JPH04169415A - 磁気浮上式搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、台車が搬送路に沿って浮上した状態で走行
して、物品等の搬送を行う磁気浮上式搬送装置に関する
。

「従来の技術」 近年、半導体集積回路の高集積化、極微細化逸こ伴い、
それを製造するクリーンルームζこζよ高り１ノ一ン度
が要求されている。このようなりＩ）−ンル−ム内にお
いて、ンリコンウエ／％等を搬送する搬送装置には、塵
埃の発生を極力抑える必要上、台車が搬送路上を浮上し
た状態で、すなわち非接触で走行する磁気浮上式搬送装
置が理想的であるとして、注目を集めている。

第３図〜第６図は、従来の磁気浮上式搬送装置の一例を
示す図である。これらの図におＬ）て、１は搬送路に沿
って設けられた箱状のフレームであり、その上面には、
搬送路に沿って延びる開口部ｌａが形成されている。こ
のフレームｌの天井面には、鋼材によって構成された１
対の浮上用レール２Ｌ、２Ｒが搬送路に沿って各々架設
されており、また、同様にフレームｌの左右の内側面ζ
こも、鋼材によって構成された１対の案内用レール３Ｌ
。

３Ｒが各々架設されている。５は搬送路上を走行する台
車であり、この台車５には、浮上用レール２Ｌ、２Ｈの
各下面と各々対向する４個の浮上／案内用１４磁石７ａ
〜７ｄと、案内用レール３Ｌ、３Ｒの各側面と各々対向
する４個の案内用電磁石８ａ〜８ｄとが設けられている
。さらに、図示しないが、充電式のバッテリと、浮上／
案内用電磁石７１１〜７ｄと浮上用レール２Ｌ、２Ｒの
各下面との間の垂直ギャップＧｙ、および案内用電磁石
８８〜８ｄと案内用レール３Ｌ、３Ｒの各側面との間の
水平ギャップＧｈを各々検出するギャップセンサと、こ
れらのギャップセンサの検出信号に基づいて、バッテリ
ーから浮上／案内用電磁石７８〜７ｄおよび案内用電磁
石８８〜８ｄに各々供給される励磁電流を制御し、垂直
ギャップＧｖおよび水平ギャップＧｈを常に一定とする
電流制御回路とが設けられている。

ここで、浮上／案内用電磁石７ａは、第６図に示すよう
に、コ字状の一次側コア７Ａと、このコア７Ａに巻回さ
れたコイル７Ｂ、７Ｃとによって構成され、コア７Ａの
一対の磁極を台車５の幅方向に一致させた状態で配設さ
れている。また、その他の浮上／案内用電磁石７ｂ〜７
ｄも同様に構成されている。このような浮上／案内用電
磁石７ａ〜７ｄが浮上用レール２Ｌ、２Ｈの下面を磁気
的に吸引することにより、台車５が浮上し、さらに、浮
上用レール２Ｌ、２Ｒの幅寸法の範囲内で、その幅方向
への移動が規制される。さらに、案内用電磁石８８〜８
ｄが、案内用レール３Ｌ、３Ｒの各側面を磁気的に吸引
することにより台車５の幅方向の移動が、強固に規制さ
れる。

また、フレームｌの内底面にはリニアインダクノヨンモ
ータの一次側コイル１５．１５・が所定間隔を隔てて取
り付けられており、台車５には一次側コイル１５と所定
のギャップを隔てて上下に対向する二次側導体１６が取
り付けられている。

この場合、二次側導体１６としては鉄心を有する場合と
有しない場合がある。さらに、台車５の上面には、支柱
１７を介して荷台１８が取り付けられ、この荷台１７上
に荷物１９が積載される。

このような構成において、浮上／案内用電磁石７８〜７
ｄおよび案内用ｉ！＠石８８〜８ｄに対して励磁電流が
供給されると、台車５が浮上し、一方、リニアインダク
ンヨンモータの一次側コイル１５に交流電流か供給され
ると、この−次側コイル１５上に図に示す矢印Ｆ方向の
進行磁界が発生し、これにより、台車５が一次側コイル
１５の上方を通過する毎に矢印Ｆ方向に加速され、その
他の区間においては惰性により走行する。この結果、台
車５は浮上した状態で加速と惰性走行を交互に繰り返し
ながら連続的に走行する。また、台車５をステーシヨン
で位置決め停止させる場合は、そのステーションの手前
の一次側コイル１５を逆相て励磁して矢印Ｆと逆方向の
進行磁界を発生させ、これにより台車５を充分に減速さ
せた後、位置決め用電磁石などによって、台車５を停止
させる。

