JPS62171821A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 童栗上９■朋圀団 本発明は、搬送台を磁性流体を用いて浮上させ搬送する
装置であって、特に曲線搬送路においても搬送可能な搬
送装置に関する。

僅未皇肢圭 この種の搬送装置の従来例としては、例えば搬送台の下
方から圧縮空気を噴射し、ｍ送台を浮上させながらリニ
アモータ等で推力を与え１般送路に沿って移送させる搬
送装置が知られている。

盃１宏亙決寿孟ｊ丈まｊ澗１Ａ しかしながら、上記装置においてはｊａｉｌ送路の曲線
構造に対しては追随し難く、曲線移送は困難である問題
があった。

又、搬送台をガイドローラ等の車輪で支持させ、搬送路
と車輪とが接触しながら曲線を移送させる搬送装置が従
来から知られている。しかし、この種のｔＵ送装置にお
いては、機械的な接触部分があるので、摩耗による塵埃
が発生し、特に塵埃をきらうクリーンルーム内において
使用できない問題点があった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、搬送台を浮
上させるのに磁性流体を用いて、しかも、曲線搬送路に
おいても搬送可能で、かつ、塵埃を発生させることのな
い搬送装置を提供することを目的とする。

朋１力Ａ１すＵコＵ翻艷９毛段 本発明は、断面が開溝状又は略蟻溝状に形成された非磁
性材質からなる１駁送路と、前記１鮫送路に沿って走行
する搬送台と、前記搬送台の両端部近傍に設けた複数の
脚部と、前記脚部の底部に固設した永久磁石と、前記搬
送路と搬送台の脚部との間に介在せしめた磁性流体とに
より、ＩＪＱ送台が常に磁性流体により搬送路から浮上
されつつ、曲線搬送路の移送も可能にしたことを特徴と
する搬送装置である。

１差■ 以下本発明の実施例について図面に基づき説明を行う。

第１図は本発明に係る搬送装置の第１の実施例を示す断
面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図
のＢ−８面よりの斜視図、第４図は第２図のＣ−Ｃ面視
図である。

１は図示しないフレームによって固設された非磁性材質
からなる搬送路であり、その断面は開溝状又は略蟻溝状
に形成されて、本体部１１、カバ一部１２、収納部１３
と区別されている。

前記カバ一部１２は、搬送路１内の所定位置に配置され
る磁性流体５１　（説明後記）の流出を防止すると共に
、磁性流体５１の溶媒の芸発を低減せしめる役目をする
。

３は被搬送物を搬送する搬送台であり、前記搬送路１に
沿って走行するように配置される。この搬送台３は、搬
送路１の収納部１３に配置される略丁字形の本実施例で
は２本の脚部３２１とで構成されている。

一方、各脚部の底面には、例えば平たい円柱状の永久磁
石４１が固設されている。

この永久磁石４１と搬送路１の収納部１３との間には所
定量の磁性流体５１が介在されている。

前記磁性流体５〕は、例えばフェライト等の磁性微粒子
の粒子表面を長鎖不飽和脂肪酸で被覆し、界面活性剤を
使って溶液中に分散させたコロイド溶液であって公知の
ものである。しかも、前記磁性流体５１は、磁気的には
永久磁気モーメントをもった分子の集合体であるため超
常磁性の性質を備えている。

次に上述した構成の搬送装置の動作について説明する。

まず、搬送台３の脚部３２１に設けた永久磁石４１によ
って発生される磁界の影響で、上述の性質を有する磁性
流体５１は磁化される。

即ち、常に搬送台３は浮上した状態を維持していること
になる。

第４図において、図に示す永久磁石４１は１００及び２
００の破線で示す包絡線をもつ。即ち、包絡線の曲率半
径をＲ１永久磁石４１の直径をｄとずれば、曲率半径Ｒ
をもつ曲線１００ｂと、曲率半径Ｒ＋ｄをもつ曲線１０
０ａからなる曲線搬送路を搬送できる。

同様に曲率半径Ｒをもつ曲線２００ｂと、曲率半径Ｒ＋
ｄをもつ曲線２００ａからなる曲線ＩＩ送路を搬送する
ことができる。

従って、本実施例で示すように永久磁石４１を組合わせ
ることにより磁性流体５１で搬送台３は浮上した状態で
曲線搬送路でも搬送可能となる。

なお、本実施例では、直線搬送路においては、円形永久
磁石４１の幅ｄの搬送路で浮上走行が可能であるため、
直線搬送路及び曲線搬送路を組合わせた搬送路の走行が
可能となる。

