JPH0624559A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH0624559A JPH0624559A JP4202990A JP20299092A JPH0624559A JP H0624559 A JPH0624559 A JP H0624559A JP 4202990 A JP4202990 A JP 4202990A JP 20299092 A JP20299092 A JP 20299092A JP H0624559 A JPH0624559 A JP H0624559A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送台の移動方向の自由度を拡大して搬送台
を任意の方向に切替えて走行させることができる搬送装
置を提供する。 【構成】 搬送用電磁石（１）が列設され、分岐点
（２）で主搬送路（３ａ）から分岐搬送路（３ｂ，３
ｃ）に分岐された搬送路（３）と、上記浮上用電磁石
（１）の磁気吸引力により支持されて上記搬送路（３）
に従って、リニアインダクションモータの推進力によっ
て移動する搬送台（４）と、上記分岐点（２）におい
て、それぞれ並列に対向して配置されたリニアインダク
ションモータのステータ（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６
ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ）とを備えている。
を任意の方向に切替えて走行させることができる搬送装
置を提供する。 【構成】 搬送用電磁石（１）が列設され、分岐点
（２）で主搬送路（３ａ）から分岐搬送路（３ｂ，３
ｃ）に分岐された搬送路（３）と、上記浮上用電磁石
（１）の磁気吸引力により支持されて上記搬送路（３）
に従って、リニアインダクションモータの推進力によっ
て移動する搬送台（４）と、上記分岐点（２）におい
て、それぞれ並列に対向して配置されたリニアインダク
ションモータのステータ（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６
ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ）とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電磁石の磁気吸引力に
より搬送台を浮上させながら、搬送路に従ってこの搬送
台を移動させる非接触形の磁気浮上式の搬送装置に関す
る。
より搬送台を浮上させながら、搬送路に従ってこの搬送
台を移動させる非接触形の磁気浮上式の搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】上記搬送装置は、電磁石の作動により発
生する磁気吸引力を、センサの出力値を基にして制御を
行うことにより、搬送台を吸引して搬送路に対し非接触
状態に浮上させ、リニアモータ駆動及び浮上磁極の切替
えにより搬送台を搬送路に従って移動させている。かか
る搬送装置においては、搬送台の停止・保持、搬送台の
移動のいずれの場合も、搬送台と、その軌道となる搬送
路とは非接触状態を維持しているので、接触にともなう
塵埃発生の恐れがなく、そのため、塵埃の発生を極端に
きらう半導体製造設備等において、上記搬送装置は利用
出来る。
生する磁気吸引力を、センサの出力値を基にして制御を
行うことにより、搬送台を吸引して搬送路に対し非接触
状態に浮上させ、リニアモータ駆動及び浮上磁極の切替
えにより搬送台を搬送路に従って移動させている。かか
る搬送装置においては、搬送台の停止・保持、搬送台の
移動のいずれの場合も、搬送台と、その軌道となる搬送
路とは非接触状態を維持しているので、接触にともなう
塵埃発生の恐れがなく、そのため、塵埃の発生を極端に
きらう半導体製造設備等において、上記搬送装置は利用
出来る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記半導体製造設備等
に配設された搬送装置により、搬送路上を搬送台が走行
して各種部品や製品等が搬送される。しかしながら、従
来の搬送装置においては、搬送路は分岐点を有しない直
線状や曲線状をなしており、したがって搬送台はこの搬
送路に従って一方向に走行するのみであった。そのため
