JPH0638427Y2 - 磁気浮上型ウエハ搬送装置 - Google Patents
磁気浮上型ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH0638427Y2 JPH0638427Y2 JP1987092424U JP9242487U JPH0638427Y2 JP H0638427 Y2 JPH0638427 Y2 JP H0638427Y2 JP 1987092424 U JP1987092424 U JP 1987092424U JP 9242487 U JP9242487 U JP 9242487U JP H0638427 Y2 JPH0638427 Y2 JP H0638427Y2
- Authority
- JP
- Japan
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- levitation
- linear motor
- wafer transfer
- guide rail
- main body
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 22
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 19
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 7
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- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010574 gas phase reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体に用いるCVD装置やLPE装置などの真
空容器に関するものであり、更に述べると、真空容器内
でダストを発生させることなく、ウエハを移動するため
のウエハ搬送装置である。
空容器に関するものであり、更に述べると、真空容器内
でダストを発生させることなく、ウエハを移動するため
のウエハ搬送装置である。
従来の技術 真空容器、例えば、CVD装置内でウエハを移動する場合
には、ウエハ搬送装置が用いられている。
には、ウエハ搬送装置が用いられている。
従来のウエハ搬送装置は、真空容器内に設けたガイドレ
ールに、軸受を介して載置台を設け該載置台にウエハの
入ったウエハボートを乗せてウエハを移動させている。
ールに、軸受を介して載置台を設け該載置台にウエハの
入ったウエハボートを乗せてウエハを移動させている。
考案が解決しようとする問題点 従来例のウエハ搬送装置では、軸受としてベアリングや
リニアモーションベアリングなどの接触型軸受を使用し
ている。
リニアモーションベアリングなどの接触型軸受を使用し
ている。
ところが、この接触型軸受を用いると、ガイドレールと
ベアリングとの間に摩擦が生じ塵芥（ダスト）が発生す
る。
ベアリングとの間に摩擦が生じ塵芥（ダスト）が発生す
る。
そして、このダストがウエハに付着すると、半導体装置
が不良となるため歩留が悪くなる。
が不良となるため歩留が悪くなる。
特に微細加工、例えば、４メガビットに加工する場合に
は、このダストの発生は極めて重大問題となる。
は、このダストの発生は極めて重大問題となる。
この考案は、上記事情に鑑み、ダストの発生しないウエ
ハ搬送措置を提供するとを目的とする。
ハ搬送措置を提供するとを目的とする。
問題点を解決するための手段 この考案は、真空容器内に磁性体のガイドレールを設
け、該ガイドレールに複数の浮上用磁石及びリニヤモー
タ用コイルを備えた本体を遊嵌合した磁気浮上型ウエハ
搬送装置であって、前記リニヤモータ用コイルが該ガイ
ドレールを介して対向しており、前記浮上用磁石が該ガ
イドレールを介して対向しており、かつ、該浮上用磁石
が該リニヤモータ用コイルの両側にそれぞれ配設されて
いることを特徴とする磁気浮上型ウエハ搬送装置により
前記目的を達成しようとするものである。
け、該ガイドレールに複数の浮上用磁石及びリニヤモー
タ用コイルを備えた本体を遊嵌合した磁気浮上型ウエハ
搬送装置であって、前記リニヤモータ用コイルが該ガイ
ドレールを介して対向しており、前記浮上用磁石が該ガ
イドレールを介して対向しており、かつ、該浮上用磁石
が該リニヤモータ用コイルの両側にそれぞれ配設されて
いることを特徴とする磁気浮上型ウエハ搬送装置により
前記目的を達成しようとするものである。
作用 浮上用磁石により浮上用磁場が発生し、本体がガイドレ
ールから離間して浮上する。
ールから離間して浮上する。
又、リニアモータ用コイルに給電すると移動磁界が生
じ、該本体は、浮上しながらガイドレールに沿って移動
する。
じ、該本体は、浮上しながらガイドレールに沿って移動
する。
実施例 この考案の一実施例を添付図面により説明するが、同一
図面符号は、その名称も機能も同一である。
図面符号は、その名称も機能も同一である。
真空容器、例えば、気相反応装置１をロードロック室
（図示せず）に接続し、これらの装置内に磁性体のガイ
ドレール３を敷設し、該ガイドレール３に本体４を遊嵌
合する。
（図示せず）に接続し、これらの装置内に磁性体のガイ
ドレール３を敷設し、該ガイドレール３に本体４を遊嵌
合する。
この本体４には、浮上用磁石とリニアモータ用コイルが
設けられている。
設けられている。
浮上用磁石として、浮上用磁場コイル５を有する電磁石
を用いるが、永久磁石でもよい。
を用いるが、永久磁石でもよい。
この浮上用磁場コイル５は、上部磁場コイル5a、下部磁
場コイル5b、両側部磁場コイル（図示せず）とからな
り、このコイル５は、モータ用コイル６の両側に夫々配
設されている。
場コイル5b、両側部磁場コイル（図示せず）とからな
り、このコイル５は、モータ用コイル６の両側に夫々配
設されている。
このコイル５に、電源（図示せず）から給電すると、浮
上用磁場が発生し本体４をガイドレール３から離間せし
め浮上させる。
上用磁場が発生し本体４をガイドレール３から離間せし
め浮上させる。
この時、コイル５が、リニアモータ用コイル６の両側に
設けられ、夫々４つの磁場コイルにより構成されている
ので、本体４は、極めてバランス良く浮上する。
設けられ、夫々４つの磁場コイルにより構成されている
ので、本体４は、極めてバランス良く浮上する。
リニアモータ用コイル６は、複数のリニアモータ用コイ
ルからなり、該コイル６に電源（図示せず）から給電す
ると、移動磁界が生じ、浮上している本体４はガイドレ
ール３に沿って矢印Ａ方向（水平方向）に移動する。
ルからなり、該コイル６に電源（図示せず）から給電す
ると、移動磁界が生じ、浮上している本体４はガイドレ
ール３に沿って矢印Ａ方向（水平方向）に移動する。
このリニアモータ用コイル６の代わりに、リニアステッ
ピング用コイルを用いてもよいことは勿論である。
ピング用コイルを用いてもよいことは勿論である。
なお、浮上用磁場コイル５、及び、リニアモータ用コイ
ル６を樹脂でモールドすると真空中におけるコイル表面
よりのアウトガス放出を減少させることができるので好
都合である。
ル６を樹脂でモールドすると真空中におけるコイル表面
よりのアウトガス放出を減少させることができるので好
都合である。
なお、本体４には、ウエハＷを収容したウエハボート７
がセットされており、本体４の移動に伴いウエハも移動
する。
がセットされており、本体４の移動に伴いウエハも移動
する。
上記実施例では、水平方向に本体４を移動する場合につ
いて説明したが、ガイドレール３を垂直状態にすると、
垂直方向に移動できることは勿論である。
いて説明したが、ガイドレール３を垂直状態にすると、
垂直方向に移動できることは勿論である。
この場合、浮上用磁場コイル電源のバッテリーバックア
ップ、本体に直接取り付けるブレーキユニット、タッチ
ダウンベアリングなどの停電対策を施すことにより、本
体の摺動を安全に行うことができる。
ップ、本体に直接取り付けるブレーキユニット、タッチ
ダウンベアリングなどの停電対策を施すことにより、本
体の摺動を安全に行うことができる。
この考案は、以上のように構成したので、本体はガイド
レールから離間し浮上しながら移動する。従って、本体
とガイドレールとの間に摩擦が生じないので、真空容器
内にダストが発生しない。
レールから離間し浮上しながら移動する。従って、本体
とガイドレールとの間に摩擦が生じないので、真空容器
内にダストが発生しない。
それ故、歩留の良い半導体製造を行うことができる。ま
た、リニアモータ用コイルがガイドレールを介して対向
しており、又、前記浮上用磁石が該ガイドレールを介し
て対向しており、かつ、該浮上用磁石が該リニヤモータ
用コイルの両側にそれぞれ配設されているので、本体は
極めてバランス良く浮上する。本体とガイドレールとが
接触してゴミを発生させてウエハを汚すことがなく、
又、本体が傾いて載置されているウエハが変位すること
がないので、常に設計通りにウエハの搬送を行うことが
できる。
た、リニアモータ用コイルがガイドレールを介して対向
しており、又、前記浮上用磁石が該ガイドレールを介し
て対向しており、かつ、該浮上用磁石が該リニヤモータ
用コイルの両側にそれぞれ配設されているので、本体は
極めてバランス良く浮上する。本体とガイドレールとが
接触してゴミを発生させてウエハを汚すことがなく、
又、本体が傾いて載置されているウエハが変位すること
がないので、常に設計通りにウエハの搬送を行うことが
できる。
第１図、第２図は、この考案の実施例を示す図で、第１
図は、第２図のＩ−Ｉ線断面図拡大図の一部を示す図、
第２図は、斜視図である。 １……真空容器 ３……ガイドレール ５……浮上用磁場コイル ６……リニアモータ用コイル
図は、第２図のＩ−Ｉ線断面図拡大図の一部を示す図、
第２図は、斜視図である。 １……真空容器 ３……ガイドレール ５……浮上用磁場コイル ６……リニアモータ用コイル
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器内に磁性体のガイドレールを設
け、該ガイドレールに複数の浮上用磁石及びリニヤモー
タ用コイルを備えた本体を遊嵌合した磁気浮上型ウエハ
搬送装置であって、前記リニヤモータ用コイルが該ガイ
ドレールを介して対向しており、前記浮上用磁石が該ガ
イドレールを介して対向しており、かつ、該浮上用磁石
が該リニヤモータ用コイルの両側にそれぞれ配設されて
いることを特徴とする磁気浮上型ウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987092424U JPH0638427Y2 (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 | 磁気浮上型ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987092424U JPH0638427Y2 (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 | 磁気浮上型ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201332U JPS63201332U (ja) | 1988-12-26 |
| JPH0638427Y2 true JPH0638427Y2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=30954118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987092424U Expired - Lifetime JPH0638427Y2 (ja) | 1987-06-16 | 1987-06-16 | 磁気浮上型ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638427Y2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2882501B2 (ja) * | 1992-01-07 | 1999-04-12 | 株式会社ダイフク | 磁気浮上式搬送設備 |
| JPH0616206A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-01-25 | Shinko Electric Co Ltd | クリーンルーム内搬送システム |
| CN109699190B (zh) * | 2017-08-24 | 2023-04-28 | 应用材料公司 | 在真空处理系统中非接触地传输装置及方法 |
| JP6796684B2 (ja) | 2019-05-30 | 2020-12-09 | 日本金銭機械株式会社 | 紙葉類の搬送機構 |
| JP6796740B1 (ja) * | 2020-08-11 | 2020-12-09 | 日本金銭機械株式会社 | 空気流制御装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6026130A (ja) * | 1983-07-21 | 1985-02-09 | Sanshin Ind Co Ltd | 内燃機関の負圧制御配管 |
| JPS60237848A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-26 | Mitsubishi Electric Corp | リニアモ−タ搬送装置 |
| JPS6293120A (ja) * | 1985-10-16 | 1987-04-28 | Daifuku Co Ltd | リニアモ−タ使用の荷搬送装置 |
-
1987
- 1987-06-16 JP JP1987092424U patent/JPH0638427Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63201332U (ja) | 1988-12-26 |
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