JPS63288808A

JPS63288808A - 搬送装置

Info

Publication number: JPS63288808A
Application number: JP62123815A
Authority: JP
Inventors: Norihide Saho; 典英佐保; Hideaki Mori; 英明森
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1987-05-22
Filing date: 1987-05-22
Publication date: 1988-11-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は搬送装置に係り、特にクリーン搬送に好適な搬
送装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来の搬送装置は、例えば、特開昭５７−１３４９４６
号に記載のように、移動可能なベルト上に被搬送物であ
るウェハを載置して搬送するものとなっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術はクリーン化の点について配慮されておら
ず、ベルト上に直接ウェハを置いていたので、ウェハに
ベルト上の塵埃が付着し、ウェハに形成される集積回路
の歩留りを悪くするという問題があった。

本発明の目的は、搬送時に被搬送物への塵埃の付着を防
止することのできる搬送装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、超電導材と磁場発生手段とを対向させて設
け、両者のどちらか一方を移動させる移動手段と、両者
の対向位置を拘束する拘束手段とを有し、両者の他方に
被搬送物を配置することにより、達成される。

〔作　　　用〕

磁場発生手段と対向させたａ主導材のマイスナー効果に
よって、被搬送物を配置した両者の他方が浮上し、拘束
手段によって両者の他方が両者の一方に位置的に拘束さ
れ、移動手段によって両者の一方を移動させる。これに
より、両者の他方か浮上したまま両者の一方に追従して
移動するので、搬送時に被搬送物への塵埃の付着を防止
することができる。

〔実　施　例〕

以下、本発明の一実施例を第１図から第３図により説明
する。

この場合、搬送ベルト２をローラｌに掛け、ローラｌは
図示しない駆動装置、例えば、モータによって回転する
ようになっており、この搬送ベルト２を複数個連続して
設けて移動手段を成し、所定の搬送距離を得る。隣り合
う搬送ベルト２同士の間には谷間を塞ぐ継ぎ板３が搬送
ベルト２上面のレベルと同レベルで設けである。この場
合、継ぎ板３は超電導板から成っている。

搬送ベルト２上部には、被搬送物である。この場合、ウ
ェハ５を載置する搬送台４が配置しである。搬送台４は
、この場合、ウェハ５を配置する載置台４１と、載置台
４１の搬送ベルト２側の面に取り付けた磁場発生手段で
ある。この場合、永久磁石４２．４３と、載置台４１の
上面に取り付けられウェハ５と直接当接するシリコンゴ
ムとから成っている。シリコンゴムは、こ（７）　９１
　合、第２図に示すように載置台４１の上面に３ケ所取
り付けてあり、ウェハ５との接触面接が少なく、かつ、
安定に支持できるようにしである。また、載置台４１は
周囲の一辺に切り欠きが設けてあり、図示しない他の搬
送装置の通過が可能にしてあり搬送台４へのウェハ５の
載置および取り除きを容易にしである。

搬送ベルト２は、この場合、第３図に示すようにベルト
２１上に超電導材２２と磁性体２３とが交互に取り付け
である。また、この場合、超電導材２２および磁性体２
３は固形の状態でベルト２１にそれぞれ貼り付けである
が、粉末状で貼り付けてあっても良い。

超電導材は１例えば、化学式が一般式ＡＢＯ３で示され
るキュービックペロブスカイトであり。

具体的に例を挙げれば（αｌ−Ｘβｘ）Ｃｕ０３−ｙで
表わされる。ここで、ＸはＯ≦Ｘ≦１、Ｙは０≦Ｙ≦１
、α、βはそれぞれスタンジウム（ＳＬ）。

イツトリウム（Ｙ）、ランタン（Ｌａ）等の周期表■族
ａ亜族に属する元素や、カルシウム（Ｃａ）、’ストロ
ンチウム（Ｓｒ）、バリウム（Ｂａ）等の周期表■族ａ
亜族に属する元素である。

上記構成の搬送装置によれば、超電導材のマイスナー効
果によって、永久磁石４２．４３からの磁場は超電導材
２２で反ばつされ、永久磁石４２゜４３は搬送ベルト２
上に浮き、また、磁性体２３と永久磁石４２．４３との
間に吸引力が働いて搬送ベルト２上のある位置に位置決
めされる。この場合、磁性体２３が拘束手段となる。ま
た、磁性体２３による永久磁石４２．４３との間の吸引
力は、永久磁石４２．４３と超電導材２２との間の反ば
つ力よりも小さくなるように、磁性体２３の大きさが制
限しである。

