JPH0624562A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH0624562A JPH0624562A JP20444592A JP20444592A JPH0624562A JP H0624562 A JPH0624562 A JP H0624562A JP 20444592 A JP20444592 A JP 20444592A JP 20444592 A JP20444592 A JP 20444592A JP H0624562 A JPH0624562 A JP H0624562A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lim
- stators
- carrier
- linear induction
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送路の軌道中央部付近に、搬送路を構成す
る部品等を配置することを可能ならしめ、且つ搬送台の
走行安定性を向上させることのできるリニアインダクシ
ョンモータを備えた搬送装置を提供する。 【構成】 リニアインダクションモータを備えた搬送装
置において、搬送方向にリニアインダクションモータの
ステータ６，７，８，９を複数個並列に備えたことを特
徴とする。
る部品等を配置することを可能ならしめ、且つ搬送台の
走行安定性を向上させることのできるリニアインダクシ
ョンモータを備えた搬送装置を提供する。 【構成】 リニアインダクションモータを備えた搬送装
置において、搬送方向にリニアインダクションモータの
ステータ６，７，８，９を複数個並列に備えたことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リニアインダクション
モータを備えた搬送装置に係り、特に電磁石の発生する
磁気吸引力を利用し、位置センサの出力値を基にした制
御を行うことにより、または電磁石の発生する反発力に
より、搬送台を浮上させ、リニアインダクションモータ
（以下ＬＩＭという）のステータ励磁により搬送台を搬
送路に対し非接触で移動させる磁気浮上搬送装置に関す
る。
モータを備えた搬送装置に係り、特に電磁石の発生する
磁気吸引力を利用し、位置センサの出力値を基にした制
御を行うことにより、または電磁石の発生する反発力に
より、搬送台を浮上させ、リニアインダクションモータ
（以下ＬＩＭという）のステータ励磁により搬送台を搬
送路に対し非接触で移動させる磁気浮上搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来のＬＩＭを備えた磁気浮上
搬送装置の説明図である。搬送台１は浮上用ターゲット
２を備え、浮上用電磁石３の作動により発生する磁気吸
引力により、搬送路の軌道より非接触浮上支持される。
浮上用電磁石３のそれぞれには、位置センサ４が備えら
れ、搬送台１の走行面に対し鉛直方向位置を検出するこ
とにより、浮上用電磁石３の励磁電流を制御することに
より、浮上用電磁石３の磁極と浮上用ターゲット２との
間隔、即ち、搬送台１の浮上位置が制御される。
搬送装置の説明図である。搬送台１は浮上用ターゲット
２を備え、浮上用電磁石３の作動により発生する磁気吸
引力により、搬送路の軌道より非接触浮上支持される。
浮上用電磁石３のそれぞれには、位置センサ４が備えら
れ、搬送台１の走行面に対し鉛直方向位置を検出するこ
とにより、浮上用電磁石３の励磁電流を制御することに
より、浮上用電磁石３の磁極と浮上用ターゲット２との
間隔、即ち、搬送台１の浮上位置が制御される。
【０００３】磁気吸引力により浮上支持された搬送台１
は、従来、軌道中央部の単列のＬＩＭステータ５によっ
て形成される移動磁界により発生する推進力によって搬
送（移動）される。搬送台１の下面にはアルミ板等の良
導体が配備され、ＬＩＭステータ５の磁極によってその
上部空間に形成される移動磁界によって、リニアインダ
クションモータの原理に従って、ＬＩＭステータ５の励
磁により搬送台は搬送路の軌道に沿って非接触で移動す
る。従って、図３に示すＬＩＭを用いた磁気浮上搬送装
置にあっては、鉛直方向の浮上支持動作、搬送路方向の
移動動作のいずれも非接触で行われるので、塵埃発生の
恐れが無く、特に高清浄度の要求される半導体製造工程
等に用いられる搬送装置として好適である。
は、従来、軌道中央部の単列のＬＩＭステータ５によっ
て形成される移動磁界により発生する推進力によって搬
送（移動）される。搬送台１の下面にはアルミ板等の良
導体が配備され、ＬＩＭステータ５の磁極によってその
上部空間に形成される移動磁界によって、リニアインダ
クションモータの原理に従って、ＬＩＭステータ５の励
磁により搬送台は搬送路の軌道に沿って非接触で移動す
る。従って、図３に示すＬＩＭを用いた磁気浮上搬送装
置にあっては、鉛直方向の浮上支持動作、搬送路方向の
移動動作のいずれも非接触で行われるので、塵埃発生の
恐れが無く、特に高清浄度の要求される半導体製造工程
等に用いられる搬送装置として好適である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＬＩＭを備えた搬送装置においては、ＬＩＭステータ５
は搬送路の軌道中央に単列に設けられていた。このため
搬送台の搬送路上の軌道中央部付近に搬送動作を補助す
る、例えばセンサヘッド等の装置構成部品を配置しなけ
ればならない場合にはスペースの取り合いの問題が生じ
る。その際に、軌道中央部付近に装置構成部品を配置す
れば、ＬＩＭステータが配置できないこととなり、搬送
台の推進力が失われてしまう。軌道中央部付近にＬＩＭ
ステータを配置すれば、ＬＩＭステータが邪魔になり前
述の軌道中央部付近に配置せねばならない構成部品を配
置することが不可能であり、装置構成部品の配置が制約
されることになる。
ＬＩＭを備えた搬送装置においては、ＬＩＭステータ５
は搬送路の軌道中央に単列に設けられていた。このため
搬送台の搬送路上の軌道中央部付近に搬送動作を補助す
る、例えばセンサヘッド等の装置構成部品を配置しなけ
ればならない場合にはスペースの取り合いの問題が生じ
る。その際に、軌道中央部付近に装置構成部品を配置す
れば、ＬＩＭステータが配置できないこととなり、搬送
台の推進力が失われてしまう。軌道中央部付近にＬＩＭ
ステータを配置すれば、ＬＩＭステータが邪魔になり前
述の軌道中央部付近に配置せねばならない構成部品を配
置することが不可能であり、装置構成部品の配置が制約
されることになる。
【０００５】更に、図１に示す従来の搬送装置の構造で
は、ＬＩＭステータ５が単列であるので、例えば搬送台
の荷重が搬送方向の走行面の中心線に対してバランスが
とれていない場合などに、搬送台が鉛直軸に対して回転
モーメントを生じる等の動作が不安定となるという問題
があった。
は、ＬＩＭステータ５が単列であるので、例えば搬送台
の荷重が搬送方向の走行面の中心線に対してバランスが
とれていない場合などに、搬送台が鉛直軸に対して回転
モーメントを生じる等の動作が不安定となるという問題
があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＬＩＭを備え
た搬送装置において、並列に置かれたリニアインダクシ
ョンモータのステータを搬送方向に複数組配設されたこ
とを特徴とする。
た搬送装置において、並列に置かれたリニアインダクシ
ョンモータのステータを搬送方向に複数組配設されたこ
とを特徴とする。
【０００７】
【作用】係る本発明の構成の様にＬＩＭステータを走行
面に複数個並列配置する事により、搬送路の軌道の中央
部付近に搬送動作を補助する周辺構成部品、例えばセン
サヘッド等を配置することが可能となる。そして、搬送
方向に並列配置されたそれぞれのＬＩＭステータの発生
する推進力（逆推力）を均一にすることにより搬送台の
推進力が単列の場合の結線方法により、２倍以上になる
ケースもある。又、軌道巾が広がることから安定走行に
寄与する。また、ＬＩＭステータの発生する推進力をそ
れぞれのステータにおいて任意に調整できるようにする
ことにより、搬送台にかかる加速度を可変とすることに
より搬送状態を柔軟に変化させることが可能となる。こ
のようにＬＩＭステータを複数個並列配置し、かつ並列
に配置されたＬＩＭコイルの結線を工夫することによ
り、搬送台の駆動力を強化し、且つ走行安定性を強化す
ることができる。
面に複数個並列配置する事により、搬送路の軌道の中央
部付近に搬送動作を補助する周辺構成部品、例えばセン
サヘッド等を配置することが可能となる。そして、搬送
方向に並列配置されたそれぞれのＬＩＭステータの発生
する推進力（逆推力）を均一にすることにより搬送台の
推進力が単列の場合の結線方法により、２倍以上になる
ケースもある。又、軌道巾が広がることから安定走行に
寄与する。また、ＬＩＭステータの発生する推進力をそ
れぞれのステータにおいて任意に調整できるようにする
ことにより、搬送台にかかる加速度を可変とすることに
より搬送状態を柔軟に変化させることが可能となる。こ
のようにＬＩＭステータを複数個並列配置し、かつ並列
に配置されたＬＩＭコイルの結線を工夫することによ
り、搬送台の駆動力を強化し、且つ走行安定性を強化す
ることができる。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の一実施例のＬＩＭを備えた
搬送装置の説明図である。搬送台１、浮上用ターゲット
２、浮上用電磁石３、位置センサ４の構成は、図３に示
す従来の技術と同様であるので、その説明を省略する。
図１に示す搬送装置の特徴は、搬送台の搬送方向に並列
配置されたＬＩＭのステータ６，７及びＬＩＭのステー
タ８，９を備えた点である。
搬送装置の説明図である。搬送台１、浮上用ターゲット
２、浮上用電磁石３、位置センサ４の構成は、図３に示
す従来の技術と同様であるので、その説明を省略する。
図１に示す搬送装置の特徴は、搬送台の搬送方向に並列
配置されたＬＩＭのステータ６，７及びＬＩＭのステー
タ８，９を備えた点である。
【０００９】このようなＬＩＭのステータを２個並列に
置かれた組を搬送方向に備えた構成により、ＬＩＭステ
ータ６，７間の搬送路上の中央部付近に搬送台の動作検
出用センサ１０、停止位置決め電磁石１１，１２等の搬
送動作を補助する装置構成部品が配置されることが可能
となる。尚、動作検出用センサ１０は、搬送台の通過を
検出して、搬送台の搬送路上の位置、移動速度、加速度
（減速度）等を、図示しない制御装置により算出するも
のである。停止位置決め電磁石１１，１２は、搬送台の
搭載物を積込み又は積降ろし等のための搬送台の停止位
置を位置決めするためのものである。
置かれた組を搬送方向に備えた構成により、ＬＩＭステ
ータ６，７間の搬送路上の中央部付近に搬送台の動作検
出用センサ１０、停止位置決め電磁石１１，１２等の搬
送動作を補助する装置構成部品が配置されることが可能
となる。尚、動作検出用センサ１０は、搬送台の通過を
検出して、搬送台の搬送路上の位置、移動速度、加速度
（減速度）等を、図示しない制御装置により算出するも
のである。停止位置決め電磁石１１，１２は、搬送台の
