JP2882501B2 - 磁気浮上式搬送設備 - Google Patents
磁気浮上式搬送設備Info
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Landscapes
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガイドレールに沿って
走行する移動体を前記ガイドレールに対して浮上させる
複数個の磁気浮上手段が前記移動体に分散配置され、前
記複数個の磁気浮上手段の作動を制御する制御手段が設
けられた磁気浮上式搬送設備に関する。
走行する移動体を前記ガイドレールに対して浮上させる
複数個の磁気浮上手段が前記移動体に分散配置され、前
記複数個の磁気浮上手段の作動を制御する制御手段が設
けられた磁気浮上式搬送設備に関する。
【０００２】
【従来の技術】荷搬送用の移動体において積荷の安定の
ために荷載置部を傾斜させることが考えられる。例えば
半導体ウエハーの搬送においては、一般に、複数の仕切
りが設けられたキャリアに複数の半導体ウエハーを収納
したものを移動体の荷載置部に積んで搬送するが、荷載
置部を傾斜させることにより、半導体ウエハーの積荷状
態を安定させることができる。
ために荷載置部を傾斜させることが考えられる。例えば
半導体ウエハーの搬送においては、一般に、複数の仕切
りが設けられたキャリアに複数の半導体ウエハーを収納
したものを移動体の荷載置部に積んで搬送するが、荷載
置部を傾斜させることにより、半導体ウエハーの積荷状
態を安定させることができる。
【０００３】つまり、半導体ウエハーを縦置き状態で積
む場合に、荷載置部を傾斜させることにより、半導体ウ
エハーとキャリアの仕切りとの間のガタつきを防止する
ことができる。又、半導体ウエハーを横置き状態で積む
場合にも半導体ウエハーが傾斜した状態で積んだほう
が、半導体ウエハーがキャリアから飛び出しにくいとい
った点で有利である。
む場合に、荷載置部を傾斜させることにより、半導体ウ
エハーとキャリアの仕切りとの間のガタつきを防止する
ことができる。又、半導体ウエハーを横置き状態で積む
場合にも半導体ウエハーが傾斜した状態で積んだほう
が、半導体ウエハーがキャリアから飛び出しにくいとい
った点で有利である。
【０００４】又、比較的狭い場所に単一ループ状にガイ
ドレールが設けられている場合、移動体がカーブを走行
する際に積荷にかかる遠心力に対抗して積荷状態を安定
させるためにも移動体の荷載置部を横方向に傾斜させた
ほうが有利である。
ドレールが設けられている場合、移動体がカーブを走行
する際に積荷にかかる遠心力に対抗して積荷状態を安定
させるためにも移動体の荷載置部を横方向に傾斜させた
ほうが有利である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
移動体の荷載置部を傾斜させた場合、荷の積み卸しにお
いて不利な状況が生ずる。例えば、荷を卸す際に、移載
装置が移動体の荷を掴んで引き上げた後、ステーション
側へ水平移動させる動作において、荷載置部が横方向に
傾斜していると、傾斜していない場合に比べて荷を引き
上げるストロークが長くなる。又、荷載置部が傾斜して
いると移載装置が荷を掴む時や離す時の動作が難しくな
る。
移動体の荷載置部を傾斜させた場合、荷の積み卸しにお
いて不利な状況が生ずる。例えば、荷を卸す際に、移載
装置が移動体の荷を掴んで引き上げた後、ステーション
側へ水平移動させる動作において、荷載置部が横方向に
傾斜していると、傾斜していない場合に比べて荷を引き
上げるストロークが長くなる。又、荷載置部が傾斜して
いると移載装置が荷を掴む時や離す時の動作が難しくな
る。
【０００６】本発明は、かかる実情に鑑みてなされたも
のであって、その目的は、移動体が走行中は積荷の状態
