JPS60107451A - 移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、半導体製造工程において用いられる半導体ウ
ェーハ（以下、ウェーハと記す。）の移送装置に関する
。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

近時、半導体の微細化が進んだ結果、塵埃の粒径が０．
１μｍ以下でないと半導体装置の歩留に悪影響を与える
ようになってきている。ところで、塵埃発生源の一つと
してウェーハの移送装置がある。

従来においては、この移送装置としては、王として二つ
の方式があった。その一つは、ウェーハを無端送行ベル
トによね移送する方式であり、他の一つは、一定方向に
流れる空気膜により移送する方式である。

しかるに、前者のベルトにより移送する方式は。

−７ｆＦ１１’を構成している空気に含まれている塵埃
がウェーハに付着する欠点をもっている。したがって、
いずれの方式も、高度に集積化が進んだ半導体装置用の
ウェーハの移送には適用がむずかしいものとなっている
。

〔発明の目的〕

本発明は、上記事情を勘案して外されたもので、ウェー
ハへ塵埃が付着することがない移送装置を提供すること
を目的とする。

〔発明の概要〕

外気から内部が遮断された密封室内に一定方向に送行駆
動される移動体を内股し、この移動体により密封室の外
側上部にて送行台を磁気的に非接触保持させて移動体と
ともに一体的に送行させるようにし、との送行台に被移
送体を保持させるようにしたものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

本実施例の移送装置は、内部が外部のクリーンルームか
ら遮断された密封室（１）と、この密封室（１）内部に
設けられた移動機構（２）と、密封室（１）上部にて一
定距離だけ浮上して設けられた送行台（３）とからなっ
ている。上記密封室（１）は、ウェー７１（４）移送方
向（図における紙面垂直方向）に直角な断面が長方形を
なし、少なくとも上板は非磁性の例えば合成樹脂板体か
らなっている。また、この密封室（１）の奥行つまり図
における紙面垂直方向の長さは。

ウェーハ（４）の移送に必要人距離だけ設定されている
。さらに、上記移動機構（２）は、密封室（１）の底板
上にウェーハ（４）移送方向に沿って敷設された一対の
案内軌条ｆ５）、（５）と、この案内軌条ｒ５）　、　
ｆ５）にウェーハ（４）移動方向に移動自在に取付けら
れた移動体（６）と、この移動体（６）の上部に設置さ
れた複数の永久磁石からなる第１の磁石部（７）と、移
動体（６）の片側側部に固設された電動機（８）と、と
の電動機（８）の回転軸（８ａ）に同軸に連結されたス
プロケット（９）と、電動機（８）に対向する密封室（
１）側板内側にウェーハ（４）移送方向と平行となるよ
うに張設されスプロケット（９）と係合しているチェー
ン０Ｃとからなっている。上記案内軌条（５）　、　［
５）は、突出部（５ａ）、　（５ａ）が上方に突設され
、これら突出部（５ａ）、　（５ａ）に、移動体（６）
の下端部に嵌装された直線運動軸受（［ｉｎｅａｒＭｏ
ｔＩｏｎ　Ｂｅａｒｉｎｇ　）　（１１）　Ｉ　（１１
）が、移動体（６）がわずかな負荷で案内軌条（５）　
、　（５）に沿って移動できるように、係着されている
。また、第１の磁石部（力は、移動体（６）上部両側に
ウェーハ（４）移送方向に沿って多段に埋設された反発
磁石群αの・・・と、これら反発磁石群（１３・・・に
より挾まれるように移動体（６）上部中央部に埋設され
た吸引磁石群Ｑ３１・・・とからなっている。

これら吸引磁石群（１３・・・は、ウェーハ（４）移送
方向に直角方向に３列かつ各列ごとにウェーッ（４）移
送方向に多段配設されている。また、チェーンα０）は
、自重により下方に円弧状に垂れ下がらないように、密
封室（１）に突設された上支持板（１４ａ）と下支持板
（１４ｂ）とによ咬挾持されている。さらに、電動機（
８）への電力の供給は、密封室（１）底板上に案内軌条
（５）　、　（５）とともに並設され、外部電源に接続
された電力供給用軌条（１つに、電動機（８）に突設さ
れたブラシ状の摺動体（１ｅを摺接させることにより行
う。一方、送行台（３）は、直方体状に形成され、少な
くとも下面は、移動体（６）の上面と同一形状になって
いる。そして、との送行台（３）の下面には、第２の磁
石部ａηが設けられている。この第２の磁石部ａ？）は
。

前記反発磁石群α湯・・・に対して同極同志が対向する
ように送行台（３）下部両側にウェーハ移送方向に沿っ
て多段に埋設された反発磁石群（１訃・・と、前記吸引
磁石群α訃・・に対して異極同志が対向するようにこれ
ら反発磁石群αυ・・・に挾まれて埋設された吸引磁石
群（１４３・・・とからなっている。すなわち、反発磁
石群（１カ・・・、（１ｅ・・・は１図において、Ｎ極
同志が対向するように設けられている。また、吸引磁石
群α■・・・、　（ＩＩ・・・は、Ｎ極と８極とが互に
対向するように設けられている。したがって、送行台（
３）は、反発磁石群Ｕ・・・、　（ＩＦｊ・・・の反発
力により密封室（１）上面より一定距離だけ浮上すると
ともに、吸引磁石群（１■・・・、（ｌト・・の吸引力
により密封室（１）に内股されている移動体ＵＫ追従し
て一体的に移動するように位置決めされている。しかし
て、送行台（３）の上部には、凹部−が形成されていて
、ウェーハ（４）を収納するように外っている。

つぎに、上記構成の移送装置の作動について述べる。あ
る装置にて所定の加工を受けたウェーハ（４）を他の装
置まで送る場合、まず当該ウェーハ（４）を送行台（３
）の凹部−に載置する。このとき、送行台（３）は、密
封室（１）上方にて浮上している。ついで。

外部の電源より電力供給用軌条αつ及び摺動体（１６）
を介して電動機（８）へ給電し、この電動機（８）を起
動する。すると、この電動機（８）の回転軸（８ａ）の
回転にともない、スプロケット（９）が回転するが、こ
のスプロケット（９）が係合しているチェーン００によ
る反作用により移動体（６）は、案内軌条（５）　、　
（５）に沿って移動する。この移動体（６）の移動に追
従して、送行台（３）も移動体（６）と一体的に移動す
る１、かくて、送行台（３）が所望位置に到達すると、
電動機（８）への給電を停止し、凹部（２ｔ）よりウェ
ーハ（４）を取り出す。

このように１本実施例の移送装置は、外部のクリーンル
ームから完全に遮断された密封室（１）内部に移動体（
６）をウェーハ（４）移送方向に駆動自在に設置し、密
封室（１）の上板を介して、送行台（３）を移動体（６
）により磁気的に密封室（１）に対して非接触で位置決
め保持するようにしたので、移動体（６）の駆動にとも
なって機械的接触部分から塵埃が発生しても１発生した
塵埃は、密封室（１）内に封止され、外部のクリーンル
ームの清浄度を低下させることがない。したがって、ウ
ェーハ（４）への塵埃の付着がほとんどなくなり、半導
体製品の歩留向上に大きく寄与することができる。とり
わけ、Ｖ−ＬＳＩ（Ｖｅｒｙ　Ｌａｒｇｅ　５ｃａｌｅ
　Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃ１ｒｃｕｉｔ　；超大規模
集積回路）の製品プロセスに本実施例の移送装置を導入
することにより格別の実効を奏する。

なお、上記実施例における反発磁石群（１２）・・・、
０ネ・・・及び吸引磁石群α（至）・・・、←優・・・
の数及び配設位置は適宜に変更してよい。さらに、直線
運動軸受（１１）、Ｑｌ）の代りに静圧軸受を用いても
よい。さらにまた、スプロケット（９）とチェーンαＱ
との代りに、ラックとピニオンを用いてもよい。

〔発明の効果〕

本発明の移送装置は、ウェーハを直接載置する送行台を
目的の場所まで非接触で送行させるとともに、との送行
台を駆動するための機構を密封室に内設したので、発塵
源を完全に遮断して円滑にウェーハを移送することがで
きる。したがって、クリーンルーム内の清浄度が低下す
ることがないので、ウェーハへの塵埃の付着がほとんど
なくなり、半導体製品の歩留向上に大きく寄与するとと
ができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例の移送装置の断面図である。 （１）：密封室、（２）：移動機構、（３）：送行台。 （４）：ウェーハ（被移送体）、　（６Ｂ移動体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内部が外気から遮断された密封室と、この密封室内にて
   一定方向に送行駆動される移動体を有すする移動機構と
   、上記密封室の外側上部にて上記移動体により磁気的に
   非接触保持され、かつ被移送体を保持して上記移動体に
   追従して送行する送行台とを具備するととを特徴とする
   移送装置。