このようにして、搬送ベルトｚ上に浮かして位置決めし
た搬送台４は、ローラｌを回して搬送ベルト２を移動さ
せることにより、搬送台４が搬送ベルト２に追従して移
動し、所定の位置まで運ばれる。このとき、隣の搬送ベ
ルト２に乗り移る際、搬送ベルト２同士の間には超電導
材でなる継ぎ板３が設けであることにより、搬送台４は
搬送ベルト２同士の間で落ちることなく、次の搬送ベル
ト２に乗り移ることができる。

以上、本−実施例によれば、搬送ベルト２上に搬送台４
を浮上させて支持できるとともに、搬送ベルト２の移動
に合わせて搬送台４を追従させることができるので、ウ
ェハ５に塵埃が付着しないように浮かせて、所定の位置
まで確実に搬送することができるという効果がある。

また、載置台４においてもシリコンゴム４４によって極
部的にウェハ５を支持しているので、さらに塵埃の付着
を防止できる。

また、搬送ベルト２同士の間にも超電導材である継ぎ板
３を設けているので、隣り合う搬送ベルト２への搬送台
４の乗り移りを容易にすることができる。

また、本搬送装置は磁気を利用しているので、大気中、
真空中および液体中でも搬送できるという効果がある。

さらに、磁場発生手段として永久磁石を用いているので
、熱が発生することがない。

なお、本−実施例では搬送ベルト２と搬送台４とを同一
空間内に配置して、継き板３および超電導材２２が超電
導材となり・うる温度に空間温度を図示しない装置によ
り維持しである。またこの方法の他に、搬送ベルト２と
搬送台４との間に磁気を通すことのできる壁を入れて、
空間を分けて温度管理するようにしても良い、このよう
にすれば、被搬送物の搬送空間をクリーンな状態に隔離
できるのでさらにクリーンな搬送ができる。また、逆に
、搬送ベルト２側の空間を囲むことにより、駆動系から
発する音を外部へ洩れないようにでき。

静かな搬送が行なえるという効果もある。

また、本−実施例では移動手段として、搬送ベルト２を
用いているが、第３図に示す超電導材２２と磁性体２３
とを放射状に交互に配置した円板を連続して並べ、それ
ぞれの円板を同一方向に回転させ、同一方向となる各円
板の手内側上に搬送台４を位置させて、搬送台４の側部
に・も超電導材でガイドを設けるようにしても良い、こ
れによれば、ガイドと搬送台４との間にもマイスナー効
果によって非接触でガイドができるとともに、円板の並
べ方によって曲線、直線を色々組み合わせた搬送路がで
きるので、複雑な搬送路も簡単に形成することができる
。

また、木−実施例では拘束手段として、超電導材２２の
間に磁性体２３を設けて搬送台４を拘束するようにして
いるが、永久磁石４２．４３の磁界の谷間となる部分に
超電導材の中心が位置するようにし、磁性体２３を用い
ずに磁界の反ばつ力を利用して位置決めするようにして
も良い、また。

搬送台４を浮上させる手段と拘束する手段とを同じベル
ト２１上に配置しているが、それぞれを別々に設けても
良い。

また、本−実施例では、搬送ベルト２側に超電導材を取
り付け、搬送台４側に永久磁石を取り付ける配置として
いるが、この関係は逆でもかまわない。

また、本−実施例では、被搬送物としてウェハを例にあ
げているが、これに限られるものではない。

さらに、木−実施例では、磁場発生手段として永久磁石
を用いているが、電磁コイルとしても良い。電磁コイル
を用いれば、磁界の強度を自由に変えられるので、浮上
させたり降ろしたりが自由にできるので、被搬送物の移
し替えが容易に行なえるとともに、浮上量を自由に変え
られるので、移し替えのステージ高さが違っていても容
易に行なえるという効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、被搬送物を非接触で搬送することがで
きるので、搬送時に被搬送物への塵埃の付着を防止する
ことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である搬送装置を示す側面図
、第２図は第１図をＡ−Ａから見た平面図、第３図は搬
送ベルトの詳細を示す長手方向断面図である。

Claims

【特許請求の範囲】

１、超電導材と磁場発生手段とを対向させて設け、前記
両者のどちらか一方を移動させる移動手段と、前記両者
の対向位置を拘束する拘束手段とを有し、前記両者の他
方に被搬送物を配置することを特徴とする搬送装置。