JPS6118305A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS6118305A JPS6118305A JP14017984A JP14017984A JPS6118305A JP S6118305 A JPS6118305 A JP S6118305A JP 14017984 A JP14017984 A JP 14017984A JP 14017984 A JP14017984 A JP 14017984A JP S6118305 A JPS6118305 A JP S6118305A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyance
- carriage
- passage
- magnetic fluid
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/08—Structural association with bearings
- H02K7/09—Structural association with bearings with magnetic bearings
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/025—Asynchronous motors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は搬送台を浮上させる方法として、搬送台と搬送
路との間に磁性流体を入れ、この磁性流体を搬送台内部
に設けた永久磁石で吸引するようにした搬送装置に関す
る。
路との間に磁性流体を入れ、この磁性流体を搬送台内部
に設けた永久磁石で吸引するようにした搬送装置に関す
る。
（ロ）従来技術
搬送台に車輪を使用しないタイプの搬送装置の従来例と
しては、例えば搬送台に設けたりニアモータの平板状の
可動子に、下方から圧縮空気を前記可動子に対応したテ
ーブルに設けた多数のノズルから噴射せしめ、搬送台を
浮上させながらリニアモータ固定子の励磁によって移動
させる搬送装置が知られている。
しては、例えば搬送台に設けたりニアモータの平板状の
可動子に、下方から圧縮空気を前記可動子に対応したテ
ーブルに設けた多数のノズルから噴射せしめ、搬送台を
浮上させながらリニアモータ固定子の励磁によって移動
させる搬送装置が知られている。
しかしながら、上記装置においては圧縮空気源を必要と
し、このため設備費用が高価となる。
し、このため設備費用が高価となる。
また、空気には送風ダクト等からの塵埃を含んでいるこ
とが゛多く、被搬送物が精密電子回路部品のように塵埃
を嫌うものである場合には、従来の搬送装置を使用する
ことは好ましくない。
とが゛多く、被搬送物が精密電子回路部品のように塵埃
を嫌うものである場合には、従来の搬送装置を使用する
ことは好ましくない。
（ハ）目的
本発明は上記事情にかんがみてなされたもので、搬送台
を浮上させるのに圧縮空気を必要としない搬送装置を提
供することを目的としている。
を浮上させるのに圧縮空気を必要としない搬送装置を提
供することを目的としている。
（ニ）構成
本発明は搬送路内に磁性流体を所定量大れるとともに、
搬送台内部に磁石を設け、両者の磁力作用テもって、搬
送台を浮上させつつ移送するように構成している。
搬送台内部に磁石を設け、両者の磁力作用テもって、搬
送台を浮上させつつ移送するように構成している。
（ホ）実施例
第１図は本発明に係る搬送装置の一実施例を示す搬送台
の進行方向に直角に切った断面図である。
の進行方向に直角に切った断面図である。
図において、１は固定子で、この固定子１は公知のりニ
アモータに使用されるものと同しであり搬送台の進行方
向に沿って所定の間隔をおいて、フレームに複数個対に
なって定置されている。
アモータに使用されるものと同しであり搬送台の進行方
向に沿って所定の間隔をおいて、フレームに複数個対に
なって定置されている。
２はポスト５によってフレームに固設された断面が略コ
の字の形状の非磁性体からなる搬送路である。
の字の形状の非磁性体からなる搬送路である。
４は搬送台であって、図示するように前記搬送路２の上
部に跨座している。
部に跨座している。
そして、その断面は略口の字の形状に形成されていて、
側面には下方に折れ曲がったフランジ部４１が形成され
ており、このフランジ部４１はリニアモータのリアクシ
ョンプレートとして作用するもので、導電性材料例えば
アルミニュウム又は銅板等で構成され、前記固定＋１と
搬送台の垂直壁の間隙に配置される。 そして、前記搬
送台４の内底部には永久磁石６が取りつけてあり、さら
に搬送台４の底部と搬送路２の底部の空間部分には所定
量の磁性流体７が前記永久磁石６の磁界の作用する場所
に置かれている。
側面には下方に折れ曲がったフランジ部４１が形成され
ており、このフランジ部４１はリニアモータのリアクシ
ョンプレートとして作用するもので、導電性材料例えば
アルミニュウム又は銅板等で構成され、前記固定＋１と
搬送台の垂直壁の間隙に配置される。 そして、前記搬
送台４の内底部には永久磁石６が取りつけてあり、さら
に搬送台４の底部と搬送路２の底部の空間部分には所定
量の磁性流体７が前記永久磁石６の磁界の作用する場所
に置かれている。
磁性流体３は例えばフェライト等の磁性微粒子の粒子表
面を長鎖不飽和脂肪酸で被覆し、界面活性剤を使って溶
液中に分散させたコロイド溶液で公知のものである。
面を長鎖不飽和脂肪酸で被覆し、界面活性剤を使って溶
液中に分散させたコロイド溶液で公知のものである。
なお、搬送台４の天板はテーブルであって、このテーブ
ル４１の上には図示しない被搬送物が置かれる。
ル４１の上には図示しない被搬送物が置かれる。
次ぎに、本発明に係る搬送装置の動作について説明する
。
。
前記した磁性流体７は磁気的には永久磁気モーメントを
もった分子の集合体であり、超常磁性の性質をもってい
るので、搬送台の内底部に設けた永久磁石６により発生
する磁界の影響によって磁性流体７は磁化される結果、
搬送台がリニアモータの駆動力により進行するにさいし
て、前記永久磁石とともに移動することとなる。
もった分子の集合体であり、超常磁性の性質をもってい
るので、搬送台の内底部に設けた永久磁石６により発生
する磁界の影響によって磁性流体７は磁化される結果、
搬送台がリニアモータの駆動力により進行するにさいし
て、前記永久磁石とともに移動することとなる。
また、磁性流体７は特に容器にいれなくても、永久磁石
により常に吸引されているので、分散することなく、恰
も水銀のようにひと塊となって、移動する。
により常に吸引されているので、分散することなく、恰
も水銀のようにひと塊となって、移動する。
さらに、磁性流体の量を適当に選ぶことにより、前記搬
送台を搬送路の垂直壁の頂部に当たらないように離隔せ
しめることとなる。
送台を搬送路の垂直壁の頂部に当たらないように離隔せ
しめることとなる。
もう一つの実施例として、第２．３図を示すことができ
る。
る。
第２図では、永久磁石６は搬送台４の内側壁に２個取り
つけてあり、また磁性流体７は前記永久磁石７の位置に
対応して搬送路２の垂直壁と前記搬送台４の内側壁との
空間に置くようにする。
つけてあり、また磁性流体７は前記永久磁石７の位置に
対応して搬送路２の垂直壁と前記搬送台４の内側壁との
空間に置くようにする。
第３図では、永久磁石６を搬送台４の内側壁に２個取り
つけてあり、また磁性流体７は前記永久磁石７の位置に
対応して搬送路２の垂直壁と前記搬送台４の内側壁との
空間に置くとともに、第１図にあるごとく、搬送路の底
部と搬送台の底部の空間に置くとともに、永久磁石を搬
送台の内底部に設けである。
つけてあり、また磁性流体７は前記永久磁石７の位置に
対応して搬送路２の垂直壁と前記搬送台４の内側壁との
空間に置くとともに、第１図にあるごとく、搬送路の底
部と搬送台の底部の空間に置くとともに、永久磁石を搬
送台の内底部に設けである。
搬送台の速度制御・停止等の制御手段は周知のものであ
り、詳細説明は省略する。
り、詳細説明は省略する。
また、上記の説明は両側駆動方式のりニアモータを使用
する場合につき述べたが、片側駆動方式のものであって
も良い。
する場合につき述べたが、片側駆動方式のものであって
も良い。
（へ）効果
本山によるときは、搬送路上に磁性流体を所定量大れる
のみで搬送台を搬送路から浮上させることができるので
、従来の圧縮空気の浮上手段に比して極めて簡便に浮上
させることができ、設備費用、維持費用等の面において
優れており、特にりリーンルーム内に於ける搬送装置と
して好適なものである。
のみで搬送台を搬送路から浮上させることができるので
、従来の圧縮空気の浮上手段に比して極めて簡便に浮上
させることができ、設備費用、維持費用等の面において
優れており、特にりリーンルーム内に於ける搬送装置と
して好適なものである。
第１図は本発明に係る搬送装置の一実施例を示す断面図
、第２図と第３図は本発明の他の実施例の断面図である
。 １ ・・・固定子、２ ・・・搬送路、４ ・・・搬送
台、５ ・・・ポスト、６ ・・・永久磁石、７ ・・
・磁性流体。 特許出願人 日立機電工業株式会社 代理人 弁理士 大 西 孝 治 第１図 第２図 第３図 手続補正書（自発） 昭和５９年 ９月 ６日 ３、補正をする者 ６、補正により増加する発明の数 ０８、補
正の内容 （１） 明細書中、特許請求の範囲を別紙の通り補正
する。 （２）同書第３頁第１８行目〜同第１９行目の「断面が
略コの字の形状の」を「溝状断面の」と補正する。 （３）同書第４頁第８行目の「搬送台ｊをｒ搬送路」と
補正する。 （４）同書第４頁第１４行目の「磁性流体３」を「磁性
流体７」と補正する。 （５）同書第５頁第１７行目の「第２．３図ｊを「第２
図」と補正する。 （６）同書第５頁第１９行目〜第６頁第２行目の「第２
図では、・・・にする。」を削除する。 （７）同書第６頁第３行目の「第３図では、Ｊを「第２
図では、」と補正する。 （８）同書第６頁第５行目の「磁石７」を「磁石６」と
補正する。 （９）同書第６頁第１６行目の「本山」をｒ本発明」と
補正する。 ００）同書第７頁第５行目の「第２図と第３図」をｒ第
２図Ｊと補正する。 （ｌυ 図面を別紙の通り補正する。 ２、特許請求の範囲 （１）搬送台の側面をリアクションプレートとし、該リ
アクションプレートとリアクションプレートに対向して
設けた固定子とからなるリニアモータを用いた搬送装置
において、ヂ′生 ｒをνて宅２成ユαζ溝１及逝１酊
をｊ−ＬＡ□搬送路と、該搬送路に跨座せしめた搬送台
と、前記搬送路と搬送台の間にある磁性流体と、前記搬
送台の内部に設けた永久磁石とを具備しており、且つ搬
送台が常に磁性流体により搬送路から浮上されつつ、移
送されるようにしたことを１）８＠とする搬送装置。 （２）前記永久磁石は搬送台の底部に設けてあることを
特徴とする請求 送装置。
、第２図と第３図は本発明の他の実施例の断面図である
。 １ ・・・固定子、２ ・・・搬送路、４ ・・・搬送
台、５ ・・・ポスト、６ ・・・永久磁石、７ ・・
・磁性流体。 特許出願人 日立機電工業株式会社 代理人 弁理士 大 西 孝 治 第１図 第２図 第３図 手続補正書（自発） 昭和５９年 ９月 ６日 ３、補正をする者 ６、補正により増加する発明の数 ０８、補
正の内容 （１） 明細書中、特許請求の範囲を別紙の通り補正
する。 （２）同書第３頁第１８行目〜同第１９行目の「断面が
略コの字の形状の」を「溝状断面の」と補正する。 （３）同書第４頁第８行目の「搬送台ｊをｒ搬送路」と
補正する。 （４）同書第４頁第１４行目の「磁性流体３」を「磁性
流体７」と補正する。 （５）同書第５頁第１７行目の「第２．３図ｊを「第２
図」と補正する。 （６）同書第５頁第１９行目〜第６頁第２行目の「第２
図では、・・・にする。」を削除する。 （７）同書第６頁第３行目の「第３図では、Ｊを「第２
図では、」と補正する。 （８）同書第６頁第５行目の「磁石７」を「磁石６」と
補正する。 （９）同書第６頁第１６行目の「本山」をｒ本発明」と
補正する。 ００）同書第７頁第５行目の「第２図と第３図」をｒ第
２図Ｊと補正する。 （ｌυ 図面を別紙の通り補正する。 ２、特許請求の範囲 （１）搬送台の側面をリアクションプレートとし、該リ
アクションプレートとリアクションプレートに対向して
設けた固定子とからなるリニアモータを用いた搬送装置
において、ヂ′生 ｒをνて宅２成ユαζ溝１及逝１酊
をｊ−ＬＡ□搬送路と、該搬送路に跨座せしめた搬送台
と、前記搬送路と搬送台の間にある磁性流体と、前記搬
送台の内部に設けた永久磁石とを具備しており、且つ搬
送台が常に磁性流体により搬送路から浮上されつつ、移
送されるようにしたことを１）８＠とする搬送装置。 （２）前記永久磁石は搬送台の底部に設けてあることを
特徴とする請求 送装置。
Claims (3)
- （１）搬送台の側面をリアクションプレートとし、該リ
アクションプレートとリアクションプレートに対向して
設けた固定子とからなるリニアモータを用いた搬送装置
において、非磁性体でもって形成した断面略コの字形状
の搬送路と、該搬送路に跨座せしめた搬送台と、前記搬
送路と搬送台の間にある磁性流体と、前記搬送台の内部
に設けた永久磁石とを具備しており、且つ搬送台が常に
磁性流体により搬送路から浮上されつつ、移送されるよ
うにしたことを特徴とする搬送装置。 - （２）前記永久磁石は搬送台の底部に設けてあることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の搬送装
置。 - （３）前記永久磁石は搬送台の側面に設けてあることを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14017984A JPS6118305A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14017984A JPS6118305A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6118305A true JPS6118305A (ja) | 1986-01-27 |
Family
ID=15262729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14017984A Pending JPS6118305A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6118305A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63123719A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-27 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | 搬送装置 |
| US4805761A (en) * | 1987-07-14 | 1989-02-21 | Totsch John W | Magnetic conveyor system for transporting wafers |
| US4877123A (en) * | 1987-11-02 | 1989-10-31 | Ichiro Fukuwatari | Conveyor means for wafers |
| US6183615B1 (en) | 1992-06-26 | 2001-02-06 | Tokyo Electron Limited | Transport system for wafer processing line |
| KR100895899B1 (ko) | 2007-12-13 | 2009-05-04 | 한국기계연구원 | ＬＳＲＭ과 Ｈａｌｂａｃｈ 배열을 이용한 자기부상열차시스템 |
| CN109039007A (zh) * | 2018-09-03 | 2018-12-18 | 北京航空航天大学 | 磁流体驱动的防微振柔性微位移调节平台 |
-
1984
- 1984-07-05 JP JP14017984A patent/JPS6118305A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63123719A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-27 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | 搬送装置 |
| JPH0545490B2 (ja) * | 1986-11-11 | 1993-07-09 | Seibu Electric & Machinery Co | |
| US4805761A (en) * | 1987-07-14 | 1989-02-21 | Totsch John W | Magnetic conveyor system for transporting wafers |
| US4877123A (en) * | 1987-11-02 | 1989-10-31 | Ichiro Fukuwatari | Conveyor means for wafers |
| US6183615B1 (en) | 1992-06-26 | 2001-02-06 | Tokyo Electron Limited | Transport system for wafer processing line |
| KR100895899B1 (ko) | 2007-12-13 | 2009-05-04 | 한국기계연구원 | ＬＳＲＭ과 Ｈａｌｂａｃｈ 배열을 이용한 자기부상열차시스템 |
| CN109039007A (zh) * | 2018-09-03 | 2018-12-18 | 北京航空航天大学 | 磁流体驱动的防微振柔性微位移调节平台 |
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