を安定させ、且つ、荷の積み卸しを容易なものとするこ
とにある。
のであって、その目的は、移動体が走行中は積荷の状態
を安定させ、且つ、荷の積み卸しを容易なものとするこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上式搬送
設備は、ガイドレールに沿って走行する移動体を前記ガ
イドレールに対して浮上させる複数個の磁気浮上手段が
前記移動体に分散配置され、前記複数個の磁気浮上手段
の作動を制御する制御手段が設けられたものであって、
第１の特徴構成は、前記制御手段が、前記移動体が停止
中は荷載置部が荷移載用姿勢となり、且つ、前記移動体
が走行中は前記荷載置部が前記荷移載用姿勢から傾斜さ
せた荷搬送用姿勢となるように、前記複数個の磁気浮上
手段を制御するように構成されている点にある。
設備は、ガイドレールに沿って走行する移動体を前記ガ
イドレールに対して浮上させる複数個の磁気浮上手段が
前記移動体に分散配置され、前記複数個の磁気浮上手段
の作動を制御する制御手段が設けられたものであって、
第１の特徴構成は、前記制御手段が、前記移動体が停止
中は荷載置部が荷移載用姿勢となり、且つ、前記移動体
が走行中は前記荷載置部が前記荷移載用姿勢から傾斜さ
せた荷搬送用姿勢となるように、前記複数個の磁気浮上
手段を制御するように構成されている点にある。
【０００８】第２の特徴構成は、前記制御手段は、前記
ガイドレールの浮上用磁性体と前記複数個の磁気浮上手
段との間隔を各磁気浮上手段間でほぼ等しくして前記荷
移載用姿勢となるように、且つ、前記浮上用磁性体と前
記複数個の磁気浮上手段との間隔を前記磁気浮上手段間
で異ならせて前記荷搬送用姿勢となるように、前記複数
個の磁気浮上手段を制御するように構成されている点に
ある。 第３の特徴構成は、前記磁気浮上手段が、永久磁
石と電磁石とから構成され、前記制御手段が、前記電磁
石の励磁電流を制御するように構成されている点にあ
る。
ガイドレールの浮上用磁性体と前記複数個の磁気浮上手
段との間隔を各磁気浮上手段間でほぼ等しくして前記荷
移載用姿勢となるように、且つ、前記浮上用磁性体と前
記複数個の磁気浮上手段との間隔を前記磁気浮上手段間
で異ならせて前記荷搬送用姿勢となるように、前記複数
個の磁気浮上手段を制御するように構成されている点に
ある。 第３の特徴構成は、前記磁気浮上手段が、永久磁
石と電磁石とから構成され、前記制御手段が、前記電磁
石の励磁電流を制御するように構成されている点にあ
る。
【０００９】
【作用】第１の特徴構成によれば、制御手段が、移動体
に分散配置された複数個の磁気浮上手段を制御すること
により車体そのものを傾け、移動体が停止中は荷載置部
が荷移載用姿勢となり、且つ、移動体が走行中は前記荷
載置部が前記荷移載用姿勢から傾斜させた荷搬送用姿勢
となるようにする。第２の特徴構成によれば、制御手段
は、ガイドレールの浮上用磁性体と複数個の磁気浮上手
段との間隔を各磁気浮上手段間でほぼ等しくすることに
より移動体を荷移載用姿勢とし、又、浮上用磁性体と複
数個の磁気浮上手段との間隔を磁気浮上手段間で異なら
せることにより移動体を荷搬送用姿勢とする。つまり、
移動体の停止中における荷移載用姿勢を、よりバランス
のとれた姿勢としている。 第３の特徴構成によれば、磁
気浮上手段は、電磁石のみならず永久磁石の作用 によっ
ても移動体を浮上させる。
に分散配置された複数個の磁気浮上手段を制御すること
により車体そのものを傾け、移動体が停止中は荷載置部
が荷移載用姿勢となり、且つ、移動体が走行中は前記荷
載置部が前記荷移載用姿勢から傾斜させた荷搬送用姿勢
となるようにする。第２の特徴構成によれば、制御手段
は、ガイドレールの浮上用磁性体と複数個の磁気浮上手
段との間隔を各磁気浮上手段間でほぼ等しくすることに
より移動体を荷移載用姿勢とし、又、浮上用磁性体と複
