JPH0785605B2 - クリーンルームなどに用いる搬送装置 - Google Patents
クリーンルームなどに用いる搬送装置Info
- Publication number
- JPH0785605B2 JPH0785605B2 JP60074959A JP7495985A JPH0785605B2 JP H0785605 B2 JPH0785605 B2 JP H0785605B2 JP 60074959 A JP60074959 A JP 60074959A JP 7495985 A JP7495985 A JP 7495985A JP H0785605 B2 JPH0785605 B2 JP H0785605B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- groove portion
- carrier
- transfer
- magnetic fluid
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は被搬送物を浮上しつつ安定して搬送するクリー
ンルームなどに用いる搬送装置に係り、特に搬送路と被
搬送物を載置した搬送台の間に磁性流体を介在せしめた
クリーンルームなどに用いる搬送装置に関する。
ンルームなどに用いる搬送装置に係り、特に搬送路と被
搬送物を載置した搬送台の間に磁性流体を介在せしめた
クリーンルームなどに用いる搬送装置に関する。
従来の技術 この種の搬送装置の従来例としては、例えば搬送台に設
けたリニアモータの平板状の可動子に、下方から圧縮空
気を前記可動子に対応したテーブルに設けた多数のノズ
ルから噴出させ、搬送台を浮上させながらリニアモータ
の固定子の励磁によって移送させる搬送装置が知られて
いる。
けたリニアモータの平板状の可動子に、下方から圧縮空
気を前記可動子に対応したテーブルに設けた多数のノズ
ルから噴出させ、搬送台を浮上させながらリニアモータ
の固定子の励磁によって移送させる搬送装置が知られて
いる。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記装置においては圧縮空気源を必要と
し、このため設備費用が高価となる。さらには、かかる
タイプの搬送装置では搬送台を常に安定良く移送するに
は、そのための装置を別途装備する必要があり、構造が
複雑になるという欠点があった。
し、このため設備費用が高価となる。さらには、かかる
タイプの搬送装置では搬送台を常に安定良く移送するに
は、そのための装置を別途装備する必要があり、構造が
複雑になるという欠点があった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、搬送台を浮
上させるのに圧縮空気を必要とせず、且つ簡単な構造で
搬送台を常に安定良く移送する搬送装置を提供すること
を目的としている。
上させるのに圧縮空気を必要とせず、且つ簡単な構造で
搬送台を常に安定良く移送する搬送装置を提供すること
を目的としている。
問題点を解決するための手段 本発明に係るクリーンルームなどに用いる搬送装置は、
搬送台の底面に設けたリアクションプレートと、前記リ
アクションプレートに対向して設けた固定子とからなる
リニアモータを用いた搬送装置において、搬送路全長に
わたって溝形断面を有する溝部を設け、前記溝部底面と
溝部両側面とに溝部全長にわたって永久磁石を固設し、
前記溝部に所定量の磁性流体を注入して前記各永久磁石
表面に付着せしめ、前記溝部に挿入された搬送台の脚部
を溝部底面に付着した磁性流体上に浮上させて、リニア
モータの推力によって移送させるとともに、移送中に発
生する搬送台の横揺れに際しては、溝部両側面に付着し
た磁性流体が脚部に搬送路中心部方向への斥力を与える
ことにより側壁面に接触しないようにしたことを特徴と
している。
搬送台の底面に設けたリアクションプレートと、前記リ
アクションプレートに対向して設けた固定子とからなる
リニアモータを用いた搬送装置において、搬送路全長に
わたって溝形断面を有する溝部を設け、前記溝部底面と
溝部両側面とに溝部全長にわたって永久磁石を固設し、
前記溝部に所定量の磁性流体を注入して前記各永久磁石
表面に付着せしめ、前記溝部に挿入された搬送台の脚部
を溝部底面に付着した磁性流体上に浮上させて、リニア
モータの推力によって移送させるとともに、移送中に発
生する搬送台の横揺れに際しては、溝部両側面に付着し
た磁性流体が脚部に搬送路中心部方向への斥力を与える
ことにより側壁面に接触しないようにしたことを特徴と
している。
実施例 以下図面を参照して本発明に係るクリーンルームなどに
用いる搬送装置（以下本発明搬送装置という）の一実施
例を説明する。第１図は一実施例を示す側面視縦断面
図、第２図は第１図のＡ−Ａ′線断面図である。
用いる搬送装置（以下本発明搬送装置という）の一実施
例を説明する。第１図は一実施例を示す側面視縦断面
図、第２図は第１図のＡ−Ａ′線断面図である。
本発明搬送装置は搬送路１と固定子２と搬送台６と磁性
流体４を含んでいる。
流体４を含んでいる。
前記搬送路１は相対向して図外のフレームに配設された
