JPH06211350A - 非磁性パイプ内搬送装置 - Google Patents
非磁性パイプ内搬送装置Info
- Publication number
- JPH06211350A JPH06211350A JP5005731A JP573193A JPH06211350A JP H06211350 A JPH06211350 A JP H06211350A JP 5005731 A JP5005731 A JP 5005731A JP 573193 A JP573193 A JP 573193A JP H06211350 A JPH06211350 A JP H06211350A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- magnetic
- pipe
- linear motor
- magnet
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
- B65G54/025—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic the load being magnetically coupled with a piston-like driver moved within a tube
Abstract
(57)【要約】
【目的】 急加速・急減速が可能でキャリアが重い場合
でも外部磁石の発熱が少なく制御の容易な非磁性パイプ
内搬送装置を得ること。 【構成】 非磁性パイプ１１内にキャリア１２を置き、
パイプ１１外で移動する台車２０にキャリア１２を浮上
させる複合磁石２２を設ける。キャリア１２にリニアモ
ータの２次側導体となるアルミ板１５を固定し、パイプ
１１の外にリニアモータの１次側コイル１６の複数を適
当間隔で配置する。台車２０とキャリア１２の進行方向
ずれ検出センサ２３を設けてずれが発生したとき、ずれ
を補正する方向にリニアモータ推力を発生させる。
でも外部磁石の発熱が少なく制御の容易な非磁性パイプ
内搬送装置を得ること。 【構成】 非磁性パイプ１１内にキャリア１２を置き、
パイプ１１外で移動する台車２０にキャリア１２を浮上
させる複合磁石２２を設ける。キャリア１２にリニアモ
ータの２次側導体となるアルミ板１５を固定し、パイプ
１１の外にリニアモータの１次側コイル１６の複数を適
当間隔で配置する。台車２０とキャリア１２の進行方向
ずれ検出センサ２３を設けてずれが発生したとき、ずれ
を補正する方向にリニアモータ推力を発生させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は内部を真空または窒素
ガス雰囲気にした非磁性パイプ内に磁気浮上させたキャ
リアを走行させて半導体ウエハなどのワークを搬送する
非磁性パイプ内搬送装置に関する。
ガス雰囲気にした非磁性パイプ内に磁気浮上させたキャ
リアを走行させて半導体ウエハなどのワークを搬送する
非磁性パイプ内搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７に示す従来技術において、１は非磁
性材料からなるパイプで内部は真空に保たれている。２
はパイプ１内に置かれたキャリアで、ワークを載せるア
ーム３を固定し、アーム３の後寄りには前後一対の磁性
体４を固定し、後端にウエイト５を固定してある。６は
パイプ外に配置した台車で適宜の移動手段によりパイプ
１に沿って走行し、上記磁性体４に対応する一対の浮上
用電磁石７と、この電磁石７とキャリア２の垂直方向の
位置を検出する位置検出センサ８からなり制御装置１０
に接続されている。
性材料からなるパイプで内部は真空に保たれている。２
はパイプ１内に置かれたキャリアで、ワークを載せるア
ーム３を固定し、アーム３の後寄りには前後一対の磁性
体４を固定し、後端にウエイト５を固定してある。６は
パイプ外に配置した台車で適宜の移動手段によりパイプ
１に沿って走行し、上記磁性体４に対応する一対の浮上
用電磁石７と、この電磁石７とキャリア２の垂直方向の
位置を検出する位置検出センサ８からなり制御装置１０
に接続されている。
【０００３】上記従来技術の場合、外部の電磁石７とパ
イプ１内の磁性体４の吸引力を制御することによりパイ
プ１内のキャリア２を非接触に支持してパイプ２内に浮
上させ、台車６の走行とともに電磁石７を移動させるこ
とによりキャリア２を電磁石７に追随させてアーム３上
のワークを非接触で搬送する。
イプ１内の磁性体４の吸引力を制御することによりパイ
プ１内のキャリア２を非接触に支持してパイプ２内に浮
上させ、台車６の走行とともに電磁石７を移動させるこ
とによりキャリア２を電磁石７に追随させてアーム３上
のワークを非接触で搬送する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来技術
においては、キャリア２が非接触な支持であるために、
急加速や急減速ができない。外部の電磁石７は常時電流
が流れているので、キャリア２の重量が大きくなると、
電流値も大きくする必要があるが、この場合発熱が問題
となる。
においては、キャリア２が非接触な支持であるために、
急加速や急減速ができない。外部の電磁石７は常時電流
が流れているので、キャリア２の重量が大きくなると、
電流値も大きくする必要があるが、この場合発熱が問題
となる。
【０００５】外部の電磁石７を２個以上設け、キャリア
２上の磁性体４も２個以上とし、個々の外部電磁石７が
台車６に固定されて自由度がない場合、一方の磁性体４
が一方の電磁石７に接近すると、他方の磁性体４と電磁
石７が離れることになって個々の電磁石７の制御が干渉
し合うので制御が困難となるなどの問題がある。
２上の磁性体４も２個以上とし、個々の外部電磁石７が
台車６に固定されて自由度がない場合、一方の磁性体４
が一方の電磁石７に接近すると、他方の磁性体４と電磁
石７が離れることになって個々の電磁石７の制御が干渉
し合うので制御が困難となるなどの問題がある。
【０００６】この発明の課題は上記のような従来技術の
問題点を解決して急発進・加減速・停止が可能で発熱が
少なく、制御の容易な非磁性パイプ内搬送装置を提供す
ることである。
問題点を解決して急発進・加減速・停止が可能で発熱が
少なく、制御の容易な非磁性パイプ内搬送装置を提供す
ることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明は非磁性パイプ内搬送装置のパイプ内に
置いたキャリアにリニアモータの２次側導体を取り付
け、上記非磁性パイプ外部にリニアモータの１次側コイ
ルを設置し、上記キャリアと上記外部磁石の進行方向ず
れを検出する進行方向ずれ検出センサを設け、このセン
サの信号により進行方向のずれを補正する方向にリニア
モータ推力を発生させて外部磁石とキャリアのずれを迅
速に修正する構成を採用した。また、外部磁石をリニア
モータ駆動の磁気浮上搬送車に搭載した構成のもの、非
磁性パイプ内のキャリアに取付けた磁性体の形を上記外
部磁石の鉄芯巾以下にした構成のもの、外部磁石を永久
磁石と電磁石の複合磁石として、キャリアの自重を永久
磁石で負担させ、浮上距離の外乱による変動分を補正す
る制御のみに電磁石を利用する制御装置を設けた構成の
もの、キャリアを２個以上の磁性体を取付けたものと
し、この各磁性体に対応する個々の外部磁石が他の外部
磁石に対し、垂直面で自由度を持つようにした構成のも
のなどを採用した。
めに、この発明は非磁性パイプ内搬送装置のパイプ内に
置いたキャリアにリニアモータの２次側導体を取り付
け、上記非磁性パイプ外部にリニアモータの１次側コイ
ルを設置し、上記キャリアと上記外部磁石の進行方向ず
れを検出する進行方向ずれ検出センサを設け、このセン
サの信号により進行方向のずれを補正する方向にリニア
モータ推力を発生させて外部磁石とキャリアのずれを迅
速に修正する構成を採用した。また、外部磁石をリニア
モータ駆動の磁気浮上搬送車に搭載した構成のもの、非
磁性パイプ内のキャリアに取付けた磁性体の形を上記外
部磁石の鉄芯巾以下にした構成のもの、外部磁石を永久
磁石と電磁石の複合磁石として、キャリアの自重を永久
磁石で負担させ、浮上距離の外乱による変動分を補正す
る制御のみに電磁石を利用する制御装置を設けた構成の
もの、キャリアを２個以上の磁性体を取付けたものと
し、この各磁性体に対応する個々の外部磁石が他の外部
磁石に対し、垂直面で自由度を持つようにした構成のも
のなどを採用した。
【０００８】
【作用】外部磁石とキャリアの発進あるいは停止時に外
部磁石とキャリアの位置がずれると、このずれが進行方
向ずれ検出センサにより検出される。
部磁石とキャリアの位置がずれると、このずれが進行方
向ずれ検出センサにより検出される。
【０００９】上記のようにずれが検出されると、キャリ
アの２次側導体とパイプ外の１次側コイルで構成された
