JP2502679Y2 - 浮上式搬送設備 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、移動体をガイドレール
に対して浮上させる浮上手段が設けられた浮上式搬送設
備に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかる浮上式搬送設備としては、例え
ば、半導体製造工場のクリーンルーム等において用いら
れるリニアモータを利用した磁気浮上式の搬送設備があ
る（例えば特開昭６３−１４０６０２号公報参照）。か
かる搬送設備においては、一本のガイドレールに複数の
移動体を走行させている。そして、ガイドレールを複数
の区間に分け、一つの区間内には一台の移動体のみを在
席させる区間制御を行うことにより移動体同士の衝突・
干渉を回避している。

【０００３】しかし、検出エラー等に起因して移動体が
他の移動体に衝突する場合があり、かかる衝突時の衝撃
を吸収するために、従来、移動体の前後に衝撃吸収用バ
ンパーが設けられていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】上記のような衝撃吸収
用バンパーは、移動体の構造を複雑なものとし、軽量化
の要請にも反する。本考案は、かかる実情に鑑みてなさ
れたものであって、その目的は、移動体の衝撃吸収用バ
ンパーを省略し、移動体の軽量化を図ることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本考案の浮上式搬送設備
は、移動体をガイドレールに対して浮上させる浮上手段
が設けられたものであって、前記移動体のボディカバー
が、移動体本体よりも前方及び後方に突出する状態に樹
脂にて構成され、且つ、その前方突出部及び後方突出部
の移動体内方側への弾性後退変形を許容すべく、その中
間部のみが移動体本体に取り付けられている点にある。

【０００６】

【作用】上記構成によれば、移動体のボディカバーの前
方突出部及び後方突出部が従来の衝撃吸収用バンパーの
働きをする。即ち、弾性後退変形により衝突時の衝撃を
吸収する。

【０００７】

【考案の効果】従って、衝撃吸収用バンパーを省略し、
移動体の軽量化を図ることができるものとなった。

【０００８】

【実施例】以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明
する。本実施例の無人搬送設備は、クリーンルーム内で
半導体ウエハー等の荷物を自動搬送するためのものであ
って、図４に示すように、移動体Ａの走行経路にガイド
レールＢが設けられている。移動体Ａは、後述のように
して磁気浮上し、リニアモータによる推進力でガイドレ
ールＢに沿って移動する。又、移動体Ａが停止して荷物
の積み卸しを行う複数のステーションＳＴがガイドレー
ルＢに沿って設けられている。

【０００９】ガイドレールＢは、図２に示すような断面
形状を有する。その上部の水平鍔部の下面には、移動体
Ａの浮上用電磁石２が吸引作用する浮上用磁性体３が設
けられている。つまり、浮上用電磁石２と浮上用磁性体
３とによって移動体ＡをガイドレールＢに対して浮上さ
せる浮上手段が構成されている。移動体Ａは、浮上用電
磁石２と浮上用磁性体３との間隔を検出するギャップセ
ンサ（図示せず）の検出値に基づき浮上用電磁石２の励
磁電力を制御して浮上する。浮上用電磁石２と浮上用磁
性体３との吸引力は移動体Ａの横方向についても適正位
置に規制する働きをする。

【００１０】ガイドレールＢの底部にはリニアモータを
構成する一次側コイル４と磁性体プレート５が、間隙を
隔てて設けられている。一方、移動体Ａの下部には、二
次導体６が支持部材６ａを介して取り付けられている。
つまり、移動体Ａの下部から鉛直方向に垂れ下がった板
状の支持部材６ａの下端に水平板状の二次導体６の中央
部が固着され、断面が逆Ｔ字形に構成されている。この
二次導体６は、一次側コイル４と磁性体プレート５との
間隙を通過する位置関係にあり、移動体Ａは、一次側コ
イル４に発生される誘導磁界によって二次導体６を介し
て推進力を与えられることになる。

【００１１】尚、一次側コイル４及び磁性体プレート５
等は、設備コストを下げるためにガイドレールＢに沿っ
て一定間隔毎に設けられ、移動体Ａはその間を慣性走行
する。但し、各ステーションＳＴの設置箇所及びその前
後箇所には必ず一次側コイル４及び磁性体プレート５が
設けられ、移動体Ａを停止させる際の減速や発進させる
際の加速を行っている。