搭載物を積込み又は積降ろし等のための搬送台の停止位
置を位置決めするためのものである。
【００１０】このような搬送台の搬送動作を補助する装
置構成部品は、搬送路上の軌道の中央部付近に配置され
ることが、装置全体の構成の面から好ましいので、ＬＩ
Ｍのステータを搬送路の中央部分以外の端部に配置する
ことによって、ＬＩＭの推進力を落とすことなくその設
置が実現される。このように搬送路の軌道の中央部分に
は、搬送台の移動制御に関連した部品を配置する必要が
多いので、ＬＩＭステータを並列に配置することによ
り、搬送路の配置に関する設計の自由度が増大して、結
果として装置全体を小型に、コンパクトに効率的に設計
することを可能にする。
置構成部品は、搬送路上の軌道の中央部付近に配置され
ることが、装置全体の構成の面から好ましいので、ＬＩ
Ｍのステータを搬送路の中央部分以外の端部に配置する
ことによって、ＬＩＭの推進力を落とすことなくその設
置が実現される。このように搬送路の軌道の中央部分に
は、搬送台の移動制御に関連した部品を配置する必要が
多いので、ＬＩＭステータを並列に配置することによ
り、搬送路の配置に関する設計の自由度が増大して、結
果として装置全体を小型に、コンパクトに効率的に設計
することを可能にする。
【００１１】図２は、本発明の一実施例の搬送装置の動
作の説明図である。（Ａ）は搬送方向に並列配置された
２組のＬＩＭステータ６，７，８，９の発生する推進力
を等しくするように構成した場合である。係る場合は、
並列配置されたＬＩＭステータ６，７及びＬＩＭステー
タ８，９に同一の大きさ、同一の位相の励磁電流を印加
することによって実現される。従来技術の中央部上の単
列のＬＩＭステータの構成と比較して、同一規格の従来
技術のＬＩＭステータを２個用いるならば駆動力が従来
技術と比較して結線方法により２倍以上になるケースも
あり、搬送台のＬＩＭに対するターゲット材に自由度が
よりもたせられることから、例えば裏打ち鉄板等が不要
となり搬送台の軽量化を達成できる。又、軌道の幅が広
がることから、走行安定性が向上する。
作の説明図である。（Ａ）は搬送方向に並列配置された
２組のＬＩＭステータ６，７，８，９の発生する推進力
を等しくするように構成した場合である。係る場合は、
並列配置されたＬＩＭステータ６，７及びＬＩＭステー
タ８，９に同一の大きさ、同一の位相の励磁電流を印加
することによって実現される。従来技術の中央部上の単
列のＬＩＭステータの構成と比較して、同一規格の従来
技術のＬＩＭステータを２個用いるならば駆動力が従来
技術と比較して結線方法により２倍以上になるケースも
あり、搬送台のＬＩＭに対するターゲット材に自由度が
よりもたせられることから、例えば裏打ち鉄板等が不要
となり搬送台の軽量化を達成できる。又、軌道の幅が広
がることから、走行安定性が向上する。
【００１２】（Ｂ）は搬送方向に並列配置された２個の
ＬＩＭステータ６，７及びＬＩＭステータ８，９の発生
する推進力を任意に調整が行えるように構成した場合で
ある。かかる場合は、２個のＬＩＭステータに異なる大
きさ、異なる位相の励磁電流を制御装置により印加する
ことによって実現される。この場合には、例えば搬送台
１の荷重が中心線に対してアンバランスな場合などに、
搬送台の重心付近の鉛直軸を中心とした回転モーメント
を生じる等の問題点があるが、左右の駆動力を調整する
ことが可能であり、走行安定性が更に向上する。
ＬＩＭステータ６，７及びＬＩＭステータ８，９の発生
する推進力を任意に調整が行えるように構成した場合で
ある。かかる場合は、２個のＬＩＭステータに異なる大
きさ、異なる位相の励磁電流を制御装置により印加する
ことによって実現される。この場合には、例えば搬送台
１の荷重が中心線に対してアンバランスな場合などに、
搬送台の重心付近の鉛直軸を中心とした回転モーメント
を生じる等の問題点があるが、左右の駆動力を調整する
ことが可能であり、走行安定性が更に向上する。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、ＬＩＭを備えた搬送装置にお
いて、並列に置かれたリニアインダクションモータのス
テータを搬送方向に複数組備えたものである。このた
め、搬送方向の軌道中央部付近にＬＩＭステータを配置
する必要がなくなるため、搬送制御に必要な装置構成部
品を搬送路の軌道中央部付近に配置することが可能とな
る。即ち、装置の設計自由度が向上することにより、最
適な搬送装置の全体的構成、即ち、搬送装置の小型、コ
ンパクト化が実現される。
いて、並列に置かれたリニアインダクションモータのス
テータを搬送方向に複数組備えたものである。このた
め、搬送方向の軌道中央部付近にＬＩＭステータを配置
する必要がなくなるため、搬送制御に必要な装置構成部
品を搬送路の軌道中央部付近に配置することが可能とな
る。即ち、装置の設計自由度が向上することにより、最
適な搬送装置の全体的構成、即ち、搬送装置の小型、コ
ンパクト化が実現される。
【００１４】更に、２個のＬＩＭステータを並列配置す
ることにより、駆動力を結線方法により２倍以上に向上
させることができる。又、軌道が広がること、それぞれ
のＬＩＭステータの駆動力が調整可能となるので、走行
安定性を更に向上させることができる。
ることにより、駆動力を結線方法により２倍以上に向上
させることができる。又、軌道が広がること、それぞれ
のＬＩＭステータの駆動力が調整可能となるので、走行
安定性を更に向上させることができる。
【図１】本発明の一実施例のＬＩＭを備えた搬送装置の
説明図。
説明図。
【図２】本発明の一実施例の搬送装置の動作の説明図。
【図３】従来のＬＩＭを備えた搬送装置の説明図。
１ 搬送台 ２ 浮上用ターゲット ３ 浮上用電磁石 ４ センサ ５，６，７，８，９ ＬＩＭステータ １０ 動作検出用センサ １１，１２ 停止位置決め電磁石
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠崎 弘行 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 リニアインダクションモータを備えた搬
送装置において、並列に置かれたリニアインダクション
モータのステータを搬送方向に複数組配設されたことを
特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 案内方向に並列に配置された組をなして
いるリニアインダクションモータのステータの発生する
推進力を互いに等しくするように構成した事を特徴とす
る請求項１のリニアインダクションモータを備えた搬送
装置。 - 【請求項３】 案内方向に並列に配置された組をなして
いるリニアインダクションモータのステータの発生する
推進力を任意に調整が行えるように構成したことを特徴
とする請求項１のリニアインダクションモータを備えた
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20444592A JPH0624562A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20444592A JPH0624562A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0624562A true JPH0624562A (ja) | 1994-02-01 |
Family
ID=16490650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20444592A Pending JPH0624562A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624562A (ja) |
-
1992
- 1992-07-08 JP JP20444592A patent/JPH0624562A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101049221B1 (ko) | 리니어 인덕션 모터를 이용한 자기부상 반송장치 | |
| US7617779B2 (en) | Linear brushless D.C. motor with stationary armature and field and with integratable magnetic suspension | |
| JPH06335111A (ja) | 磁気浮上アクチュエータ | |
| KR0123025B1 (ko) | 교류자기부상 반송장치 및 그 운전방법 | |
| JPH0687603B2 (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| KR960010485A (ko) | 자기 부상 반송장치 | |
| JPH09261805A (ja) | 磁気浮上アクチュエータ | |
| JPH09252504A (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| JPH0624562A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2607455B2 (ja) | 電磁推進装置 | |
| JPH05184010A (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPH01136504A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JP3209844B2 (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JPH0624559A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH0614520A (ja) | リニアインダクションモータ | |
| JP2555542B2 (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPH0797051A (ja) | 超伝導磁気浮上搬送装置 | |
| JP2602810B2 (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JP2882850B2 (ja) | 交流磁気浮上搬送装置 | |
| JPH05236610A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JPH05260614A (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| JP2516787Y2 (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JPH06211350A (ja) | 非磁性パイプ内搬送装置 | |
| JPH0515007A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JPS6369402A (ja) | 搬送装置 |