リニアモータに推力が発生し、この推力によりずれを迅
速に修正する。
アの２次側導体とパイプ外の１次側コイルで構成された
リニアモータに推力が発生し、この推力によりずれを迅
速に修正する。
【００１０】また、外部磁石を永久磁石と電磁石の複合
磁石とした場合は、キャリアの自重を永久磁石で負担さ
せ、また、浮上距離の変動などの外乱に対しては電磁石
を利用して制御することにより、電磁石に対する通電電
流量を少なくして外部電磁石は発熱量を少なくできる。
磁石とした場合は、キャリアの自重を永久磁石で負担さ
せ、また、浮上距離の変動などの外乱に対しては電磁石
を利用して制御することにより、電磁石に対する通電電
流量を少なくして外部電磁石は発熱量を少なくできる。
【００１１】キャリアに２個以上の磁性体を取り付け、
外部磁石も２個以上として、この外部磁石に自由度をも
たせたものでは、それぞれの磁石が互に干渉しないの
で、制御が容易となる。
外部磁石も２個以上として、この外部磁石に自由度をも
たせたものでは、それぞれの磁石が互に干渉しないの
で、制御が容易となる。
【００１２】
【実施例】図１ないし図４に示す実施例１において、１
１は非磁性パイプで内部は真空または窒素ガス雰囲気に
保たれている。１２はパイプ１内に置かれたキャリア
で、その上面前後に磁性体１３を固定し、後端上に磁石
１４を固定する。
１は非磁性パイプで内部は真空または窒素ガス雰囲気に
保たれている。１２はパイプ１内に置かれたキャリア
で、その上面前後に磁性体１３を固定し、後端上に磁石
１４を固定する。
【００１３】また、上記キャリア１２の下面にはリニア
モータの２次側導体に相当するアルミ板１５を固定し、
パイプ１１外の下方には上記リニアモータの１次側コイ
ル１６の複数を適当間隔で配置する。
モータの２次側導体に相当するアルミ板１５を固定し、
パイプ１１外の下方には上記リニアモータの１次側コイ
ル１６の複数を適当間隔で配置する。
【００１４】パイプ１１外の上方には任意の駆動手段で
走行する台車２０を設けるが、この台車２０は図示例で
はレール２１に沿って走行する懸垂形となっている。ま
た、台車２０の下部には前記キャリア１２上の磁性体１
３に対応する一対の複合磁石２２と進行方向ずれ検出セ
ンサ２３を固定する。
走行する台車２０を設けるが、この台車２０は図示例で
はレール２１に沿って走行する懸垂形となっている。ま
た、台車２０の下部には前記キャリア１２上の磁性体１
３に対応する一対の複合磁石２２と進行方向ずれ検出セ
ンサ２３を固定する。
【００１５】上記複合磁石２２は図２、図３に示すよう
に、下向きコの字形の鉄芯２４の両端に永久磁石２５を
固定し、鉄芯２４の外側に電磁コイル２６を巻いたもの
で、前記キャリア１２上の磁性体１３の巾Ｌ1 は鉄芯２
４の巾Ｌ以下にする。また、上記ずれ検出センサ２３は
図４のように、キャリア１２の磁石１４のＮ極とＳ極の
境界とセンサ２３の中心とのずれを検出するもので市販
品であり、その出力電圧Ｖの変化を図５に示す。
に、下向きコの字形の鉄芯２４の両端に永久磁石２５を
固定し、鉄芯２４の外側に電磁コイル２６を巻いたもの
で、前記キャリア１２上の磁性体１３の巾Ｌ1 は鉄芯２
４の巾Ｌ以下にする。また、上記ずれ検出センサ２３は
図４のように、キャリア１２の磁石１４のＮ極とＳ極の
境界とセンサ２３の中心とのずれを検出するもので市販
品であり、その出力電圧Ｖの変化を図５に示す。
【００１６】図１の３０は制御装置、３１はインバータ
である。そして、上記進行方向ずれ検出センサ２３によ
り検出したセンサ２３と磁石１４のずれにより発生した
出力電圧を制御装置３０に伝送し、インバータ３１を介
してリニアモータのコイル１６を励磁し、キャリア１２
に推力を与えて、センサ２３の出力電圧が０になるよう
にキャリア１２の位置を補正する。
である。そして、上記進行方向ずれ検出センサ２３によ
り検出したセンサ２３と磁石１４のずれにより発生した
出力電圧を制御装置３０に伝送し、インバータ３１を介
してリニアモータのコイル１６を励磁し、キャリア１２
に推力を与えて、センサ２３の出力電圧が０になるよう
にキャリア１２の位置を補正する。
【００１７】台車２０の走行とともにキャリア１２が一
定速走行に移った後はセンサ２３と磁石１４のずれは生
じないと考えられるので、走行途中の位置にはリニアモ
ータは不要である。従って加減速・発進・停止部と走行
途中の適当間隔の位置にリニアモータ、すなわち、リニ
アモータの１次側コイル１６を配置する。