一対の搬送路本体11、11からなっており、各搬送路本体
11の上面には、搬送路１の全長にわたって１条の溝部13
が形成されている。
一対の搬送路本体11、11からなっており、各搬送路本体
11の上面には、搬送路１の全長にわたって１条の溝部13
が形成されている。
そして前記溝部13の底面及び両側面には溝部13の全長に
わたってそれぞれ永久磁石31及び32が取り付けられてい
る。図中12は搬送路本体11の上面に全長にわたって設け
られたカバーである。
わたってそれぞれ永久磁石31及び32が取り付けられてい
る。図中12は搬送路本体11の上面に全長にわたって設け
られたカバーである。
固定子２はリニアモータの一次側であって、搬送路１の
対応して搬送方向に沿って複数個配置されている。
対応して搬送方向に沿って複数個配置されている。
搬送台６は図外の被搬送物を移送するためのもので、図
外の荷台の底板61にはアルミニウム又は銅等の導電性金
属材で構成されたリアクションプレートが設けられてお
り、固定子２とともにリニアモータが形成されている。
また前記底板61には、脚部５、５が取り付けられてい
る。前記脚部５は搬送台６を支持するもので、非磁性材
料からなっており、前記溝部13、13に隙間をもって嵌り
込むように構成されている。
外の荷台の底板61にはアルミニウム又は銅等の導電性金
属材で構成されたリアクションプレートが設けられてお
り、固定子２とともにリニアモータが形成されている。
また前記底板61には、脚部５、５が取り付けられてい
る。前記脚部５は搬送台６を支持するもので、非磁性材
料からなっており、前記溝部13、13に隙間をもって嵌り
込むように構成されている。
磁性流体４は公知のもので、前記脚部13、13に脚部５、
５を嵌め込んだ状態で、両者の隙間に適用の磁性流体４
が注入されている。
５を嵌め込んだ状態で、両者の隙間に適用の磁性流体４
が注入されている。
磁性流体４は永久磁石31、32の磁気作用により見かけ比
重の増加効果により、永久磁石31、31の表面付近に磁性
流体４が保持され、あたかもＵ字型液体クッションが形
成されたのと同様な状態となっている。即ち、脚部13、
13は磁性流体４により上方向の浮上力を得て、溝部13の
底面より浮上するとともに、溝部13の両側面に対してガ
イドされている。
重の増加効果により、永久磁石31、31の表面付近に磁性
流体４が保持され、あたかもＵ字型液体クッションが形
成されたのと同様な状態となっている。即ち、脚部13、
13は磁性流体４により上方向の浮上力を得て、溝部13の
底面より浮上するとともに、溝部13の両側面に対してガ
イドされている。
従って、搬送台６は溝部13の底面より浮上しているの
で、脚部５に対する走行抵抗が極めて小さくなり、固定
子２の通電によって推力を受け、搬送路１に沿って安定
良く円滑に移送される。また搬送台６は溝部13の両側面
にガイドされているので、移送時に横揺れを生じた場
合、脚部５が何れかの溝部13側面に近接すると、相対的
に高比重の磁性流体のクッションから反発力（斥力）を
受ける。そして、脚部５は前記反発力によって中央部に
押し返されるので、搬送台６は常に搬送路１の中央部に
沿って移動する。
で、脚部５に対する走行抵抗が極めて小さくなり、固定
子２の通電によって推力を受け、搬送路１に沿って安定
良く円滑に移送される。また搬送台６は溝部13の両側面
にガイドされているので、移送時に横揺れを生じた場
合、脚部５が何れかの溝部13側面に近接すると、相対的
に高比重の磁性流体のクッションから反発力（斥力）を
受ける。そして、脚部５は前記反発力によって中央部に
押し返されるので、搬送台６は常に搬送路１の中央部に
沿って移動する。
従って、溝部５が溝部13に接触、摩擦することがないの
で、これによる塵が発生せず、クリーンルームなどのク
リーン度を低下させることがない。また脚部５に対する
走行抵抗が非常に小さいため安定且つ円滑な走行には何
らの妨げになるものではない。前記したカバー12は、磁
性流体４の脚部５により外部への飛散、流出を防げ、か
つ外部からの異物の流入を防止している。
で、これによる塵が発生せず、クリーンルームなどのク
リーン度を低下させることがない。また脚部５に対する
走行抵抗が非常に小さいため安定且つ円滑な走行には何
らの妨げになるものではない。前記したカバー12は、磁
性流体４の脚部５により外部への飛散、流出を防げ、か
つ外部からの異物の流入を防止している。
なお、本実施例において溝部13は２列１対の場合につい
て説明したが、搬送台の大きさにより単列又は３列以上
であっても良い。
て説明したが、搬送台の大きさにより単列又は３列以上
であっても良い。
発明の効果 以上説明したように本発明に係るクリーンルームなどに
用いる搬送装置は、搬送路の溝部底面と溝部両側面とに
溝部全長にわたって永久磁石を固設し、所定量の磁性流
体を注入して永久磁石表面に付着せしめ、溝部に挿入さ
れた搬送台の脚部を溝部底面に付着した磁性流体上に浮
上させて、リニアモータの推力によって搬送台を移送
し、横揺れが生じた場合には、搬送路中心部方向に押し
返すように構成されている。従って、簡単な構成で搬送
