JPH05262430A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH05262430A JPH05262430A JP9328592A JP9328592A JPH05262430A JP H05262430 A JPH05262430 A JP H05262430A JP 9328592 A JP9328592 A JP 9328592A JP 9328592 A JP9328592 A JP 9328592A JP H05262430 A JPH05262430 A JP H05262430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnet
- magnetic poles
- dust
- dustproof body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 塵埃の付着がなく清浄の状態のまま搬送物体
を目的箇所へ短時間で搬送し得る低価格な搬送装置を提
供する。 【構成】 本発明の搬送装置１は、搬送物体を載置する
磁石を用いた搬送媒体を筒状の防塵体内にその長さ方向
に移動可能に配置し、防塵体の外側に多数の磁極を具備
する磁力付与手段７を配置し、制御手段８により磁力付
与手段７の磁極の極性を制御し防塵体を介して搬送媒体
に磁気作用による浮上力及び推進力を付与させるように
した。このような簡略な構成により、搬送物体に塵埃が
付着することがなく、また移し換えの必要が無くなり、
搬送物体を目的箇所へ短時間で搬送することが可能とな
る。
を目的箇所へ短時間で搬送し得る低価格な搬送装置を提
供する。 【構成】 本発明の搬送装置１は、搬送物体を載置する
磁石を用いた搬送媒体を筒状の防塵体内にその長さ方向
に移動可能に配置し、防塵体の外側に多数の磁極を具備
する磁力付与手段７を配置し、制御手段８により磁力付
与手段７の磁極の極性を制御し防塵体を介して搬送媒体
に磁気作用による浮上力及び推進力を付与させるように
した。このような簡略な構成により、搬送物体に塵埃が
付着することがなく、また移し換えの必要が無くなり、
搬送物体を目的箇所へ短時間で搬送することが可能とな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送装置に関し、より
詳しくは、例えば、半導体製造工程におけるウェハの自
動搬送に好適な搬送装置に関する。
詳しくは、例えば、半導体製造工程におけるウェハの自
動搬送に好適な搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程では、通常、ウェハはク
リーンルーム内で自動で搬送されている。すなわち、ウ
ェハをロット単位でウェハキャリアに収納し、さらにウ
ェハキャリアをキャリアケースに収納し、このキャリア
ケースを、ロボットアームが付いた床上を走行する自動
搬送車により搬送したり、天井直下に配置したモノレー
ルで搬送したりしていた。
リーンルーム内で自動で搬送されている。すなわち、ウ
ェハをロット単位でウェハキャリアに収納し、さらにウ
ェハキャリアをキャリアケースに収納し、このキャリア
ケースを、ロボットアームが付いた床上を走行する自動
搬送車により搬送したり、天井直下に配置したモノレー
ルで搬送したりしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来は、ウ
ェハをウェハキャリアに移し換え、さらにキャリアケー
スに入れて運搬するため、多くの作業時間を要する他、
移し換え機構が高価格になるという問題があった。
ェハをウェハキャリアに移し換え、さらにキャリアケー
スに入れて運搬するため、多くの作業時間を要する他、
移し換え機構が高価格になるという問題があった。
【０００４】さらに、移し換え時にはウェハをキャリア
ケースの外に出すため、ウェハに塵埃が付着するという
問題があり、このような塵埃の付着を防止するためには
クリーンルーム内の清浄度を向上させる必要があり、設
備コストの上昇を招くという問題があった。
ケースの外に出すため、ウェハに塵埃が付着するという
問題があり、このような塵埃の付着を防止するためには
クリーンルーム内の清浄度を向上させる必要があり、設
備コストの上昇を招くという問題があった。
【０００５】本発明は上記の事情に基づいてなされたも
のであり、塵埃の付着がなく清浄の状態のまま搬送物体
を目的箇所へ短時間で搬送し得る低価格な搬送装置を提
供することを目的とするものである。
のであり、塵埃の付着がなく清浄の状態のまま搬送物体
を目的箇所へ短時間で搬送し得る低価格な搬送装置を提
供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の搬送装置は、搬送物体を載置する磁石を
用いた搬送媒体と、前記搬送媒体が内部において長さ方
向に移動可能な筒状の防塵体と、この防塵体の外側で多
数の磁極を防塵体の長さ方向に沿って配置した磁力付与
手段と、この磁力付与手段の磁極の極性を制御し前記防
塵体を介して前記搬送媒体に磁気作用による浮上力及び
推進力を付与させる制御手段とを具備することを特徴と
するものである。
めに、本発明の搬送装置は、搬送物体を載置する磁石を
用いた搬送媒体と、前記搬送媒体が内部において長さ方
向に移動可能な筒状の防塵体と、この防塵体の外側で多