数個の磁気浮上手段との間隔を磁気浮上手段間で異なら
せることにより移動体を荷搬送用姿勢とする。つまり、
移動体の停止中における荷移載用姿勢を、よりバランス
のとれた姿勢としている。 第３の特徴構成によれば、磁
気浮上手段は、電磁石のみならず永久磁石の作用 によっ
ても移動体を浮上させる。
【００１０】
【発明の効果】従って、第１の特徴構成によれば、磁気
浮上手段を制御することにより浮上量を変化させ得るの
を利用して、移動体が走行中は積荷の状態を安定させ、
且つ、移動体の停止中に行われる荷の積み卸しを容易な
ものとすることができるものとなった。第２の特徴構成
によれば、一般に荷の移載時は、荷の移動等により移動
体が不安定となり易い状況となるが、このように、荷移
載用姿勢において、ガイドレールの浮上用磁性体と複数
個の磁気浮上手段との間隔を各磁気浮上手段間でほぼ等
しくして、よりバランスのとれた姿勢とすることで、多
少の移動体の動揺に対しても磁気浮上手段と浮上用磁性
体との衝突を回避し易いものとできる。 第３の特徴構成
によれば、磁気浮上手段が電磁石だけでなく永久磁石を
併用して構成されているので、小さな励磁電流で車体を
ガイドレールに対して浮上させ、且つ、傾けることがで
きる。
浮上手段を制御することにより浮上量を変化させ得るの
を利用して、移動体が走行中は積荷の状態を安定させ、
且つ、移動体の停止中に行われる荷の積み卸しを容易な
ものとすることができるものとなった。第２の特徴構成
によれば、一般に荷の移載時は、荷の移動等により移動
体が不安定となり易い状況となるが、このように、荷移
載用姿勢において、ガイドレールの浮上用磁性体と複数
個の磁気浮上手段との間隔を各磁気浮上手段間でほぼ等
しくして、よりバランスのとれた姿勢とすることで、多
少の移動体の動揺に対しても磁気浮上手段と浮上用磁性
体との衝突を回避し易いものとできる。 第３の特徴構成
によれば、磁気浮上手段が電磁石だけでなく永久磁石を
併用して構成されているので、小さな励磁電流で車体を
ガイドレールに対して浮上させ、且つ、傾けることがで
きる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。本実施例の無人搬送設備は、クリーンルーム内で
半導体ウエハー等の荷物を自動搬送するためのものであ
って、図５に示すように、移動体Ａの走行経路にガイド
レールＢが設けられている。移動体Ａは、後述のように
して磁気浮上し、リニアモータによる推進力でガイドレ
ールＢに沿って移動する。又、移動体Ａが停止して荷物
の積み卸しを行う複数のステーションＳＴがガイドレー
ルＢに沿って設けられている。
する。本実施例の無人搬送設備は、クリーンルーム内で
半導体ウエハー等の荷物を自動搬送するためのものであ
って、図５に示すように、移動体Ａの走行経路にガイド
レールＢが設けられている。移動体Ａは、後述のように
して磁気浮上し、リニアモータによる推進力でガイドレ
ールＢに沿って移動する。又、移動体Ａが停止して荷物
の積み卸しを行う複数のステーションＳＴがガイドレー
ルＢに沿って設けられている。
【００１２】ガイドレールＢは、図１、図２に示すよう
な断面形状を有する。その上部の水平鍔部の下面には、
移動体Ａの磁気浮上手段２が吸引作用する浮上用磁性体
３が設けられている。磁気浮上手段２は、図３にも示す
ように、移動体Ａの前後左右４箇所に分散配置するよう
に下部フレーム１に取り付けられ、各磁気浮上手段２は
永久磁石２ａと一対の電磁石２ｂからなる。
な断面形状を有する。その上部の水平鍔部の下面には、
移動体Ａの磁気浮上手段２が吸引作用する浮上用磁性体
３が設けられている。磁気浮上手段２は、図３にも示す
ように、移動体Ａの前後左右４箇所に分散配置するよう
に下部フレーム１に取り付けられ、各磁気浮上手段２は
永久磁石２ａと一対の電磁石２ｂからなる。
【００１３】永久磁石２ａの磁束は一対の電磁石２ｂの
コアを通り、空隙を通って浮上用磁性体３を通り、磁気
回路を形成している。従って、電磁石２ｂの励磁電流を
制御することにより永久磁石２ａの浮上用磁性体３に対
する吸引力を強めたり弱めたりすることができる。又、
各磁気浮上手段２には、浮上用磁性体３との間隔を検出
する渦電流式のギャップセンサ４が設けられ、この検出
情報等に基づいて電磁石２の励磁電流を制御して移動体
ＡをガイドレールＢに対して浮上させる制御を行なう制
御手段が移動体Ａに設けられている。尚、磁気浮上制御
については後述する。
コアを通り、空隙を通って浮上用磁性体３を通り、磁気
回路を形成している。従って、電磁石２ｂの励磁電流を
制御することにより永久磁石２ａの浮上用磁性体３に対
する吸引力を強めたり弱めたりすることができる。又、
各磁気浮上手段２には、浮上用磁性体３との間隔を検出
する渦電流式のギャップセンサ４が設けられ、この検出
情報等に基づいて電磁石２の励磁電流を制御して移動体
ＡをガイドレールＢに対して浮上させる制御を行なう制
御手段が移動体Ａに設けられている。尚、磁気浮上制御
については後述する。
【００１４】ガイドレールＢの底部に一次側コイル５が
設けられ、移動体Ａの下部フレーム１に二次導体６が支
持部材６ｂを介して設けられ、両者５，６で移動体Ａに
推進力を与えるリニアモータを構成している。尚、二次
導体６には磁性体プレート６ａが貼り合わされている。
移動体Ａは、一次側コイル５にて発生される誘導磁界に
よって二次導体６を介して推進力を与えられることにな
る。
設けられ、移動体Ａの下部フレーム１に二次導体６が支
持部材６ｂを介して設けられ、両者５，６で移動体Ａに
推進力を与えるリニアモータを構成している。尚、二次
導体６には磁性体プレート６ａが貼り合わされている。
移動体Ａは、一次側コイル５にて発生される誘導磁界に
よって二次導体６を介して推進力を与えられることにな
る。
【００１５】一次側コイル５は、設備コストを下げるた
めにガイドレールＢに沿って一定間隔毎に設けられ、移
動体Ａはその間を慣性走行する。但し、各ステーション
ＳＴの設置箇所及びその前後箇所には必ず一次側コイル
５が設けられ、移動体Ａを停止させる際の減速や発進さ
せる際の加速を行なう。
めにガイドレールＢに沿って一定間隔毎に設けられ、移
動体Ａはその間を慣性走行する。但し、各ステーション
ＳＴの設置箇所及びその前後箇所には必ず一次側コイル
５が設けられ、移動体Ａを停止させる際の減速や発進さ
せる際の加速を行なう。
【００１６】又、移動体ＡがステーションＳＴに停止し
ているとき、磁気浮上したままの移動体Ａを所定位置に
保持するために、停止保持用電磁石７がガイドレールＢ
のステーション設置箇所に設けられ、その電磁石７が吸
引作用する磁性体８が移動体Ａの下部フレーム１に取り
付けられている。磁性体８は、移動体Ａの前後左右４箇
所に設けられ、それらに対応して各ステーションＳＴの
停止保持用電磁石７も左右４箇所に設けられている。
ているとき、磁気浮上したままの移動体Ａを所定位置に
保持するために、停止保持用電磁石７がガイドレールＢ
のステーション設置箇所に設けられ、その電磁石７が吸
引作用する磁性体８が移動体Ａの下部フレーム１に取り
付けられている。磁性体８は、移動体Ａの前後左右４箇
所に設けられ、それらに対応して各ステーションＳＴの
停止保持用電磁石７も左右４箇所に設けられている。
【００１７】以上のように、移動体Ａは一次側コイル５
と二次導体６によって構成される地上一次タイプのリニ
アモータにより、地上側の制御によって移動走行し、ス
テーションＳＴにおける停止保持も地上側から制御され
る。一次側コイル５の制御には、ステーションＳＴとそ
の前後における加速発進及び減速停止、ステーションＳ
Ｔ間における中間加速及び減速がある。地上側の制御装
置は、一次側コイル５に発生させる誘導磁界の方向及び
