JPH0597242A - 磁気浮上式搬送方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】この発明は、構成の簡略化を計ることができる
ようにした磁気浮上式搬送方式を提供することを目的と
する。 【構成】帯状をなした少なくとも一対の第１の磁石１２
を基板１３の搬送方向に沿って対向間隔が次第に狭くな
るよう傾斜して設け、上記基板１３の幅方向両端部に薄
膜からなる帯状の少なくとも一対の第２の磁石１４を上
記第１の磁石１２に対面可能な間隔でほぼ平行に設け、
上記第１の磁石１２と第２の磁石１４との間に磁気反発
力を生じさせて上記基板１３を搬送することを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はワ−クを磁気力によっ
て非接触状態で搬送するための磁気浮上式搬送方式に関
する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示装置のガラス基板な
どのように塵埃を嫌うワ−クを搬送する場合、搬送に伴
う塵埃の発生を防止するため、上記ワ−クを磁気力を利
用して非接触状態で搬送するということが行われてい
る。

【０００３】図４は従来の磁気浮上式搬送装置を示す。
同図中１は幅方向両端部に側壁２が立設されたガイド体
である。このガイド体１の上面には帯状の一対の第１の
永久磁石３が紙面に直交する長手方向に沿って平行に設
けられている。

【０００４】上記ガイド体１に沿って搬送されるワ−ク
としての液晶表示装置の基板４は移動台５の上面に設け
られた支持部６に係合載置されている。この移動台５の
下面には上記第１の永久磁石３と対向する一対の帯状の
第２の永久磁石７が平行に設けられている。上記第１の
永久磁石３と第２の永久磁石７との間には磁気反発力が
発生し、それによって上記移動台５はガイド体１上で非
接触状態で浮上させられる。浮上した移動台５には、適
宜の手段によって推進力が与えられることで、上記ガイ
ド体１に沿って走行する。

【０００５】上記移動台５の幅方向両端面にはそれぞれ
磁性体８が設けられている。これら磁性体８と対応する
上記ガイド体１の側壁２上端にはそれぞれ電磁石９が設
けられている。これら電磁石９に流す電流を制御するこ
とで、基板４を搬送する移動台５がガイド体１の幅に片
寄りするのが防止される。

【０００６】ところで、このような構成の搬送装置にお
いては、基板４を搬送するのに、移動台５を用い、基板
４とともに移動台５を浮上させなければならない。その
ため、移動台５によって全体の構成が大型化するという
ことがあった。また、移動台５がガイド体１に対して片
寄りするのを防止するため、上記ガイド体１に電磁石９
を設け、この電磁石９に流す電流値を制御しなければな
らない。そのため、電磁石９を制御する制御回路が必要
となるから、構成が複雑化し、コスト高を招くというこ
とがあった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の搬
送装置においては、ワ−クを搬送するのに移動台を用
い、この移動台のガイド体に対する位置づれを電磁石に
よって制御していたので、装置が大型化したり、構成が
複雑化するなどのことがあった。

【０００８】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、移動台を用いずにワ−
クを非接触状態で搬送できるようにするとともに、ガイ
ド体に対してワ−クの位置がづれるのを電磁石を用いず
に防止できるようにした磁気浮上式搬送方式を提供する
ことにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、帯状をなした少なくとも一対の第１の磁
石をワ−クの搬送方向に沿って対向間隔が次第に狭くな
るよう傾斜して設け、上記ワ−クの幅方向両端部に薄膜
からなる帯状の少なくとも一対の第２の磁石を上記第１
の磁石に対面可能な間隔でほぼ平行に設け、上記第１の
磁石と第２の磁石との間に磁気反発力を生じさせて上記
ワ−クを搬送することを特徴とする。

【００１０】

【作用】上記構成によれば、ワ−クに薄膜からなる第２
の磁石が直接形成されることで、このワ−クを移動台を
用いずに非接触状態で支持することができ、またガイド
体に設けられる一対の第１の磁石の対向間隔がワ−クの
搬送方向に向かって次第に狭く設定されていることで、
ワ−クの搬送方向と交差する方向への位置づれを防止す
ることができる。

【００１１】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。

【００１２】図１と図２はこの発明の第１の実施例を示
し、図中１１はガイド体である。このガイド体１１は長
尺な板状をなし、その上面には一対で一組をなす複数組
の第１の磁石１２が長手方向に沿って所定間隔で設けら
れている。この第１の磁石１２は帯板状の永久磁石から
形成されていて、各組の一対の第１の磁石１２は矢印Ｘ
で示す後述するワ−クの搬送方向にゆくにしたがって対
向間隔が次第に狭くなるよう、ガイド体１１の幅方向内
方にむかって角度θで傾斜して設けられている。

【００１３】上記ワ−クはたとえば液晶表示装置に用い
られるガラス製の基板１３からなる。この基板１３の幅
方向両端部の上面にはそれぞれ薄膜によって帯状に形成
された第２の磁石１４が設けられている。つまり、第２
の磁石１４は、上記基板１３に磁性材料を塗布やスパッ
タリングなどの手段によって帯状に設けたのち、これら
磁性材料を磁化することで形成されている。基板１３を
ガイド体１１の上方に配置した状態において、上記第１
の磁石１２と第２の磁石１４との間には磁気反発力が生
じ、その反発力によって基板１３は上記ガイド体１１上
に非接触状態で浮上支持されるようになている。

【００１４】このような構成において、第１の磁石１２
と第２の磁石１４との間に生じた反発力によってガイド
体１１上に浮上支持された基板１３に矢印Ｘ方向の推進
力を与えると、この基板１３はその推進力によってガイ
ド体１１上をＸ方向に沿って移動する。一対の帯状の第
１の永久磁１２は基板１３の搬送方向に対して角度θ、
つまりガイド体１１の幅方向内方に向かって傾斜して設
けられ、第２の磁石１４は移動方向Ｘと平行に設けられ
ている。そのため、第１の磁石１２と第２の磁石１４と
の間には、基板１３を浮上させる反発力だけでなく、基
板１３をガイド体１１の幅方向中心へ寄せようとする反
発力が生じるから、その反発力により、基板１３は、ガ
イド体１１上で移動方向Ｘと交差する方向にづれるのが
防止されながら移動する。

【００１５】すなわち、上記構成の搬送装置によれば、
基板１３に薄膜からなる第２の磁石１４を直接設けるよ
うにしたから、上記基板１３を従来のように保持台を用
いずに、ガイド体１１上に非接触状態で浮上支持するこ
とができる。また、上記第１の磁石１２を基板１３の搬
送方向に沿って対向間隔が次第に狭くなるよう傾斜させ
たから、従来のように電磁石を用いて基板１３がガイド
体１１の幅方向にずれるのを防止せずにすむ。

【００１６】図３はこの発明の第２の実施例を示し、こ
の実施例は基板１３の幅方向両端部の上下両面および端
面の三方向に沿って薄膜からなる第２の磁石１４ａを設
けるようにした。このような構成であっても、上記一実
施例と同様の作用効果が得られる。

【００１７】なお、ワ−クとしては液晶表示装置の基板
に限定されず、他のものであってもよく、要は塵埃を嫌
う被搬送物で、磁気を通す材質のものであれば、適用す
ることができる。また、ガイド体に設けられる第１の磁
石は永久磁石に代わり、複数の分割体であってもよく、
さらに電磁石であってもよい。

【００１８】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、ガイド体
に設けられる一対の帯状の第１の磁石を、ワ−クの搬送
方向に沿って対向間隔が次第に狭くなるよう傾斜させて
設けるとともに、ワ−クの幅方向両端部には薄膜からな
る第２の磁石を直接、設けるようにした。

【００１９】そのため、上記ワ−クをガイド体上に直
接、非接触状態で浮上支持することができるから、移動
台を用いなければならなかった従来に比べて装置の小型
化を計ることができる。また、第１の磁石が傾斜して設
けられていることで、ワ−クが搬送方向と交差する方向
にずれるのを、従来のように電磁石を用いて制御せずに
すむから、構成の簡略化を計ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の構成を示す平面図。

【図２】同じく第１図のＡ−Ａ線に沿う拡大断面図。

【図３】この発明の他の実施例を示すワ−クの断面図。

【図４】従来の磁気浮上式搬送装置の断面図。

【符号の説明】

１１…ガイド体、１２…第１の磁石、１３…基板（ワ−
ク）、１４…第２の磁石。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 帯状をなした少なくとも一対の第１の磁
   石をワ−クの搬送方向に沿って対向間隔が次第に狭くな
   るよう傾斜して設け、上記ワ−クの幅方向両端部に薄膜
   からなる帯状の少なくとも一対の第２の磁石を上記第１
   の磁石に対面可能な間隔でほぼ平行に設け、上記第１の
   磁石と第２の磁石との間に磁気反発力を生じさせて上記
   ワ−クを搬送することを特徴とする磁気浮上式搬送方
   式。