JPH06156730A

JPH06156730A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH06156730A
Application number: JP32863992A
Authority: JP
Inventors: Masao Matsumura; 正夫松村; Satoshi Mori; 敏森
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1992-11-13
Filing date: 1992-11-13
Publication date: 1994-06-03

Abstract

(57)【要約】【目的】隔壁により仕切られた搬送路を、浮上磁極に
より浮上懸架された複数の搬送台が移動自在に走行する
ことのできる搬送装置を提供する。【構成】物品を載置し搬送する搬送台５と、該搬送台
が走行する隔壁により構成された搬送路２０と、該搬送
台を該搬送路中において壁面と接触することなく浮上磁
極により浮上懸架して走行せしめる搬送通路を有する搬
送装置において、前記搬送路２０には複数の搬送通路２
２ａ，２２ｂと、該複数の搬送通路に略直交する搬送通
路２１ａ，２１ｂとを備えることを特徴とする搬送装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は搬送装置に係り、特に、
半導体、液晶産業分野等における高度の清浄度が要求さ
れるウエハ、ガラス基板等のプロセス装置間の搬送に好
適な磁気浮上型の搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】搬送ラインにおいては、タクトタイムの
低減のため物品を搬送する搬送台車を複数同時に走行さ
せることが求められていた。複数の搬送台車を走行させ
る場合、搬送台車同士の衝突を避けるため複線化した
り、搬送台車の退避機構を設けたり様々な工夫が必要と
なるのは、鉄道線と全く同様である。

【０００３】半導体、液晶産業分野等において、ウエ
ハ、ガスラ基板等のプロセス装置間搬送に用いられる搬
送装置は、従来は隔壁内走行するほどの清浄度を要求さ
れていなかったため、図６に示すような隔壁等のない軌
道上を搬送台が走行していた。搬送通路１，２は搬送台
５が走行する隔壁等のないオープンな長い通路である。
搬送通路７，８，９は搬送台５を停止保持するのに十分
な程度の極めて短い通路である。短い搬送通路７，８，
９はスライダー６に搭載されており、搬送通路１，２に
直交する方向に移動自在となっている。そして（Ａ）に
示す状態においては、短い搬送通路９は長い搬送通路１
に連通しており、同様に短い搬送通路８は長い搬送通路
２に連通している。（Ｂ）は、スライダー６を移動させ
たところである。この状態では、短い搬送通路８は、長
い搬送通路１に連通し、短い搬送通路７は、長い搬送通
路２に連通する。

【０００４】従って、搬送通路２上を走行している搬送
台５が、短い搬送通路８上で停止し、スライダー６を
（Ａ）から（Ｂ）の状態に移動させることによって、搬
送台５が停止している短い搬送通路８は搬送通路１に連
通する。従って、搬送台５を搬送通路２から搬送通路１
に乗換移動させることができる。このような隔壁等のな
いオープンな搬送路構造の場合は、例えば、搬送通路２
に２台の搬送台が走行し、衝突しそうな状態になった時
に、一方の搬送台をスライダー６を利用して（Ａ）の短
い搬送通路７に退避させることを容易に行うことができ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導
体、液晶産業等においては、搬送台が走行する搬送路の
雰囲気清浄度に対する要求が年々高度のものとなってき
ており、搬送路を隔壁で覆い、隔壁内を真空にしたり、
窒素等の高純度ガスを封入する等の工夫がなされてい
る。そして、塵埃等の発生を防ぐために、電磁石の浮上
磁極により磁性材料を備えた搬送台を浮上懸架して、リ
ニアモータ等により非接触で駆動する磁気浮上方式の搬
送装置が開発されている。係る磁気浮上方式の搬送装置
によれば、隔壁内で搬送台を非接触で走行させることが
できるため、塵埃等の発生の問題がなく、高度の清浄度
が要求されるプロセス装置間搬送に好適である。