定速走行に移った後はセンサ２３と磁石１４のずれは生
じないと考えられるので、走行途中の位置にはリニアモ
ータは不要である。従って加減速・発進・停止部と走行
途中の適当間隔の位置にリニアモータ、すなわち、リニ
アモータの１次側コイル１６を配置する。
【００１８】図６は実施例２を示すもので、実施例１と
同じ部分は同一の符号を付けて説明を省略し、異なる部
分についてのみ説明する。この実施例はパイプ外の移動
手段として磁気浮上搬送車２９を用いるもので、パイプ
１の上方に鉄レール３２を配置し、その上方にリニアモ
ータの１次側コイル３３を一定間隔で配置する。
同じ部分は同一の符号を付けて説明を省略し、異なる部
分についてのみ説明する。この実施例はパイプ外の移動
手段として磁気浮上搬送車２９を用いるもので、パイプ
１の上方に鉄レール３２を配置し、その上方にリニアモ
ータの１次側コイル３３を一定間隔で配置する。
【００１９】また、搬送車２９上にはリアクションプレ
ート３４とその前後の浮上用電磁石３５を設ける。な
お、図中３６は搬送車２９とキャリア１２間の距離を検
出する距離検出センサである。
ート３４とその前後の浮上用電磁石３５を設ける。な
お、図中３６は搬送車２９とキャリア１２間の距離を検
出する距離検出センサである。
【００２０】この例では搬送車２９もキャリア１２と同
様に非接触で走行するため、速度減衰はほぼ同等と考え
られる。このため、走行中の（加減速・発進・停止時以
外）の進行方向ずれは生じ難くなると考えられる。従っ
て走行途中のリニアモータの１次コイル１６の数は実施
例１よりも少なくして粗い間隔で配置できる。また、搬
送車２９も無接触走行であるため発塵も抑えられるので
クリーンルーム内に布設する場合に有利である。
様に非接触で走行するため、速度減衰はほぼ同等と考え
られる。このため、走行中の（加減速・発進・停止時以
外）の進行方向ずれは生じ難くなると考えられる。従っ
て走行途中のリニアモータの１次コイル１６の数は実施
例１よりも少なくして粗い間隔で配置できる。また、搬
送車２９も無接触走行であるため発塵も抑えられるので
クリーンルーム内に布設する場合に有利である。
【００２１】なお上記台車２０あるいは搬送車２９に設
ける複合磁石２２を台車２０あるいは搬送車２９の走行
方向に対する垂直面に沿って、一定の範囲でそれぞれ別
個に移動できるようにするとともに個々の電磁石を別個
に制御するようにした場合、個々の複合磁石２２が互に
干渉しないので、個々の電磁石２２の制御が容易とな
る。さらに、この各電磁石２２を垂直面に自由とすると
ともに水平面に沿って一定範囲の自由度をもたせる場合
もある。
ける複合磁石２２を台車２０あるいは搬送車２９の走行
方向に対する垂直面に沿って、一定の範囲でそれぞれ別
個に移動できるようにするとともに個々の電磁石を別個
に制御するようにした場合、個々の複合磁石２２が互に
干渉しないので、個々の電磁石２２の制御が容易とな
る。さらに、この各電磁石２２を垂直面に自由とすると
ともに水平面に沿って一定範囲の自由度をもたせる場合
もある。
【００２２】
【効果】この発明では台車とともに走行する複合磁石と
キャリアの間に進行方向のずれが生じた場合、リニアモ
ータによる推力が生じてずれを迅速に修正するので急加
速や急減速が容易となる。
キャリアの間に進行方向のずれが生じた場合、リニアモ
ータによる推力が生じてずれを迅速に修正するので急加
速や急減速が容易となる。
【００２３】また、キャリアの自重は永久磁石が負担
し、浮上距離の制御のみを電磁で行うようにしたので、
キャリアが重い場合でも電磁石への電流値を少なくして
発熱を抑えることができる。
し、浮上距離の制御のみを電磁で行うようにしたので、
キャリアが重い場合でも電磁石への電流値を少なくして
発熱を抑えることができる。
【００２４】さらに２個以上の外部磁石に一定範囲の自
由度を与えてあるので個々の磁石の干渉がなく、制御が
容易であるなどの利点がある。
由度を与えてあるので個々の磁石の干渉がなく、制御が
容易であるなどの利点がある。
【図１】実施例１の一部縦断側面図
【図２】同上に用いる外部磁石と磁性体の断面図
【図３】同上の上面図
【図４】進行方向ずれ検出センサとキャリアおよび磁石
の拡大側面図
の拡大側面図
【図５】同上の出力電圧を示すグラフ
【図６】実施例２の一部縦断側面図
【図７】従来例を示す一部縦断側面図
１１ 非磁性パイプ １２ キャリア １３ 磁性体 １５ アルミ板（２次側導体） １６ １次側コイル ２０ 台車 ２２ 複合磁石 ２３ 進行方向ずれ検出センサ ２４ 鉄芯 ２５ 永久磁石 ２６ 電磁コイル ２９ 磁気浮上搬送車 ３２ 鉄レール ３３ １次側コイル ３５ 浮上用電磁石 ３６ 距離検出センサ
Claims (5)
- 【請求項１】 非磁性パイプ内に磁性体を取付けたキャ
リアを置き、上記非磁性パイプ外には移動手段を持つ外
部磁石を配置したパイプ内搬送装置において、上記キャ
リアにリニアモータの２次側導体を取り付け、上記非磁
性パイプ外部にリニアモータの１次側コイルを設置し、
上記キャリアと上記外部磁石の進行方向ずれを検出する
進行方向ずれ検出センサを設け、このセンサの信号によ
り進行方向のずれを補正する方向にリニアモータ推力を
発生させるようにしたことを特徴とする非磁性パイプ内
搬送装置。 - 【請求項２】 上記外部磁石をリニアモータ駆動の磁気
浮上搬送車に搭載したことを特徴とする請求項１記載の
非磁性パイプ内搬送装置。 - 【請求項３】 上記非磁性パイプ内のキャリアに取付け
た磁性体の形を上記外部磁石の鉄芯巾以下にしたことを
特徴とする請求項１または２記載の非磁性パイプ内搬送
装置。 - 【請求項４】 上記外部磁石を永久磁石と電磁石の複合
磁石として、キャリアの自重を永久磁石で負担させ、浮
上距離の外乱による変動分を補正する制御のみに電磁石
を利用する制御装置を設けたことを特徴とする請求項１
ないし３の何れかに記載の非磁性パイプ内搬送装置。 - 【請求項５】 上記キャリアを２個以上の磁性体を取付
けたものとし、この各磁性体に対応する個々の外部磁石
が他の外部磁石に対し、垂直面で自由度を持つようにし
たことを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の
非磁性パイプ内の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5005731A JPH06211350A (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 非磁性パイプ内搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5005731A JPH06211350A (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 非磁性パイプ内搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06211350A true JPH06211350A (ja) | 1994-08-02 |
Family
ID=11619261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5005731A Pending JPH06211350A (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 非磁性パイプ内搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06211350A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111674931A (zh) * | 2020-06-20 | 2020-09-18 | 上海实路真空技术工程有限公司 | 用于真空系统之间样品管道输送的连续驱动装置 |
| CN114391002A (zh) * | 2021-09-08 | 2022-04-22 | 张鲁国 | 具有动力优化的管道运输系统及运输方法 |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP5005731A patent/JPH06211350A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111674931A (zh) * | 2020-06-20 | 2020-09-18 | 上海实路真空技术工程有限公司 | 用于真空系统之间样品管道输送的连续驱动装置 |
| CN114391002A (zh) * | 2021-09-08 | 2022-04-22 | 张鲁国 | 具有动力优化的管道运输系统及运输方法 |
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