JPS6146756A - クリーンルームなどに用いる搬送装置 - Google Patents
クリーンルームなどに用いる搬送装置Info
- Publication number
- JPS6146756A JPS6146756A JP16815884A JP16815884A JPS6146756A JP S6146756 A JPS6146756 A JP S6146756A JP 16815884 A JP16815884 A JP 16815884A JP 16815884 A JP16815884 A JP 16815884A JP S6146756 A JPS6146756 A JP S6146756A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyance
- magnetic fluid
- legs
- conveyance path
- conveyance table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は搬送路と搬送台の複数の脚部との間に磁性流体
を介在させて搬送台を浮上させ、リニアモータで移送す
る搬送装置に関する。
を介在させて搬送台を浮上させ、リニアモータで移送す
る搬送装置に関する。
（ロ）従来技術
この種の搬送装置の従来例としては、例えば搬送台に設
けたりニアモータの平板状の可動子に、下方から圧縮空
気を前記可動子に対応したテーブルに設けた多数のノズ
ルから噴射させ、搬送台を浮上させながらリニアモータ
の固定子の励磁によって移送させる搬送装置が知られて
いる。
けたりニアモータの平板状の可動子に、下方から圧縮空
気を前記可動子に対応したテーブルに設けた多数のノズ
ルから噴射させ、搬送台を浮上させながらリニアモータ
の固定子の励磁によって移送させる搬送装置が知られて
いる。
しかしながら、上記装置においては圧縮空気源を必要と
し、このため設備費用が高価となる。さらには、かかる
タイプの搬送装置では搬送台を常に安定良く移送するに
は、そのための装置を別途装備する必要があり、構造が
複雑になるという欠点があった。
し、このため設備費用が高価となる。さらには、かかる
タイプの搬送装置では搬送台を常に安定良く移送するに
は、そのための装置を別途装備する必要があり、構造が
複雑になるという欠点があった。
（ハ）目的
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、搬送台を浮
上させるのに圧縮空気を必要とせず、且つ、簡単な構造
で搬送台を常に安定良（移送する搬送装置を提供するこ
とを目的としている。
上させるのに圧縮空気を必要とせず、且つ、簡単な構造
で搬送台を常に安定良（移送する搬送装置を提供するこ
とを目的としている。
（ニ）構成
本発明は、搬送路内に磁性流体を所定量大れると共に、
搬送台の複数の脚部に磁石を設け、両者の磁力作用でも
って搬送台を浮上させ、リニアモータによって搬送台を
移送するように構成したことを特徴とする。
搬送台の複数の脚部に磁石を設け、両者の磁力作用でも
って搬送台を浮上させ、リニアモータによって搬送台を
移送するように構成したことを特徴とする。
（ボ）実施例
第Ｆ図は本発明に係る搬送装置の一実施例を示す断面正
面図、第２図は第１図のＡ −Ａ断面図、第３図は平面
図である。
面図、第２図は第１図のＡ −Ａ断面図、第３図は平面
図である。
図において、１は図示しないフレームによって固設され
た搬送路であ、す、該搬送路１には、搬送路本体１２に
凹設された２条の凹条溝と、該本体１２の上面に設けら
れたカバー部１２とでもって２条の略蟻溝部１３が形成
されている。
た搬送路であ、す、該搬送路１には、搬送路本体１２に
凹設された２条の凹条溝と、該本体１２の上面に設けら
れたカバー部１２とでもって２条の略蟻溝部１３が形成
されている。
２はりニアモータの固定子であり、搬送路１の上面に長
手方向に亙って所定間隔をもって定置されている。
手方向に亙って所定間隔をもって定置されている。
３は搬送台であり、図示しない被搬送物が載置される底
面３１と、永久磁石４をそれぞれの下端面に設けた断面
倒立丁字形の一対の脚部３２とで構成されている。そし
て、脚部３２はそれぞれ前記搬送路１の溝部１３に配置
され、前記搬送台３を２個所で支持している。
面３１と、永久磁石４をそれぞれの下端面に設けた断面
倒立丁字形の一対の脚部３２とで構成されている。そし
て、脚部３２はそれぞれ前記搬送路１の溝部１３に配置
され、前記搬送台３を２個所で支持している。
前記底面３１はリニアモータのリアクションプレートと
して作用するもので、例えばアルミニウム又は銅板等の
導電性材料で構成され、前記固定子２と所定の空隙を介
して相対向し、リニアモータを構成する。
して作用するもので、例えばアルミニウム又は銅板等の
導電性材料で構成され、前記固定子２と所定の空隙を介
して相対向し、リニアモータを構成する。
５は磁性流体であり、永久磁石４の磁界が作用するよう
に前記脚部３２の下端面と搬送路ｌ （溝部１３）の底
面との間に設けられている。該磁性流体５は、例えばフ
ェライト等の磁性微粒子の粒子表面を長鎖不飽和脂肪酸
で被覆し、界面活性剤を使って溶液中に分散させたコロ
イド溶液で公知のものである。
に前記脚部３２の下端面と搬送路ｌ （溝部１３）の底
面との間に設けられている。該磁性流体５は、例えばフ
ェライト等の磁性微粒子の粒子表面を長鎖不飽和脂肪酸
で被覆し、界面活性剤を使って溶液中に分散させたコロ
イド溶液で公知のものである。
しかして、前記磁性流体５は磁気的には永久磁気モーメ
ントをもった分子の集合体であり、超常磁性の性質をも
っているので搬送台３の脚部３２の下端面に設けたそれ
ぞれの永久磁石４により発生する磁界の影響によって、
それぞれの磁性流体５は磁化される結果、搬送台３がリ
ニアモータの駆動力により進行するに際して、前記永久
磁石４と共に移動することとなる。この際、搬送台３を
２個所で支持させ、リニアモータで駆動することとなる