数の磁極を防塵体の長さ方向に沿って配置した磁力付与
手段と、この磁力付与手段の磁極の極性を制御し前記防
塵体を介して前記搬送媒体に磁気作用による浮上力及び
推進力を付与させる制御手段とを具備することを特徴と
するものである。
【０００７】
【作用】以下に本発明の搬送装置の作用について説明す
る。筒状の防塵体の内部に配置した搬送物体を載置した
磁石を用いた搬送媒体に対して、制御手段により磁極の
極性が制御される磁力付与手段は防塵体を介して搬送媒
体に磁気作用による浮上力及び推進力を付与する。これ
により、搬送媒体は搬送物体とともに防塵体の内部で浮
上したまま防塵体の長さ方向に沿って迅速に搬送され
る。この結果、搬送物体の搬送領域にはこすれ等による
発塵部分が皆無となり、搬送物体に塵埃が付着すること
がなく、また、移し換えの必要が無くなり、搬送物体を
目的箇所へ短時間で搬送することができる。
る。筒状の防塵体の内部に配置した搬送物体を載置した
磁石を用いた搬送媒体に対して、制御手段により磁極の
極性が制御される磁力付与手段は防塵体を介して搬送媒
体に磁気作用による浮上力及び推進力を付与する。これ
により、搬送媒体は搬送物体とともに防塵体の内部で浮
上したまま防塵体の長さ方向に沿って迅速に搬送され
る。この結果、搬送物体の搬送領域にはこすれ等による
発塵部分が皆無となり、搬送物体に塵埃が付着すること
がなく、また、移し換えの必要が無くなり、搬送物体を
目的箇所へ短時間で搬送することができる。
【０００８】
【実施例】以下に本発明の一実施例について図面を参照
しつつ説明する。図１は本発明の一実施例である搬送装
置の概略構成図である。図１に示す搬送装置１は、搬送
物体としてのウェハ２を載置する板状の永久磁石（又は
電磁石）を用いた搬送媒体としての浮上磁石３と、浮上
磁石３が内部において長さ方向に移動可能な筒状で長尺
な非磁性材料からなる防塵体としてのガラス管４と、こ
のガラス管４の両側において各々多数の電磁石の磁極５
ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ をガラ
ス管４の長さ方向に沿って配置した磁力付与手段７と、
この磁力付与手段７の各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、
６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ の極性を制御しガラス管４を介
して浮上磁石３に磁気作用による浮上力及び推進力を付
与させる制御手段８とを具備している。
しつつ説明する。図１は本発明の一実施例である搬送装
置の概略構成図である。図１に示す搬送装置１は、搬送
物体としてのウェハ２を載置する板状の永久磁石（又は
電磁石）を用いた搬送媒体としての浮上磁石３と、浮上
磁石３が内部において長さ方向に移動可能な筒状で長尺
な非磁性材料からなる防塵体としてのガラス管４と、こ
のガラス管４の両側において各々多数の電磁石の磁極５
ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ をガラ
ス管４の長さ方向に沿って配置した磁力付与手段７と、
この磁力付与手段７の各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、
６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ の極性を制御しガラス管４を介
して浮上磁石３に磁気作用による浮上力及び推進力を付
与させる制御手段８とを具備している。
【０００９】磁力付与手段７は、図３に示すように、ガ
ラス管４断面の下側にやや偏って配置されている。ま
た、磁力付与手段７の各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、
６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ は、図３に示すように、制御手
段８により浮上磁石３のＮ、Ｓ磁極に対して常に反対の
極性となるように制御される。これにより、各磁極５
ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ と浮上
磁石３のＮ、Ｓ磁極との間に反発力が作用して、浮上磁
石３はガラス管４内において浮上するようになってい
る。
ラス管４断面の下側にやや偏って配置されている。ま
た、磁力付与手段７の各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、
６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ は、図３に示すように、制御手
段８により浮上磁石３のＮ、Ｓ磁極に対して常に反対の
極性となるように制御される。これにより、各磁極５
ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ と浮上
磁石３のＮ、Ｓ磁極との間に反発力が作用して、浮上磁
石３はガラス管４内において浮上するようになってい
る。
【００１０】また、浮上磁石３のガラス管４の長さ方向
に沿った寸法Ｌ1 は、各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、
６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ の同方向の寸法Ｌ2 よりも長く
設定され（Ｌ1 ＞Ｌ2 ）、これにより、各磁極５ａ、５
ｂ、５ｃ、・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ による浮上磁
石３に対する磁気作用を順次切り換えることにより、浮
上磁石３に対して推進力を付与する。
に沿った寸法Ｌ1 は、各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、・・・ 、
６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ の同方向の寸法Ｌ2 よりも長く
設定され（Ｌ1 ＞Ｌ2 ）、これにより、各磁極５ａ、５
ｂ、５ｃ、・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ による浮上磁
石３に対する磁気作用を順次切り換えることにより、浮
上磁石３に対して推進力を付与する。
【００１１】次に、上述した構成の搬送装置１の動作を
説明する。磁力付与手段７の各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、
・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ は、制御手段８により浮
上磁石３のＮ、Ｓ磁極に対して常に反対の極性となるよ
うに制御され、これにより、各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、
・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ と浮上磁石３のＮ、Ｓ磁
極との間に反発力が作用して、浮上磁石３はガラス管４
内において浮上する。
説明する。磁力付与手段７の各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、
・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ は、制御手段８により浮
上磁石３のＮ、Ｓ磁極に対して常に反対の極性となるよ
うに制御され、これにより、各磁極５ａ、５ｂ、５ｃ、
・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ と浮上磁石３のＮ、Ｓ磁
極との間に反発力が作用して、浮上磁石３はガラス管４
内において浮上する。
【００１２】今、図１に示すように、例えば、磁極５
ｂ、６ｂは浮上磁石３と互いに引き合っている。この状
態から制御手段８の制御により磁極６ｃをＳからＮに、
磁極５ｃをＮからＳに変化させるとともに、磁極６ｂを
ＮからＳに、磁極５ｂをＳからＮに変化させることによ
り浮上磁石３には矢印方向の推進力が作用する。これに
より、浮上磁石３とともにウェハ２を矢印方向に迅速
に、かつ、ガラス管４内において塵埃の付着を防止しつ
つ、また何等の移し換え作業を要すること無く、所定の
位置に搬送することができる。
ｂ、６ｂは浮上磁石３と互いに引き合っている。この状
態から制御手段８の制御により磁極６ｃをＳからＮに、
磁極５ｃをＮからＳに変化させるとともに、磁極６ｂを
ＮからＳに、磁極５ｂをＳからＮに変化させることによ
り浮上磁石３には矢印方向の推進力が作用する。これに
より、浮上磁石３とともにウェハ２を矢印方向に迅速
に、かつ、ガラス管４内において塵埃の付着を防止しつ
つ、また何等の移し換え作業を要すること無く、所定の
位置に搬送することができる。
【００１３】この場合、上述したように、各磁極５ａ、
５ｂ、５ｃ、・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ の寸法Ｌ2
は浮上磁石３の寸法Ｌ1 よりも短いので、浮上磁石３の
進行をより円滑に行うことができる。また、ウェハ２の
搬送はガラス管４内で行われるので、従来例のようなク
リーンルームの清浄度を高めることは不要となり、各種
の半導体製造装置のコストの低減を図ることもできる。
５ｂ、５ｃ、・・・ 、６ａ、６ｂ、６ｃ、・・・ の寸法Ｌ2
は浮上磁石３の寸法Ｌ1 よりも短いので、浮上磁石３の
進行をより円滑に行うことができる。また、ウェハ２の
搬送はガラス管４内で行われるので、従来例のようなク
リーンルームの清浄度を高めることは不要となり、各種
の半導体製造装置のコストの低減を図ることもできる。
【００１４】尚、上記の実施例では、浮上磁石に永久磁
石を用いた場合について説明したが、浮上磁石は電磁石
でもよい。浮上磁石３として電磁石を用いる場合は、浮
上磁石３にバッテリーと電磁石のスイッチをガラス管４
の外から入、切するための通信制御手段を設置すればよ
い。また、上記の実施例では、浮上磁石上にウェハを直
接載置して搬送する場合について説明したが、ウェハを
キャリアに保持し、そのキャリアを浮上磁石上に載置す
るようにしてもよい。
石を用いた場合について説明したが、浮上磁石は電磁石
でもよい。浮上磁石３として電磁石を用いる場合は、浮
上磁石３にバッテリーと電磁石のスイッチをガラス管４
の外から入、切するための通信制御手段を設置すればよ
い。また、上記の実施例では、浮上磁石上にウェハを直
接載置して搬送する場合について説明したが、ウェハを
キャリアに保持し、そのキャリアを浮上磁石上に載置す
るようにしてもよい。
【００１５】また、図１に示すガラス管４の前後にプロ
セス処理装置を直結するか、又は一時的にウェハを蓄え
る緩衝手段を設けることにより、連続してウェハプロセ
ス処理を行うことが可能となる。
セス処理装置を直結するか、又は一時的にウェハを蓄え
る緩衝手段を設けることにより、連続してウェハプロセ
ス処理を行うことが可能となる。
【００１６】本発明は、上述した実施例のほか、種々の
変形が可能である。例えば、本発明の搬送装置は上述し
たウェハの搬送に用いるほか、塵埃の付着を嫌う種々の
物体の搬送に適用可能である。
変形が可能である。例えば、本発明の搬送装置は上述し
たウェハの搬送に用いるほか、塵埃の付着を嫌う種々の
物体の搬送に適用可能である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、搬
送物体を載置する磁石を用いた搬送媒体を、筒状の防塵
体内で、磁力を用いて搬送することにより、搬送物体の
搬送領域には、摺動等による発塵部分が皆無となり、搬
送物体に塵埃が付着することがなく、また移し換えの必
要が無くなり、搬送物体を目的箇所へ短時間で搬送する
ことができ、しかも安価な搬送装置を提供することがで
きる。
送物体を載置する磁石を用いた搬送媒体を、筒状の防塵
体内で、磁力を用いて搬送することにより、搬送物体の
搬送領域には、摺動等による発塵部分が皆無となり、搬
送物体に塵埃が付着することがなく、また移し換えの必
要が無くなり、搬送物体を目的箇所へ短時間で搬送する
ことができ、しかも安価な搬送装置を提供することがで
きる。
【図１】本発明の一実施例である搬送装置の概略構成図
である。
である。
【図２】本発明の実施例装置における磁力付与手段、ガ
ラス管、浮上磁石及びウェハを示す切欠斜視図である。
ラス管、浮上磁石及びウェハを示す切欠斜視図である。
【図３】本発明の実施例装置における磁力付与手段、ガ
ラス管、浮上磁石及びウェハを示す断面図である。
ラス管、浮上磁石及びウェハを示す断面図である。
１ 搬送装置 ２ ウェハ ３ 浮上磁石 ４ ガラス管 ７ 磁力付与手段 ８ 制御手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 搬送物体を載置する磁石を用いた搬送媒
体と、前記搬送媒体が内部において長さ方向に移動可能
な筒状の防塵体と、この防塵体の外側で多数の磁極を防
塵体の長さ方向に沿って配置した磁力付与手段と、この
磁力付与手段の磁極の極性を制御し前記防塵体を介して
前記搬送媒体に磁気作用による浮上力及び推進力を付与
させる制御手段とを具備することを特徴とする搬送装
置。 - 【請求項２】 前記磁力付与手段が用いる各磁極の長さ
方向の長さは、前記搬送媒体が用いる磁石の長さ方向の
長さより短く形成されている請求項１記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9328592A JPH05262430A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9328592A JPH05262430A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05262430A true JPH05262430A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=14078146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9328592A Withdrawn JPH05262430A (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05262430A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5669652A (en) * | 1995-08-16 | 1997-09-23 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for gripping a flat substrate |
| CN103420165A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-12-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种基片传输装置 |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP9328592A patent/JPH05262430A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5669652A (en) * | 1995-08-16 | 1997-09-23 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for gripping a flat substrate |
| CN103420165A (zh) * | 2013-08-06 | 2013-12-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种基片传输装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |