JPH05236610A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
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- JPH05236610A JPH05236610A JP3172666A JP17266691A JPH05236610A JP H05236610 A JPH05236610 A JP H05236610A JP 3172666 A JP3172666 A JP 3172666A JP 17266691 A JP17266691 A JP 17266691A JP H05236610 A JPH05236610 A JP H05236610A
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- magnetic
- shaped
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送台を平板状に構成することが出来て、し
かも該搬送台には十分な浮上力が作用し、且つその走行
安定性が良好である様な磁気浮上搬送装置の提供する。 【構成】 断面形状が概略コ字状をした複数のヨーク状
磁極から軌道が構成され、搬送台は少なくともその下面
が平坦である様な断面形状をしており、前記ヨーク状磁
極の上方に突出した部分にはコイルが設けられ、その下
部には磁性材料製の平板が設けられており、該ヨーク状
磁極は複数個ずつユニットとして前記搬送台の走行方向
へ直列に配置されている。
かも該搬送台には十分な浮上力が作用し、且つその走行
安定性が良好である様な磁気浮上搬送装置の提供する。 【構成】 断面形状が概略コ字状をした複数のヨーク状
磁極から軌道が構成され、搬送台は少なくともその下面
が平坦である様な断面形状をしており、前記ヨーク状磁
極の上方に突出した部分にはコイルが設けられ、その下
部には磁性材料製の平板が設けられており、該ヨーク状
磁極は複数個ずつユニットとして前記搬送台の走行方向
へ直列に配置されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レンツの法則に従う反
撥力を応用した磁気浮上搬送装置に関するものである。
より詳細には、隔壁内に収容されて外部雰囲気から遮断
され且つ非磁性材料から構成されて対象物を載置する搬
送台と、軌道とを含み、該搬送台は該軌道に対して非接
触状態を維持しつつその上方を浮上走行する磁気浮上搬
送装置に関する。
撥力を応用した磁気浮上搬送装置に関するものである。
より詳細には、隔壁内に収容されて外部雰囲気から遮断
され且つ非磁性材料から構成されて対象物を載置する搬
送台と、軌道とを含み、該搬送台は該軌道に対して非接
触状態を維持しつつその上方を浮上走行する磁気浮上搬
送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この様なタイプの磁気浮上搬送装置にお
いては、可動子すなわち搬送台の浮上力或いは浮上量
と、その走行安定性が大きな問題となる。
いては、可動子すなわち搬送台の浮上力或いは浮上量
と、その走行安定性が大きな問題となる。
【０００３】図８は従来の磁気浮上搬送装置の一例の概
略を示す図である。図８において、一次コイル１と一次
固定子鉄心２（の上方突出部）とから成るユニット３
が、横方向（矢印Ｈ方向）に２列設けられている。ここ
で、図９で示す様に、一次固定鉄心２は可動子４の移動
方向（図９中、矢印Ｍで示す）に延在しているので、図
８のユニット３は可動子４の移動方向Ｍ（図９）方向に
直列に設けられていることになる。なお可動子４は、図
８で示す様に、その横方向Ｈの中央部に断面がＶ字形の
溝部５が形成されており、該溝部５は２列のユニット３
…間に位置している。（図９では溝部５は省略してあ
る。）図８、図９で示す従来技術において、一次コイル
３に三相交流を流せば一次固定鉄心２に移動磁界が発生
する。可動子４は、そこに流れる誘導電流と、一次固定
鉄心２の移動磁界との電磁力により、移動磁界の方向
（図９の矢印Ｍ方向）の推進力と、上方への浮上力とを
受けて非接触浮上移動を行う。それと共に可動子４に
は、図８において、横方向Ｈについて左右から中心に向
かう案内力が溝部５に作用する。その結果、可動子４に
は十分な浮上力が作用しつつ、その走行安定性は良好で
あり、移動磁界方向の推進力が作用するのである。
略を示す図である。図８において、一次コイル１と一次
固定子鉄心２（の上方突出部）とから成るユニット３
が、横方向（矢印Ｈ方向）に２列設けられている。ここ
で、図９で示す様に、一次固定鉄心２は可動子４の移動
方向（図９中、矢印Ｍで示す）に延在しているので、図