【００１２】又、移動体ＡがステーションＳＴに停止し
ているとき、磁気浮上したままの移動体Ａを所定位置に
保持するために、停止保持用電磁石７がガイドレールＢ
側に設けられ、その電磁石７が吸引作用する磁性体８が
移動体Ａに設けられている。磁性体８は、移動体Ａの前
後左右４箇所に設けられ、それらに対応して各ステーシ
ョンＳＴの停止保持用電磁石７も左右４箇所に設けられ
ている。

【００１３】以上のように、移動体Ａは一次側コイル
４、磁性体プレート５、及び二次導体６によって構成さ
れる地上一次タイプのリニアモータにより、地上側の制
御によって移動走行し、ステーションＳＴにおける停止
保持も地上側から制御される。一次側コイル４の制御に
は、前述したように、ステーションＳＴにおける加速発
進及び減速停止、ステーションＳＴ間における中間加速
及び減速等がある。地上側の制御装置は、一次側コイル
４に発生させる誘導磁界の方向及び周波数を変えること
によりこれらの制御を行う。

【００１４】次に、移動体Ａの構造について図１乃至図
３に基づいて説明を加える。図示するように、移動体本
体であるフレーム１１に前述の浮上用電磁石２や二次導
体６の他、制御基板１２等が取り付けられている。又、
フレーム１１の左右には、パワースイッチ等が取り付け
られたスイッチパネル１３及びＩＤカード１４が取り付
けられている。ＩＤカード１４は、移動体Ａの行先情報
や積み荷情報等を記憶する記憶媒体であって、ステーシ
ョンＳＴから光通信によりリード／ライトすることがで
きる。

【００１５】上記フレーム１１には、樹脂製のボディカ
バー１５が被せられている。ボディカバー１５は、図１
及び図３に示すように前方及び後方がフレーム１１より
も突出する状態で、中間部のみがフレーム１１に取り付
けられている。即ち、上面４箇所１６〜１９でねじ止め
され、前方突出部１５ａ及び後方突出部１５ｂはフレー
ム１１に対しフリー状態になっている。これにより、移
動体Ａが万一、先行の移動体に衝突し、或いは後続の移
動体に衝突されたときは、前方突出部１５ａ或いは後方
突出部１５ｂが内側へ弾性変形し、衝突の衝撃を吸収す
る構造としている。

【００１６】尚、ボディカバー１５の上面中央部は、図
３に示すように長方形に大きく切り欠かれ、バッテリー
２０が搭載されている。このバッテリー２０は、一定時
間毎にバッテリー交換ステーションにて交換される。つ
まり、放電したバッテリー２０が取り外され、充電済の
バッテリー２０が搭載される。バッテリー２０の中央部
２箇所の穴２０ａは、バッテリー交換の際に交換装置の
引っ掛け部が挿入され、バッテリー２０を吊り上げるた
めの穴である。

【００１７】上記実施例は、磁気浮上式の搬送設備に本
考案を適用したものであるが、浮上方法はこれに限ら
ず、例えば、エア吹き出しによる浮上でもよい。いずれ
にしても、浮上式の搬送設備においては移動体の自重を
軽くする必要がある一方、ガイドレールとの摩擦がない
ので、何らかの原因で制動が効かずに移動体同士が衝突
するおそれがある。かかる衝突時の衝撃を吸収する方法
として本考案を適用することができる。

【００１８】尚、実用新案登録請求の範囲の項に図面と
の対照を便利にするために符号を記すが、該記入により
本考案は添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例にかかる浮上式搬送設備の移動体及び
ガイドレールの構造を示す側面図

【図２】同じく移動体及びガイドレールの構造を示す断
面図

【図３】移動体等の構造を示す平面図

【図４】搬送設備の一部を示す平面レイアウト図

【符号の説明】

Ａ 移動体 Ｂ ガイドレール ２，３ 浮上手段 １１ 移動体本体 １５ ボディーカバー １５ａ 前方突出部 １５ｂ 後方突出部

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 移動体（Ａ）をガイドレール（Ｂ）に対
   して浮上させる浮上手段（２，３）が設けられた浮上式
   搬送設備であって、前記移動体（Ａ）のボディカバー
   （１５）が、移動体本体（１１）よりも前方及び後方に
   突出する状態に樹脂にて構成され、且つ、その前方突出
   部（１５ａ）及び後方突出部（１５ｂ）の移動体内方側
   への弾性後退変形を許容すべく、その中間部のみが移動
   体本体（１１）に取り付けられている浮上式搬送設備。