JP2002179205A - 軌道搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送効率の低下を防止することができる搬送
システムを提供する。 【解決手段】 搬送システム１は、案内軌道３０と、案
内軌道３０を分断する位置に、互いに距離を隔てて設け
られた第１と第２の軌道１１１および１１２と、第１と
第２の軌道１１１および１１２を支持し、移動可能であ
る支持台１１０と、第１の軌道１１１が案内軌道３０に
接続されるように支持台１１０を第１の位置まで移動さ
せ、または第２の軌道１１２が案内軌道３０に接続され
るように支持台１１０を第２の位置まで移動させる駆動
手段６０ａとを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、軌道搬送システ
ムに関し、特に、液晶表示装置、半導体集積回路、電子
部品の製造方法において軌道上を複数の台車が走行して
カセットなどの搬送を行なう、軌道搬送システムに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶表示装置、半導体集積回路な
どの製造工程では、軌道搬送システムが用いられる。図
１３は、従来の搬送システムを示す図である。具体的に
は、図１３は、従来のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレ
イ工程の工場レイアウトを示す。図１３を参照して、従
来の工場レイアウトでは、複数のベイ１０が島状にまと
まって配置されている。このベイ１０間を所定のカセッ
トが搬送される。搬送は、搬送量の多いベイ間搬送路３
ｂと、搬送量の少ないベイ内搬送路３ａとで行われる。
また、各ベイ１０には、バッファとしてのストッカ１１
が配置されている。ベイ間搬送路３ｂはループ状に設け
られる。これに対して、ベイ内搬送路３ａは、ループ状
または線状に設けられる。さらに、それぞれの搬送路で
は矢印で示した方向にシャトルが移動する。

【０００３】図１４は、一の局面に従ったシャトル（搬
送車）の斜視図である。図１４を参照して、１つの形態
に従ったシャトルはＯＨＳ（Over Head Shuttle）２ａ
である。このＯＨＳ２ａがベイ内搬送路３ａまたはベイ
間搬送路３ｂに沿って走行する。

【０００４】図１５は、別の局面に従ったシャトルの斜
視図である。図１５を参照して、従来の別の形態に従っ
たシャトルはＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）２ｂであ
る。このＲＧＶ２ｂがベイ内搬送路３ａまたはベイ間搬
送路３ｂに沿って走行する。

【０００５】ＯＨＳ２ａは、天井から軌道を吊り下げ
た、いわゆる天井走行タイプである。ＲＧＶ２ｂは、軌
道を床面上に敷設したタイプである。

【０００６】ＯＨＳ２ａまたはＲＧＶ２ｂを用いた搬送
方式としては、用途、コスト、および設置スペースなど
の条件より、ループ方式とシャトル方式が主な形態とな
る。主として、ベイ間搬送路３ｂでは、ループ方式が使
用される。ループ方式では、搬送量が多く、単位時間当
りの処理数が多い場合に採用される。

【０００７】図１６は、従来のループ方式の搬送システ
ムを示す図である。図１６を参照して、搬送車２０ａ、
２０ｂおよび２０ｃがループ状の案内軌道３０を双方向
に進みながら、ベイを構成する処理装置１０ａ〜１０ｆ
との間で、カセットの搬出および搬入を行なう。なお、
案内軌道３０は、図１３のベイ間搬送路３ｂまたはベイ
内搬送路３ａを構成する。

【０００８】図１７は、従来のシャトル方式の搬送シス
テムを示す図である。図１７を参照して、シャトル方式
は、線状の案内軌道３０で構成され、主としてベイ内搬
送路３ａで使用される。シャトル方式は、搬送量が少な
い場合、建設費および運用費を低く抑えたい場合、また
はスペースが十分に取れない場合に採用される形態であ
る。図１７で示すように、１台または複数台の搬送車２
０ａおよび２０ｂが、両端を有する案内軌道３０を双方
向に進みながらカセットの搬入および搬出などの処理を
行なう。

【０００９】上述のような搬送システムは、従来、特開
平９−４０１０４号公報、特開平９−２３７１１８号公
報、特開平１１−１４３５３３号公報で示され、搬送車
の運行制御をコンピュータで行ない、搬送効率を上げる
ようにされている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従来技術で生じる問題
について、以下に説明する。

【００１１】図１８は、従来のシャトル方式の搬送シス
テムで生じる問題を説明するための図である。図１８を
参照して、従来の搬送方式では、複数の搬送車２０ａお
よび２０ｂが同じ案内軌道３０を使い移動するために、
シャトル方式の場合は、処理装置１０ｇと搬送車２０ａ
との間でカセットの搬入および搬出を行なう場合には、
搬送車２０ａを処理装置１０ｇ前で停止させる必要があ
る。このとき、処理装置１０ｃから搬出されたカセット
を搬送しようとする搬送車２０ｂの走行を搬送車２０ａ
が妨げることとなる。

【００１２】図１９は、従来のループ方式の搬送システ
ムで生じる問題を説明するための図である。図１９を参
照して、ループ方式の場合には、搬送車２０ｃが処理装
置１０ｆとの間でカセットの搬送または搬出作業が終了
するまでは、搬送車２０ａが矢印１０１ａで示す方向に
移動して処理装置１０ｅの前へ行くことができないの
で、搬送車２０ａは、処理装置１０ｅ内のカセットを搬
出できない。この場合、矢印１０１ｂで示す逆方向に搬
送車２０ａが移動することも考えられるが、この場合で
も、搬送車２０ｂが処理装置１０ｃとの間でカセットの
搬入および搬出を行なっている場合には、搬送車２０ａ
は処理装置１０ｅの前へ行くことができない。そのた
め、軌道搬送システムの搬送能力が低下していた。この
ような搬送システムでは、１台の搬送車を動かす場合に
も、前にいる搬送車の追い越しなどを考慮して搬送シス
テム全体の搬送車を制御する必要がある。

【００１３】軌道搬送システムの場合、先に搬送を開始
した搬送車の作業が終了して、その搬送車が移動できる
状態にならないと後続の搬送車は作業を行なえない。

【００１４】また、搬送車と処理装置との間の処理対象
物の受け渡し時にトラブルなどが発生すると、そのトラ
ブルが解消されるまで搬送が行なえないという問題があ
る。以上のように、搬送車の運行制御のみでは、従来の
搬送システムでは、搬送能力の低下を回避することは困
難であった。

【００１５】そこで、この発明は上述のような問題点を
解決するためになされたものであり、搬送能力の低下を
防止できる軌道搬送システムを提供することを目的とす
るものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】この発明に従った軌道搬
送システムは、案内軌道と、第１と第２の軌道と、支持
手段と、駆動手段とを備える。第１と第２の軌道は、案
内軌道を分断する位置に、互いに距離を隔てて設けられ
る。支持手段は、第１と第２の軌道を支持し、移動可能
である。駆動手段は、第１の軌道が案内軌道に接続され
るように支持手段を第１の位置にまで移動させ、または
第２の軌道が案内軌道に接続されるように支持手段を第
２の位置にまで移動させる。

【００１７】このように構成された軌道搬送システムで
は、案内軌道を分断する位置に互いに距離を隔てて第１
の軌道と第２の軌道が設けられる。この第１と第２の軌
道は支持手段により移動可能に支持されるため、たとえ
ば第１の軌道上に搬送車を載置した状態で第２の軌道と
案内軌道とを接続することにより第２の軌道上を他の搬
送車が通過することができる。そのため１つの搬送車が
第１の軌道上で止まって処理対象物の搬送または搬入を
する場合であっても第２の軌道が存在するため他の搬送
車の通行を妨げることがない。その結果、搬送システム
の搬送能力の低下を防止することができる。

【００１８】また好ましくは、駆動手段は支持手段を直
線移動させる。また好ましくは、軌道搬送システムは、
案内軌道上を移動する搬送車をさらに備える。

【００１９】また好ましくは、第１の軌道上に搬送車が
配置された状態で案内軌道に接続された第２の軌道上を
別の搬送車が移動することが可能である。

【００２０】さらに好ましくは、第１の軌道上に搬送車
が配置された状態で駆動手段は支持手段を移動させるこ
とが可能である。

【００２１】また好ましくは、搬送車は処理されるべき
対象物を搬送し、支持手段が第２の位置に移動したとき
第１の軌道上に配置された搬送車が、対象物が処理され
るべき位置に移動する。

【００２２】また好ましくは、処理されるべき対象物
は、半導体装置の中間生成物または電子部品の中間生成
物である。

【００２３】さらに好ましくは、軌道搬送システムは、
搬送車および駆動手段の動作を制御する制御手段をさら
に備える。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図面を参照して説明する。

【００２５】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１に従った搬送システムを示す図である。図１を
参照して、この発明に従った軌道搬送システム１は、案
内軌道３０と、案内軌道３０の一部分を分断する位置
に、互いに距離を隔てて設けられた第１の軌道１１１、
１２１、１３１、１４１、１５１、１６１および１７１
と、第２の軌道１１２、１２２、１３２、１４２、１５
２、１６２および１７２と、支持手段としての支持台１
１０、１２０、１３０、１４０、１５０、１６０および
１７０と、第１の軌道１１１〜１７１が案内軌道３０に
接続されるように支持台１１０〜１７０に接続されるよ
うに支持台１１０〜１７０を第１の位置にまで移動され
ることができ、または第２の軌道１１２〜１７２が案内
軌道３０に接続されるように支持台１１０〜１７０を第
２の位置にまで移動させる駆動手段６０ａ〜６０ｇを備
える。支持台１１０〜１７０は、第１の軌道１１１〜１
７１と第２の軌道１１２〜１７２を支持し、移動可能で
ある。

【００２６】また、搬送システムには、切換ポイント４
０が設けられる。案内軌道３０はループ方式であり、そ
れぞれの処理装置１０ａ〜１０ｆ間を結ぶ。案内軌道３
０を分断するように支持台１１０〜１７０が設けられて
いる。それぞれの支持台には、互いに距離を隔てて第１
の軌道１１１〜１７１と、第２の軌道１１２〜１７２が
設けられている。支持台１１０〜１６０は、それぞれ処
理装置１０ａ〜１０ｆと向い合う位置に配置されてい
る。それぞれの支持台１１０〜１６０は、第１の軌道１
１１〜１６１が案内軌道３０に接続される位置と、第２
の軌道１１２〜１６２が案内軌道３０に接続される位置
に移動可能である。案内軌道３０上には複数の搬送車２
０ａ〜２０ｃが設けられて搬送車２０ａ〜２０ｃは案内
軌道３０上を移動することが可能である。搬送車２０ａ
〜２０ｃは、ＲＧＶであるが、ＯＨＳであってもよい。

【００２７】図２は、搬送システムを詳細に示す図であ
る。図２を参照して、案内軌道３０を分断する位置に支
持台１５０が設けられている。支持台１５０には、第１
の軌道１５１と、第２の軌道１５２とが設けられてい
る。図２で示す状態では、案内軌道３０に第２の軌道１
５２が接続されている。支持台１５０下には駆動手段６
０ｅが設けられており、この駆動手段６０ｅが支持台１
５０を矢印１５０ａで示す方向、すなわち、処理装置１
０ｅに近づく方向と、処理装置１０ｅから遠ざかる方向
に支持台１５０を直線移動させる。

【００２８】搬送車２０ｃと、駆動手段６０ｅと、処理
装置１０ｅとには、制御手段としてのコンピュータ５０
が接続されている。コンピュータ５０が搬送車２０ｃお
よび駆動手段６０ｅの動作を制御する。第１の軌道１５
１上に搬送車２０ｃが配置された状態で案内軌道３０に
接続された第２の軌道１５２上を別の搬送車が移動する
ことが可能である。また、第１の軌道１５１上に搬送車
２０ｃが配置された状態で駆動手段６０ｅは支持台１５
０を移動させることが可能である。また、搬送車２０ｃ
は、処理されるべき対象物であるカセットを搬送し、支
持台１５０が第１の位置、すなわち案内軌道３０と第１
の軌道１５１が接続された位置に移動したとき第２の軌
道１５２上に配置された搬送車が、対象物が処理される
べき位置に移動する。処理対象物は、半導体装置または
電子部品の中間製造物である。

【００２９】これに対して、図１では、支持台１１０が
第２の位置、すなわち案内軌道３０に第２の軌道１１２
が接続された位置に位置したとき、第１の軌道１１１上
に配置された搬送車が、対象物が処理されるべき位置に
移動する。

【００３０】図３は、図２中の矢印ＩＩＩで示す方向か
ら見た図である。図３を参照して、搬送システムは、駆
動手段６０ｅを備える。駆動手段６０ｅは、油圧モータ
６１と、油圧モータ６１に油６８を供給するタンク６２
と、油圧モータ６１に接続されたシリンダ６３と、シリ
ンダ６３内に位置決めされ、その一方端が支持台１５０
に接続されるリンク棒６４と、リンク棒６４の他方端に
接続されたピストン６５と、支持台１５０を支持するガ
イドレール６７とを備える。

【００３１】油圧モータ６１はコンピュータ５０に接続
されており、コンピュータ５０の指示を受けてタンク６
２内の油６８をシリンダ６３内へ送り、また、シリンダ
６３内の油６８をタンク６２内へ送る。タンク６２内に
は油６８が溜められており、シリンダ６３内へ供給する
だけの十分な油を有する。シリンダ６３は、内部に空間
を有し、この空間に油６８が溜められる。シリンダ６３
は円筒形状であり、その筒にピストン６５が嵌め合せら
れている。ピストン６５はシリンダ６３の壁面と摺動し
て移動し、油圧モータ６１によりシリンダ６３内へ油６
８が供給されると、ピストン６５は油圧モータ６１から
遠ざかる方向へ移動する。油圧モータ６１により、シリ
ンダ６３内の油６８がタンク６２へ供給されると、シリ
ンダ６３は油圧モータ６１に近づく方向へ移動する。

【００３２】ピストン６５とリンク棒６４と支持台１５
０とは接続されているため、ピストン６５が移動した方
向へ支持台１５０も移動する。なお、支持台１５０上に
第１の軌道１５１と第２の軌道１５２が設けられてい
る。他の支持台１１０〜１７０の下にも、同様の駆動手
段６０ａ〜６０ｇが設けられている。

【００３３】図４は、図２で示す搬送システムの動作を
説明するための図である。図５は、図４中の矢印Ｖで示
す方向から見た図である。図４および５を参照して、図
２で示す状態から搬送車２０ｃを第２の軌道１５２上に
載置する。コンピュータ５０から指示を受けた油圧モー
タ６１がシリンダ６３内に油６８を送り込む。ピストン
６５、リンク棒６４および支持台１５０が処理装置１０
ｅに近づく方向に移動する。その後、後からきた搬送車
２０ａが第１の軌道１５１上を通過することができる。
これにより、搬送車２０ａは目的とする処理装置へ移動
することができる。

【００３４】次に、図６および図７は、搬送システム全
体の動作を説明するための図である。図６を参照して、
処理装置１０ａにおいて処理が完了したカセットを処理
装置１０ｂに搬送する場合には、まず、第１の軌道１１
１上に搬送車２０ａが配置されている。この状態でコン
ピュータが支持台１１０を動かすように駆動手段６０ａ
に信号を送る。これにより、駆動手段６０ａは支持台１
１０上の第１の軌道１１１と案内軌道３０とが接続する
ように支持台１１０を動かす。その後、コンピュータは
搬送車２０ａを支持台１２０前まで移動させる。支持台
１２０前に到着すると、搬送車２０ａはコンピュータに
所定の位置に到着したことを送信する。コンピュータが
駆動手段６０ｂに対して支持台１２０を移動するように
信号を送る。これにより、駆動手段６０ｂは搬送車２０
ａが処理装置１０ｂに近づくように支持台１２０を動か
す。その後搬送車２０ａと処理装置１０ｂとの間でカセ
ットの搬入および搬出が行なわれる。なお、このときに
は第２の軌道１２２が案内軌道３０に接続される。

【００３５】図７を参照して、搬送車２０ａから処理装
置１０ｂへのカセットの搬送中に、処理装置１０ｃで処
理が完了したカセットを、搬送車２０ｂを用いて処理装
置１０ａへ搬送する指示がコンピュータから伝えられた
とする。搬送車２０ｂは、第１の軌道１３１上に配置さ
れる。案内軌道３０と第１の軌道１３１とが接続される
ように駆動手段６０ｃが支持台１３０を移動させる。搬
送車２０ｂが二点鎖線で示すように処理装置１０ａへ近
づく方向に移動する。処理装置１０ａ前の所定の位置に
到着した搬送車２０ｂは、上述のように、コンピュータ
に所定の位置に到着したことを送信する。コンピュータ
が駆動手段６０ａに対し、支持台１１０を移動させるよ
うに信号を送り、第１の軌道１１１と案内軌道３０とが
接続される。この状態で案内軌道３０から第１の軌道１
１１上に搬送車２０ｂが載置される。搬送車２０ｂが処
理装置１０ａへ近づく方向に支持台１１０が移動する。
その後、処理装置１０ａへのカセットの搬入を行なう。

【００３６】図８および図９は、切換ポイントの動作を
説明するための図である。図８を参照して、切換ポイン
ト４０を用いて搬送車の入換えを行なう動作について説
明する。処理装置１０ａにて処理が終了したカセットを
搬送車２０ａにより処理装置１０ｆに搬送する指示と、
処理装置１０ｆで処理が終了したカセットを搬送車２０
ｂにより処理装置１０ａへ搬送する指示がコンピュータ
から同時に出されたとする。支持台１１０が移動して第
１の軌道１１１と案内軌道３０とが接続される。搬送車
２０ａは矢印１９０で示す方向へ移動する。その後切換
ポイント４０において案内軌道３０に接続された第１の
軌道１７１上に二点鎖線で示すように搬送車２０ａが載
置される。この状態で支持台１７０が移動することによ
り第２の軌道１７２と案内軌道３０とが接続される。同
時に支持台１６０が移動することにより第２の軌道１６
２と案内軌道３０とが接続される。この状態で搬送車２
０ｂが矢印２００で示す方向に移動して二点鎖線で示す
位置まで移動する。

【００３７】図９を参照して、実線で示す搬送車２０ｂ
が矢印２００で示す方向に移動して切換ポイント４０を
通過する。搬送車２０ｂが切換ポイント４０を通過した
後、搬送車２０ｂが切換ポイント４０を通過したことが
コンピュータに送信される。コンピュータからは、支持
台１７０を移動させて第１の軌道１７１を案内軌道３０
へ接続するように信号が送られる。これにより、第１の
軌道１７１と案内軌道３０とが接続される。この後、搬
送車２０ａが矢印１９０で示す方向に移動することによ
り処理装置１０ｆ前まで移動することができる。その
後、搬送車２０ａが搬送したカセットを処理装置１０ｆ
へ搬送して処理装置１０ｆ内で処理することができる。

【００３８】このような本発明の搬送システムでは、搬
送車が処理装置前に到達したとき、または切換ポイント
において２つの軌道を用いることにより後続する搬送車
または最短経路で搬送する搬送車の通行を妨げることが
ない。その結果、搬送効率を低下させることがない。

【００３９】（実施の形態２）図１０は、この発明の実
施の形態２に従った搬送システムを示す図である。この
実施の形態の搬送システム２では、支持台１１０上に３
本の軌道が設けられている点で実施の形態１と異なる。
すなわち、支持台１１０上には、第１の軌道１１１およ
び第２の軌道１１２の他に、第３の軌道１１３も設けら
れている。また、支持台１１０の両側に処理装置１０ａ
および１０ｇが設けられている。

【００４０】図１１は、実施の形態２に従った搬送シス
テムの動作を説明するための図である。図１１を参照し
て、まず駆動手段６０ａを用いて、第１の軌道１１１と
案内軌道３０を接続する。この状態で搬送車２０ａを第
１の軌道１１１上に載置する。コンピュータ５０が、第
１の軌道１１１が処理装置１０ａに近づくように支持台
１１０を移動するように駆動手段６０ａに対して信号を
送る。これにより第１の軌道１１１上に搬送車２０ａが
載置された状態で搬送車２０ａが処理装置１０ａに近づ
く方向へ移動する。

【００４１】図１２は、図１１で示す搬送システムにお
ける搬送車のすれ違いを説明するための図である。図１
２を参照して、シャトル方式の搬送システムですれ違い
を行なう場合について説明する。まずそれぞれの支持台
１１０〜１４０上には、第１の軌道１１１〜１１４と、
第２の軌道１１２〜１４２と、第３の軌道１１３〜１４
３が設けられている。すれ違いを行なう場合には、支持
台１２０で搬送車２０ａを第３の軌道１２３上に載置す
る。この状態で駆動手段６０ｂを用いて支持台１２０を
移動させ第１の軌道１２１と案内軌道３０とを接続す
る。その後、搬送車２０ｂを矢印２１０で示す方向に移
動させることによりすれ違いを行なうことができる。

【００４２】このような実施の形態２に従った搬送シス
テムでも、実施の形態１と同様の効果がある。

【００４３】以上、この発明の実施の形態について説明
したが、ここで説明した実施の形態はさまざまに変形す
ることが可能である。まず、支持台上には、２本または
３本の軌道を用いたが、これに限られるものではなく、
さらに多くの軌道を支持台上に設けてもよい。また、図
３および図５においては油圧駆動を用いて支持台１５０
を移動させる方法を示したが、これに限らず、エア方式
を採用してもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、軌道搬送システムにおいて、搬送車が処理装置また
はストッカへカセットの搬入および搬出作業を行なう際
または搬入および搬出作業に伴うトラブルが発生した場
合であっても、後続の搬送車の妨げにならず搬送が行な
える。さらに、搬送経路が単線であっても搬送車の入換
を行なうことができ、搬送車の搬送能力の低下を軽減で
きる。その結果、設備稼動率の低下を軽減できるという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１に従った搬送システ
ムを示す図である。

【図２】 搬送システムを詳細に示す図である。

【図３】 図２中の矢印ＩＩＩで示す方向から見た図で
ある。

【図４】 図２で示す搬送システムの動作を説明するた
めの図である。

【図５】 図４中の矢印Ｖで示す方向から見た図であ
る。

【図６】 搬送システム全体の動作を説明するための図
である。

【図７】 搬送システム全体の動作を説明するための図
である。

【図８】 切換ポイントの動作を説明するための図であ
る。

【図９】 切換ポイントの動作を説明するための図であ
る。

【図１０】 この発明の実施の形態２に従った搬送シス
テムを示す図である。

【図１１】 この発明の実施の形態２に従った搬送シス
テムの動作を説明するための図である。

【図１２】 図１１で示す搬送システムにおける搬送車
のすれ違いを説明するための図である。

【図１３】 従来の搬送システムを示す図である。

【図１４】 １つの局面に従ったシャトルの斜視図であ
る。

【図１５】 別の局面に従ったシャトルの斜視図であ
る。

【図１６】 従来のループ方式の搬送システムを示す図
である。

【図１７】 従来のシャトル方式の搬送システムを示す
図である。

【図１８】 従来のシャトル方式の搬送システムで生じ
る問題を説明するための図である。

【図１９】 従来のループ方式の搬送システムで生じる
問題を説明するための図である。

【符号の説明】

１，２ 軌道搬送システム、３０ 案内軌道、６０ａ，
６０ｂ，６０ｃ，６０ｄ，６０ｅ，６０ｆ，６０ｇ 駆
動手段、１１１，１２１，１３１，１４１，１５１，１
６１，１７１ 第１の軌道、１１２，１２２，１３２，
１４２，１５２，１６２，１７２ 第２の軌道、 １１
０，１２０，１３０，１４０，１５０，１６０，１７０
支持台。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｚ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 案内軌道と、 前記案内軌道を分断する位置に、互いに距離を隔てて設
   けられた第１と第２の軌道と、 前記第１と第２の軌道を支持し、移動可能である支持手
   段と、 前記第１の軌道が前記案内軌道に接続されるように前記
   支持手段を第１の位置にまで移動させ、または前記第２
   の軌道が前記案内軌道に接続されるように前記支持手段
   を第２の位置にまで移動させる駆動手段とを備えた、軌
   道搬送システム。
2. 【請求項２】 前記駆動手段は、前記支持手段を直線移
   動させる、請求項１に記載の軌道搬送システム。
3. 【請求項３】 前記案内軌道上を移動する搬送車をさら
   に備えた、請求項１または２に記載の軌道搬送システ
   ム。
4. 【請求項４】 前記第１の軌道上に前記搬送車が配置さ
   れた状態で前記案内軌道に接続された前記第２の軌道上
   を別の前記搬送車が移動することが可能である、請求項
   ３に記載の軌道搬送システム。
5. 【請求項５】 前記第１の軌道上に前記搬送車が配置さ
   れた状態で前記駆動手段は前記支持手段を移動させるこ
   とが可能である、請求項３または４に記載の軌道搬送シ
   ステム。
6. 【請求項６】 前記搬送車は処理されるべき対象物を搬
   送し、前記支持手段が前記第２の位置に移動したとき前
   記第１の軌道上に配置された前記搬送車が、前記対象物
   が処理されるべき位置に移動する、請求項４または５に
   記載の軌道搬送システム。
7. 【請求項７】 前記処理されるべき対象物は、半導体装
   置の中間製造物または電子部品の中間製造物である、請
   求項６に記載の軌道搬送システム。
8. 【請求項８】 前記搬送車および前記駆動手段の動作を
   制御する制御手段をさらに備えた、請求項３から７のい
   ずれか１項に記載の軌道搬送システム。