に、従来は任意の方向に搬送台を方向転換し、移動させ
ることができず、移動方向の自由度が極めて制限されて
しまうという課題があった。
に配設された搬送装置により、搬送路上を搬送台が走行
して各種部品や製品等が搬送される。しかしながら、従
来の搬送装置においては、搬送路は分岐点を有しない直
線状や曲線状をなしており、したがって搬送台はこの搬
送路に従って一方向に走行するのみであった。そのため
に、従来は任意の方向に搬送台を方向転換し、移動させ
ることができず、移動方向の自由度が極めて制限されて
しまうという課題があった。
【０００４】本発明は、かかる課題を解決するためにな
されたもので、搬送台の移動方向の自由度を拡大して、
搬送台を任意の方向に切替えて走行させることができる
搬送装置を提供することを目的とする。
されたもので、搬送台の移動方向の自由度を拡大して、
搬送台を任意の方向に切替えて走行させることができる
搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る搬送装置
は、浮上用電磁石が列設され、分岐点で主搬送路から分
岐搬送路に分岐された搬送路と、上記浮上用電磁石の磁
力により支持されて上記搬送路に従って、リニアインダ
クションモータの推進力によって移動する搬送台と、上
記分岐点において、それぞれ並列に対向して配置された
リニアインダクションモータのステータとを備えたもの
である。
は、浮上用電磁石が列設され、分岐点で主搬送路から分
岐搬送路に分岐された搬送路と、上記浮上用電磁石の磁
力により支持されて上記搬送路に従って、リニアインダ
クションモータの推進力によって移動する搬送台と、上
記分岐点において、それぞれ並列に対向して配置された
リニアインダクションモータのステータとを備えたもの
である。
【０００６】
【作用】主搬送路を移動している搬送台が分岐点の切替
手段に到着すると、この搬送台は、分岐点の浮上用電磁
石の磁気吸引力により浮上して支持されている。搬送台
が移動方向を変えないで直進する時は、主搬送路に並列
に対向して配置されたリニアインダクションモータの推
進力により直進方向に搬送される。一方、搬送台が分岐
点で移動方向を他の方向に変える場合には、搬送台が主
搬送路から分岐点に到着した時にリニアインダクション
モータのステータは、搬送台に搬送路を切替える回転モ
ーメントを与えるように、回転方向・角度をセンサ等で
検出することを通じて推進力が制御される。搬送台が分
岐搬送路に向きを変えた後、分岐搬送路に並列に対向し
て設けられたリニアインダクションモータのステータは
直進方向の推進力を与えることによって、分岐搬送路の
浮上用電磁石は規則的に列設されているので、搬送台は
分岐搬送路に乗り移って走行する。これにより、搬送台
の移動方向が切替えられたことになる。
手段に到着すると、この搬送台は、分岐点の浮上用電磁
石の磁気吸引力により浮上して支持されている。搬送台
が移動方向を変えないで直進する時は、主搬送路に並列
に対向して配置されたリニアインダクションモータの推
進力により直進方向に搬送される。一方、搬送台が分岐
点で移動方向を他の方向に変える場合には、搬送台が主
搬送路から分岐点に到着した時にリニアインダクション
モータのステータは、搬送台に搬送路を切替える回転モ
ーメントを与えるように、回転方向・角度をセンサ等で
検出することを通じて推進力が制御される。搬送台が分
岐搬送路に向きを変えた後、分岐搬送路に並列に対向し
て設けられたリニアインダクションモータのステータは
直進方向の推進力を与えることによって、分岐搬送路の
浮上用電磁石は規則的に列設されているので、搬送台は
分岐搬送路に乗り移って走行する。これにより、搬送台
の移動方向が切替えられたことになる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図１０に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【０００８】図１及び図２に示すように、本実施例に係
る搬送装置は、多数の浮上用電磁石１が列設され、分岐
点２で主搬送路３ａから分岐搬送路３ｂ，３ｃに分岐さ
れた搬送路３と、浮上用電磁石１の磁気吸引力により搬
送路３に沿って移動する搬送台４と、分岐点２において
搬送台４の移動方向を切替える切替手段５とを備えてい
る。この切替手段５は、複数組（この図では４組）のそ
