このように磁気コイル６および架台５は、すべて
非磁性体で構成されており、磁気コイル６の発生する磁
界が、磁気コイル６への印加電流に対して線形性を確保
することができるようになっている。なお、１４は突起
部分７ｃが嵌入された架台５に設けられた穴，コイルボ
ビン７とバックプレート１１との間の接触面および導線
８の各巻層間に塗布された熱伝導率の高い高粘度のシリ
コングリス混和物で、磁気コイル６で発生した熱を、熱
伝導性のよい材料からなるコイルボビン７とともに架台
５に有効に伝達するようにしている。

【００１７】つぎに、上記構成の実施例において、浮上
移動体１が磁気コイル６を通過する際に、隣接の磁気コ
イル６間に発生する磁場を大形のコンピュータでシミュ
レートし、その磁力線を示した図３と、従来の通常の円
柱形磁気コイル間に発生する磁場を、図３と同様にして
シミュレートした場合の磁力線を示す図４とについて説
明する。図３（ａ）は正６角柱の導線８の平面図、図３
（ｂ）は図３（ａ）のｂ−ｂ矢視断面図、図４（ａ）は
円柱状の導線１８の平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）の
ｂ−ｂ矢視断面図である。

【００１８】この場合、図３における実験条件は、正６
角柱のコイルボビン７に巻かれた導線８を、平均外径２
０ｍｍ，平均内径１４ｍｍ，コイル長２０ｍｍとし、印
加電流１０００ＡＴ（アンペアターン）として、隣接し
た２つの導線８に同極性の電流を流すようにしている。
一方、図４における実験条件は、２つの導線１８をいず
れも外径２０ｍｍ，内径１４ｍｍ，コイル長２０ｍｍ，
印加電流１０００ＡＴ（アンペアターン）とし、図３の
場合に比べ正６角柱と円柱との差を除いて同じにしてい
る。そして、２つの導線１８の間隔は、正方格子状配列
を想定し、中心間距離を外径の１．４倍の２８ｍｍに設
定している。

【００１９】まず、図４においては、間隙１９の影響に
より、導線１８間の間隙１９において高さ７ｍｍ，幅８
ｍｍ程度の範囲で磁力線の吸い込みが発生していること
が見られ、この吸い込みにより、浮上移動体１の永久磁
石が間隙１９を通過する際に、該間隙１９における逆極
性の磁場領域への進入により磁場が急激に変動すること
になり、浮上状態を不安定にする。この磁力線の吸い込
みは、従来の円柱状の導線１８の場合には、その配置を
正方格子状配列以外の配列にしても間隙１９の形成が不
可避であることから避けられず、磁力線の吸い込み部近
傍では必要な浮上力を発生させることができない。

【００２０】これに対して図３においては、導線８が互
いに密着していて、各導線８の端部でごく僅かに磁場の
乱れが見られるもののそれは極めて少なく、全体として
極性は整然と揃っており、前記した浮上移動体１の移動
に伴う磁力線の吸い込みは発生し得ない。このため、磁
場の急激な変動が発生せず、安定した浮上状態で移動す
ることが可能になる。

【００２１】このように本実施例においては、浮上移動
体１の移動は無摺動，無発塵であり、浮上移動体１に磁
気コイルを設ける必要がないため、浮上移動体１に電源
の搭載や集電の必要がなく、搬送路４の平面内を安定し
て自在に移動することができ、被搬送物を自在に長時間
かつ長距離搬送することが可能になる。また、浮上移動
体１が簡単な構成になり、しかも小形化されるため、ウ
エハ等を狭い導入口に搬送することも可能になる。

【００２２】つぎに、本発明の第２の実施例を図５を参
照して説明する。図５は磁気浮上搬送装置の全体構成を
示す斜視図である。図中、図１と同符号のものは同じも
のを示す。

【００２３】図５において、２１は浮上移動体で、浮上
移動体２１は、正４角形状のアルミニウム製の板からな
るフレーム２３と、該フレーム２３の各頂点部に固着さ
れている４個の永久磁石２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２
ｄとにより構成されている。これは搬送路２４が、平板
状の架台５と、該架台５上に配設された多数の正４角柱
状の磁気コイル２６とにより構成されているためであ
る。すなわち、前記図１に示す第１の実施例の磁気コイ
ル６が６角柱状に形成され、浮上移動体１の永久磁石３
個の各磁極が磁気コイル６の６角形格子点に配列されて
いるのに対応し、本実施例においては永久磁石４個の各
磁極が磁気コイル２６の４角形格子点に配列される。こ
こで磁気コイル２６は、前記第１実施例の場合と同様
に、架台５上に規則的に、かつ連続して互いに正４角形
の辺を隣接させ、該各辺間をほぼ隙間のない状態にして
配置されている。また、磁気コイル２６の側断面構成お
よび各部構成部品の材質は、前記図２に示す構成と同じ
である。

【００２４】そして、本実施例においても前記第１実施
例の場合と同様に、磁気コイル２６の所定位置には図示
しない浮上移動体２１に対する位置センサー等が設けら
れていて、位置および移動方向が制御され、浮上移動体
２１に対する回転モーメントの発生が防止されて、浮上
移動体２１の横ずれ等の位置ずれを抑制して安定な搬送
をすることができるが、磁場の強度分布が、４角柱状磁
気コイル２６の角部付近でやや強くなる傾向が見られる
ため、制御時その補正を行うことが望ましい。しかし、
磁気コイル２６の配置と浮上移動体２１の移動方向との
関係が簡単になるため、搬送経路の計画が簡単になり、
前記ウエハ搬送における直角に分岐・合流する搬送路計
画等に容易に対応することが可能になる。

【００２５】また、本実施例の場合の磁気コイル２６の
配置は、規則的に、かつ連続して、互いに４角形状の辺
を隣接させて該各辺間がほぼ隙間の無い状態であれば任
意であって、必ずしも正４角形を碁盤の目のように配置
する図５に示すようにしなくてもよい。例えば、隣接す
る列の磁気コイル２６を半ピッチずらし、磁気コイル２
６の角部が隣接する列の磁気コイル２６の辺に位置する
ようにする、いわゆる煉瓦積みのようにしてもよい。こ
の場合には、磁気コイル２６の角部が１点に集中しない
ため、図５の場合に比べて各磁気コイル２６間における
磁場強度が平均化される。

【００２６】このように本実施例においても前記第１の
実施例と同様に、浮上移動体１の移動は無摺動，無発塵
であり、浮上移動体１に磁気コイルを設ける必要がない
ため、浮上移動体１に電源の搭載や集電の必要がなく、
また、磁力線の吸い込みもないため、搬送路２４の平面
内を安定して自在に移動することができ、被搬送物を自
在に長時間かつ長距離搬送することが可能になる。

【００２７】なお、前記第１および第２の各実施例にお
いては、磁気コイル６，２６の平面図形状を正６角形お
よび正４角形として説明したが、必ずしも正の多角形で
なくてもよく、例えば、正６角形または正４角形を偏平
にした長６角形または長方形にしてもよい。

【００２８】いま、長６角形の磁気コイル６を前記各実
施例と同様に多数配置し、浮上移動体１をその長手方向
に移動させる場合は、磁気コイル６の角部のピッチが大
きくなることから、長距離搬送でも磁気コイル６の数量
を減らせるほか、各磁気コイル６を通過する際の時間間
隔が延びて一層安定した制御が可能になり、また、横方
向の位置ずれの防止も容易になるため、高速搬送を実現
することができる効果を有する。さらに、正６角形と長
６角形とを組み合わせて、例えば、被搬送物の位置決め
が必要な載せ変え部や分岐・合流部では正６角形の磁気
コイル６を使用し、高速搬送の好ましい直線部では長６
角形の磁気コイル６を使用することもでき、また、長６
角形の磁気コイル６の短手方向に浮上移動体１を移動さ
せた場合は、その移動方向に磁束密度分布の大きく異な
る磁場が形成されるため、いたずらに大電流を印加する
ことなく容易に大きい加速度または減速度を得ることが
可能になり、急加速または急減速を必要とする場所に使
用することができる。なお、これらの組み合わせ方法
は、正６角形と寸法の異なる種々の長６角形とにより段
階的に行うことも可能である。

【００２９】一方、長方形の磁気コイル２６を使用した
場合においても、上記長６角形の磁気コイル６の場合と
同様に、高速搬送が可能であり、さらに、正４角形と長
方形との組み合わせにおいても、移動速度および使用位
置に応じて長手方向と短手方向とを、上記長６角形の磁
気コイル６の場合と同様に使いわけることが可能であ
る。

【００３０】つぎに、磁気コイルの変形例を図６および
図７を参照して説明する。図６は変形例その１、図７は
変形例その２である。図中、図２と同符号のものは同じ
ものを示す。

【００３１】図６において、３０はポリイミド製のフィ
ルム状の可撓性基板、３１は可撓性基板３０上に印刷ま
たは光学焼き付けによる成膜工程により形成された膜状
の回路パターンで、該回路パターン３１表面には絶縁被
膜が生成されている。３８は可撓性基板３０および回路
パターン３１からなる導線で、隣接するコイルボビン７
の回路パターン３１の端部間が、はんだ等の低融点金属
により接合されている。３６は導線３８をコイルボビン
７に密着するように巻き付けて形成した磁気コイルであ
る。磁気コイル３６をこのように構成することにより、
前記図２に示す実施例のように導線８を磁気コイル６に
多数回巻く必要がなくなるため、再現性よく容易に製作
することが可能になる。

【００３２】なお、本実施例においては、回路パターン
３１を平面状の基板に成膜し、該平面状基板の複数枚を
はんだ等で電気的に接合して多角柱を形成するようにし
てもよい。例えば、６角柱状の磁気コイルの場合は、平
面状基板を６枚、または、６角柱状の一部を形成する２
枚ないし３枚の平面状基板を接合した複合体を、はんだ
等で接合して６角柱を形成する。かかる場合には、多角
柱の全外側面を連続して印刷する必要がなくなり、多角
柱を形成する各面ごとに印刷することになるため、印刷
ずれによる回路不良を防止することができる。

【００３３】つぎに、図７において、１７は前記タフピ
ッチ銅に変えて非磁性のアルミナ系のセラミックスで形
成されたコイルボビンである。具体的には、窒化アルミ
焼結物，窒化アルミ・カーボン混成焼結物，酸化アルミ
焼結物，或いはこれらの結晶体等が使用される。これら
の材料からなるコイルボビン１７は、タフピッチ銅製に
比べて熱伝導性は劣るものの、電気的絶縁性において優
れている。１７ｃは前記図２，図６における突起部分７
ｃと同様に、コイルボビン１７の下端部に形成されてい
る突起部分である。４８はコイルボビン１７の外側面
に、直接に、印刷または光学焼き付けによる成膜工程に
より形成された膜状の回路パターンからなる導線であ
る。導線４８形成後、その表面に絶縁被膜塗装を施工す
ることが望ましい。４６は導線４８をコイルボビン１７
の外側面に直接に成膜した磁気コイルである。なお、本
実施例においては、導線４８をコイルボビン１７の外側
面に直接に成膜するため、前記図２，図６におけるフラ
ンジ７ａ，７ｂのような構成は不要である。

【００３４】図７のように構成された磁気コイル４６に
おいては、コイルボビン１７の絶縁性が優れていること
から、浮上移動体１を高速移動させてもコイルボビン１
７の内部に渦電流を発生させないため、渦電流損失を生
じない効果があり、また、導線４８がコイルボビン１７
の最外周に位置することから、前記図６に示す磁気コイ
ル３６に比べて冷却効率を向上させる効果を有してい
る。

【００３５】つぎに、本発明の第３の実施例を図８を参
照して説明する。図８は磁気浮上搬送装置の全体構成を
示す斜視図である。図中、図１と同符号のものは同じも
のを示す。

【００３６】図８において、５６は平面的に６角形状に
形成され、架台５上に配設された磁気コイルである。架
台５上への配置は前記第１，第２の各実施例と同様であ
るが、平面的磁気コイルであるため、コイルボビンおよ
びその取付用のねじ等が不要になる。このため、形成さ
れる搬送路５４は、コイル巻数の制約による磁場強度の
低下はあるものの、部品点数が大幅に減少し、簡単な構
成になるとともに、前記第１，第２の実施例に比べて冷
却性能を格段に向上させる効果を有する。また、磁気コ
イル５６全体が浮上移動体１と等距離に位置し、前記第
１，第２の実施例のような磁場の生成にさほど寄与しな
い角柱状コイル下部の導線がなくなるため、投入するア
ンペアターンに比べて強磁場を得ることができる効果を
有する。そして本実施例においても、無摺動，無発塵で
あり、浮上移動体１に磁気コイルを設ける必要がなく、
また、磁力線の吸い込みがないため、搬送路５４の平面
内を安定して自在に移動することができ、被搬送物を自
在に長時間かつ長距離搬送することが可能になる。