８のユニット３は可動子４の移動方向Ｍ（図９）方向に
直列に設けられていることになる。なお可動子４は、図
８で示す様に、その横方向Ｈの中央部に断面がＶ字形の
溝部５が形成されており、該溝部５は２列のユニット３
…間に位置している。（図９では溝部５は省略してあ
る。）図８、図９で示す従来技術において、一次コイル
３に三相交流を流せば一次固定鉄心２に移動磁界が発生
する。可動子４は、そこに流れる誘導電流と、一次固定
鉄心２の移動磁界との電磁力により、移動磁界の方向
（図９の矢印Ｍ方向）の推進力と、上方への浮上力とを
受けて非接触浮上移動を行う。それと共に可動子４に
は、図８において、横方向Ｈについて左右から中心に向
かう案内力が溝部５に作用する。その結果、可動子４に
は十分な浮上力が作用しつつ、その走行安定性は良好で
あり、移動磁界方向の推進力が作用するのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図８、図９で
示す従来技術においては、可動子４中央の溝部５の存在
が問題となっている。すなわち、図８から明らかな様
に、Ｖ字形の溝部５はその他の部分の下側表面４ｓより
も下方に突出しているので、可動子４を隔壁内に収容す
る際に隔壁の内壁を２列のユニット３間で凹状にしなけ
ればならず、隔壁を製作する上で障害となる。搬送台と
ユニット３との間の隔壁は、非導電材料（例えばセラミ
ック）でなければならず、その加工は困難である。
示す従来技術においては、可動子４中央の溝部５の存在
が問題となっている。すなわち、図８から明らかな様
に、Ｖ字形の溝部５はその他の部分の下側表面４ｓより
も下方に突出しているので、可動子４を隔壁内に収容す
る際に隔壁の内壁を２列のユニット３間で凹状にしなけ
ればならず、隔壁を製作する上で障害となる。搬送台と
ユニット３との間の隔壁は、非導電材料（例えばセラミ
ック）でなければならず、その加工は困難である。
【０００５】これに対して、可動子４を平板により構成
することも提案された。しかし、図８、図９で示す従来
技術において可動子４を平板にした場合は、横方向Ｈに
関する安定性が悪く、不都合であることが判明してい
る。
することも提案された。しかし、図８、図９で示す従来
技術において可動子４を平板にした場合は、横方向Ｈに
関する安定性が悪く、不都合であることが判明してい
る。
【０００６】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたもので、搬送台を平板状に構成することが
出来て、しかも該搬送台には十分な浮上力が作用し、且
つその走行安定性が良好である様な磁気浮上搬送装置の
提供を目的としている。
て提案されたもので、搬送台を平板状に構成することが
出来て、しかも該搬送台には十分な浮上力が作用し、且
つその走行安定性が良好である様な磁気浮上搬送装置の
提供を目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置は、隔壁内に収容されて外部雰囲気から遮断され且つ
非磁性且つ良導体材料から構成されて対象物を載置する
搬送台と、軌道とを含み、該搬送台は該軌道及び隔壁に
対して非接触状態を維持しつつその上方を浮上走行する
磁気浮上搬送装置において、前記軌道は断面形状が概略
コ字状をした複数のヨーク状磁極から構成されており、
前記搬送台は少なくともその下面が平坦である様な断面
形状をしており、前記ヨーク状磁極の上方に突出した部
分にはコイルが設けられ、その下部には磁性材料製の平
板が設けられており、該ヨーク状磁極は複数個ずつユニ
ットとして前記搬送台の走行方向へ直列に配置されてい
る。
置は、隔壁内に収容されて外部雰囲気から遮断され且つ
非磁性且つ良導体材料から構成されて対象物を載置する
搬送台と、軌道とを含み、該搬送台は該軌道及び隔壁に
対して非接触状態を維持しつつその上方を浮上走行する
磁気浮上搬送装置において、前記軌道は断面形状が概略
コ字状をした複数のヨーク状磁極から構成されており、
前記搬送台は少なくともその下面が平坦である様な断面
形状をしており、前記ヨーク状磁極の上方に突出した部
分にはコイルが設けられ、その下部には磁性材料製の平
板が設けられており、該ヨーク状磁極は複数個ずつユニ
ットとして前記搬送台の走行方向へ直列に配置されてい
る。
【０００８】ここで、搬送台は平板状に構成されるのが
好ましい。
好ましい。
【０００９】また、本発明の磁気浮上搬送装置は、前記
ヨーク状磁極は２列設けられており、３対ずつが１つの
ユニットとなって搬送台の走行方向へ直列に配置されて
いるのが好ましい。この場合、前記磁性材料製の平板
は、２列のヨーク状磁極について共通しても良く、或い
は各ヨーク状磁極の下部毎に２列設けても良い。
ヨーク状磁極は２列設けられており、３対ずつが１つの
ユニットとなって搬送台の走行方向へ直列に配置されて
いるのが好ましい。この場合、前記磁性材料製の平板
は、２列のヨーク状磁極について共通しても良く、或い
は各ヨーク状磁極の下部毎に２列設けても良い。
【００１０】さらに本発明の磁気浮上搬送装置によれ
ば、浮上力を向上するため、前記隔壁の上部で前記ヨー
ク状磁極に対応する箇所に、磁性材料製の板状部材が設
けられている。
ば、浮上力を向上するため、前記隔壁の上部で前記ヨー
ク状磁極に対応する箇所に、磁性材料製の板状部材が設
けられている。
【００１１】本発明の磁気浮上搬送装置において、前記
搬送台の浮上移動を好適に制御するために、前記ヨーク
状磁極に設けたコイルを励磁して前記搬送台の走行に必
要な推進力を得るための制御回路として、周波数が比較
的高い電源と周波数が比較的低い電源とを備え、周波数
が比較的低い電源からの信号のゲインを制御するゲイン
コントローラと、ゲインコントローラを介して供給され
る信号と周波数が比較的高い電源からの信号とを加算す
る加算器と、該加算器からの出力を増幅して所定の磁極
に設けられたコイルへ供給する増幅器、とを含む回路を
有している。
搬送台の浮上移動を好適に制御するために、前記ヨーク
状磁極に設けたコイルを励磁して前記搬送台の走行に必
要な推進力を得るための制御回路として、周波数が比較
的高い電源と周波数が比較的低い電源とを備え、周波数
が比較的低い電源からの信号のゲインを制御するゲイン
コントローラと、ゲインコントローラを介して供給され
る信号と周波数が比較的高い電源からの信号とを加算す
る加算器と、該加算器からの出力を増幅して所定の磁極
に設けられたコイルへ供給する増幅器、とを含む回路を
有している。
【００１２】ここで、前記周波数が比較的高い電源とし
ては１７０Ｈｚの電源が好ましく、周波数が比較的低い
電源としては６０Ｈｚの電源が好ましい。
ては１７０Ｈｚの電源が好ましく、周波数が比較的低い
電源としては６０Ｈｚの電源が好ましい。
【００１３】これに加えて、本発明の磁気浮上搬送装置
は、前記搬送台の走行方向の長さは、前記ヨーク状磁極
の搬送台走行方向のピッチに対して３倍以上の整数倍に
設定されている。特に、３倍であるのが好ましい。
は、前記搬送台の走行方向の長さは、前記ヨーク状磁極
の搬送台走行方向のピッチに対して３倍以上の整数倍に
設定されている。特に、３倍であるのが好ましい。
【００１４】なお本発明の実施に際しては、搬送台の冷
却設備を設けることが好ましい。
却設備を設けることが好ましい。
【００１５】
【作用】上記のように構成された本発明の磁気浮上搬送
装置によれば、ヨーク状磁極により発生する磁束が搬送
台を通過することにより、搬送台を横方向にも安定させ
る。そして、ヨーク状磁極を２列設け、それぞれにより
生じる磁束を反対向きとし、それぞれの磁束が同一の搬
送台の一部を通過するように構成すれば、横方向の安定
性はさらに向上する。
装置によれば、ヨーク状磁極により発生する磁束が搬送
台を通過することにより、搬送台を横方向にも安定させ
る。そして、ヨーク状磁極を２列設け、それぞれにより
生じる磁束を反対向きとし、それぞれの磁束が同一の搬
送台の一部を通過するように構成すれば、横方向の安定
性はさらに向上する。
【００１６】また、搬送台の浮上力と搬送方向への推進
力については、従来技術の場合と同様に、必要且つ十分
なものが得られる。
力については、従来技術の場合と同様に、必要且つ十分
なものが得られる。
【００１７】本発明により、浮上走行時に横方向につい
ても安定した搬送台を平板状に構成することが可能にな
ったため、ヨーク状磁極と搬送台との間の隔壁を平面に
することが可能となり製作が容易となった。特に、搬送
台を浮上走行させることは、隔壁内を清浄に保つため発
塵防止の観点から、極めて良好な結果をもたらすもので
ある。
ても安定した搬送台を平板状に構成することが可能にな
ったため、ヨーク状磁極と搬送台との間の隔壁を平面に
することが可能となり製作が容易となった。特に、搬送
台を浮上走行させることは、隔壁内を清浄に保つため発
塵防止の観点から、極めて良好な結果をもたらすもので
ある。
【００１８】
【実施例】以下図１〜７を参照して本発明の実施例を説
明する。
明する。
【００１９】図１、図２は本発明の１実施例を示してい
る。図１において、その内部（符号Ｉ）が真空状態であ
る隔壁１０が、コ字状をしたヨーク状磁極１２、１２に
載置されている。そして、磁極１２の上方に突出した部
分１４、１４には、それぞれコイル１６、１６が巻回さ
れている。また、磁極１２の下方には磁性材料製の基盤
２２が設けられている。ここで、隔壁１０は非磁性材料
からなっている。
る。図１において、その内部（符号Ｉ）が真空状態であ
る隔壁１０が、コ字状をしたヨーク状磁極１２、１２に
載置されている。そして、磁極１２の上方に突出した部
分１４、１４には、それぞれコイル１６、１６が巻回さ
れている。また、磁極１２の下方には磁性材料製の基盤
２２が設けられている。ここで、隔壁１０は非磁性材料
からなっている。
【００２０】隔壁１０内には、例えばアルミニウムの様
な非磁性材料から成る平板状の搬送台すなわち浮上板１
８が収容されており、該浮上板１８には例えばウエハの
様な搬送対象物２０が載置されている。後述する様に、
この浮上板１８はコイル１６、１６に通電して磁極１２
が励磁されると浮上し、そして移動磁場を発生させるこ
とにより、図１の紙面に垂直な方向（以下、搬送台走行
方向という）に移動する。
な非磁性材料から成る平板状の搬送台すなわち浮上板１
８が収容されており、該浮上板１８には例えばウエハの
様な搬送対象物２０が載置されている。後述する様に、
この浮上板１８はコイル１６、１６に通電して磁極１２
が励磁されると浮上し、そして移動磁場を発生させるこ
とにより、図１の紙面に垂直な方向（以下、搬送台走行
方向という）に移動する。
【００２１】図２は、図１の実施例を別の角度から見た
状態が示している。図２から明らかな様に、磁極１２は
搬送台走行方向（図２では矢印Ｍで示す）に複数個が直
列に配列されている。また、基盤２２も搬送台走行方向
Ｍに延長している。なお、図２において符号２４は、ウ
エハ２０を取り扱うロボットハンドが出入りするための
開閉可能な扉部を示している。（コメント２を御参照下
さい）図２では明確に示されていないが、浮上板１８の
搬送台走行方向Ｍの長さＬは磁極１２間のピッチＰの３
倍に設定されている。また、図１から明らかな様に、浮
上板１８の水平方向Ｈの幅は、２列のコイル１６、１６
の端部から端部までの幅方向長さに対応している。
状態が示している。図２から明らかな様に、磁極１２は
搬送台走行方向（図２では矢印Ｍで示す）に複数個が直
列に配列されている。また、基盤２２も搬送台走行方向
Ｍに延長している。なお、図２において符号２４は、ウ
エハ２０を取り扱うロボットハンドが出入りするための
開閉可能な扉部を示している。（コメント２を御参照下
さい）図２では明確に示されていないが、浮上板１８の
搬送台走行方向Ｍの長さＬは磁極１２間のピッチＰの３
倍に設定されている。また、図１から明らかな様に、浮
上板１８の水平方向Ｈの幅は、２列のコイル１６、１６
の端部から端部までの幅方向長さに対応している。
【００２２】図１、図２に示す実施例の作用は主として
図３に示されている。
図３に示されている。
【００２３】コイル１６に通電してヨーク状磁極１２を
励磁すると、従来技術と同様な原理により、浮上板１８
（図３ではウエハ２０を載置した状態で示されている）
が隔壁１０の底部より浮上する。すなわち、コイル１６
に通電してヨーク状磁極１２を励磁することにより、矢
印Ｔ方向の力が作用して浮上板１８が浮き上がるのであ
る。そして、移動磁界を発生させれば、それに付随して
浮上板１８は浮上した状態で走行する。
励磁すると、従来技術と同様な原理により、浮上板１８
（図３ではウエハ２０を載置した状態で示されている）
が隔壁１０の底部より浮上する。すなわち、コイル１６
に通電してヨーク状磁極１２を励磁することにより、矢
印Ｔ方向の力が作用して浮上板１８が浮き上がるのであ
る。そして、移動磁界を発生させれば、それに付随して
浮上板１８は浮上した状態で走行する。
【００２４】ここで図１〜３で示す実施例においては、
図３において符号２６、２６で示す様な磁界が生じる。
この磁界により、安定力すなわち水平方向Ｈについて平
衡状態を維持しようとする力が付加される。その結果、
浮上板１８は平板状であるのにも拘らず、水平方向Ｈに
ついてブレる事なく浮上走行するのである。
図３において符号２６、２６で示す様な磁界が生じる。
この磁界により、安定力すなわち水平方向Ｈについて平
衡状態を維持しようとする力が付加される。その結果、
浮上板１８は平板状であるのにも拘らず、水平方向Ｈに
ついてブレる事なく浮上走行するのである。
【００２５】浮上板１８を走行させるに際しては、直列
に配列された複数の磁極１２…を三相交流電流で励磁す
れば良い。図４の実施例では、複数の磁極１２…を符号
Ｕ、Ｖ、Ｗで示す３つに分けて、符号Ｕで示す磁極１２
…は電流ＩU を通電することにより励磁し、符号Ｖで示
す磁極１２…は電流ＩV を通電することにより励磁し、
符号Ｗで示す磁極１２…は電流ＩW を通電することによ
り励磁し、以て移動磁界を生じせしめている。
に配列された複数の磁極１２…を三相交流電流で励磁す
れば良い。図４の実施例では、複数の磁極１２…を符号
Ｕ、Ｖ、Ｗで示す３つに分けて、符号Ｕで示す磁極１２
…は電流ＩU を通電することにより励磁し、符号Ｖで示
す磁極１２…は電流ＩV を通電することにより励磁し、
符号Ｗで示す磁極１２…は電流ＩW を通電することによ
り励磁し、以て移動磁界を生じせしめている。
【００２６】磁極１２…を励磁して、浮上板１８を浮上
推進せしめるための回路の一例が、図５に示されてい
る。図５において、周波数１７０Ｈｚの交流電源３０
と、６０Ｈｚの三相交流電源３２とが設けられており、
周波数１７０Ｈｚの電源３０からの出力は抵抗３４Ｕを
介して加算器３６Ｕへ入力され、周波数６０Ｈｚの電源
３２からの出力はゲインコントローラ３８Ｕを介して加
算器３６Ｕへ入力される。そして両者は加算され、加算
された信号が増幅器４０Ｕで増幅されて、電流ＩUとし
て符号Ｕで示す磁極１２…のコイルに通電される。電流
ＩV 、ＩW についても同様である。
推進せしめるための回路の一例が、図５に示されてい
る。図５において、周波数１７０Ｈｚの交流電源３０
と、６０Ｈｚの三相交流電源３２とが設けられており、
周波数１７０Ｈｚの電源３０からの出力は抵抗３４Ｕを
介して加算器３６Ｕへ入力され、周波数６０Ｈｚの電源
３２からの出力はゲインコントローラ３８Ｕを介して加
算器３６Ｕへ入力される。そして両者は加算され、加算
された信号が増幅器４０Ｕで増幅されて、電流ＩUとし
て符号Ｕで示す磁極１２…のコイルに通電される。電流
ＩV 、ＩW についても同様である。
【００２７】ゲインコントローラ（３８Ｕ、３８Ｖ、３
８Ｗ）において、ゲインをゼロに設定すれば浮上板１８
は静止した状態で浮上し、ゲインを高くすればスリップ
が変るため、浮上台１８は進行方向Ｍ（図４）について
移動を開始する。そしてゲインを絞れば、一定速度で移
動するのである。
８Ｗ）において、ゲインをゼロに設定すれば浮上板１８
は静止した状態で浮上し、ゲインを高くすればスリップ
が変るため、浮上台１８は進行方向Ｍ（図４）について
移動を開始する。そしてゲインを絞れば、一定速度で移
動するのである。
【００２８】図６は、上述したのとは別の実施例を示し
ている。図６の実施例においては、隔壁１０の頂部近傍
で、磁極１２、１２に対応する箇所に、例えば鉄の様な
磁性材料製の板状部材４４、４４が設けられている。こ
こで、図６において板状部材４４は２列設けられている
が、一列にすることも可能である。
ている。図６の実施例においては、隔壁１０の頂部近傍
で、磁極１２、１２に対応する箇所に、例えば鉄の様な
磁性材料製の板状部材４４、４４が設けられている。こ
こで、図６において板状部材４４は２列設けられている
が、一列にすることも可能である。
【００２９】この実施例において、磁性材料製の板状部
材４４、４４を設けたことにより、磁束が上方に引っ張
られて浮上力が増加するのである。その他の構成、作用
については図１〜３のものと相違する点は無いので、重
複説明は省略する。
材４４、４４を設けたことにより、磁束が上方に引っ張
られて浮上力が増加するのである。その他の構成、作用
については図１〜３のものと相違する点は無いので、重
複説明は省略する。
【００３０】図７は、本発明のさらに別の実施例を示し
ている。図７において、上述の実施例の部材に対応する
部材には、その符号に添字ａを付して表現している。
ている。図７において、上述の実施例の部材に対応する
部材には、その符号に添字ａを付して表現している。
【００３１】上述の実施例において磁極１２が２列配列
されていたが、図７の実施例ではヨーク状磁極１２ａが
１列のみ配列されている。この実施例において、コイル
１６ａに通電すると、従来技術と同様に浮上板１８が浮
上し、そして移動磁界の発生に伴い、図７の紙面に垂直
な方向へ浮上移動する。
されていたが、図７の実施例ではヨーク状磁極１２ａが
１列のみ配列されている。この実施例において、コイル
１６ａに通電すると、従来技術と同様に浮上板１８が浮
上し、そして移動磁界の発生に伴い、図７の紙面に垂直
な方向へ浮上移動する。
【００３２】ここで、磁極１２ａが励磁した際には、図
７において符号４８で示す様な磁束が発生する。そし
て、この磁束４８により、浮上板１８は横方向Ｈについ
て安定するのである。なお、図示はされていないが、隔
壁１０ａの上部で磁極１２ａに対応する箇所に、図６の
部材４４に対応する磁性材料製の板状部材を設け、浮上
力を向上させるのが好ましい。
７において符号４８で示す様な磁束が発生する。そし
て、この磁束４８により、浮上板１８は横方向Ｈについ
て安定するのである。なお、図示はされていないが、隔
壁１０ａの上部で磁極１２ａに対応する箇所に、図６の
部材４４に対応する磁性材料製の板状部材を設け、浮上
力を向上させるのが好ましい。
【００３３】図示の実施例はあくまでも例示であり、特
許請求の範囲の内容をこれに限定する趣旨ではない。換
言すれば、特許請求の範囲の記載に従って、図示以外に
も種々の変更が可能である旨を付記する。
許請求の範囲の内容をこれに限定する趣旨ではない。換
言すれば、特許請求の範囲の記載に従って、図示以外に
も種々の変更が可能である旨を付記する。
【００３４】
【発明の効果】以上説明した本発明の効果を以下に列挙
する。
する。
【００３５】（１） 平板状の搬送台（浮上板）を採用
することが出来る。
することが出来る。
【００３６】（２） 搬送台にＶ字形の溝を設けなくて
も、水平方向について十分な安定力を得ることが出来
る。
も、水平方向について十分な安定力を得ることが出来
る。
【００３７】（３） ヨーク状磁極を三相交流によって
励磁することが出来るので、搬送台の浮上移動が円滑に
行われる。
励磁することが出来るので、搬送台の浮上移動が円滑に
行われる。
【００３８】（４） 平板状であるため、搬送台が隔壁
に着庄した際に搬送対象物が落下する恐れが無い、
（５） 隔壁で包囲した搬送機構にも採用出来る。
に着庄した際に搬送対象物が落下する恐れが無い、
（５） 隔壁で包囲した搬送機構にも採用出来る。
【００３９】（６） Ｖ字形の溝を必要としないので、
全高が低く抑えられる。
全高が低く抑えられる。
【００４０】（７） ロボットハンド等による受け渡し
も容易である。
も容易である。
【００４１】（８） 半導体製造設備における搬送機構
としても採用可能であり、特に、発塵防止の観点から極
めて良好な結果をもたらす。
としても採用可能であり、特に、発塵防止の観点から極
めて良好な結果をもたらす。
【図１】本発明の１実施例の正面図。
【図２】図１の実施例の側面図。
【図３】図１の実施例の作用を説明する正面図。
【図４】図１の実施例において、移動磁界発生のための
手段を説明する側面図。
手段を説明する側面図。
【図５】図４の手段の電気回路の一例を示すブロック図
【図６】本発明の他の実施例を示す正面図。
【図７】本発明の更に別の実施例を示す正面図。
【図８】従来技術を示す正面図。
【図９】従来技術を示す側面図。
１０・・・隔壁 １２、１２ａ・・・ヨーク状磁極 １６、１６ａ・・・コイル １８、１８ａ・・・浮上板（搬送台） ２０・・・ウエハ ２２、２２ａ・・・基盤 ２６、４８・・・磁束 ３０、３２・・・交流電源 ３８Ｕ、３８Ｖ、３８Ｗ・・・ゲインコントローラ Ｈ・・・水平方向 Ｔ・・・垂直方向 Ｍ・・・搬送台進行方向
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年７月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】図２は、図１の実施例を別の角度から見た
状態が示している。図２から明らかな様に、磁極１２は
搬送台走行方向（図２では矢印Ｍで示す）に複数個が直
列に配列されている。また、基盤２２も搬送台走行方向
Ｍに延長している。なお、図２において符号２４は、ウ
エハ２０を取り扱うロボットハンドが出入りするための
開閉可能な扉部を示している。図２では明確に示されて
いないが、浮上板１８の搬送台走行方向Ｍの長さＬは磁
極１２間のピッチＰの３倍に設定されている。また、図
１から明らかな様に、浮上板１８の水平方向Ｈの幅は、
２列のコイル１６、１６の端部から端部までの幅方向長
さに対応している。 ─────────────────────────────────────────────────────
状態が示している。図２から明らかな様に、磁極１２は
搬送台走行方向（図２では矢印Ｍで示す）に複数個が直
列に配列されている。また、基盤２２も搬送台走行方向
Ｍに延長している。なお、図２において符号２４は、ウ
エハ２０を取り扱うロボットハンドが出入りするための
開閉可能な扉部を示している。図２では明確に示されて
いないが、浮上板１８の搬送台走行方向Ｍの長さＬは磁
極１２間のピッチＰの３倍に設定されている。また、図
１から明らかな様に、浮上板１８の水平方向Ｈの幅は、
２列のコイル１６、１６の端部から端部までの幅方向長
さに対応している。 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年１０月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】図２は、図１の実施例を別の角度から見た
状態が示している。図２から明らかな様に、磁極１２は
搬送台走行方向（図２では矢印Ｍで示す）に複数個が直
列に配列されている。また、基盤２２も搬送台走行方向
Ｍに延長している。なお、図２において符号２４は、ウ
エハ２０を取り扱うロボットハンドが出入りするための
開閉可能な扉部を示している。図２では明確に示されて
いないが、浮上板１８の搬送台走行方向Ｍの長さＬは磁
極１２間のピッチＰの３倍に設定されている。また、図
１から明らかな様に、浮上板１８の水平方向Ｈの幅は、
２列のコイル１６、１６の端部から端部までの幅方向長
さに対応している。
状態が示している。図２から明らかな様に、磁極１２は
搬送台走行方向（図２では矢印Ｍで示す）に複数個が直
列に配列されている。また、基盤２２も搬送台走行方向
Ｍに延長している。なお、図２において符号２４は、ウ
エハ２０を取り扱うロボットハンドが出入りするための
開閉可能な扉部を示している。図２では明確に示されて
いないが、浮上板１８の搬送台走行方向Ｍの長さＬは磁
極１２間のピッチＰの３倍に設定されている。また、図
１から明らかな様に、浮上板１８の水平方向Ｈの幅は、
２列のコイル１６、１６の端部から端部までの幅方向長
さに対応している。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 衛 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内 (72)発明者 江口 真人 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内
Claims (5)
- 【請求項１】 隔壁内に収容されて外部雰囲気から遮断
され且つ非磁性且つ良導体材料から構成されて対象物を
載置する搬送台と、軌道とを含み、該搬送台は該軌道及
び隔壁に対して非接触状態を維持しつつその上方を浮上
走行する磁気浮上搬送装置において、前記軌道は断面形
状が概略コ字状をした複数のヨーク状磁極から構成され
ており、前記搬送台は少なくともその下面が平坦である
様な断面形状をしており、前記ヨーク状磁極の上方に突
出した部分にはコイルが設けられ、その下部には磁性材
料製の平板が設けられており、該ヨーク状磁極は複数個
ずつユニットとして前記搬送台の走行方向へ直列に配置
されていることを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項２】 前記ヨーク状磁極は２列設けられてお
り、３対ずつが１つのユニットとなって搬送台の走行方
向へ直列に配置されている請求項１に記載の磁気浮上搬
送装置。 - 【請求項３】 前記隔壁の上部で前記ヨーク状磁極に対
応する箇所に、磁性材料製の板状部材が設けられている
請求項１、２のいずれかに記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項４】 前記ヨーク状磁極に設けたコイルを励磁
して前記搬送台の走行に必要な推進力を得るための制御
回路として、周波数が比較的高い電源と周波数が比較的
低い電源とを備え、周波数が比較的低い電源からの信号
のゲインを制御するゲインコントローラと、ゲインコン
トローラを介して供給される信号と周波数が比較的高い
電源からの信号とを加算する加算器と、該加算器からの
出力を増幅して所定の磁極に設けられたコイルへ供給す
る増幅器、とを含む回路を有する請求項１、２、３のい
ずれか一項に記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項５】 前記搬送台の走行方向の長さは、前記ヨ
ーク状磁極の搬送台走行方向のピッチに対して３倍以上
の整数倍に設定されている請求項１、２、３、４のいず
れか一項に記載の磁気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172666A JPH05236610A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172666A JPH05236610A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05236610A true JPH05236610A (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=15946123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3172666A Pending JPH05236610A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05236610A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006067974A1 (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Kyushu Institute Of Technology | 超電導磁気浮上による非接触搬送装置 |
| KR101146915B1 (ko) * | 2009-11-26 | 2012-05-22 | 한국전기연구원 | 수평형 비접촉식 증착장치 |
| WO2016110948A1 (ja) * | 2015-01-07 | 2016-07-14 | 株式会社日立製作所 | モータシステム及び圧縮機 |
| KR20200002797A (ko) * | 2018-06-26 | 2020-01-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 강자성 엘리먼트까지의 거리를 측정하기 위한 거리 센서, 자기 부상 시스템, 및 강자성 엘리먼트까지의 거리를 측정하기 위한 방법 |
| WO2020057739A1 (en) * | 2018-09-19 | 2020-03-26 | Applied Materials, Inc. | Magnetic levitation system, base of a magnetic levitation system, vacuum system, and method of contactlessly holding and moving a carrier in a vacuum chamber |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP3172666A patent/JPH05236610A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006067974A1 (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Kyushu Institute Of Technology | 超電導磁気浮上による非接触搬送装置 |
| KR100827738B1 (ko) * | 2004-12-20 | 2008-05-07 | 고쿠리츠 다이가쿠 호진 큐슈 코교 다이가쿠 | 초전도 자기 부상에 의한 비접촉 반송 장치 |
| JPWO2006067974A1 (ja) * | 2004-12-20 | 2008-06-12 | 国立大学法人九州工業大学 | 超電導磁気浮上による非接触搬送装置 |
| JP4543181B2 (ja) * | 2004-12-20 | 2010-09-15 | 国立大学法人九州工業大学 | 超電導磁気浮上による非接触搬送装置 |
| KR101146915B1 (ko) * | 2009-11-26 | 2012-05-22 | 한국전기연구원 | 수평형 비접촉식 증착장치 |
| WO2016110948A1 (ja) * | 2015-01-07 | 2016-07-14 | 株式会社日立製作所 | モータシステム及び圧縮機 |
| JPWO2016110948A1 (ja) * | 2015-01-07 | 2017-10-19 | 株式会社日立製作所 | モータシステム及び圧縮機 |
| US10288117B2 (en) | 2015-01-07 | 2019-05-14 | Hitachi, Ltd. | Motor system and compressor equipped therewith |
| KR20200002797A (ko) * | 2018-06-26 | 2020-01-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 강자성 엘리먼트까지의 거리를 측정하기 위한 거리 센서, 자기 부상 시스템, 및 강자성 엘리먼트까지의 거리를 측정하기 위한 방법 |
| WO2020057739A1 (en) * | 2018-09-19 | 2020-03-26 | Applied Materials, Inc. | Magnetic levitation system, base of a magnetic levitation system, vacuum system, and method of contactlessly holding and moving a carrier in a vacuum chamber |
| US11377310B2 (en) | 2018-09-19 | 2022-07-05 | Applied Materials, Inc. | Magnetic levitation system, base of a magnetic levitation system, vacuum system, and method of contactlessly holding and moving a carrier in a vacuum chamber |
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