れぞれ並列に対向して配置されたリニアインダクション
モータのステータ（６ａ，６ｂの組、６ｃ，６ｄの組、
６ｅ，６ｆの組、６ｇ，６ｈの組）を備えている。搬送
台４が一方の搬送路（例えば主搬送路３ａ）から分岐点
２に到着した時に、並列に対向して配置されたリニアイ
ンダクションモータのステータの組（例えば６ｄ，６
ｈ）は、搬送台４に搬送路を切替える回転モーメントを
与えるようにセンサ等で回転角度、方向をセンシングす
ることにより、推進力のバランスを変化させるように制
御される、もしくはＯＮ／ＯＦＦ操作が行われる。回転
モーメントにより、搬送台４が向きを変える（例えばＤ
方向）と、並列に対向して配置されたリニアインダクシ
ョンモータのステータ（例えば６ａ，６ｂ）は、等しい
推進力により搬送台４をＤ方向に駆動する。
る搬送装置は、多数の浮上用電磁石１が列設され、分岐
点２で主搬送路３ａから分岐搬送路３ｂ，３ｃに分岐さ
れた搬送路３と、浮上用電磁石１の磁気吸引力により搬
送路３に沿って移動する搬送台４と、分岐点２において
搬送台４の移動方向を切替える切替手段５とを備えてい
る。この切替手段５は、複数組（この図では４組）のそ
れぞれ並列に対向して配置されたリニアインダクション
モータのステータ（６ａ，６ｂの組、６ｃ，６ｄの組、
６ｅ，６ｆの組、６ｇ，６ｈの組）を備えている。搬送
台４が一方の搬送路（例えば主搬送路３ａ）から分岐点
２に到着した時に、並列に対向して配置されたリニアイ
ンダクションモータのステータの組（例えば６ｄ，６
ｈ）は、搬送台４に搬送路を切替える回転モーメントを
与えるようにセンサ等で回転角度、方向をセンシングす
ることにより、推進力のバランスを変化させるように制
御される、もしくはＯＮ／ＯＦＦ操作が行われる。回転
モーメントにより、搬送台４が向きを変える（例えばＤ
方向）と、並列に対向して配置されたリニアインダクシ
ョンモータのステータ（例えば６ａ，６ｂ）は、等しい
推進力により搬送台４をＤ方向に駆動する。
【０００９】搬送台４の軌道となる搬送路３において、
主搬送路３ａは主な搬送方向Ｃに向けて配設され、ま
た、拡張搬送路である分岐搬送路３ｂ，３ｃはこの主搬
送方向に対して例えばＴ字状又は十字状に直交する方向
Ｄ，Ｅに向けて配設されており、かかる搬送路３は水平
方向に設けられている。なお、分岐搬送路３ｂ，３ｃは
いずれか一方のみでもよく、また主搬送方向Ｃに対して
分岐搬送路３ｂ，３ｃの方向はその方向に対して直交に
限られず、９０°以外の任意の角度で配設してもよい。
主搬送路３ａは主な搬送方向Ｃに向けて配設され、ま
た、拡張搬送路である分岐搬送路３ｂ，３ｃはこの主搬
送方向に対して例えばＴ字状又は十字状に直交する方向
Ｄ，Ｅに向けて配設されており、かかる搬送路３は水平
方向に設けられている。なお、分岐搬送路３ｂ，３ｃは
いずれか一方のみでもよく、また主搬送方向Ｃに対して
分岐搬送路３ｂ，３ｃの方向はその方向に対して直交に
限られず、９０°以外の任意の角度で配設してもよい。
【００１０】本実施例における搬送装置は、図１乃至図
３に示すように、搬送路３の本体フレーム１４の下面
に、磁気軸受を構成し浮上磁極とも呼ばれている左右一
対の多数の電磁石１を、搬送方向Ｃ，Ｄ，又はＥに対し
て所定のピッチで列設している。一次側をなす電磁石１
はコイルと磁性体ヨークからなっており、また、搬送台
４の本体４ａの上面１５の周縁部には、浮上用ターゲッ
トとなるヨーク（継鉄）等により形成されて二次側をな
す磁性体ターゲット１６が取付けられている。この磁性
体ターゲット１６は励磁された電磁石１の磁気吸引力に
より搬送台４を非接触状態で浮上させるように、電磁石
１の下方に位置しており、浮上位置は変位センサにより
検出され、電磁石１の磁気吸引力を制御することにより
一定位置に保たれる。上記一次側の電磁石１と二次側の
磁性体ターゲット１６とにより搬送方向Ｃ，Ｄ，Ｅに展
開された磁気軸受列をなす磁気軸受装置を構成してい
る。
３に示すように、搬送路３の本体フレーム１４の下面
に、磁気軸受を構成し浮上磁極とも呼ばれている左右一
対の多数の電磁石１を、搬送方向Ｃ，Ｄ，又はＥに対し
て所定のピッチで列設している。一次側をなす電磁石１
はコイルと磁性体ヨークからなっており、また、搬送台
４の本体４ａの上面１５の周縁部には、浮上用ターゲッ
トとなるヨーク（継鉄）等により形成されて二次側をな
す磁性体ターゲット１６が取付けられている。この磁性
体ターゲット１６は励磁された電磁石１の磁気吸引力に
より搬送台４を非接触状態で浮上させるように、電磁石
１の下方に位置しており、浮上位置は変位センサにより
検出され、電磁石１の磁気吸引力を制御することにより
一定位置に保たれる。上記一次側の電磁石１と二次側の
磁性体ターゲット１６とにより搬送方向Ｃ，Ｄ，Ｅに展
開された磁気軸受列をなす磁気軸受装置を構成してい
る。
【００１１】次に、分岐点２に設けられた浮上用電磁石
１について図４により説明する。図４に示すように分岐
点２において、本体フレーム１４の下面には、主搬送路
３ａの浮上用電磁石１と同一の方向を向いて規則的な列
状をなす浮上用電磁石１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄと、分岐
搬送路３ｂ，３ｃの浮上用電磁石１と同一の方向を向い
て規則的な列状をなす浮上用電磁石１ｅ，１ｆ，１ｇ，
１ｈとが、下方に向けて取付けられている。また、両電
磁石は互いに直交する位置関係にあり、切替時の振動防
止のために可能な限り近づけて隣接配設されている。こ
れらの分岐点２に設けられた浮上用電磁石１ａ，１ｂ，
１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈは、搬送路切替時
の搬送台を浮上保持するとともに、搬送路直進時の搬送
台を浮上保持する。
１について図４により説明する。図４に示すように分岐
点２において、本体フレーム１４の下面には、主搬送路
３ａの浮上用電磁石１と同一の方向を向いて規則的な列
状をなす浮上用電磁石１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄと、分岐
搬送路３ｂ，３ｃの浮上用電磁石１と同一の方向を向い
て規則的な列状をなす浮上用電磁石１ｅ，１ｆ，１ｇ，
１ｈとが、下方に向けて取付けられている。また、両電
磁石は互いに直交する位置関係にあり、切替時の振動防
止のために可能な限り近づけて隣接配設されている。こ
れらの分岐点２に設けられた浮上用電磁石１ａ，１ｂ，
１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈは、搬送路切替時
の搬送台を浮上保持するとともに、搬送路直進時の搬送
台を浮上保持する。
【００１２】上記のように構成された搬送装置におい
て、図示しないリニアインダクションモータの推進力に
より主搬送路３ａの浮上用電磁石１に支持され搬送台が
Ｃ方向に進行してくると、搬送台４は浮上しながら主搬
送路３ａを矢印Ｃ方向に移動し、やがて分岐点２に到着
する。搬送台４がさらに主搬送路３ａを直進走行する時
には、分岐点２の切替手段５におけるリニアインダクシ
ョンモータのステータ６ｃ，６ｄの組及びリニアインダ
クションモータのステータ６ｇ，６ｈの組をＬＩＭの推
力方向のセット及び励磁ＬＩＭの選択を行い、直進方向
の推進力を与えるよう制御することにより、搬送台４は
浮上したままこの分岐点２を通過してさらに前方の主搬
送路３ａに乗り移り、ここの浮上用電磁石１の磁気吸引
力により浮上支持されて走行が続けられる。これに対し
て、分岐点２で搬送台４の移動方向を主搬送路３ａの方
向Ｃから分岐搬送路３ｂ又は３ｃの方向Ｄ又はＥに切替
える場合には、対向並列配置したリニアインダクション
モータの推進力を制御することとなる。
て、図示しないリニアインダクションモータの推進力に
より主搬送路３ａの浮上用電磁石１に支持され搬送台が
Ｃ方向に進行してくると、搬送台４は浮上しながら主搬
送路３ａを矢印Ｃ方向に移動し、やがて分岐点２に到着
する。搬送台４がさらに主搬送路３ａを直進走行する時
には、分岐点２の切替手段５におけるリニアインダクシ
ョンモータのステータ６ｃ，６ｄの組及びリニアインダ
クションモータのステータ６ｇ，６ｈの組をＬＩＭの推
力方向のセット及び励磁ＬＩＭの選択を行い、直進方向
の推進力を与えるよう制御することにより、搬送台４は
浮上したままこの分岐点２を通過してさらに前方の主搬
送路３ａに乗り移り、ここの浮上用電磁石１の磁気吸引
力により浮上支持されて走行が続けられる。これに対し
て、分岐点２で搬送台４の移動方向を主搬送路３ａの方
向Ｃから分岐搬送路３ｂ又は３ｃの方向Ｄ又はＥに切替
える場合には、対向並列配置したリニアインダクション
モータの推進力を制御することとなる。
【００１３】対向並列配置したリニアインダクションモ
ータのステータの動作について図５乃至図１０に従って
説明する。まず静止状態の搬送台３に回転モーメントを
与え、回転させることによって搬送路を切替えることが
できる。即ち、図５はステータ６ｂとステータ６ｆに矢
印の方向の推進力を与え、他のステータは非励磁状態も
しくは６ｂ，６ｆに比して弱い推進力を与えた場合であ
る。その推進力のアンバランスにより搬送台は矢印の方
向の回転モーメントが与えられ、矢印の方向に回転す
る。図６はステータ６ｄとステータ６ｈに推進力を与
え、他のステータは非励磁状態もしくは６ｄ，６ｈに比
して弱い推進力を与えた場合である。その推進力のアン
バランスにより、搬送台は矢印の方向の回転モーメント
が与えられ、矢印の方向に回転する。図７はステータ６
ａとステータ６ｅに矢印の方向の推進力を与え、他のス
テータは非励磁状態もしくは６ａ，６ｅに比して弱い推
進力を与えた場合である。その推進力のアンバランスに
より搬送台は矢印の方向の回転モーメントが与えられ、
矢印の方向に回転する。図８はステータ６ｃとステータ
６ｇに矢印の方向の推進力を与え、他のステータは非励
磁状態もしくは６ｃ，６ｇに比して弱い推進力を与えた
場合である。推進力のアンバランスにより搬送台は矢印
の方向の回転モーメントが与えられ、矢印の方向に回転
する。
ータのステータの動作について図５乃至図１０に従って
説明する。まず静止状態の搬送台３に回転モーメントを
与え、回転させることによって搬送路を切替えることが
できる。即ち、図５はステータ６ｂとステータ６ｆに矢
印の方向の推進力を与え、他のステータは非励磁状態も
しくは６ｂ，６ｆに比して弱い推進力を与えた場合であ
る。その推進力のアンバランスにより搬送台は矢印の方
向の回転モーメントが与えられ、矢印の方向に回転す
る。図６はステータ６ｄとステータ６ｈに推進力を与
え、他のステータは非励磁状態もしくは６ｄ，６ｈに比
して弱い推進力を与えた場合である。その推進力のアン
バランスにより、搬送台は矢印の方向の回転モーメント
が与えられ、矢印の方向に回転する。図７はステータ６
ａとステータ６ｅに矢印の方向の推進力を与え、他のス
テータは非励磁状態もしくは６ａ，６ｅに比して弱い推
進力を与えた場合である。その推進力のアンバランスに
より搬送台は矢印の方向の回転モーメントが与えられ、
矢印の方向に回転する。図８はステータ６ｃとステータ
６ｇに矢印の方向の推進力を与え、他のステータは非励
磁状態もしくは６ｃ，６ｇに比して弱い推進力を与えた
場合である。推進力のアンバランスにより搬送台は矢印
の方向の回転モーメントが与えられ、矢印の方向に回転
する。
【００１４】又、対向並列配置したリニアインダクショ
ンモータのステータの片側のみに推進力を与えても、同
様に回転モーメントを与え、搬送台を回転させるきっか
けを与えることができる。例えば、図５において、リニ
アインダクションモータのステータ６ｂ又は６ｆのみに
推進力を与えても回転動作のきっかけとなる。図５から
図６、図７から図８のようにステップ操作する方法と別
に図５と図６、図７と図８の励磁ステータを４つ全てＯ
Ｎしても同様の効果が得られる。４つＯＮすると更に強
大な効果が得られる。更に、搬送路の停止位置で搬送台
を停止させようとすると、搬送台は浮上用電磁石のエッ
ジの磁気せん断力にて、いわゆる案内方向にその位置が
保持されているため、搬送台の重心付近の鉛直軸を中心
とした回転振動が生じ、完全停止までに時間がかかる場
合がある。このような場合に図５乃至図８に示す対向並
列配置のステータに、センサ等で回転状態をセンシング
し、回転振動を打消す推進力の制御を行うことにより、
かかる回転振動を抑制することが可能である。
ンモータのステータの片側のみに推進力を与えても、同
様に回転モーメントを与え、搬送台を回転させるきっか
けを与えることができる。例えば、図５において、リニ
アインダクションモータのステータ６ｂ又は６ｆのみに
推進力を与えても回転動作のきっかけとなる。図５から
図６、図７から図８のようにステップ操作する方法と別
に図５と図６、図７と図８の励磁ステータを４つ全てＯ
Ｎしても同様の効果が得られる。４つＯＮすると更に強
大な効果が得られる。更に、搬送路の停止位置で搬送台
を停止させようとすると、搬送台は浮上用電磁石のエッ
ジの磁気せん断力にて、いわゆる案内方向にその位置が
保持されているため、搬送台の重心付近の鉛直軸を中心
とした回転振動が生じ、完全停止までに時間がかかる場
合がある。このような場合に図５乃至図８に示す対向並
列配置のステータに、センサ等で回転状態をセンシング
し、回転振動を打消す推進力の制御を行うことにより、
かかる回転振動を抑制することが可能である。
【００１５】図９に示すように対向並列配置した両側の
ステータ６ａと６ｂ、又は６ｅと６ｆに等しい方向、大
きさの推進力を与えることにより、搬送台４は安定した
加速、直進移動を実現できる。また搬送台の進行方向と
逆方向の推進力を対向並列配置した両側のステータに与
えることによって、安定な搬送台の制動を実現できる。
例えば図１０に示すようにステータ６ｃ，６ｄに等しい
大きさで、主搬送路３ｃの進行方向Ｃと逆向きの推進力
を与え、搬送台４を分岐２で停止させる。そのまま直進
させる場合は、ステータ６ｈ，６ｇにＣ方向の等しい推
進力を与えることによって搬送台４は分岐２を直進す
る。搬送路を切替える場合には、図５乃至図８に示す回
転モーメントを与えればよい。回転後は、例えば、ステ
ータ６ａ，６ｂをＤ方向に等しい推進力を与えることに
より、分岐搬送路３ｂに搬送路が切替えられる。
ステータ６ａと６ｂ、又は６ｅと６ｆに等しい方向、大
きさの推進力を与えることにより、搬送台４は安定した
加速、直進移動を実現できる。また搬送台の進行方向と
逆方向の推進力を対向並列配置した両側のステータに与
えることによって、安定な搬送台の制動を実現できる。
例えば図１０に示すようにステータ６ｃ，６ｄに等しい
大きさで、主搬送路３ｃの進行方向Ｃと逆向きの推進力
を与え、搬送台４を分岐２で停止させる。そのまま直進
させる場合は、ステータ６ｈ，６ｇにＣ方向の等しい推
進力を与えることによって搬送台４は分岐２を直進す
る。搬送路を切替える場合には、図５乃至図８に示す回
転モーメントを与えればよい。回転後は、例えば、ステ
ータ６ａ，６ｂをＤ方向に等しい推進力を与えることに
より、分岐搬送路３ｂに搬送路が切替えられる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、対
向並列配置されたリニアインダクションモータのステー
タの推進力を任意に制御することにより搬送台の移動方
向を任意の方向に切替えることができる。
向並列配置されたリニアインダクションモータのステー
タの推進力を任意に制御することにより搬送台の移動方
向を任意の方向に切替えることができる。
【図１】図１乃至図１０は本発明の一実施例を示す図
で、図１は本実施例に係る搬送装置の平面構造図であ
る。
で、図１は本実施例に係る搬送装置の平面構造図であ
る。
【図２】図１に示す搬送装置の立面構造図である。
【図３】図１の部分拡大斜視図であり、搬送台が主搬送
路を走行している状態を示している。
路を走行している状態を示している。
【図４】図１の部分拡大斜視図であり、搬送台が分岐点
に位置している状態を示している。
に位置している状態を示している。
【図５】対向並列配置したリニアインダクションモータ
のステータの動作の説明図である。
のステータの動作の説明図である。
【図６】対向並列配置したリニアインダクションモータ
のステータの動作の説明図である。
のステータの動作の説明図である。
【図７】対向並列配置したリニアインダクションモータ
のステータの動作の説明図である。
のステータの動作の説明図である。
【図８】対向並列配置したリニアインダクションモータ
のステータの動作の説明図である。
のステータの動作の説明図である。
【図９】対向並列配置したリニアインダクションモータ
のステータの動作の説明図である。
のステータの動作の説明図である。
【図１０】対向並列配置したリニアインダクションモー
タのステータの動作の説明図である。
タのステータの動作の説明図である。
１ 浮上用電磁石 ２ 分岐点 ３ 搬送路 ３ａ 主搬送路 ３ｂ，３ｃ 分岐搬送路 ４ 搬送台 ５ 切替手段 ６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ リ
ニアインダクションモータのステータ Ｃ，Ｄ，Ｅ 移動方向
ニアインダクションモータのステータ Ｃ，Ｄ，Ｅ 移動方向
Claims (2)
- 【請求項１】 浮上用電磁石が列設され、分岐点で主搬
送路から分岐搬送路に分岐された搬送路と、上記浮上用
電磁石の発生する磁気吸引力により支持されて上記搬送
路に従って、リニアインダクションモータのステータ励
磁により発生する推進力によって移動する搬送台と、上
記分岐点において、それぞれ並列に対向して配置された
リニアインダクションモータのステータとを備えたこと
を特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 前記それぞれ並列に対向して配置された
リニアインダクションモータのステータは、前記搬送台
に搬送路を切替える回転モーメントを与えるように推進
力が制御されるものであることを特徴とする請求項１記
載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4202990A JPH0624559A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4202990A JPH0624559A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0624559A true JPH0624559A (ja) | 1994-02-01 |
Family
ID=16466509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4202990A Pending JPH0624559A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624559A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5641054A (en) * | 1992-07-07 | 1997-06-24 | Ebara Corporation | Magnetic levitation conveyor apparatus |
| WO2016162288A1 (de) * | 2015-04-09 | 2016-10-13 | Mecatronix Ag | Vorrichtung zum halten, positionieren und bewegen eines objekts |
| US10227697B2 (en) | 2003-05-16 | 2019-03-12 | Biomet 3I, Llc | Surface treatment process for implants made of titanium alloy |
| CN114435965A (zh) * | 2020-10-30 | 2022-05-06 | 佳能株式会社 | 输送系统以及输送系统的控制方法 |
-
1992
- 1992-07-07 JP JP4202990A patent/JPH0624559A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5641054A (en) * | 1992-07-07 | 1997-06-24 | Ebara Corporation | Magnetic levitation conveyor apparatus |
| US10227697B2 (en) | 2003-05-16 | 2019-03-12 | Biomet 3I, Llc | Surface treatment process for implants made of titanium alloy |
| WO2016162288A1 (de) * | 2015-04-09 | 2016-10-13 | Mecatronix Ag | Vorrichtung zum halten, positionieren und bewegen eines objekts |
| CN107567654A (zh) * | 2015-04-09 | 2018-01-09 | 应用材料公司 | 用于托持、定位和移动物体的装置 |
| CN107567654B (zh) * | 2015-04-09 | 2020-11-06 | 应用材料公司 | 用于托持、定位和移动物体的装置 |
| CN114435965A (zh) * | 2020-10-30 | 2022-05-06 | 佳能株式会社 | 输送系统以及输送系统的控制方法 |
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