JPS6293120A - リニアモ−タ使用の荷搬送装置 - Google Patents
リニアモ−タ使用の荷搬送装置Info
- Publication number
- JPS6293120A JPS6293120A JP23193385A JP23193385A JPS6293120A JP S6293120 A JPS6293120 A JP S6293120A JP 23193385 A JP23193385 A JP 23193385A JP 23193385 A JP23193385 A JP 23193385A JP S6293120 A JPS6293120 A JP S6293120A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- electromagnet
- electromagnets
- linear motor
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えば半導体のウェハなどのように塵埃をき
らうものを取扱うときに採用され、主としてクリーンル
ーム内に配設されるリニアモータ使用の荷搬送装置に関
するものである。
らうものを取扱うときに採用され、主としてクリーンル
ーム内に配設されるリニアモータ使用の荷搬送装置に関
するものである。
従来の技術
例えば半導体のウェハを取扱う場合、搬送装置を配設す
る工場（室）内をクリーン化すると共に、搬送装置を防
塵化している。すなわち従来では、電磁石の反発力ある
いは噴射空気を利用して可動体を浮上させ、この可動体
ｔＶリニアモータより走行させる方式の荷搬送装置が用
いられている。
る工場（室）内をクリーン化すると共に、搬送装置を防
塵化している。すなわち従来では、電磁石の反発力ある
いは噴射空気を利用して可動体を浮上させ、この可動体
ｔＶリニアモータより走行させる方式の荷搬送装置が用
いられている。
このような荷搬送装置では、可動体の停止時に可動体が
静止せず、ガタッキを生じる。そこで従来は、可動体の
停止位置に電磁石を設け、この電磁石の吸引力により可
劾体のガタッキを防止していた。
静止せず、ガタッキを生じる。そこで従来は、可動体の
停止位置に電磁石を設け、この電磁石の吸引力により可
劾体のガタッキを防止していた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記従来の構成では、停止位置が多い場合
、多数の電磁石が必要であシ、また停止位ｉ１を変更す
る場合、電磁石の設置位置も変更しなければならないと
いう問題があった。
、多数の電磁石が必要であシ、また停止位ｉ１を変更す
る場合、電磁石の設置位置も変更しなければならないと
いう問題があった。
本発明は上記従来の問題点を解消したリニアモータ使用
の荷搬送装置ｔを提供することを目的とする。
の荷搬送装置ｔを提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため、本発明のリニアモータ使用
の荷搬送装置は、浮上装置により浮上せしめられてリニ
アモータにより搬送経路上を走行する可動体と、前記搬
送経路に沿って設置された強磁性体と、この強磁性体に
対向して前記可動体に取付けられた電磁石とを備えた構
成としたものである。
の荷搬送装置は、浮上装置により浮上せしめられてリニ
アモータにより搬送経路上を走行する可動体と、前記搬
送経路に沿って設置された強磁性体と、この強磁性体に
対向して前記可動体に取付けられた電磁石とを備えた構
成としたものである。
作 用
上記構成によれば、［９７石と強磁性体との間の吸引力
により停止時における可動体のプ゛タツキを防止でき、
しかも電磁石全可動体側に設けたので、停止位置が多い
場合には電磁石の＆を大幅に削減でき、′！！九停止位
置を変更しても電磁石の設置位置を変更する必要がない
、 実施例 以下、本発明の一実施例を第１図〜第４図に基づいて説
明する。
により停止時における可動体のプ゛タツキを防止でき、
しかも電磁石全可動体側に設けたので、停止位置が多い
場合には電磁石の＆を大幅に削減でき、′！！九停止位
置を変更しても電磁石の設置位置を変更する必要がない
、 実施例 以下、本発明の一実施例を第１図〜第４図に基づいて説
明する。
第１図は本発明の一実施例におけるリニアモータ使用の
荷搬送装置の平面図、第２図は同縦断側面図、Ｗ２Ｂ図
は同縦断正面図で、（１）は搬送経路を構成する箱型ダ
クト、（２）は前記搬送経路に沿って走行する可動体で
ある。前記箱型ダクト（υは、天板部（１ａ）が強磁性
体からなり、他の部分はアルミ成されており、スリブ）
（３１ｆｔ形成する天板部（ｌａ）の端面には静電シ
ート（４）が装着されている。前記箱型ダクト（１）の
両側壁の内面側には、高さ方向中央部に長さ方向全長に
わたる突出部（１ｂ）が突設されておシ、この突出部（
１ｂ）には長さ方向全長にわたる永久磁石（５）が設置
されている。前記箱型ダクト（１）の両側壁の内面側に
は、前記突出部（１ｂ）よシも上方の位置に、長さ方向
全長にわたる永久磁石（６）が設置されており、前記箱
型ダクト（１）の底壁上には、リニアモータの１次側巻
線などからなる固定子（７）が長さ方向適当間隔おきに
設置されている。
荷搬送装置の平面図、第２図は同縦断側面図、Ｗ２Ｂ図
は同縦断正面図で、（１）は搬送経路を構成する箱型ダ
クト、（２）は前記搬送経路に沿って走行する可動体で
ある。前記箱型ダクト（υは、天板部（１ａ）が強磁性
体からなり、他の部分はアルミ成されており、スリブ）
（３１ｆｔ形成する天板部（ｌａ）の端面には静電シ
ート（４）が装着されている。前記箱型ダクト（１）の
両側壁の内面側には、高さ方向中央部に長さ方向全長に
わたる突出部（１ｂ）が突設されておシ、この突出部（
１ｂ）には長さ方向全長にわたる永久磁石（５）が設置
されている。前記箱型ダクト（１）の両側壁の内面側に
は、前記突出部（１ｂ）よシも上方の位置に、長さ方向
全長にわたる永久磁石（６）が設置されており、前記箱
型ダクト（１）の底壁上には、リニアモータの１次側巻
線などからなる固定子（７）が長さ方向適当間隔おきに
設置されている。
前記可動体（２）は、前記箱型ダクト（１）の内部に位
置する自走台車部（８）と、前記箱型ダクト（１）の上
方に位置して被搬送物（図示せず）が載置される被搬送
物支持部（９）と、前記スリブ） （３）’を通って自
走台車部（８）と被搬送物支持部（９）とを連結する連
結部叫とから構成されている。前記自走台車部（８）は
、第４図に示すように、台車本体（ロ）と、この台車本
体回の前端部及び後端部に縦軸心回シに回動自在に取付
けられた揺動体＠とによ多構成されており、各揺動体＠
には、下面に前記永久磁石（５）と対向する永久磁石（
２）が取付けられていると共に、両側面に前記永久磁石
（６）と対向する永久磁石α４が取付けられている。前
記自走台車部（８）の下面には、リニア七−夕の２次側
導体からなる移動子（至）が取付けられてお夛、この移
動子（至）と前記固定子（７）とによ１）リニアモータ
Ｑ・が構成されている。前記永久磁石（５）−と永久磁
石０とは、相対向する面が互いに同極性で、前記可動体
（２）を浮上させる反発力を発生しておシ、浮上装置を
構成している。前記永久磁石（６）と永久磁石α→とは
、相対向する面が互いに同極性で、前記可動体（２）の
幅方向の位置を規制するための反発力を発生している。
置する自走台車部（８）と、前記箱型ダクト（１）の上
方に位置して被搬送物（図示せず）が載置される被搬送
物支持部（９）と、前記スリブ） （３）’を通って自
走台車部（８）と被搬送物支持部（９）とを連結する連
結部叫とから構成されている。前記自走台車部（８）は
、第４図に示すように、台車本体（ロ）と、この台車本
体回の前端部及び後端部に縦軸心回シに回動自在に取付
けられた揺動体＠とによ多構成されており、各揺動体＠
には、下面に前記永久磁石（５）と対向する永久磁石（
２）が取付けられていると共に、両側面に前記永久磁石
（６）と対向する永久磁石α４が取付けられている。前
記自走台車部（８）の下面には、リニア七−夕の２次側
導体からなる移動子（至）が取付けられてお夛、この移
動子（至）と前記固定子（７）とによ１）リニアモータ
Ｑ・が構成されている。前記永久磁石（５）−と永久磁
石０とは、相対向する面が互いに同極性で、前記可動体
（２）を浮上させる反発力を発生しておシ、浮上装置を
構成している。前記永久磁石（６）と永久磁石α→とは
、相対向する面が互いに同極性で、前記可動体（２）の
幅方向の位置を規制するための反発力を発生している。
前記可動体（２）の被搬送物支持部（９）には、前面及
び後面にブラケット（ロ）を介して太陽電池（至）が取
付けられていると共に、底面からは前記箱型ダクト（１
）の天板部（１ａ）に対向する複数の電磁石σ優が突出
しておシ、さらに内部には前記太陽電池（至）から電磁
石α９への電源供給を制御する制御装置（７）が設置さ
れている。
び後面にブラケット（ロ）を介して太陽電池（至）が取