ので、搬送台３を常に安定した状態にて移動させること
ができる。また、搬送路１に上部カバー部１２を設ける
ことにより、搬送路１の内部より磁性流体５の外部への
流出を防止し、更に磁性流体５の溶媒の蒸発量を低減で
きる。なお、搬送台３の速度制御・停止等の制御手段は
周知のものであるからその説明は省略する。
ントをもった分子の集合体であり、超常磁性の性質をも
っているので搬送台３の脚部３２の下端面に設けたそれ
ぞれの永久磁石４により発生する磁界の影響によって、
それぞれの磁性流体５は磁化される結果、搬送台３がリ
ニアモータの駆動力により進行するに際して、前記永久
磁石４と共に移動することとなる。この際、搬送台３を
２個所で支持させ、リニアモータで駆動することとなる
ので、搬送台３を常に安定した状態にて移動させること
ができる。また、搬送路１に上部カバー部１２を設ける
ことにより、搬送路１の内部より磁性流体５の外部への
流出を防止し、更に磁性流体５の溶媒の蒸発量を低減で
きる。なお、搬送台３の速度制御・停止等の制御手段は
周知のものであるからその説明は省略する。
なお、本発明は図示ゐ実施例に限定されず、例えば搬送
台３の脚部３２を複数組設けると共に、磁性流体５が設
けられる溝部１３を前記脚部３２に対応して凹設するも
可能であり、また、固定子２を複数組定置するも可能で
ある。
台３の脚部３２を複数組設けると共に、磁性流体５が設
けられる溝部１３を前記脚部３２に対応して凹設するも
可能であり、また、固定子２を複数組定置するも可能で
ある。
（へ）効果
本発明によれば、前記実施例で説明した如く下記の効果
を有する。
を有する。
＋１１ 搬送台を複数の脚部で支持し、前記脚部の下
端面に設けたそれぞれの永久磁石と、搬送路底面の複数
個所に入れた磁性流体とのそれぞれの磁力作用で搬送台
を浮上させ、リニアモータで搬送台を移送させる簡単な
構成でもって搬送台を常に安定良く移送させることがで
きる。
端面に設けたそれぞれの永久磁石と、搬送路底面の複数
個所に入れた磁性流体とのそれぞれの磁力作用で搬送台
を浮上させ、リニアモータで搬送台を移送させる簡単な
構成でもって搬送台を常に安定良く移送させることがで
きる。
（２）搬送路内に磁性流体を所定量大れることのみで、
搬送台を搬送路から浮上させることができ、従来の圧縮
空気の浮上手段に比して極めて簡便であり、且つ、搬送
台のカバー部上面に固定子を取り付けて空間スペースを
有効に利用し、効率の良いリニアモータを構成したので
、搬送路の寸法を小さくでき、ひいては搬送装置全体の
小型化が実現できる。
搬送台を搬送路から浮上させることができ、従来の圧縮
空気の浮上手段に比して極めて簡便であり、且つ、搬送
台のカバー部上面に固定子を取り付けて空間スペースを
有効に利用し、効率の良いリニアモータを構成したので
、搬送路の寸法を小さくでき、ひいては搬送装置全体の
小型化が実現できる。
（３）搬送路の上部にカバー部を設けることにより、搬
送路内部より磁性流体の外部への流出を防止し、更に磁
性流体の溶媒の蒸発量も低減できる。
送路内部より磁性流体の外部への流出を防止し、更に磁
性流体の溶媒の蒸発量も低減できる。
（４）塵埃を発生せず装置が簡便なので、設備費用及び
維持費用の面において優れており、特にクリーンルーム
内における搬送装置として好適である。
維持費用の面において優れており、特にクリーンルーム
内における搬送装置として好適である。
第１図は本発明に係る搬送装置の一実施例を示す断面正
面図、第２図は第１図のＡ−−Ａ断面図、第３図は平面
図である。 １・・・搬送路、２・・・固定子、３・・・搬送台、３
１・・・底面、３２・・・脚部、４・・・永久磁石、５
・・・磁性流体。 第１図 第２図 手続補正書（自発） 昭和５９年 ８月３１日 ２、発明の名称 搬送装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 第１図 入」
面図、第２図は第１図のＡ−−Ａ断面図、第３図は平面
図である。 １・・・搬送路、２・・・固定子、３・・・搬送台、３
１・・・底面、３２・・・脚部、４・・・永久磁石、５
・・・磁性流体。 第１図 第２図 手続補正書（自発） 昭和５９年 ８月３１日 ２、発明の名称 搬送装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 第１図 入」
Claims (5)
- （１）搬送台の底面をリアクションプレートとし、該リ
アクションプレートと前記リアクションプレートに対向
して設けた固定子とからなるリニアモータを用いた搬送
装置において、非磁性材質でもって形成した搬送路と、
該搬送路に複数の脚部にて支持された搬送台と、前記搬
送路と搬送台の脚部とのそれぞれの間に介在させた磁性
流体と、前記搬送台のそれぞれの脚部に設けた永久磁石
とを具備しており、且つ、前記搬送台が常に磁性流体に
より搬送路から浮上されつつ、移送されるようにしたこ
とを特徴とする搬送装置。 - （２）前記永久磁石は、搬送台の複数の脚部下端面にそ
れぞれ設けられたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の搬送装置。 - （３）前記磁性流体は、搬送路と搬送台脚部との間に複
数箇所介在されたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の搬送装置。 - （４）前記搬送路の上面には、搬送台の脚部を支持させ
る場所に対応してカバー部が設けられたことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。 - （５）前記リニアモータの固定子を搬送路上面に設けた
ことを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の搬送装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16815884A JPS6146756A (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16815884A JPS6146756A (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6146756A true JPS6146756A (ja) | 1986-03-07 |