【０００６】係る磁気浮上方式の搬送装置の一例が、本
出願人により特願平−２０６０１０号により特許出願さ
れている。図７は、係る磁気浮上型の搬送装置の一例を
示すものであり、物品を載置し搬送する搬送台５と、搬
送台が走行する隔壁により構成された搬送路１３と、該
搬送台５を搬送路中において壁面と接触することなく浮
上磁極１１により浮上懸架して走行せしめる搬送通路１
３ａ，ｂ，ｃ，ｄとから構成されている。ここで、搬送
路１３の交差点１５においては、搬送通路１３ａ，１３
ｃの浮上磁極１１と同一ピッチで同一方向に配列された
浮上磁極１６ａと、搬送通路１３ｂ，１３ｃの浮上磁極
１１と同一ピッチで同一方向に配列された浮上磁極１６
ｂとを備えている。それゆえ、搬送通路１３ａを走行し
ている搬送台５は、そのまま浮上磁極１６ａにより交差
点１５を通過し、搬送通路１３ｄに直進することも、
又、交差点１５で停止し、浮上磁極を１６ａから浮上磁
極１６ｂに切換えることにより、搬送通路１３ｂ又は１
３ｃに沿って走行することも可能となる。

【０００７】しかしながら、前記特許出願に提案された
搬送装置では、隔壁内の搬送路を搬送台が走行する搬送
通路は単線に限られ、複数の搬送台を走行させることは
できなかった。

【０００８】本発明は、隔壁に覆われた搬送路内に、浮
上磁極により搬送台を浮上懸架して走行せしめ、且つ従
来技術に示される隔壁のないオープンな搬送路構造にお
けるように、複数の搬送台を複数の搬送通路間を含め自
由に走行可能とし、衝突等の回避を実現することのでき
る搬送装置を提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る搬送装置
は、物品を載置し搬送する搬送台と、該搬送台が走行す
る隔壁により構成された搬送路と、該搬送台を該搬送路
中において壁面と接触することなく浮上磁極により浮上
懸架して走行せしめる搬送通路を有する搬送装置におい
て、前記搬送路には複数の搬送通路と、該複数の搬送通
路に略直交する搬送通路とを備えるものである。

【００１０】

【作用】隔壁により仕切られた搬送路には、複数の搬送
通路と、該複数の搬送通路に略直交する搬送通路とを備
えることから、第１の搬送通路を走行している搬送台
は、略直交する搬送通路との交差点で一端停止し、浮上
磁極を切り換え、直交する搬送通路に移動することによ
り、第２の搬送通路に退避させることが可能である。ま
た、第２の搬送通路との交差点で停止し、浮上磁極を第
２の搬送通路に切り換えることにより、第１の搬送通路
から第２の搬送通路に乗り換えることが可能となる。従
って、搬送台の複数同時走行、各搬送通路間の相互移
動、退避を可能にする。

【００１１】

【実施例】図１は、本発明の第１の実施例の搬送装置を
示すものである。隔壁で仕切られた搬送路２０には、横
方向に複線の搬送通路２２ａ，２２ｂが設けられてい
る。そして、該搬送通路２２ａ，２２ｂに略直交する縦
方向の複線の搬送通路２１ａ，２１ｂを備えている。こ
れらの搬送通路は、前述の図７に示すのと同様な搬送台
５を搬送路中において壁面と接触することなく、浮上磁
極により浮上懸架して走行せしめる搬送通路である。

【００１２】複線の搬送通路２２ａ，２２ｂとそれに直
交する複線の搬送通路２１ａ，２１ｂとの交差点２６ａ
ａ，２６ａｂ，２６ｂａ，２６ｂｂ付近における浮上磁
極の配置を図３に示す。この交差点における磁極の配置
は、図７に示す単線の磁極の配置を、そのまま複線に配
置したものである。

【００１３】従って、例えば搬送通路２２ｂを走行して
いる搬送台５は、交差点２６ｂａ及び２６ｂｂを直進し
て、そのまま搬送通路２２ｂを直進走行することができ
る。また、交差点２６ｂａで一端停止して、浮上磁極を
切り換えて搬送通路２１ａを走行するように方向転換す
ることもできる。同様に、交差点２６ｂｂで一端停止し
て、搬送通路２１ｂに移動することもできる。更にまた
搬送台５は搬送通路２２ｂより交差点２６ｂａ及び２６
ａａを通って搬送通路２２ａに移動し、Ｕターン走行す
ることもできる。このように、搬送台が走行している一
本の搬送通路に他の搬送台が走行している時でも、直交
する搬送通路を用いることにより、他の搬送通路に自在
に移動することができるので、衝突を回避することがで
きる。

【００１４】図２は本発明の第２の実施例の搬送装置を
示すものである。隔壁で仕切られた搬送路３０には、２
本の長い搬送通路２２ａ，２２ｂとその端部で長い搬送
通路２３ａが直交している。すなわち横方向の複線の搬
送通路に対して縦方向に単線の搬送通路が直交してい
る。

【００１５】係る構成によれば、長い搬送通路２２ｂを
走行している搬送台５は、交差点２７ｂａで一端停止し
浮上磁極を切り換えて、搬送通路２３ａに移動して走行
することができる。また、交差点２７ｂａ及び交差点２
７ａａを介して、搬送通路２２ａに移動し、Ｕターンす
ることもできる。

【００１６】図４は、本発明の第３の実施例の搬送装置
を示すものである。この場合は、２本の長い搬送通路２
２ａ，２２ｂに対して１本の短い搬送通路２８ａ，２８
ｂが直交している。短い搬送通路２８ａ，２８ｂは、そ
れぞれが長い搬送通路２２ａ，２２ｂとの交差点を兼ね
ている。したがって、長い搬送通路２２ｂを走行してい
る搬送台５は、その端部の交差点２８ｂで、浮上磁極を
切り換え隣の交差点２８ａに走行し、ここでまた浮上磁
極を切り換えることにより、搬送通路２２ａに移動し、
Ｕターンすることができる。

【００１７】図５は、本発明の第４の実施例の搬送装置
を説明するものである。これは２本の長い搬送通路２２
ａ，２２ｂに退避所２９ｃ，２９ｄを設けたものであ
る。退避所２９ｃ，２９ｄ及び交差点２９ａ，２９ｂは
短い１本の搬送通路をなしている。したがって、搬送通
路２２ｂを走行している搬送台５は、交差点２９ｂで一
端停止し、浮上磁極を切り換え、直交方向に走行し、退
避所２９ｄ又は２９ｃに移動することができる。したが
って、搬送台５が退避所に退避している間に、搬送通路
２２ｂを他の搬送台が走行することが可能である。

【００１８】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明は、隔壁
により仕切られた搬送路に、浮上磁極により浮上懸架し
て搬送台を走行せしめる搬送通路を複数配設し、該複数
の搬送通路に略直交する搬送通路を備えたものである。
したがって、隔壁により仕切られた搬送路内を、複数の
搬送台を複数の搬送通路間を含め自由に走行可能とし、
衝突等の回避を行うことができる。

【００１９】又、本搬送装置によれば浮上磁極により浮
上懸架され、隔壁に非接触で複数の搬送台が複数の搬送
通路を移動するので、高清浄度の要求とタクトタイムの
短縮とを同時に実現することができる。更に浮上磁極の
切り換えにより搬送台の走行方向を変換することができ
るため、ターンテーブル、スライダー等の複雑な機械装
置を使用する必要がなく、高清浄度環境を維持すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の搬送装置の説明図。

【図２】本発明の第２の実施例の搬送装置の説明図。

【図３】搬送通路の交差点付近における浮上磁極の配置
の説明図。

【図４】本発明の第３の実施例の搬送装置の説明図。

【図５】本発明の第４の実施例の搬送装置の説明図。

【図６】従来の搬送装置の説明図。

【図７】浮上磁極により搬送台を浮上懸架して走行させ
る搬送装置の説明図。

【符号の説明】

１，２，７，８，９，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ搬
送通路５搬送台１３，２０，３０搬送路１５，２６ａａ，２６ａｂ，２６ｂｑ，２６ｂｂ，２７ａａ，２７ｂａ，２８ａ，２８ｂ，２９ａ，２９ｂ
交差点１６ａ，１６ｂ浮上磁極２９ｃ，２９ｄ退避所

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】物品を載置し搬送する搬送台と、該搬送
台が走行する隔壁により構成された搬送路と、該搬送台
を該搬送路中において壁面と接触することなく浮上磁極
により浮上懸架して走行せしめる搬送通路を有する搬送
装置において、前記搬送路には複数の搬送通路と、該複
数の搬送通路に略直交する搬送通路とを備えることを特
徴とする搬送装置。