【００３７】なお、前記各実施例においては、磁気コイ
ルの平面図形状を４角形および６角形として説明した
が、本発明はこれに限定されることなく、例えば、３角
形，ホームベース状の変形５角形等でもよく、規則的に
連続して配置することのできる多角形であれば変形多角
形でもよい。

【００３８】また、前記各実施例においては、反発式の
磁気浮上構造について説明したが、本発明はこれに限定
されるものではなく、浮上移動体１と搬送路との位置を
逆さにした構成、つまり、架台５からぶらさげるように
磁気コイルを設け、該磁気コイルの下方に配置した浮上
移動体１を吸引浮上させる構成にしても、クリーン度の
低下はあるものの、前記と同様の効果を奏することがで
きる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる磁
気浮上搬送装置は、浮上移動体を無摺動，無発塵で、し
かも分岐や追越しを可能にして、長時間安定して搬送す
ることができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の磁気浮上搬送装置の全
体構成を示す斜視図である。

【図２】図１に示す磁気コイルの構成を１個のみ示した
側断面詳細図である。

【図３】本発明の浮上移動体の通過時に、図１に示す磁
気コイル間に発生する磁場のシミュレーション図であ
る。

【図４】従来の円柱形磁気コイル間に発生する磁場のシ
ミュレーション図である。

【図５】本発明の第２の実施例の磁気浮上搬送装置の全
体構成を示す斜視図である。

【図６】図２に示す磁気コイルの変形例（その１）であ
る。

【図７】図２に示す磁気コイルの変形例（その２）であ
る。

【図８】本発明の第３の実施例の磁気浮上搬送装置の全
体構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１，２１…浮上移動体、２ａ，２ｂ，２ｃ，２２ａ，２
２ｂ，２２ｃ，２２ｄ…永久磁石、３，２３…フレー
ム、４，２４，５４…搬送路、５…架台、６，２６，３
６，４６，５６…磁気コイル、７，１７…コイルボビ
ン、８，１８，３８，４８…導線、１１…バックプレー
ト、１２…冷却パイプ、１４…シリコングリス混和物、
１９…間隙、３０…可撓性基板、３１…回路パターン。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面状の架台と該架台上に格子状に配設
   された多数の磁気コイルとにより形成された搬送路と、
   複数個の永久磁石を有し、前記磁気コイルに印加した電
   流により該永久磁石との間に発生する磁気モーメントを
   介して磁気コイル上に浮上して前記搬送路に沿って搬送
   される浮上移動体とを備えた磁気浮上搬送装置におい
   て、前記磁気コイルを多角形状に形成し、該各磁気コイ
   ルを規則的に、かつ連続して、互いに多角形状の辺を隣
   接させて該各辺間をほぼ隙間の無い状態に配設したこと
   を特徴とする磁気浮上搬送装置。
2. 【請求項２】 前記磁気コイルが、非磁性で、かつ良熱
   伝導性の材料からなる一定高さの多角柱状のコイルボビ
   ンと、該コイルボビンの外側面に形成された導線とから
   なる請求項１記載の磁気浮上搬送装置。
3. 【請求項３】 前記磁気コイルが、正多角形，細長多角
   形，変形多角形の形状のものを、各単独にまたは組合せ
   て配設されてなる請求項１または２記載の磁気浮上搬送
   装置。
4. 【請求項４】 前記磁気コイルのコイルボビンが、非磁
   性，良熱伝導性および電気的絶縁性を有する材料からな
   る請求項１，２または３記載の磁気浮上搬送装置。
5. 【請求項５】 前記磁気コイルのコイルボビンが、セラ
   ミックスまたはその結晶体により形成された請求項４記
   載の磁気浮上搬送装置。
6. 【請求項６】 前記磁気コイルの導線が、印刷または光
   学焼き付けによる成膜工程により形成された膜状の回路
   と、該回路表面に生成した絶縁被膜とからなる請求項
   １，２または３記載の磁気浮上搬送装置。
7. 【請求項７】 前記磁気コイルの導線が、表面に前記回
   路を形成して前記コイルボビンの外周面に巻着されたフ
   ィルム状の可撓性基板からなり、隣接するコイルボビン
   間の前記可撓性基板の回路端が、低融点金属により接合
   されてなる請求項１，２，３または６記載の磁気浮上搬
   送装置。磁気浮上搬送装置。
8. 【請求項８】 前記フィルム状の可撓性基板が、多角形
   状を構成する複数枚の基板からなる請求項７記載の磁気
   浮上搬送装置。