| JPH042462B2 JPH042462B2 (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=15862883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16815884A Granted JPS6146756A (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6146756A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6366022A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-24 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送装置 |
| JPS6399494A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Nippon Denso Co Ltd | 熱交換器 |
| JPS63243688A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-10-11 | Showa Alum Corp | 凝縮器 |
| JPH02109178U (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-30 | ||
| US5035052A (en) * | 1989-03-08 | 1991-07-30 | Nippondenso Co., Ltd. | Method of assembling a heat exchanger including a method of determining values of parameters in a heat exchanger, and determining whether the efficiency of the heat exchanger is acceptable |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5555053A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-22 | Hitachi Ltd | Car |
| JPS57145565A (en) * | 1981-03-02 | 1982-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | Electromagnetic driving unit |
-
1984
- 1984-08-11 JP JP16815884A patent/JPS6146756A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5555053A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-22 | Hitachi Ltd | Car |
| JPS57145565A (en) * | 1981-03-02 | 1982-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | Electromagnetic driving unit |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6366022A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-24 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送装置 |
| JPS6399494A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Nippon Denso Co Ltd | 熱交換器 |
| JPH0565791B2 (ja) * | 1986-10-15 | 1993-09-20 | Nippon Denso Co | |
| JPS63243688A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-10-11 | Showa Alum Corp | 凝縮器 |
| JPH0345302B2 (ja) * | 1986-11-04 | 1991-07-10 | Showa Aluminium Co Ltd | |
| JPH02109178U (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-30 | ||
| US5035052A (en) * | 1989-03-08 | 1991-07-30 | Nippondenso Co., Ltd. | Method of assembling a heat exchanger including a method of determining values of parameters in a heat exchanger, and determining whether the efficiency of the heat exchanger is acceptable |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH042462B2 (ja) | 1992-01-17 |
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