第５図は本発明に係る搬送装置の第２の実施例を示す断
面図、第６図は第５図のＤ−Ｄ断面図、第７図は第５図
のＤ−Ｄ面よりの斜視図、第８図は第２図のＦ−Ｆ面視
図である。

第１図〜第４図と同一部分には同一符号を付して、その
説明を省略する。本実施例が前記実施例と異なるのは、
搬送台３が搬送′路１の収納部】３に配置される略丁字
形の脚部３２１を５本で構成したことである。

一方、各脚部の底面には、例えば平たい円柱状の永久磁
石４１が固設されており、本実施例で示す永久磁石４１
の直径の大きさは４１ａ　＞４１ｂ　＞４１ｃの関係に
なるように直径を定めるものとする。

次に上述した構成の搬送装置の動作について説明する。

まず、ｔｉｌｌ送台３の脚部３２１に設けた永久磁石４
１によって発生される磁界の影響で、上述の性質を有す
る磁性流体５１は磁化される。

即ち、常に搬送台３は厚−ヒした状態を維持しているこ
とになる。

第８図において、図に示す永久磁石４１は１．００及び
２００の破線で示す包絡線をもつ。即ち、包絡線の曲率
半径をＲ２永久磁石４］、ａの直径をｄとずれば、曲率
半径Ｒをもつ曲線１００ｂと、曲率半径Ｒ＋ｄをもつ曲
線１００ａからなる曲線搬送路を）Ｂ送できる。

同様に曲率半径Ｒをもつ曲線２００ｂと、曲率半径Ｒ＋
ｃｌをもつ曲線２００ａからなる曲線（駁送路を搬送す
ることができる。

従って、本実施例で示すように円柱状の永久磁石４１を
組合わせることにより磁性流体５１で１１！送台３は浮
上した状態で曲線搬送路でも搬送可能となる。

なお、本実施例では、直線）般送路においては、永久磁
石４１ａの幅ｄの搬送路で浮」二走行が可能であるため
、直線搬送路及び曲線搬送路を組合わせた搬送路の走行
が可能となる。

さらに、各磁石４１は単一の永久磁石に限らす例えば第
９図に示す如く、小型の永久磁石４１ｎを組合わせて、
多角形状の磁石群４．１ｍをもって構成した場合にも、
近似的包絡線１００ｃ、２００ｃを考えれば第９図に示
す円柱状の永久磁石４１の場合と同様に曲線搬送が可能
である。

又、本実施例では永久磁石４１の個数は５ＩＩＭとした
が、その個数は５個に限定されずに、夫々が包絡線を形
成さすように永久磁石４１を配置すれば曲線搬送は可能
なのは勿論である。

本実施例は、前記実施例と同様の効果を奏するが、さら
に、５組の永久磁石を配し、両端に配した永久磁石４］
、ａで形成する包絡線に沿って搬送可能であるが、永久
磁石４１ｂ　、４１ｃを配することにより、曲率半径が
非常に小さい曲線＋１１１送路の搬送もスムースにでき
る効果を有する。

第１０図は本発明に係る搬送装置の第３の実施例を示す
断面図、第１１図は第１０図のＦ−Ｆ断面図である。

第１図〜第４図と同一部分には同一符号を付してその説
明を省略した。

２はリニアモータの固定子であり、前記カバ一部１２の
上面にその長手方向に所定間隔を経て複数個対で配設さ
れている。

３は被搬送物を搬送する搬送台であり、前記搬送路１に
沿って走行するように配置される。この搬送台３は、図
示しない被搬送物が載置される底面３１と、搬送路ｌの
収納部１３に配置される略丁字形の各脚部３２１　とで
構成されている。

前記底面３１は、リニアモータのリアクションプレート
として作用するものであり、例えばアルミニウムや銅板
等の導電性材料にて構成され、固定子２と所定の空隙を
介して相対向し、前記固定子２とでもってリニアモータ
を構成する。

前記以外の構成は前実施例と同様である。搬送台３の脚
部３２１に設けた永久磁石４１によって発生される磁界
の影響で、磁性流体５１は磁化される。

即ち、常に搬送台３は浮上した状態を維持しているから
、リニアモータの駆動力にて適宜方向に搬送台３を（般
送路１に沿って移送させることができる。

第１の実施例で説明したと同様に永久磁石４１と磁性流
体５１とで、曲線搬送路でもリニアモータの駆動力にて
搬送可能となる。

なお、リニアモータの配置は本実施例で説明した並列駆
動方式に限らず、例えば片側駆動方式でも可能なのは勿
論である。

浮上させた搬送台３を駆動する手段は、第２の実施例で
説明した、リニアモータによる駆動手段に限定されずに
、例えばｔｉｌｌ送台をロープ等で引張る手段等可能で
あるのは勿論である。

会皿坐須果 本発明は、搬送台の脚部に固設した永久磁石と、＋Ｕ送
路と搬送台の脚部との間に介在さゼた磁性流体の磁力作
用で搬送台を搬送路に沿って浮上させ、しかも複数組の
永久磁石群を配置することにより、簡単な構成でもって
曲線路も搬送可能な塵埃を発生させないずくれた効果を
有する。

従って、特にクリーンルーム内において使用するｌＢ送
装置としては最適である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る搬送装置の第１の実施例を示す
断面図、第２図は第１図の、ＩＩ−Ａ断面図、第３図は
第１図のＢ−Ｂ面よりの斜視図、第４図は第２図のＣ−
Ｃ固視図、第５図は本発明に係る搬送装置の第２の実施
例を示す断面図、第６図は第５図のＤ−Ｄ断面図、第７
図は第５図のＥ−Ｂ面よりの斜視図、第８図は第６図の
Ｆ−Ｆ固視図、第９図は永久磁石の配置の他の実施例を
示す図、第１０図は本発明に係る搬送装置の第３の実施
例を示す断面図、第１１図は第１０図のＦ−Ｆ断面図で
ある。 １・・・搬送路、３・・・搬送台、３２１　　・・・脚
部、４１・・・永久磁石、５１・・・磁性流体。 特許出願人　　日立機電工業株式会社 代理人　弁理士　　大　西　孝　冶 手続補正書（自発） 昭和６１年　４月１７日 １、事件の表示　　昭和６１年特許廓第０１２７９６号
２、発明の名称　　搬送装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　　尼崎市下坂部３丁目１１番１号氏名（名称）
　日立機電工業株式会社 代表者　今村好信 ４、代理人 住　所　　大阪市東区内本町橋詰町３６番地の１第７松
屋ビル ６、補正により増加する発明の数　　０７、補正の対象 ■ 別紙 ８、補正の内容 ■明ｔｍ書の「特許請求の範囲」を別紙の通り補正する
。 ■明細書箱４百第３行の「磁性流体５１の溶媒のＪを「
磁性流体５１のベース液のコに補正する。 ■明細書箱４頁第１４行〜１６行の「例えばフェライト
等の磁性微粒子の粒子表面を長鎖不飽和脂肪酸で被覆し
、界面活性剤を使って溶液中に１を「例えば酸化鉄等の
磁性微粒子の粒子表面を界面活性剤で処理してベース液
中に１に補正する。 （１）断面が開溝状又は略蟻溝状に形成された非磁性材
質からなる搬送路と、前記搬送路に沿って走行する搬送
台と、前記搬送台久貢備理近膀に設けた複数の脚部と、
前記脚部の底部に固設した永久磁石と、前記搬送路と搬
送台の脚部との間に介在せしめた磁性流体とにより、搬
送台が常に磁性流体により搬送路から浮上されつつ、曲
線搬送路の移送も可能にしたことを特徴とする搬送装置
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）断面が開溝状又は略蟻溝状に形成された非磁性材
   質からなる搬送路と、前記搬送路に沿って走行する搬送
   台と、前記搬送台に設けた複数の脚部と、前記脚部の底
   部に固設した永久磁石と、前記搬送路と搬送台の脚部と
   の間に介在せしめた磁性流体とにより、搬送台が常に磁
   性流体により搬送路から浮上されつつ、曲線搬送路の移
   送も可能にしたことを特徴とする搬送装置。