さらに、バッテリの電力が消費され、台車５を浮上させ
得るだけの電力が生じなくなった場合においては、自動
充電装置を接続してバッテリの充電が行なわれるように
なっている。

このように、磁気浮上式搬送装置は、台車５が搬送路に
対して浮上し、非接触の状態で走行するため、台車５に
設けられた電流制御回路が故障した場合や、バッテリの
容量か低下した場合、案内浮上制御に障害が生じる。例
えば、浮上制御が正常に行なわれなくなった場合、台車
５が浮上用レール２Ｌ、２Ｒから落下したり、また案内
制御か正常に行なわれなくなった場合（特に曲線区間に
おいて）、案内用レール３Ｌ、３Ｒに台車５の側面が接
触するなどの事故が生じる。このような台車５の接触は
、台車５自身や案内レール３Ｌ、３Ｒに損傷を及ぼすば
かりか、ンリコンウェハ等の高価な被搬送物に損傷を与
えたり、また周囲に摩擦により発生する塵埃をまき散ら
す等の被害を与えることになる。そこで、これらの事故
を未然に防止するために、落下を防止するための着地ロ
ーラと、第７図に示すように、台車５の幅方向の移動を
ギャップＧの２倍の範囲内で規制する４個のガイドロー
ラ２２．２２．・・が設けられている。この場合、ガイ
ドローラ２２．２２．・・・は台車５の側面から左右方
向に突出して設けられているが、図示するように搬送路
の曲率半径Ｒの曲線区間において、上方から見て方形状
の台車５の四隅が案内用レール３Ｌ、３Ｒに接触しない
ように、台車５の側面から左右方向に十分な距離を隔て
て配置されている。このようなガイドローラ２２．２２
．・・・を設けることにより、上述した案内浮上制御に
障害が生じた場合や、異常な速度で曲線区間に進入した
場合などにおいて、ガイドローラ２２，２２．・・・が
案内レール３Ｌ、３Ｒに当接することにより、台車５が
保護される。

「発明が解決しようとする問題点」 ところで、上述した従来の磁気浮上式搬送装置に適用さ
れたガイドローラ２２，２２．・・・は、第７図に示す
ように、台車５の四隅が案内用レール３Ｌ、３Ｒに接触
しないように、台車５の側面から左右方向に十分な距離
を隔てて配置しなければならず、これにより、曲率半径
Ｒの曲線区間におＬ）では、案内用レール３Ｌと３Ｒの
間に左右のギャップＧを見込んで距離Ａｃを確保しなけ
ればならず、また直線区間においては距離Ａｓを確保し
なげればならない。したがって、台車５の幅寸法に比べ
て、搬送路の幅寸法が極めて広くなってしまうという問
題があった。

この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、台車
の幅方向の移動を規制するガイドローラを設けた場合に
おいても搬送路の幅寸法を最小限に抑えることができる
磁気浮上式搬送装置を提供することを目的としている。

「問題点を解決するための手段」 この発明は、左右がガイドレールで囲われた搬送路に沿
って、台車が磁気浮上力によって浮上した状態で走行す
る磁気浮上式搬送装置において、前記台車の左右両側面
の前後端近傍に設けられ、前記搬送路の曲線区間におい
て、外周側のガイドレールに接近する外周用ガイドロー
ラと、前記台車の左右両側面の中央部近傍に設けられ、
前記搬送路の曲線区間において、内周側のガイドレール
に接近する内周用ガイドローラとを具備することを特徴
としている。

「作用」 上述した構成によれば、搬送路の曲線区間において、外
周側のガイドレールに、台車の左右両側面の前後端近傍
に設けられた外周用ガイドローラか接近し、内周側のガ
イドレールに、台車の左右両側面の中央部近傍に設けら
れた内周用ガイドローラが接近するようにしたので、す
べてのガイドローラを台車の側面に可能な限り近接して
配置することが可能となり、これにより、搬送路の曲線
区間における左右のガイドレール間の距離を従来と比較
して大幅に狭めることができると共に、直線区間におけ
るガイドレール間の距離を台車の幅寸法により近付ける
ことができる。

「実施例」 以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。

第１図はこの発明の一実施例の構成を示す平面図である
。

この図に示すように、台車５の左右両側面の前後端近傍
には、搬送路の曲線区間において、外周側の案内用レー
ル３Ｒに接近する外周用ガイドローラ２４．２４　、・
・が各々設けられている。また、台車５の左右両側面の
中央部近傍には、搬送路の曲線区間において、内周側の
案内用レール３Ｌに接近する内周用ガイドローラ２５，
２５．・が各々設けられている。これらのガイドローラ
２４，２４、・・および２５．２５．・・は、いずれも
台車５の側面に可能な限り近接して配置され、保持部材
によって垂直に支持されたシャフトにベアリングを介し
て回転自在に取り付けられている。特に、内周用ガイド
ローラ２５．２５．・は外周用ガイドローラ２４，２４
．・・よりも若干内側に配設されている。

このような構成によれば、第１図に示すように、曲率半
径Ｒの曲線区間においては、案内用レール３Ｌと３Ｒの
間に左右のギャップＧを見込んで距離Ｂｃを確保すれば
よく、また直線区間においては距離Ｂ８を確保すればよ
い。

ここで、第２図を参照して、第７図に示した従来例と比
較すると、本実施例おいて曲線区間に要求される所要幅
寸法Ｂｃ、（距離Ｂｃから左右のギヤップＧを差し引い
た寸法）および直線区間に要求される所要幅寸法Ｂｓ、
は、従来例の所要幅寸法Ａｃ＋およびＡｓ、よりら大幅
に狭くて済むことがわかる。

特に、本実施例においては、すべてのガイドローラ２４
．２４　、・・および２５．２５．・を台車５の側面に
可能な限り近接して配置したので、直線区間における所
要幅寸法Ｂｓ＋を台車５の幅寸法により近付けることが
できる。

なお、上述した一実施例においては、案内用レール３Ｒ
が外周側、案内用レール３Ｌが内周側の曲線区間を例に
説明したが、案内用レール３Ｒが内周側、案内用レール
３Ｌが外周側の曲線区間であっても同様の作用効果が得
られる。

「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、搬送路の曲線
区間において、外周側のガイドレールに、台車の左右両
側面の前後端近傍に設けられた外周用ガイドローラが接
近し、内周側のガイドレールに、台車の左右両側面の中
央部近傍に設けられた内周用ガイドローラが接近するよ
うにしたので、すべてのガイドローラを台車の側面に可
能な限り近接して配置することが可能となり、これによ
り、搬送路の曲線区間における左右のガイドレール間の
距離を従来と比較して大幅に狭めることができると共に
、直線区間におけるガイドレール間の距離を台車の幅寸
法により近付けることができ、したがって、搬送路の設
置スペースが少なくて済み、その重量も低く抑えること
ができ、設置工事の簡素化および工事費用の削減を図る
ことができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の構成を示す平面図、第２
図は同実施例と従来例とを比較するための平面図、第３
図は従来の磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す一部切
欠側面図、第４図は同磁気浮上式搬送装置の外観構成を
示す平面図、第５図は同磁気浮上式搬送装置の外観構成
を示す正断面図、第６図は同磁気浮上式搬送装置の浮上
／案内用電磁石の構成を示す正断面図、第７図は同磁気
浮上式搬送装置のガイドローラと搬送路との関係を示す
平面図である。 ５・　台車、 ３Ｌ、３Ｒ・・・・案内用レール（ガイドレール）、２
４−・　外周用ガイドローラ、 ２５・・・内周用ガイドローラ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 左右がガイドレールで囲われた搬送路に沿って、台車が
   磁気浮上力によって浮上した状態で走行する磁気浮上式
   搬送装置において、 前記台車の左右両側面の前後端近傍に設けられ、前記搬
   送路の曲線区間において、外周側のガイドレールに接近
   する外周用ガイドローラと、 前記台車の左右両側面の中央部近傍に設けられ、前記搬
   送路の曲線区間において、内周側のガイドレールに接近
   する内周用ガイドローラと、 を具備することを特徴とする磁気浮上式搬送装置。