周波数を変えることによりこれらの制御を行う。
と二次導体６によって構成される地上一次タイプのリニ
アモータにより、地上側の制御によって移動走行し、ス
テーションＳＴにおける停止保持も地上側から制御され
る。一次側コイル５の制御には、ステーションＳＴとそ
の前後における加速発進及び減速停止、ステーションＳ
Ｔ間における中間加速及び減速がある。地上側の制御装
置は、一次側コイル５に発生させる誘導磁界の方向及び
周波数を変えることによりこれらの制御を行う。
【００１８】移動体Ａにも制御手段９が搭載されている
が、この制御手段９は、図４に示すように、前記電磁石
２ｂの励磁電流を駆動回路１０を介して制御するととも
に、ステーションＳＴとの間で通信手段１１、１２を介
して光通信による情報の授受を行なうことを主な機能と
する。授受を行なう情報としては、移動体Ａの識別番号
や積荷情報の他、バッテリーの充放電に関する情報、発
進・停止情報等がある。
が、この制御手段９は、図４に示すように、前記電磁石
２ｂの励磁電流を駆動回路１０を介して制御するととも
に、ステーションＳＴとの間で通信手段１１、１２を介
して光通信による情報の授受を行なうことを主な機能と
する。授受を行なう情報としては、移動体Ａの識別番号
や積荷情報の他、バッテリーの充放電に関する情報、発
進・停止情報等がある。
【００１９】電磁石２ｂは、移動体Ａの前後左右４箇所
に分散配置された各磁気浮上手段２に一対ずつ設けられ
ている。一対の電磁石２ｂは直列接続され、駆動回路１
０にて励磁される。図４では、省略しているが、駆動回
路１０は４個設けられ、夫々が前後左右４箇所の磁気浮
上手段２（電磁石２ｂ）の駆動を各別に担当する。制御
手段９は、４個の駆動回路１０に励磁電流の大きさ及び
極性の情報を各別に与える。４個の駆動回路１０の出力
（励磁電流）は、各別に制御手段９にフィードバックさ
れている。又、前述の４個のギャップセンサ４の検出情
報も各別に制御手段９に入力されている。
に分散配置された各磁気浮上手段２に一対ずつ設けられ
ている。一対の電磁石２ｂは直列接続され、駆動回路１
０にて励磁される。図４では、省略しているが、駆動回
路１０は４個設けられ、夫々が前後左右４箇所の磁気浮
上手段２（電磁石２ｂ）の駆動を各別に担当する。制御
手段９は、４個の駆動回路１０に励磁電流の大きさ及び
極性の情報を各別に与える。４個の駆動回路１０の出力
（励磁電流）は、各別に制御手段９にフィードバックさ
れている。又、前述の４個のギャップセンサ４の検出情
報も各別に制御手段９に入力されている。
【００２０】制御手段９は、ギャップセンサ４の検出情
報に基づいて、磁気浮上手段２と浮上用磁性体３との間
隔が適正間隔になるように、換言すれば磁気浮上量が所
定量となるように、電磁石２ｂの励磁電流を制御する。
そして、永久磁石２ａの併用により、電磁石２ｂの励磁
電流を少なくすると共に、積荷の重さに応じて上記適正
間隔を変え、定常的な励磁電流ができるだけゼロに近づ
くように制御する。上記の、励磁電流のフィードバック
はこの制御のために行っている。
報に基づいて、磁気浮上手段２と浮上用磁性体３との間
隔が適正間隔になるように、換言すれば磁気浮上量が所
定量となるように、電磁石２ｂの励磁電流を制御する。
そして、永久磁石２ａの併用により、電磁石２ｂの励磁
電流を少なくすると共に、積荷の重さに応じて上記適正
間隔を変え、定常的な励磁電流ができるだけゼロに近づ
くように制御する。上記の、励磁電流のフィードバック
はこの制御のために行っている。
【００２１】又、移動体Ａが走行中は、前後左右４箇所
の電磁石２ｂの励磁電流を左右で異ならせることによ
り、車体を傾斜させる。例えば図１に示すように左に傾
けるためには、左側２箇所の電磁石２ｂの励磁電流を負
極性（永久磁石２ａによる磁気浮上力を弱める極性）に