付けられていると共に、底面からは前記箱型ダクト（１
）の天板部（１ａ）に対向する複数の電磁石σ優が突出
しておシ、さらに内部には前記太陽電池（至）から電磁
石α９への電源供給を制御する制御装置（７）が設置さ
れている。
以下、上記構成における作用について説明する。
可動体（２）は、永久磁石（５）Ｑ３の反発力により浮
上した状態で、リニアモータαＧにより走行する。この
とき、永久磁石（６）Ｃ１４）の反発力により箱型ダク
ト（１）に沿って正確に案内される。また箱型ダクト（
１）により構成される搬送経路にカーブがあっても、揺
動体＠の揺動により走行可能である。そして可動体（２
）の停止時には、制御装置翰により太陽電ａ（ト）から
の電源が電磁石α呻に通電され、電磁石ａＩと強磁性体
からなる箱型ダクト（１）の天板部（１ａ）との間に吸
引力が発生し、可動体（２）のガタッキが抑制される。
上した状態で、リニアモータαＧにより走行する。この
とき、永久磁石（６）Ｃ１４）の反発力により箱型ダク
ト（１）に沿って正確に案内される。また箱型ダクト（
１）により構成される搬送経路にカーブがあっても、揺
動体＠の揺動により走行可能である。そして可動体（２
）の停止時には、制御装置翰により太陽電ａ（ト）から
の電源が電磁石α呻に通電され、電磁石ａＩと強磁性体
からなる箱型ダクト（１）の天板部（１ａ）との間に吸
引力が発生し、可動体（２）のガタッキが抑制される。
この吸引力は、永久磁石（５） Ｃ１０の反発力よ）も
小さいので、停止時においても可動体（２）は浮上して
いる。
小さいので、停止時においても可動体（２）は浮上して
いる。
このように、ガタッキ防止のための電磁石０９を可動体
（２）に設けたので、電磁石ｏ９の設置数は可動体（２
）の停止位置数に影響されず、停止位置が多い場合には
電磁石頭の数を大幅に削減できる。また停止位置の変更
に際しても、電磁石ａ傷の位置を変更する必要がない。
（２）に設けたので、電磁石ｏ９の設置数は可動体（２
）の停止位置数に影響されず、停止位置が多い場合には
電磁石頭の数を大幅に削減できる。また停止位置の変更
に際しても、電磁石ａ傷の位置を変更する必要がない。
また電磁石部の電源として太陽電池（ト）を用いたので
、バッテリなどと比較して小型軽量化できると共に充電
などの手数も不要である。またスリット（３）部分に静
電シート（４） ’に設けたので、スリット（３）部分
を通って箱型ダクト（１）の外部に飛び出そうとする塵
埃を静電シート（４）により吸着でき、したがってクリ
ーンルームの汚染を防止できる。なお、静電シート（４
）に通電するようにしてもよい。
、バッテリなどと比較して小型軽量化できると共に充電
などの手数も不要である。またスリット（３）部分に静
電シート（４） ’に設けたので、スリット（３）部分
を通って箱型ダクト（１）の外部に飛び出そうとする塵
埃を静電シート（４）により吸着でき、したがってクリ
ーンルームの汚染を防止できる。なお、静電シート（４
）に通電するようにしてもよい。
なお上記実施例においては、浮上装置として永久磁石（
５）（１３’を用いたが、これの代わりに、多数の噴射
口から空気を噴射して可動体（２）を浮上させるエア浮
上方式を用いてもよい。
５）（１３’を用いたが、これの代わりに、多数の噴射
口から空気を噴射して可動体（２）を浮上させるエア浮
上方式を用いてもよい。
発明の効果
以上述べたごとく本発明によれば、可動体のガタンキ防
止のための電磁石を可動体に設けたので、電磁石の設置
数は可動体の停止位置数に影響されず、停止位置が多い
場合、電磁石の数を大幅に削減できる。また停止位置の
変更に際しても、電磁石の設置位Ｍを変更する必要がな
い。
止のための電磁石を可動体に設けたので、電磁石の設置
数は可動体の停止位置数に影響されず、停止位置が多い
場合、電磁石の数を大幅に削減できる。また停止位置の
変更に際しても、電磁石の設置位Ｍを変更する必要がな
い。
第１図は本発明の一実施例におけるリニアモータ使用の
荷搬送装置の平面図、第２図は同縦断側面図、第３図は
同縦断正面図、第４図は同荷搬送装置における可動体の
自走台車部の平面図である。
荷搬送装置の平面図、第２図は同縦断側面図、第３図は
同縦断正面図、第４図は同荷搬送装置における可動体の
自走台車部の平面図である。
Claims (1)
- １、浮上装置により浮上せしめられてリニアモータによ
り搬送経路上を走行する可動体と、前記搬送経路に沿っ
て設置された強磁性体と、この強磁性体に対向して前記
可動体に取付けられた電弾石とを備えたリニアモータ使
用の荷搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23193385A JPS6293120A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | リニアモ−タ使用の荷搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23193385A JPS6293120A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | リニアモ−タ使用の荷搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293120A true JPS6293120A (ja) | 1987-04-28 |
| JPH0327454B2 JPH0327454B2 (ja) | 1991-04-16 |
Family
ID=16931337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23193385A Granted JPS6293120A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | リニアモ−タ使用の荷搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293120A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63201332U (ja) * | 1987-06-16 | 1988-12-26 | ||
| JPH0759208A (ja) * | 1993-08-13 | 1995-03-03 | Murata Mach Ltd | リニア搬送台車の保持装置 |
| JP2009176161A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Toshiba Corp | 電子機器 |
| US20100300834A1 (en) * | 2007-09-07 | 2010-12-02 | Masayoshi Yokoo | Solar cell module conveyer line |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170401A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Toshiba Corp | 浮上式搬送装置 |
-
1985
- 1985-10-16 JP JP23193385A patent/JPS6293120A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170401A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Toshiba Corp | 浮上式搬送装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63201332U (ja) * | 1987-06-16 | 1988-12-26 | ||
| JPH0759208A (ja) * | 1993-08-13 | 1995-03-03 | Murata Mach Ltd | リニア搬送台車の保持装置 |
| US20100300834A1 (en) * | 2007-09-07 | 2010-12-02 | Masayoshi Yokoo | Solar cell module conveyer line |
| US8322509B2 (en) * | 2007-09-07 | 2012-12-04 | Tohoku Seiki Industries, Ltd. | Solar cell module conveyer line |
| JP2009176161A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Toshiba Corp | 電子機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0327454B2 (ja) | 1991-04-16 |
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