台を搬送路に接触することなく常に安定して移送させる
ことができ、しかも塵埃が発生しない。しかも従来の圧
縮空気による浮上手段に比して装置全体の小型化が図
れ、設備費用及び維持費用の面において優れている。ま
た、永久磁石を搬送路溝部内に固設したことにより、搬
送台の重量も軽くなり、搬送台の移送させるリニアモー
タの必要な推力も少なくできる等の利点がある。
用いる搬送装置は、搬送路の溝部底面と溝部両側面とに
溝部全長にわたって永久磁石を固設し、所定量の磁性流
体を注入して永久磁石表面に付着せしめ、溝部に挿入さ
れた搬送台の脚部を溝部底面に付着した磁性流体上に浮
上させて、リニアモータの推力によって搬送台を移送
し、横揺れが生じた場合には、搬送路中心部方向に押し
返すように構成されている。従って、簡単な構成で搬送
台を搬送路に接触することなく常に安定して移送させる
ことができ、しかも塵埃が発生しない。しかも従来の圧
縮空気による浮上手段に比して装置全体の小型化が図
れ、設備費用及び維持費用の面において優れている。ま
た、永久磁石を搬送路溝部内に固設したことにより、搬
送台の重量も軽くなり、搬送台の移送させるリニアモー
タの必要な推力も少なくできる等の利点がある。
第１図は本発明装置の一実施例を示す側面視縦断面図、
第２図は第１図のＡ−Ａ′線断面図である。 １……搬送路 ２……固定子 31、32……永久磁石 ４……磁性流体 ５……脚部 ６……搬送台 13……脚部
第２図は第１図のＡ−Ａ′線断面図である。 １……搬送路 ２……固定子 31、32……永久磁石 ４……磁性流体 ５……脚部 ６……搬送台 13……脚部
Claims (1)
- 【請求項１】搬送台の底面に設けたリアクションプレー
トと、前記リアクションプレートに対向して設けた固定
子とからなるリニアモータを用いた搬送装置において、
搬送路全長にわたって溝形断面を有する溝部を設け、前
記溝部底面と溝部両側面とに溝部全長にわたって永久磁
石を固設し、前記溝部に所定量の磁性流体を注入して前
記各永久磁石表面に付着せしめ、前記溝部に挿入された
搬送台の脚部を溝部底面に付着した磁性流体上に浮上さ
せて、リニアモータの推力によって移送させるととも
に、移送中に発生する搬送台の横揺れに際しては、溝部
両側面に付着した磁性流体が脚部に搬送路中心部方向へ
の斥力を与えることにより側壁面に接触しないようにし
たことを特徴とするクリーンルームなどに用いる搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60074959A JPH0785605B2 (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60074959A JPH0785605B2 (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61236302A JPS61236302A (ja) | 1986-10-21 |
| JPH0785605B2 true JPH0785605B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=13562360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60074959A Expired - Lifetime JPH0785605B2 (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785605B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63123719A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-27 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | 搬送装置 |
| JP6383065B2 (ja) * | 2016-08-16 | 2018-08-29 | 陽程科技股▲ふん▼有限公司 | 磁気駆動の搬送方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1578131A (en) * | 1976-05-14 | 1980-11-05 | Lucas Industries Ltd | Fuel supply systems for engines |
| JPS5555053A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-22 | Hitachi Ltd | Car |
-
1985
- 1985-04-08 JP JP60074959A patent/JPH0785605B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61236302A (ja) | 1986-10-21 |
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