励磁し、右側２箇所の電磁石２ｂの励磁電流を正極性
（永久磁石２ａによる磁気浮上力を強める極性）に励磁
する。
の電磁石２ｂの励磁電流を左右で異ならせることによ
り、車体を傾斜させる。例えば図１に示すように左に傾
けるためには、左側２箇所の電磁石２ｂの励磁電流を負
極性（永久磁石２ａによる磁気浮上力を弱める極性）に
励磁し、右側２箇所の電磁石２ｂの励磁電流を正極性
（永久磁石２ａによる磁気浮上力を強める極性）に励磁
する。
【００２２】一方、移動体ＡがステーションＳＴに停止
中は、図２に示すように、前後左右４箇所の電磁石２ｂ
の励磁電流をほぼ等しく、且つ、前述したように定常電
流がほぼゼロとなるように制御して、車体をほぼ水平に
する。つまり、移動体Ａが停止中は荷載置部１３が荷移
載用姿勢（ほぼ水平）となり、且つ、移動体Ａが走行中
は荷載置部１３が荷移載用姿勢から傾斜した荷搬送用姿
勢となるように４箇所の磁気浮上手段を制御する。上記
荷移載用姿勢では、図２から明らかなように、ガイドレ
ールＢの浮上用磁性体３と複数個の磁気浮上手段２との
間隔を各磁気浮上手段２間でほぼ等しくしており、上記
荷搬送用姿勢では、図１から明らかなように、浮上用磁
性体３と複数個の磁気浮上手段２との間隔を磁気浮上手
段２間で異ならせている。尚、荷移載用姿勢と荷搬送用
姿勢との切換は、ステーションＳＴからの指令に基づい
て行われる。
中は、図２に示すように、前後左右４箇所の電磁石２ｂ
の励磁電流をほぼ等しく、且つ、前述したように定常電
流がほぼゼロとなるように制御して、車体をほぼ水平に
する。つまり、移動体Ａが停止中は荷載置部１３が荷移
載用姿勢（ほぼ水平）となり、且つ、移動体Ａが走行中
は荷載置部１３が荷移載用姿勢から傾斜した荷搬送用姿
勢となるように４箇所の磁気浮上手段を制御する。上記
荷移載用姿勢では、図２から明らかなように、ガイドレ
ールＢの浮上用磁性体３と複数個の磁気浮上手段２との
間隔を各磁気浮上手段２間でほぼ等しくしており、上記
荷搬送用姿勢では、図１から明らかなように、浮上用磁
性体３と複数個の磁気浮上手段２との間隔を磁気浮上手
段２間で異ならせている。尚、荷移載用姿勢と荷搬送用
姿勢との切換は、ステーションＳＴからの指令に基づい
て行われる。
【００２３】上記のように、移動体Ａが停止中に車体を
ほぼ水平にするのは、移載装置によって行われる移動体
ＡとステーションＳＴ間での荷物の積み卸しを容易にす
るためであり、移動体Ａが走行中に車体を傾斜させるの
は積荷状態の安定のためである。つまり、例えば移動体
Ａの荷載置部１３に、荷物である複数の半導体ウエハー
１４を収納したキャリア１５を半導体ウエハー１４が縦
置き状態になるように載置した場合、図１のように荷載
置部１３を傾斜させたほうが半導体ウエハー１４のガタ
つきが防止され積荷状態が安定する。又、カーブを走行
する際に積荷にかかる遠心力に対抗して積荷状態を安定
させるためにも移動体の荷載置部を横方向に傾斜させた
ほうが有利である。
ほぼ水平にするのは、移載装置によって行われる移動体
ＡとステーションＳＴ間での荷物の積み卸しを容易にす
るためであり、移動体Ａが走行中に車体を傾斜させるの
は積荷状態の安定のためである。つまり、例えば移動体
Ａの荷載置部１３に、荷物である複数の半導体ウエハー
１４を収納したキャリア１５を半導体ウエハー１４が縦
置き状態になるように載置した場合、図１のように荷載
置部１３を傾斜させたほうが半導体ウエハー１４のガタ
つきが防止され積荷状態が安定する。又、カーブを走行
する際に積荷にかかる遠心力に対抗して積荷状態を安定
させるためにも移動体の荷載置部を横方向に傾斜させた
ほうが有利である。
【００２４】以下、別実施例について列記する。 上
記実施例では、半導体ウエハー１４が縦置き状態になる
ようにキャリア１５を移動体Ａの荷載置部１３に載置し
た場合を示したが、半導体ウエハー１４が横置き状態に
なるように載置した場合も、荷載置部１３を傾斜させた
ほうが、半導体ウエハーがキャリアから飛び出しにくい
といった点で有利である。
記実施例では、半導体ウエハー１４が縦置き状態になる
ようにキャリア１５を移動体Ａの荷載置部１３に載置し
た場合を示したが、半導体ウエハー１４が横置き状態に
なるように載置した場合も、荷載置部１３を傾斜させた
ほうが、半導体ウエハーがキャリアから飛び出しにくい
といった点で有利である。
【００２５】 上記実施例では、前後左右４箇所の電
磁石２ｂの励磁電流を左右で異ならせることにより、車
体を左右方向に傾斜させる場合を示したが、前後方向で
異ならせることにより、車体を前後方向に傾斜させるこ
とも考えられる。これは、加速又は減速時に積荷にかか
る慣性力に対抗して積荷状態を安定させるために有効で
ある。
磁石２ｂの励磁電流を左右で異ならせることにより、車
体を左右方向に傾斜させる場合を示したが、前後方向で
異ならせることにより、車体を前後方向に傾斜させるこ
とも考えられる。これは、加速又は減速時に積荷にかか
る慣性力に対抗して積荷状態を安定させるために有効で
ある。
【００２６】 磁気浮上手段の具体構成については上
記実施例のように永久磁石を併用したものである必要は
必ずしもなく、電磁石のみで構成されていてもよい。
又、移動体に分散配置する箇所も必ずしも前後左右４箇
所である必要もない。
記実施例のように永久磁石を併用したものである必要は
必ずしもなく、電磁石のみで構成されていてもよい。
又、移動体に分散配置する箇所も必ずしも前後左右４箇
所である必要もない。
【００２７】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。
【図１】本実施例に係る磁気浮上式搬送設備の移動体及
びガイドレールの構造を示す断面図（移動体が走行中）
びガイドレールの構造を示す断面図（移動体が走行中）
【図２】移動体及びガイドレールの構造を示す断面図
（移動体が停止中）
（移動体が停止中）
【図３】移動体及びガイドレールの構造を示す側面図
【図４】移動体の制御手段による制御のブロック図
【図５】磁気浮上式搬送設備の一部を示す平面レイアウ
ト図
ト図
Ａ 移動体 Ｂ ガイドレール ２ 浮上手段 ２ａ 永久磁石 ２ｂ 電磁石 ９ 制御手段 １３ 荷載置部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ６５Ｇ 54/02 Ｂ６５Ｇ 54/02 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68 B60L 13/02 - 13/10 B61B 13/08 B61D 27/00 B65G 54/00 - 54/02 G05D 1/02
Claims (3)
- 【請求項１】 ガイドレール（Ｂ）に沿って走行する移
動体（Ａ）を前記ガイドレール（Ｂ）に対して浮上させ
る複数個の磁気浮上手段（２）が前記移動体（Ａ）に分
散配置され、前記複数個の磁気浮上手段（２）の作動を
制御する制御手段（９）が設けられた磁気浮上式搬送設
備であって、前記制御手段（９）は、前記移動体（Ａ）
が停止中は荷載置部（１３）が荷移載用姿勢となり、且
つ、前記移動体（Ａ）が走行中は前記荷載置部（１３）
が前記荷移載用姿勢から傾斜させた荷搬送用姿勢となる
ように、前記複数個の磁気浮上手段（２）を制御するよ
うに構成されている磁気浮上式搬送設備。 - 【請求項２】 前記制御手段（９）は、前記ガイドレー
ル（Ｂ）の浮上用磁性体（３）と前記複数個の磁気浮上
手段（２）との間隔を各磁気浮上手段（２）間でほぼ等
しくして前記荷移載用姿勢となるように、且つ、前記浮
上用磁性体 （３）と前記複数個の磁気浮上手段（２）と
の間隔を前記磁気浮上手段（２）間で異ならせて前記荷
搬送用姿勢となるように、前記複数個の磁気浮上手段
（２）を制御するように構成されている請求項１記載の
磁気浮上式搬送設備。 - 【請求項３】 前記磁気浮上手段（２）が、永久磁石
（２ａ）と電磁石（２ｂ）とから構成され、前記制御手
段（９）が、前記電磁石（２ｂ）の励磁電流を制御する
ように構成されている請求項１又は２記載の磁気浮上式
搬送設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4000499A JP2882501B2 (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | 磁気浮上式搬送設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4000499A JP2882501B2 (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | 磁気浮上式搬送設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05181530A JPH05181530A (ja) | 1993-07-23 |
| JP2882501B2 true JP2882501B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=11475454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4000499A Expired - Fee Related JP2882501B2 (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | 磁気浮上式搬送設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2882501B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4538729B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2010-09-08 | 株式会社ダイフク | 搬送車 |
| KR100954565B1 (ko) * | 2008-02-14 | 2010-04-23 | 현대로템 주식회사 | 자기부상열차의 대차에서 전자석 편심 배치를 이용한 횡방향 댐핑 제어 방법 |
| DE102021126326A1 (de) * | 2021-10-11 | 2023-04-13 | Max Bögl Stiftung & Co. Kg | Magnetschwebebahn mit Querpositioniereinheit |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0638427Y2 (ja) * | 1987-06-16 | 1994-10-05 | 東京エレクトロン東北株式会社 | 磁気浮上型ウエハ搬送装置 |
| JPH0728483B2 (ja) * | 1987-11-20 | 1995-03-29 | 株式会社安川電機 | 磁気浮上搬送装置 |
| JPH03124043A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-05-27 | Nec Corp | ウェハーカセット収納ｂｏｘ |
-
1992
- 1992-01-07 JP JP4000499A patent/JP2882501B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05181530A (ja) | 1993-07-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |