JPH08172706A - ガス浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】分岐部において移動体の移動速度を低下させる
ことなく移動体を分岐させるガス浮上搬送装置を提供す
る。 【構成】ワ−クが載置される移動体３０と、ワ−クの搬
送経路にしたがって敷設された、基準レ−ル（レ−ル１
０ａ、１０ｂ）および分岐レ−ル（レ−ル１０ｃ、１０
ｄ）と、移動体３０に向かってガスを噴出し、移動体３
０を各レ−ルから浮上させるガス噴出口５０と、電磁石
６０ａ、６０ｂとを備える。移動体３０には、永久磁石
２０ａ〜２０ｄが設けられている。電磁石６０ａ、６０
ｂは、永久磁石２０ａ〜２０ｄとの間に吸引力または反
発力を働かせ、移動体３０を基準レ−ルまたは分岐レ−
ルに誘導する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置、保管
装置、検査装置等を結び、ワークを搬送するガス浮上搬
送装置に係り、特に、その分岐機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の搬送装置としては、例えば、特開
昭６０−１１８５２９号公報に記載されているものがあ
る。この搬送装置は、ワ−クが載置される搬送台車を案
内するための複数の搬送路を備えており、さらに、搬送
路間には、ターンテーブルが設けられている。ターンテ
ーブルは、搬送台車を載せた状態で回転し、当該搬送台
車を目的の移動方向に姿勢転換する。

【０００３】しかしながら、この搬送装置では、搬送台
車を姿勢転換させる際に、当該搬送台車を一旦タ−ンテ
−ブルの上に停止させる必要であった。搬送台車をこの
ように停止させてしまうと、ワ−クの搬送効率が低下し
てしまう。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】また、従来の搬送装置
としては、特開平２−１５９９０７号公報に記載されて
いるものがある。この搬送装置では、搬送車を案内する
ための基準レ−ルと、分岐レ−ルが敷設されている。基
準レ−ルと分岐レ−ルの間には、可動レ−ルが設けられ
ている。可動レ−ルは、基準レ−ルにヒンジ機構を介し
て連結しており、エアシリンダの駆動により、分岐レ−
ルに解除可能に接続することができる。

【０００５】しかしながら、この搬送装置では、前述の
ヒンジ機構や、エアシリンダと可動レ−ルとの連結部分
が外部に露出している。したがって、これが動作する際
に、塵挨が発生してしまう。半導体製造工程等では、こ
のような塵挨は悪影響を及ぼしてしまう。また、この搬
送装置のように、基準レ−ルとして、直進レ−ルを用い
た場合、可動レ−ルも直進レ−ルにする必要がある。し
たがって、搬送車は、基準レ−ルから分岐レ−ルに乗り
移る際に、鋭角に移動しなければならない。搬送車がこ
のような移動を行うと、搬送車に載置されているワ−ク
が揺れてしまう。

【０００６】また、塵挨の発生をともなわない従来の搬
送装置としては、例えば、特開平２−３３０３１号公報
に記載されているものがある。しかしながら、この搬送
装置は、直進搬送に関するものであり、搬送物を所定の
方向に分岐させて移動するものではない。

【０００７】本発明の目的は、分岐部において、移動体
を減速または停止させることなく、スム−ズに誘導する
ことができるガス浮上搬送装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の第１の態様によれば、ワ−クが載置される移
動体と、前記ワ−クの搬送経路にしたがって敷設された
複数のレ−ルと、前記移動体に向かってガスを噴出し、
該移動体を前記レ−ルから浮上させるガス噴出手段と、
前記移動体を誘導する移動体誘導手段とを備え、前記移
動体には、前記レ−ルに対向する被案内部が設けられ、
該被案内部と前記レ−ルとは、該被案内部が該レ−ルと
非接触であっても該被案内部が該レ−ル上に案内される
よう、いずれも磁性体で形成されているとともに、少な
くとも一方が磁化された磁性体であり、前記複数のレ−
ルは、少なくとも、基準レ−ルと、該基準レ−ルから分
岐する分岐レ−ルの２つのレ−ルを含み、前記移動体誘
導手段は、前記基準レ−ルから前記分岐レ−ルが分岐す
る分岐部に向かって、前記移動体が前記基準レ−ル上を
進行する場合に、該移動物体が該分岐部に差し掛かった
ときに、該移動体を該基準レ−ルに誘導するか、また
は、該移動体を前記分岐レ−ルに誘導することを特徴と
するガス浮上搬送装置が提供される。

【０００９】前記目的を達成するための本発明の第２の
態様によれば、第１の態様において、前記分岐部に差し
掛かる前に前記移動体を検出する検出手段をさらに備
え、前記移動体誘導手段は、前記検出手段の検出タイミ
ングに基づいて、前記移動体の誘導タイミングを算出
し、該誘導タイミングで前記移動体を誘導することを特
徴とするガス浮上搬送装置が提供される。

【００１０】前記目的を達成するための本発明の第３の
態様によれば、第１または第２の態様において、前記移
動体誘導手段は、前記分岐部に設けられた、磁性体であ
る案内部と、該案内部と前記被案内部との間に、反発力
または吸引力が働くように、該案内部を磁化することで
前記移動体を誘導する磁化調整手段とを備えることを特
徴とするガス浮上搬送装置が提供される。

【００１１】前記目的を達成するための本発明の第４の
態様によれば、第３の態様において、前記案内部を前記
基準レ−ルの一部および前記分岐レ−ルの一部として用
いることを特徴とするガス浮上搬送装置が提供される。

【００１２】前記目的を達成するための本発明の第５の
態様によれば、第１または第２の態様において、前記基
準レ−ルは、前記分岐部において分断されており、前記
移動体誘導手段は、前記移動体を前記基準レ−ルに誘導
する場合には、前記基準レ−ルの分断された一方の端部
を、分断された他方の端部に接続し、前記移動体を前記
分岐レ−ルに誘導する場合には、前記基準レ−ルの分断
された一方の端部を、前記分岐レ−ルに接続させる接続
手段と、前記一方の端部および前記接続手段を少なくと
も封入する封入手段とを備えることを特徴とするガス浮
上搬送装置が提供される。

【００１３】前記目的を達成するための本発明の第６の
態様によれば、第１または第２の態様において、前記移
動体誘導手段は、前記分岐部に設けられ、かつ、前記移
動体を誘導するためのガスを噴出する誘導用ガス噴出手
段を備えることを特徴とするガス浮上搬送装置が提供さ
れる。

【００１４】前記目的を達成するための本発明の第７の
態様によれば、第１または第２の態様において、前記移
動体は、非磁性の導体であり、前記移動体誘導手段は、
前記分岐部に設けられ、かつ、前記移動体を誘導するた
めの磁界を発生させる誘導磁界発生手段を備えることを
特徴とするガス浮上搬送装置が提供される。

【００１５】前記目的を達成するための本発明の第８の
態様によれば、第１、第２、第３、第４、第６または第
７の態様において、前記分岐レ−ルは、前記分岐部にお
いて、前記基準レ−ルに対して隙間が空くように敷設さ
れていることを特徴とするガス浮上搬送装置が提供され
る。

【００１６】前記目的を達成するための本発明の第９の
態様によれば、第１、第２、第３、第４、第５、第６、
第７または第８において、前記移動体は、非磁性の導電
体であり、前記分岐レ−ルは、前記基準レ−ルから分岐
したのち、再び前記基準レ−ルに接続し、該分岐レ−ル
の途中には、前記移動体を発進および停止させるための
進行磁界発生手段が設けられていることを特徴とするガ
ス浮上搬送装置が提供される。

【００１７】前記目的を達成するための本発明の第１０
の態様によれば、第９の態様において、前記進行磁界発
生手段の設置位置に対応するように前記分岐レ−ルに隣
接して設けられ、かつ、停止している移動体に対してワ
−クの積み降ろしを行う移載手段をさらに備えることを
特徴とするガス浮上搬送装置が提供される。

【００１８】前記目的を達成するための本発明の第１１
の態様によれば、第１、第２、第３、第４、第５、第
６、第７、第８、第９、または第１０態様において、前
記基準レ−ルは、前記移動体が周回軌道を描けるように
閉ル−プ状に敷設されている部分を有することを特徴と
するガス浮上搬送装置が提供される。

【００１９】

【作用】本発明によれば、移動体は、ガス噴出手段より
噴出されるガスによって浮上する。また、磁性体である
非案内部と、同じく磁性体であるレ−ルとは、互いの間
に吸引力が働くよう、少なくとも一方が磁化されてい
る。これにより、移動体は、レ−ルから浮上した状態で
あっても、該レ−ルにしたがって案内される。すなわ
ち、移動体に進行方向の力を加えてやれば、該移動体
は、レ−ル上を非接触の状態で移動することができる。
このように構成すれば、移動体のどの部分についても摺
動させることなく移動体を移動させることが可能とな
り、無発塵な搬送装置を実現できる。

【００２０】また、複数のレ−ルには、少なくとも、基
準レ−ルと、該基準レ−ルから分岐する分岐レ−ルの２
つのレ−ルが含まれている。分岐レ−ルを用いて、移動
体を所定の方向に分岐させれば、移動体の進行方向は、
該分岐レ−ルに沿って徐々に変化していくことになる。
すなわち、移動体の進行方向速度を実際上低下させるこ
となく分岐させることが可能となる。この為、搬送時間
を短縮でき、搬送効率を上げることができる。もちろ
ん、ターンテーブルを有する従来の搬送装置が備えてい
た、移動体の速度を低下させるための減速機構も必要と
しない。

【００２１】また、分岐部に差し掛かる前に移動体を検
出する検出手段を備えれば、移動体の誘導タイミングを
算出することもできる。さらに、分岐部に設けられた案
内部と移動体の被案内部との間に、反発力または吸引力
を働せて該移動体を誘導すれば、移動体に部材が直接接
触することがないので無発塵な誘導が行える。なお、案
内部をレ−ルの一部として兼用すれば部品点数が減少す
る。これ以外にも、移動体に向かってガスを噴出した
り、また、誘導磁界を発生させて誘導を行ってもよい。

【００２２】また、分岐部において分断されている基準
レ−ルを備え、移動体を基準レ−ルに誘導する場合に
は、基準レ−ルの分断された一方の端部を、分断された
他方の端部に接続し、移動体を分岐レ−ルに誘導する場
合には、基準レ−ルの分断された一方の端部を、分岐レ
−ルに接続させてもよい。この場合、一方の端部および
接続手段は、封入手段により封入されるので、これらの
摺動による発塵は発生しない。

【００２３】なお、分岐レ−ルを基準レ−ルに対して隙
間が空くように敷設してもよい。このようにすれば、分
岐部において移動体を基準レ−ルに沿って進行させ続け
る場合に該移動体に力を与える必要がない。

【００２４】また、分岐レ−ル上において、進行磁界発
生手段により移動体を停止させ、移載手段によりワ−ク
の積み降ろしを行うこともできる。また、基準レ−ルを
閉ループにすれば、一方通行でワ−クを搬送することも
できる。一方通行でワークを搬送する場合、複数の移動
体を同時に移動させても移動体どうしの接触の可能性が
少ない。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の各種実施例を図面を用いて説
明する。

【００２６】図１、図２には、第１の実施例が示されて
いる。図１に示すように、本実施例のガス浮上搬送装置
は、搬送路形成ベ−ス４０と、この上面から浮上した状
態で移動する移動体３０とを有して構成される。

【００２７】移動体３０は、その下面が概略平滑に加工
されたアルミニウム製の板状部材であり、四隅に磁性体
である被案内部（本実施例では、永久磁石）２０ａ〜２
０ｄが埋め込まれている。永久磁石２０ａ〜２０ｄのそ
れぞれは、円柱形で、上下方向に磁化している。

【００２８】搬送路形成ベ−ス４０は、移動体３０の搬
送経路に応じて敷設されており、移動体３０と同様、ア
ルミニウム製である。搬送路形成ベ−ス４０の上面部に
は、基準レ−ル（レ−ル１０ａ、１０ｂ）と分岐レ−ル
（レ−ル１０ｃ、１０ｄ）が設置されている。レ−ル１
０ａ〜１０ｄのそれぞれは、珪素鋼板を重ね合わせて構
成されている。具体的には、レ−ル１０ａについては、
ｘ軸方向を長手方向、ｙ軸方向を厚さ方向とする複数の
珪素鋼板が、ｙ軸方向に重ね合わさって構成されてい
る。また、搬送路形成ベ−ス４０の上面部には、レ−ル
１０ａ〜１０ｄのそれぞれに沿って配置された多数のガ
ス噴出口５０が設けられている。

【００２９】移動体３０は、ガス噴出口５０より噴出さ
れるクリーンエアの力によって浮上しつつ、永久磁石２
０ａ〜２０ｄとレ−ル１０ａ〜１０ｄとの間に発生する
吸引力、および、移動体３０の自重による力を受ける。
これらの力のバランスを保つことにより、移動体３０を
レ−ル１０ａ〜１０ｄから外れることなく案内すること
ができる。なお、移動体３０にワ−ク（例えば、複数の
シリコンウエハや、これらを収納するウエハカセット）
が載置される場合には、この重量も考慮される。移動体
３０の側面には、被認識マ−ク１４０が付けられている
が、これについては後述する。

【００３０】図２に示すように、レ−ル１０ａとレ−ル
１０ｂとの間には、移動体３０にｘ軸の正方向の推力を
与えるリニアモータ１３０が組み込まれている。なお、
リニアモータ１３０は、移動体３０自体をリアクション
プレ−トとして扱うので、移動体３０側に推進用の特別
な装置を設ける必要はない。レ−ル１０ａとレ−ル１０
ｃとの分岐部には、電磁石６０ａが設けられている。一
方、レ−ル１０ｂとレ−ル１０ｄとの分岐部には、電磁
石６０ｂが設けられている。電磁石６０ａ、６０ｂは、
移動体３０を誘導するための誘導手段の役割を果たす。
電磁石６０ａの隣には、磁気センサ７０ａが配置されて
いる。また、レ−ル１０ａ、１０ｂを挟んで、磁気セン
サ７０ａに対向するように、磁気センサ７０ｂが配置さ
れている。磁気センサ７０ａは、永久磁石２０ａ、２０
ｃの下面の極性を判別するためのセンサであり、また、
磁気センサ７０ｂは、永久磁石２０ｂ、２０ｄの下面の
極性を判別するためのセンサである。リニアモータ１３
０により推力を与えられた移動体３０は、その後、ｘ軸
の正方向に慣性運動で移動し、電磁石６０ａ、６０ｂの
作用に応じて、レ−ル１０ａ、１０ｂ側、または、レ−
ル１０ｃ、１０ｄ側に進行する。

【００３１】本実施例の搬送装置の制御に関する構成
は、図２９に示されている。

【００３２】図２９に示すように、磁気センサ７０ａ、
７０ｂは、極性判別ユニット２１０に接続されている。
極性判別ユニット２１０は、磁気センサ７０ａ、７０ｂ
の出力に応じて、永久磁石２０ａ〜２０ｄの極性を判別
し、その判別結果をコントロ−ラ２２０に送信する。コ
ントロ−ラ２２０には、上位コントロ−ラ２３０が接続
されており、当該上位コントロ−ラ２３０の指示にした
がって動作する。具体的には、電源ユニット２４０を介
して、電磁石６０ａ、６０ｂを励磁する。なお、極性判
別ユニット２１０には、搬送路形成ベ−ス４０の図２に
図示されていない部分に設けられた磁気センサも接続さ
れる。同様に、電磁石６０ａ、６０ｂ以外の電磁石につ
いても電源ユニット２４０に接続される。

【００３３】つぎに、移動体３０をレ−ル１０ａ、１０
ｂ側、または、レ−ル１０ｃ、１０ｄ側に進行させるた
めの制御動作について図３０を用いて説明する。なお、
図３０では、移動体３０の永久磁石２０ａと、搬送路形
成ベ−ス４０の電磁石６０ａに着目して説明する。

【００３４】コントロ−ラ２２０は、磁気センサ７０ａ
が永久磁石２０ａに反応したことを検出すると（Ｓ１０
１）、移動体３０を分岐軌道（レ−ル１０ｃ、１０ｄ
側）に導くか、直進軌道（レ−ル１０ａ、１０ｂ側）上
をそのまま移動させるかを決定する（Ｓ１０２）。この
指示は、上位コントロ−ラ２３０から与えられる。

【００３５】コントロ−ラ２２０は、移動体３０を分岐
軌道に進行させる場合、磁気センサ７０ａ、極性判別ユ
ニット２１０を介して永久磁石２０ａの下面の極性が
「Ｎ」か否かを判断する（Ｓ１０３）。極性が「Ｎ」で
ある場合、コントロ−ラ２２０は、電磁石６０ａの上面
の極性を決定し（この場合は、「Ｓ」）、磁化のタイミ
ングを算出する（Ｓ１０４）。そして、コントロ−ラ２
２０は、算出した磁化タイミングで、電磁石６０ａに対
し、当該電磁石６０ａの上面の極性を「Ｓ」にするため
の電流を電源ユニット２４０を用いて出力する（Ｓ１０
５）。この電流により、電磁石６０ａの上面は、「Ｓ」
に磁化する（Ｓ１０６）。これにより、永久磁石２０ａ
と、電磁石６０ａとの間に吸引力が働き、永久磁石２０
ａは、レ−ル１０ｃ側に案内される（Ｓ１０７）。

【００３６】一方、Ｓ１０３において、永久磁石２０ａ
の下面の極性が「Ｓ」であることを検出した場合、Ｓ１
０８、Ｓ１０９、Ｓ１１０に示すように、電磁石６０ａ
の上面を「Ｎ」に磁化し、永久磁石２０ａを案内する。
また、Ｓ１０２において、移動体３０を直進軌道に進行
させることを決定した場合には、永久磁石２０ａと、電
磁石６０ａとの間に、反発力を働かせ、永久磁石２０ａ
をレ−ル１０ａ側に案内する（Ｓ１１１）。

【００３７】以上が永久磁石２０ａおよび電磁石６０ａ
に関する動作であるが、これと同時に、永久磁石２０ｂ
および電磁石６０ｂは、つぎのように動作する。すなわ
ち、移動体３０を分岐軌道（レ−ル１０ｃ、１０ｄ側）
に導く場合には、磁気センサ７０ｂで永久磁石２０ｂの
通過を確認して永久磁石２０ｂの下面の極性を識別し、
つぎに、電磁石６０ｂを永久磁石２０ｂの下面の極性と
逆の極性に磁化する。これにより、電磁石６０ｂと永久
磁石２０ｂとの間に吸引力が発生し、永久磁石２０ｂを
レ−ル１０ｄへ案内することができる。反対に、移動体
３０を直進軌道に進行させる場合には、電磁石６０ｂと
永久磁石２０ｂの間に反発力を発生させ、永久磁石２０
ｂをレ−ル１０ｂへ案内する。

【００３８】また、永久磁石２０ｃ、２０ｄについて
も、このような吸引力、反発力を用いて案内するが、移
動体３０をレ−ル１０ｃ、１０ｄ側に導く場合を例にと
って説明すると次のようになる。

【００３９】磁気センサ７０ａで永久磁石２０ｃの通過
を確認すると、電磁石６０ａを永久磁石２０ｃの下面の
極性と逆の極性に磁化して吸引力を発生させ、永久磁石
２０ｃをレ−ル１０ｃへ案内する。そして、これと同時
に、電磁石６０ｂを永久磁石２０ｄの下面の極性と逆の
極性に磁化して吸引力を発生させ、永久磁石２０ｄをレ
−ル１０ｄへ案内する。

【００４０】なお、永久磁石２０ａ、２０ｃは、レ−ル
１０ａ上を直進する際、レ−ル１０ａとレ−ル１０ｄと
の交差点に差し掛かった場合には、移動体３０の慣性運
動の働きによって、当該交差点を通過し、レ−ル１０ａ
上を移動し続ける。同様に、永久磁石２０ｂ、２０ｄ
は、レ−ル１０ｄ上を移動する際、慣性運動によって、
レ−ル１０ａとレ−ル１０ｄの交差点を通過する。

【００４１】以上が移動体３０の分岐動作、直進動作の
それぞれの場合における一連の制御動作であるが、この
際、例えば、電磁石６０ａ、６０ｂの磁化の強さが小さ
すぎると、反発力と吸引力を充分な大きさに設定できな
くなる。つまり、永久磁石２０ａ〜２０ｄを目的とする
レ−ルに案内することができなくなる。反対に、電磁石
６０ａ、６０ｂの磁化の強さが大きすぎると、反発力と
吸引力が過剰になり、移動体３０が、永久磁石２０ａ〜
２０ｄとレ−ル１０ａ〜１０ｄとの吸引力による案内か
ら外れてしまう可能性がある。また、磁化のタイミング
を適切に設定しないと、分岐の際、移動体３０に必要以
上の加減速が加わることになる。

【００４２】したがって、電磁石６０ａ、６０ｂの磁化
の強さと、磁化のタイミングについて、これらのことを
考慮して適切に設定する必要がある。

【００４３】なお、本実施例ではレ−ル１０ａ〜１０ｄ
に珪素鋼板を使用しているが、低炭素鋼等の軟磁性材料
を用いたり、鉄損が大きくなるが通常の鋼板のような強
磁性体を用いても良い。移動体３０および搬送路形成ベ
−ス４０のそれぞれは、非磁性体であればよく、真鍮等
を用いることもできる。また、永久磁石２０ａ〜２０ｄ
の代わりに永久磁石と鉄心、電磁コイル、もしくは電磁
コイルと鉄心で構成しても良い。

【００４４】また、レ−ル１０ａ〜１０ｄのそれぞれを
永久磁石や電磁石で構成したり、レ−ル１０ａ〜１０ｄ
のそれぞれを鉄のような強磁性体で構成し、その後、こ
れらを永久磁石や電磁石で磁化しても良い。レ−ル１０
ａ〜１０ｄの極性は、移動体３０の被案内部（例えば、
本実施例のような永久磁石）の極性と異なるように設定
する。なお、レ−ル１０ａ〜１０ｄをこのように構成し
た場合、永久磁石２０ａ〜２０ｄの代わりに、鉄のよう
な強磁性体を用いてもよい。

【００４５】すなわち、移動体３０の被案内部とレ−ル
１０ａ〜１０ｄとの間に吸引力が発生するような組み合
わせであれば、その構成は特に限定されない。ただし、
被案内部に、磁化されていないものを用いた場合には、
当該被案内部と電磁石６０ａ、６０ｂとの間に吸引力し
か働かないので、前述したような反発力を利用できなく
なる。したがって、このような場合は、電磁石６０ｂの
設置位置を、レ−ル１０ｂの外側に変更する。この構成
では、レ−ル１０ｃ、１０ｄ側に移動体３０を移動させ
る場合には、電磁石６０ａのみを動作させて吸引力を発
生させ、移動体３０を案内する。一方、レ−ル１０ａ、
１０ｂに沿って移動体３０を移動させる場合には電磁石
６０ｂのみを動作させ、移動体３０を直進させる。

【００４６】また、本実施例では、被案内部の磁化方向
を磁気センサによって検出しているが、被案内部の磁化
方向が予め判っている場合や、被案内部が磁化されてい
ない場合には、磁気センサの代わりに光学センサ等を用
いて被案内部を検出してもよい。また、移動体３０の表
面に、被案内部の位置を特定できるマークを付け、その
マークを光学センサ等で検出するように構成してもよ
い。

【００４７】また、搬送路形成ベ−ス４０全体を隔離壁
で覆って外界と隔離し、さらに、浮上用ガスとして、窒
素のような反応性の低いガスや、アルゴン等の不活性な
ガスを使用すれば、移動体３０に載置されるワークの化
学反応（例えば、酸化反応）を抑えることができる。

【００４８】なお、本実施例では磁界発生機構として電
磁石６０ａ、６０ｂを用いているが、この代わりに搬送
路形成ベ−ス４０に永久磁石を設けて、これを移動さ
せ、永久磁石２０ａ〜２０ｄに作用する磁界を変化させ
てもよい。永久磁石２０ａ〜２０ｄの形状は、円柱形に
限定されるわけではなく、直方体やリング状であっても
よい。磁化の方向も半径方向や、左右方向でも良い。た
だし、永久磁石２０ａ〜２０ｄの形状が軸対称形から大
きく外れる場合には、永久磁石２０ａ〜２０ｄとレ−ル
１０ａ〜１０ｄとの磁力の関係に方向性が生じ、分岐が
円滑に起こらないおそれがある。したがって、形状は注
意して選択する必要がある。なお、必要な吸引力が得ら
れるならば、永久磁石２０ａ〜２０ｄの大きさと、レ−
ル１０ａ〜１０ｄの幅は、それぞれ小さいほど移動体３
０を予定のコースにしたがって正確に移動させることが
できる。

【００４９】また、移動体３０の永久磁石２０ａ〜２０
ｄの数は４個に限ったわけではなく、これ以下でもよ
い。永久磁石の数が減少すれば、加工と部品点数が減る
ことになり、コストを下げることができる。反対に、永
久磁石の数を５個、６個と増やすことにより、レ−ルへ
の吸引力を増加させてもよい。また、これらを分散させ
て配置すれば、移動体３０に対して吸引力を広範囲に均
一にかけることができる。このようにすれば、移動体３
０のピッチングやローリングが抑えられ、レ−ルへの追
従性がよくなり、移動体３０の走行安定性が向上する。
また、移動体３０の形状も正方形に限らず、浮上用ガス
による浮上力を確保するだけの面積を有すれば、円形、
三角形、五角形等、任意の形に形成することができる。
なお、永久磁石２０ａ〜２０ｄのそれぞれの設置位置も
任意に設定することができるが、この場合は各レ−ルの
形状を考慮する必要がある。

【００５０】つぎに、第２の実施例を図３、図４を用い
て説明する。図３は、本実施例のガス浮上搬送装置の平
面図であり、図４は、図３に示すＡ−Ａ断面の断面図で
ある。本実施例では、第１の実施例から磁気センサと電
磁石の数を減らして構成している。図３に示す磁極６６
ａ、６６ｂは、図４に示すように電磁石６５の両端部で
あり、このように本実施例で用いる電磁石は一つであ
る。なお、本実施例では、移動体３０の永久磁石２０
ａ、２０ｂの磁化方向はそれぞれ逆になっており、ま
た、永久磁石２０ｃ、２０ｄの磁化方向もそれぞれ逆に
なっている。

【００５１】まず、レ−ル１０ｃ、１０ｄ側に移動体３
０を案内する方法を説明する。

【００５２】移動体３０がｘ軸の正方向に移動する際、
磁気センサ７０ａで永久磁石２０ａの通過を確認した
ら、磁極６６ａが永久磁石２０ａの下面の極性と逆の極
性になるように電磁石６５を磁化する。磁極６６ｂは、
これにともなって、磁石２０ａの下面と同じ極性に磁化
される。磁極６６ａ、６６ｂがこのように磁化される
と、永久磁石２０ａと磁極６６ａとの間、および、永久
磁石２０ｂと磁極６６ｂとの間に吸引力が発生するの
で、永久磁石２０ａをレ−ル１０ｃに、永久磁石２０ｂ
をレ−ル１０ｄに案内することができる。

【００５３】また、磁気センサ７０ａで永久磁石２０ｃ
の通過を確認したら、磁極６６ａが永久磁石２０ｃの下
面の極性と逆の極性になるように電磁石６５を磁化す
る。これと同時に、磁極６６ｂは永久磁石２０ｃと同じ
極性に磁化される。これにより、永久磁石２０ｃと磁極
６６ａとの間、および、永久磁石２０ｄと磁極６６ｂと
の間に吸引力が発生するので、永久磁石２０ｃをレ−ル
１０ｃに、永久磁石２０ｄをレ−ル１０ｄに案内するこ
とができる。

【００５４】一方、移動体３０をレ−ル１０ａ、１０ｂ
に沿って直進させる場合には上記の方法とは反対に、永
久磁石２０ａ〜２０ｄと、磁極６６ａ、６６ｂとの間の
反発力を利用し、各永久磁石をレ−ル１０ａ、１０ｂに
案内する。

【００５５】つぎに、第３の実施例について図５を用い
て説明する。

【００５６】第２の実施例において、移動体３０の永久
磁石２０ａ〜２０ｄの磁化方向を全て同じにした場合
は、磁極６６ｂを図５に示すように配置すればよい。す
なわち、本実施例では、磁極６６ｂが、分岐部におい
て、レ−ル１０ｂの外側に位置している。このように構
成すれば、図３、図４の場合と同様な分岐動作が可能と
なる。具体的には、永久磁石２０ａと、磁極６６ａとの
間に吸引力が働く際には、これと同時に、永久磁石２０
ｂと、磁極６６ｂとの間に反発力が働くことになる。同
様に、永久磁石２０ｃと、磁極６６ａとの間に吸引力が
働く際には、これと同時に、永久磁石２０ｄと、磁極６
６ｂとの間に反発力が働くことになる。

【００５７】つぎに、第４の実施例を図６を用いて説明
する。本実施例では、磁気センサと電磁石をそれぞれ一
つづつ、同図に示すように配置している。

【００５８】まず、レ−ル１０ｃ、１０ｄ側に移動体３
０を案内する方法を説明する。

【００５９】移動体３０がｘ軸の正方向に移動する際、
磁気センサ７０ａで永久磁石２０ａの通過を確認した
ら、電磁石６０ａを永久磁石２０ａの下面の極性と逆の
極性に磁化させて吸引力を発生させる。これにより、移
動体３０には僅かな回転と移動が加わり、永久磁石２０
ａがレ−ル１０ｃ側へ案内される。また、永久磁石２０
ｂについても、レ−ル１０ｄへ案内される。

【００６０】このあと、永久磁石２０ａがレ−ル１０ｃ
上を移動し、また、永久磁石２０ｂがレ−ル１０ｄ上を
移動するが、磁気センサ７０ａで永久磁石２０ｃの通過
を確認したら、電磁石６０ａを永久磁石２０ｃの下面の
極性と逆の極性に磁化させ、吸引力を発生させる。この
吸引力により、永久磁石２０ｃがレ−ル１０ｃ側へ案内
される。永久磁石２０ｄについても、これにともなっ
て、レ−ル１０ｄ上に侵入する。

【００６１】すなわち、進行方向と直角な方向で対向す
る２個の永久磁石（永久磁石２０ａ、２０ｂ、または、
永久磁石２０ｃ、２０ｄ）がほぼ同時に分岐点に進入す
る場合には、本実施例のように、磁気センサと電磁石
は、それぞれ一つづつでよい。このようにすれば、コス
トが下がり、また、制御が簡単になる。

【００６２】つぎに、第５の実施例を図７〜図９を用い
て説明する。本実施例では、分岐部付近のレ−ルの一部
が磁化されている。なお、図７は、本実施例のガス浮上
搬送装置の平面図であり、図８は、図７の分岐部付近の
拡大図である。図９は、図７の分岐部付近の断面図であ
る。

【００６３】図８に示すように、レ−ル１２ａの途中に
は、切欠きが形成されており、そこに、レ−ル９０ａが
嵌め込まれている。一方、レ−ル１２ｃには、レ−ル９
０ａと隣接するような切欠きが形成され、そこにレ−ル
９０ｃが嵌め込まれている。図９に示すように、レ−ル
９０ａとレ−ル９０ｃの下方には溝が形成されており、
そこには、電磁石６８が配置されている。電磁石６８
は、レ−ル９０ａ、９０ｃのそれぞれに接続している。
なお、レ−ル９０ｂ、９０ｄの下方においても、このよ
うな構成になっている。

【００６４】まず、移動体３０をレ−ル１２ｃ、１２ｄ
側に案内する方法を説明する。

【００６５】ｘ軸の正方向に移動体３０が移動する際
に、磁気センサ７０ａにより永久磁石２０ａの通過を確
認すると、レ−ル９０ｃを永久磁石２０ａの下面の極性
と逆の極性に磁化するとともに、レ−ル９０ａを永久磁
石２０ａの下面の極性と同じ極性に磁化する。レ−ル９
０ａ、９０ｃをこのように磁化すれば、永久磁石２０ａ
をレ−ル９０ｃに案内することができる。同様に、磁気
センサ７０ｂにより永久磁石２０ｂの通過を確認する
と、レ−ル９０ｄを永久磁石２０ｂの下面の極性と逆の
極性に磁化する。これと同時に、レ−ル９０ｂを永久磁
石２０ｂの下面の極性と同じ極性に磁化する。これによ
り、永久磁石２０ｂをレ−ル９０ｄに案内することがで
きる。

【００６６】そして、磁気センサ７０ａにより永久磁石
２０ｃの通過を確認すると、レ−ル９０ｃを永久磁石２
０ｃの下面の極性と逆の極性に磁化するとともに、レ−
ル９０ａを永久磁石２０ｃの下面の極性と同じ極性に磁
化する。これにより、永久磁石２０ｃをレ−ル９０ｃに
案内することができる。また、磁気センサ７０ｂにより
永久磁石２０ｄの通過を確認すると、レ−ル９０ｄを永
久磁石２０ｄの下面の極性と逆の極性に磁化するととも
に、レ−ル９０ｂを永久磁石２０ｄの下面の極性と同じ
極性に磁化する。これにより、永久磁石２０ｄをレ−ル
９０ｄに案内することができる。

【００６７】以上のように、永久磁石２０ａ、２０ｃを
レ−ル９０ｃに、永久磁石２０ｂ、２０ｄをレ−ル９０
ｄに案内した後は、移動体３０は慣性力によってレ−ル
１２ｃ、１２ｄ上を進み続ける。

【００６８】一方、移動体３０をレ−ル１２ａ、１２ｂ
上を直進するように案内する場合は、レ−ル９０ａ〜９
０ｄに対して上記と逆の動作を行えばよい。

【００６９】なお、レ−ル９０ａ、９０ｃ（レ−ル９０
ｂ、９０ｄ）は、それぞれ同時に逆に磁化するので、図
９に示すように構成すれば、電磁石は一つでよい。もち
ろん、レ−ル９０ａ、９０ｃのそれぞれに電磁石６８を
設けても良く、この場合は磁化の強さを独立的に設定で
きる利点がある。

【００７０】また、レ−ル９０ａ〜９０ｄを永久磁石２
０ａ〜２０ｄの下面と同極性に磁化する場合、逆方向の
磁化を弱める程度でも十分に分岐動作を行うことができ
る。また、レ−ル９０ａ、９０ｃのどちらかを一方のみ
を磁化するとともに、レ−ル９０ｄ、９０ｂのどちらか
一方のみを磁化することでも分岐動作を行うことが可能
である。

【００７１】また、本実施例ではレ−ル９０ａ〜９０ｄ
を電磁石６８で磁化しているが、電磁石６８の代わり
に、永久磁石をレ−ル９０ａ〜９０ｄに近接させて磁化
させても良い。もちろん、レ−ル９０〜９０ｄの代わり
に電磁石６８の磁極を直接搬送路形成ベ−ス４０の表面
に露出しても同様の効果を得ることができる。

【００７２】つぎに、第６の実施例を図１０、図１１を
用いて説明する。本実施例では、移動体３０を分岐また
は直進させるためにガスノズルを使用している。図１０
は、本実施例のガス浮上搬送装置の平面図であり、図１
１は、図１０の搬送路形成ベ−ス４０のガスノズルを含
む部分の断面図である。両図に示すように、搬送路形成
ベ−ス４０には、ガスノズル１００ａ、１００ｂが設け
られている。各ガスノズルは、分岐部において、移動体
３０の側面にクリ−ンエアを噴出できるような位置に配
されている。

【００７３】そして、移動体３０を分岐軌道（レ−ル１
０ｃ、１０ｄ側）に導くためにはつぎの動作を行う。

【００７４】移動体３０がｘ軸の正方向に移動する際
に、磁気センサ７０ａで永久磁石２０ａの通過を感知し
た場合には、ガスノズル１００ｂからクリーンエアを噴
出させる。移動体３０は、噴射されたクリーンエアの圧
力により僅かな回転と移動が加わり、永久磁石２０ｂが
レ−ル１０ｄに案内される。これにともなって、永久磁
石２０ａもレ−ル１０ｃへ案内される。その後、移動体
３０はガスノズル１００ｂから噴出されるクリーンエア
により分岐軌道側に押し続けられるので、永久磁石２０
ｄはレ−ル１０ｄに案内され、永久磁石２０ｃはレ−ル
１０ｃに案内される。

【００７５】一方、分岐部において、ガスノズル１００
ｂの代えてガスノズル１００ａからクリーンエアを噴出
させれば、移動体３０をレ−ル１０ａ、１０ｂ上を直進
させることができる。

【００７６】なお、本実施例ではガスノズル１００ａ、
１００ｂからクリーンエアを噴出させているが、ガスの
種類はこれに限定されない。前述したように、搬送路形
成ベ−ス４０が外部と隔離されている場合には、隔離壁
内に充填されているガス（反応性の低い窒素や、アルゴ
ン等の不活性ガス）を使用してもよい。

【００７７】また、本実施例では、移動体３０の被案内
部の極性の識別が必要ないので、移動体３０の位置が判
れば磁気センサの代わりに光学センサ等のセンサを使用
しても良い。当然ながらガスノズル１００ａ、ｂの代わ
りにファン等を設けることも可能である。

【００７８】つぎに、第７の実施例を図１２を用いて説
明する。

【００７９】本実施例では、図１２に示すように、進行
磁界を発生させるためのリニアモータ１１０ａを配置し
ている。

【００８０】移動体３０を分岐軌道に進行させる場合の
リニアモータ１１０ａの動作は、つぎのようになる。

【００８１】リニアモータ１１０ａは、磁気センサ７０
ａで永久磁石２０ａの通過が確認されると、ｙ軸の正方
向に進行磁界を発生させて、移動体３０をｙ軸の正方向
に移動させ、永久磁石２０ａをレ−ル１０ｃに、永久磁
石２０ｂをレ−ル１０ｄに案内する。その後は、永久磁
石２０ｃをレ−ル１０ｃに、永久磁石２０ｄをレ−ル１
０ｄに案内し、移動体３０を分岐軌道に進行させる。

【００８２】反対に、移動体３０を直進軌道に進行させ
る場合のリニアモータ１１０ａの動作は、つぎのように
なる。

【００８３】すなわち、リニアモータ１１０ａは、ｙ軸
の負方向に進行磁界を発生させることにより、移動体３
０をｙ軸の負方向に移動させ、永久磁石２０ａ、２０ｃ
をレ−ル１０ａに沿って、永久磁石２０ｂ、２０ｄをレ
−ル１０ｂに沿って移動させ続ける。

【００８４】なお、本実施例においても、移動体３０の
被案内部の極性の識別が必要ないので、磁気センサの代
わりに光学センサ等のセンサを使用することができる。

【００８５】つぎに、第８の実施例を図１３、図１４を
用いて説明する。

【００８６】図１３は、本実施例の搬送路形成ベ−ス４
０をその上面と平行に切断した場合の断面図であり、図
１４は、図１３のアクチュエ−タに関する部分を拡大し
た図である。

【００８７】本実施例では、レ−ル１１ａ〜１１ｆのそ
れぞれが、搬送路形成ベ−ス４０に封入されている。レ
−ル１１ｅの先端部には、アクチュエ−タ８０ａが取り
付けられている。なお、アクチュエ−タ８０ａについて
も、搬送路形成ベ−ス４０に封入されている。一方、レ
−ル１１ｆの先端部には、アクチュエ−タ８０ｂが取り
付けられている。各レ−ルは、第１の実施例で記述した
ように、薄い珪素鋼板を重ね合わせた状態で構成されて
いる。なお、レ−ル１１ｅ、１１ｆの先端部において
は、各鋼板が互いに接着されていない。

【００８８】アクチュエ−タ８０ａの可動部は、レ−ル
１１ｅの先端部の各鋼板のうち外側の２枚を把持してい
る。そして、アクチュエ−タ８０ａは、この可動部を前
後させ、レ−ル１１ｅの先端部を、各鋼板を互いに摺動
させた状態で弾性変形させる。具体的には、アクチュエ
−タ８０ａは、レ−ル１１ｅの先端部を弾性変形させ、
レ−ル１１ｃと１１ａとに選択的に接続する。同様にア
クチュエ−タ８０ｂは、レ−ル１１ｆの先端部を弾性変
形させ、レ−ル１１ｄとレ−ル１１ｂとに接続する。

【００８９】つぎに、移動体３０（図１３では図示しな
いが、いままで記述したものと同様なものである）をレ
−ル１１ｃ、１１ｄに案内する方法を説明する。

【００９０】移動体３０がｘ軸の正方向に移動してきた
際に、磁気センサ７０ａで永久磁石２０ａの通過を感知
すると、アクチュエータ８０ａの可動部を縮めてレ−ル
１１ｅの先端部をレ−ル１１ａ側からレ−ル１１ｃ側に
移動する。永久磁石２０ａは、レ−ル１１ｅに沿って移
動し、その後レ−ル１１ｃに乗り移る。また、これと同
時に、アクチュエータ８０ｂの可動部を伸ばすことによ
りレ−ル１１ｆの先端部をレ−ル１１ｂ側からレ−ル１
１ｄ側に移動し、永久磁石２０ｂをレ−ル１１ｄに案内
する。なお、レ−ル１１ｅ、１１ｆをこのような状態に
保っておけば、その後、永久磁石２０ｃはレ−ル１１ｃ
に案内され、永久磁石２０ｄはレ−ル１１ｄに案内され
る。

【００９１】また、アクチュエータ８０ａ、８０ｂに対
して上記と逆の操作を行えば、移動体３０をレ−ル１１
ａ、１１ｂに案内することができる。

【００９２】なお、本実施例では、レ−ル１１ｅ、１１
ｆの先端部や、アクチュエ−タ８０ａ、８０ｂの可動部
をはじめ、摺動する部分が全て搬送路形成ベ−ス４０内
に封入されているため、摺動による塵埃が外部に放出さ
れない。もちろん、レ−ルの先端部を変形させる方法以
外にも、レ−ル１１ｅ、１１ｆにヒンジ機構を設け、当
該ヒンジ機構を封入しても同様の効果が有る。なお、本
実施例においても、移動体３０の被案内部の極性の識別
をする必要がないので、磁気センサの代わりに光学セン
サ等のセンサを使用することができる。

【００９３】つぎに、第９の実施例を図１５、図１６を
用いて説明する。

【００９４】本実施例では、分岐側のレ−ル（レ−ル１
０ｃ、１０ｄ）と、直進側のレ−ル（レ−ル１０ａ、１
０ｂ）とを分離させた状態で設けている。具体的には、
レ−ル１０ｃは、レ−ル１０ａの側面に隙間を空けて接
続している。同様に、レ−ル１０ｄは、レ−ル１０ｂの
側面に隙間を空けて接続している。このように構成すれ
ば、移動体３０をレ−ル１０ａ、１０ｂに沿って直進さ
せる場合、移動体３０に対して特別な操作をする必要が
ない。換言すれば、レ−ル１０ｃ、１０ｄ側に移動体３
０を進行させる場合にのみ、分岐点において当該移動物
体３０に力を加えればよい。このとき、移動体３０の各
被案内部は、レ−ル間の隙間を乗り越えることになる。
すなわち、レ−ル１０ｃ、１０ｄ側の使用頻度が低い場
合、本実施例ように構成すれば、電磁石６０ａ、６０ｂ
の動作頻度が低くなり、これにともなって消費エネルギ
が減少する。また、電磁石６０ａ、６０ｂの寿命が延
び、部品交換周期の長期化を図ることができる。また、
コントローラの処理も簡素化されるのでコストを下げる
こともできる。また、移動体３０をレ−ル１０ａ、１０
ｂに沿って直進させる場合には、電磁石６０ａ、６０ｂ
を動作させないので移動体３０に不必要な力が作用せ
ず、余計な振動が発生しない。

【００９５】なお、レ−ル間に隙間を設けた本実施例の
構成は、これまでに記述した全ての実施例に適用するこ
とが可能である。

【００９６】以上、第１〜第９の実施例について記述し
たが、各実施例は、例えば、移動体の姿勢転換を行うこ
とも可能である。

【００９７】図１７は、移動体３０の姿勢転換が行える
ガス浮上搬送装置の一実施例を示す平面図である。図１
８は、移動体３０の姿勢転換の様子を表した概念図であ
る。図１８では移動体３０の一定時間ごとの輪郭が１点
鎖線で表され、永久磁石２０ａ〜２０ｄのそれぞれの中
心の軌跡が実線で描かれている。同図からもわかるよう
に、移動体３０の永久磁石２０ａ〜２０ｄがそれぞれ軌
跡１５ａ〜１５ｄを描くように移動体３０を移動させれ
ば、当該移動体３０の姿勢転換を行うことができる。ま
た、図１７のレ−ル１４ａ〜１４ｄの各中心線はそれぞ
れ図１８の軌跡１５ａ〜１５ｄのそれぞれに対応してい
る。そして、図１７において、移動体３０がｘ軸の正方
向に進行する場合には、移動体３０の永久磁石２０ａ〜
２０ｄのそれぞれはレ−ル１４ａ〜１４ｄに沿って移動
する。この際、移動体３０は、図１８で示した挙動を示
し、時計回りに９０°姿勢転換する。

【００９８】なお、レ−ル１４ａとレ−ル１４ｃの分岐
部では電磁石６０ａが、永久磁石２０ａをレ−ル１４ａ
に案内し、永久磁石２０ｃをレ−ル１４ｃに案内する。
一方、レ−ル１４ｂとレ−ル１４ｄの分岐部では電磁石
６０ｂが、永久磁石２０ｂをレ−ル１４ｂに案内し、永
久磁石２０ｄをレ−ル１４ｄに案内する。

【００９９】また、レ−ル１４ａとレ−ル１４ｄの交差
部では、移動体３０の持つ慣性力によって永久磁石２０
ａはレ−ル１４ａに沿って、永久磁石２０ｄはレ−ル１
４ｄに沿って移動し続けることができる。なお、移動体
３０を回転させるための手段は、電磁石以外にも、前述
した各実施例のものを使用することができる。もちろ
ん、各レ−ルの形状を変えれば、移動体３０の姿勢転換
角度は９０°に限らず、４５°や１８０°の様に任意に
設定することができる。

【０１００】また、図１７、図１８に示した実施例の変
形例として、図１９に示すように構成してもよい。

【０１０１】図１９に示す実施例では、図１７に示した
実施例に、さらに、並進用のレ−ル１４ｅ、１４ｆを付
加している。このように構成すれば、永久磁石２０ａ〜
２０ｄがレ−ル１４ｅ、１４ｆに沿って移動できるの
で、移動体３０を姿勢転換せずに直進させることができ
る。本実施例では並進用のレ−ル１４ｅ、１４ｆは直線
軌道であるが、姿勢転換部を設置する場所に制限が有る
場合には、曲線軌道でも良い。

【０１０２】また、図１７、図１８に示した実施例の変
形例として、図２０に示すように構成してもよい。

【０１０３】本実施例では図１９の分岐部において、レ
−ル間に隙間を設けている。これにより、移動体３０の
姿勢を転換する必要が無い場合は、電磁石６０ａ〜６０
ｄを動作させなくて済む。すなわち、図１５、１６の実
施例で記述した効果を達成することができる。また、電
磁石６０ａ〜６０ｄを動作させなければ、移動体３０に
不必要な力が作用しないので、移動体３０が並進用のレ
−ルに沿って移動する際、移動体３０に余計な振動が発
生しない。

【０１０４】つぎに、本発明のガス浮上搬送装置の運用
例を説明する。図２１は、この搬送装置の平面図であ
り、また、図２２は、この搬送装置の分岐部付近の拡大
図である。

【０１０５】本実施例では、直線軌道用レ−ル１７０と
平行に、製造装置１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃと、検
査装置１２１ａと、保管装置１２２ａ、１２２ｂが並ん
で配置されている。各装置のワーク受け渡し位置には、
分岐軌道用レ−ル１７１〜１７６が設けられている。各
分岐軌道用レ−ルには、移動体（ここでは図示しない
が、前述した移動体３０と同様なものである）を加減速
させるためのリニアモータ（図２２では、リニアモ−タ
１３０ｂ、１３０ｃのみ示されている）が設置されてい
る。そして、この運用例では、複数の移動体が存在し、
これらが分岐軌道用レ−ルおよび直進軌道用レ−ルを移
動する。なお、各移動体には、被認識マーク（図１参
照）が付けられている。また、分岐軌道用レ−ルの各分
岐部の手前には移動体認識装置（図２２では移動体認識
装置１５０ｂ、１５０ｃのみ示されている）が設置され
ている。各移動体認識装置は、複数の移動体のそれぞれ
の被認識マークを検出して、移動体の識別を行う。な
お、複数の移動体のそれぞれを同時に移動させる場合に
は、それぞれ接触しないように制御する。

【０１０６】つぎに、この運用例を、製造装置１２０ｂ
が必要としているワ−クを載せた移動体を、当該製造装
置１２０ｂのワーク受け渡し位置へ搬送する場合を例に
とって説明する。

【０１０７】この移動体が例えば直線軌道用レ−ル上を
ｘ軸の正方向に移動している場合（図２２の矢印Ａ）、
まず、分岐軌道用レ−ル１７２の手前にある移動体認識
装置１５０ｂで移動体の被認識マークが認識されること
になる。反対に、移動体が直線軌道用レ−ル上をｘ軸の
負方向に移動している場合（矢印Ｂ）は、移動体認識装
置１５０ｃで移動体の被認識マークが認識される。

【０１０８】そして、分岐部に移動体が差し掛かった場
合には、当該移動体を分岐軌道用レ−ル１７２に移動さ
せるべく分岐機構（図示されていないが、前述の各実施
例で記述したような構成を用いる）を動作させる。これ
により、移動体は、分岐軌道用レ−ル１７２上のワーク
受け渡し位置へ導かれる。なお、移動体認識装置１５０
ｂまたは移動体認識装置１５０ｃが、目的の移動体以外
の移動体を認識した場合には、この移動体が直線軌道用
レ−ル１７０上を移動し続けるように分岐機構を動作さ
せる。

【０１０９】また、分岐軌道用レ−ル１７２に案内され
た移動体は、リニアモータ１３０ｂを動作させて減速さ
せ、ワーク受け渡し位置に停止させる。移動体の停止を
確認したら、製造装置１２０ｂに設置されているアーム
（図示せず）や、ワーク受け渡し部付近に配置された移
載機構１６０を用いて、移動体に搭載されているワーク
を製造装置１２０ｂ内に移載する。

【０１１０】製造装置１２０ｂで所定の処理が行われた
ら、当該ワークを、前述のア−ム、移載機構１６０を用
いて再び移動体に移載する。ワークの移載が完了した
ら、移動体をリニアモータ１３０ｂで加速して直線軌道
用レ−ル１７０に戻し、次の製造装置へ搬送する。移動
体を直線軌道用レ−ル１７０に戻す動作は、分岐軌道用
レ−ル１７２付近において直線軌道用レ−ル１７０上を
他の移動体が移動していないこと、そして、次のワーク
受け渡し位置に他の移動体が存在しないことを確認のう
え行う。これにより、移動体どうしの接触を防止でき
る。同様にして、他の製造装置１２０ａ、１２０ｃ、検
査装置１２１ａ、保管装置１２２ａ、１２２ｂにもワー
クを搬送することができる。

【０１１１】また、しばらくの間、製造装置によって処
理されることの無いワークや、搬送すべき装置が使用中
になっているワークについては、保管装置１２２ａで保
管する。そして、全ての処理が完了したワークは完成品
として保管装置１２２ｂに搬送する。

【０１１２】なお、各装置に設けられる移動機構１６０
は、本搬送装置の標準品として用意してもよい。このよ
うにすれば、各装置毎に特化した移動機構を設ける必要
がなくなり、全体の購入価格を低くおさえることができ
る。

【０１１３】また、各装置にエレベータ機構（図示せ
ず）を設置すれば、各装置のワーク受け渡し位置と分岐
軌道用レ−ルの高さが合っていない場合でもワークの移
載を行うことができる。すなわち、ワーク受け渡し位置
の高さが統一されていない複数種類の装置を設置するこ
とができる。また、エレベータ機構を設置した場合、搬
送路形成ベ−ス４０をクリーンルームの天井付近に設置
することが可能となる。このように構成すれば、本装置
のメンテナンスも楽になり、また、クリーンルームで行
われる作業の邪魔にならない。

【０１１４】なお、図２３の様に直進軌道用レ−ルと分
岐軌道用レ−ルとの間に隙間を設ければ、移動体が直進
軌道用レ−ルを移動し続けるときに制御を行う必要が無
い。すなわち、制御回数が大幅に減りコスト的に有利な
る。さらに、移動体に不必要な力が加わらなくなるの
で、振動が抑えられ、移動体とワークとの摺動による発
塵を抑えることができる。

【０１１５】また、曲線軌道や図２４に示す直角分岐機
構を用いてＬ字型、Ｕ字型、Ｔ字型あるいは、より複雑
な形状の搬送路を形成すれば、建屋の形状等に対応した
搬送装置が構築可能である。

【０１１６】図２４の直角分岐機構は、レ−ル１３ａ〜
１３ｄの交差部の中央に設置されたリニアモータ２００
を有して構成されている。リニアモータ２００は、ｘ方
向およびｙ方向に進行磁界を発生させることができる。
例えば、移動体がｘ軸の正方向に移動して交差部に接近
する際、リニアモータ２００により移動体の進行方向に
対して反対方向（ｘ軸の負方向）の進行磁界を発生させ
れば、移動体を減速し、交差部の中央に停止させること
ができる。その後、リニアモータ２００により移動体を
移動させたい方向の進行磁界を発生させればよい。移動
体は、これにともなって加速し、移動する。

【０１１７】この直角分岐機構は設置面積が曲線軌道に
比べ小さくて済む。したがって、曲線軌道を設置可能な
面積が無い場合でも、この直角分岐機構を利用すれば、
搬送路を延長することができる。

【０１１８】また、図２１に示した実施例の応用例とし
て図２５に示すように構成してもよい。本実施例では、
搬送路の一部を閉ループにしている。搬送路の一部を閉
ループにすると、移動体を一方通行で同一の装置に繰り
返し搬送することが可能になる。複数の移動体を同時に
移動させる場合、一方通行で各移動体を搬送すれば、移
動体どうしの接触の可能性が少なくなる。すなわち、移
動体どうしが接触した際のワークおよび移動体の破損、
および、破損による発塵が抑えられる。複数の移動体を
同時に搬送することが可能になると、単位時間当たりに
搬送できる移動体の数が増加し、搬送装置の搬送能力が
向上する。また、分岐部には、図２６に示すような隙間
が設けられており、前述と同様な効果がある。

【０１１９】この図２５の実施例においても、図２１に
示した実施例と同様な手順で各装置（１２０ａ〜１２０
ｄ、１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂ）にワー
クを搬送することができる。例えば製造装置１２０ｂに
目的の移動体を搬送する場合には、まず、移動体認識装
置１５０ｂ（図２６参照）で目的の移動体の被認識マー
クを認識し、その後、この移動体を製造装置１２０ｂの
ワーク受け渡し位置へ搬送するように分岐機構（図示せ
ず）を動作させる。また、分岐部において隙間が設けら
れているため、目的の移動体以外の移動体を移動体認識
装置１５０ｂで認識した場合には、分岐機構を動作させ
る必要がない。したがって、この移動体は、周回軌道上
をそのまま移動する。なお、ワーク受け渡し位置にある
移動体を周回軌道に戻す動作は、軌道の合流部付近に他
の移動体が存在しないことを確認した上で行う。これに
より移動体どうしの接触を防止できる。

【０１２０】また、ワーク受け渡し位置にあるリニアモ
ータの手前に、さらにリニアモ−タを設置してもよい。
このようにすれば、ワーク受け渡し位置に停止している
移動体に対してワ−クの搭載作業が行われている場合、
他方のリニアモ−タ上に別の移動体を待機させておくこ
ともできる。このようにすれば、無駄な待ち時間が減少
する。

【０１２１】さらに、曲線軌道と直角分岐機構を用い
て、図２７、図２８に示す様な複雑な閉ループの搬送路
を有する搬送装置を構成することも可能である。

【０１２２】また、搬送する移動体が多数となり搬送能
力が不足する区間においては、複数の搬送路を平行に設
置して、さらに各搬送路間を分岐機構で接続し、搬送能
力を上げてもよい。

【０１２３】なお、搬送路に姿勢転換機構を付加すれ
ば、移載機構１６０（例えば、ピックアンドプレース装
置）に姿勢転換の機能が不要になるので、当該移載機構
１６０を簡略化する事が可能である。すなわち、移載機
構１６０を低価格化におさえることができる。

【０１２４】

【発明の効果】本発明によれば、移動体は、ガスによっ
て浮上し、また、レ−ルとの磁気吸引力によって案内さ
れるため、無摺動の状態でワークを搬送できる。また、
レ−ルの形状を適切に設定するだけでワ−クを目的の位
置へ容易に搬送することができる。

【０１２５】更に、移動体の移動速度を分岐部において
低下させることがない。したがって、ワークの搬送時間
を短縮することができる。また、移動体に部材を接触さ
せることなく分岐させるため発塵の心配がない。

【０１２６】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るガス浮上搬送装置の第１の実施例
の斜視図である。

【図２】本発明に係るガス浮上搬送装置の第１の実施例
の平面図である。

【図３】本発明に係るガス浮上搬送装置の第２の実施例
の平面図である。

【図４】本発明に係るガス浮上搬送装置の第２の実施例
の断面図である。

【図５】本発明に係るガス浮上搬送装置の第３の実施例
の平面図である。

【図６】本発明に係るガス浮上搬送装置の第４の実施例
の平面図である。

【図７】本発明に係るガス浮上搬送装置の第５の実施例
の平面図である。

【図８】図７の分岐部付近の拡大図である。

【図９】図７の分岐部付近の断面図である。

【図１０】本発明に係るガス浮上搬送装置の第６の実施
例の平面図である。

【図１１】図１０のガスノズル部付近の断面図である。

【図１２】本発明に係るガス浮上搬送装置の第７の実施
例の平面図である。

【図１３】本発明に係るガス浮上搬送装置の第８の実施
例の断面図である。

【図１４】図１３の分岐部付近の拡大図である。

【図１５】本発明に係るガス浮上搬送装置の第９の実施
例の平面図である。

【図１６】図１５の分岐部の拡大図である。

【図１７】本発明に係るガス浮上搬送装置の姿勢転換部
の平面図である。

【図１８】移動体の姿勢転換に関する概念図である。

【図１９】本発明に係るガス浮上搬送装置の姿勢転換部
（並進用レ−ル付）の平面図である。

【図２０】本発明に係るガス浮上搬送装置の、レ−ル間
に隙間が設けられている姿勢転換部の平面図である。

【図２１】本発明に係るガス浮上搬送装置の運用例の平
面図である。

【図２２】図２１の分岐部付近の拡大図である。

【図２３】本発明に係るガス浮上搬送装置の運用例の分
岐部付近の拡大図である。

【図２４】本発明に係るガス浮上搬送装置の直角分岐機
構の平面図である。

【図２５】本発明に係るガス浮上搬送装置の運用例の平
面図である。

【図２６】図２５の分岐部付近の拡大図である。

【図２７】本発明に係るガス浮上搬送装置の運用例の平
面図である。

【図２８】本発明に係るガス浮上搬送装置の運用例の平
面図である。

【図２９】本発明に係るガス浮上搬送装置のシステム構
成例を示すブロック図である。

【図３０】本発明に係るガス浮上搬送装置に関するフロ
−チャ−トである。

【符号の説明】

１０ａ〜１０ｄ、１１ａ〜１１ｆ、１２ａ〜１２ｄ、１
３、１４ａ〜１４ｄ、９０ａ〜９０ｄ：レ−ル、 １５
ａ〜１５ｄ：軌跡、 ２０ａ〜２０ｄ：永久磁石、 ３
０：移動体、 ４０：搬送路形成ベ−ス、 ５０：ガス
噴出口、 ６０ａ、６０ｂ、６５、６８：電磁石、 ６
６ａ、６６ｂ：磁極、 ７０ａ、７０ｂ：センサ、 ８
０ａ、８０ｂ：アクチュエータ、 １００ａ、１００
ｂ：ガスノズル、 １１０ａ、１３０、２００：リニア
モータ、 １２０ａ〜１２０ｃ：製造装置、 １２１
ａ：検査装置、 １２２ａ、１２２ｂ：保管装置、 １
４０：被認識マーク、 １５０ｂ、１５０ｃ：移動体認
識装置、 １６０：移載機構、１７０：直進軌道用レ−
ル、 １７１〜１７６：分岐軌道用レ−ル

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワ−クが載置される移動体と、 前記ワ−クの搬送経路にしたがって敷設された複数のレ
   −ルと、 前記移動体に向かってガスを噴出し、該移動体を前記レ
   −ルから浮上させるガス噴出手段と、 前記移動体を誘導する移動体誘導手段とを備え、 前記移動体には、前記レ−ルに対向する被案内部が設け
   られ、 該被案内部と前記レ−ルとは、該被案内部が該レ−ルと
   非接触であっても該被案内部が該レ−ル上に案内される
   よう、いずれも磁性体で形成されているとともに、少な
   くとも一方が磁化された磁性体であり、 前記複数のレ−ルは、少なくとも、基準レ−ルと、該基
   準レ−ルから分岐する分岐レ−ルの２つのレ−ルを含
   み、 前記移動体誘導手段は、前記基準レ−ルから前記分岐レ
   −ルが分岐する分岐部に向かって、前記移動体が前記基
   準レ−ル上を進行する場合に、該移動物体が該分岐部に
   差し掛かったときに、該移動体を該基準レ−ルに誘導す
   るか、または、該移動体を前記分岐レ−ルに誘導するこ
   とを特徴とするガス浮上搬送装置。
2. 【請求項２】請求項１において、 前記分岐部に差し掛かる前に前記移動体を検出する検出
   手段をさらに備え、 前記移動体誘導手段は、前記検出手段の検出タイミング
   に基づいて、前記移動体の誘導タイミングを算出し、該
   誘導タイミングで前記移動体を誘導することを特徴とす
   るガス浮上搬送装置。
3. 【請求項３】請求項１または２において、 前記移動体誘導手段は、前記分岐部に設けられた、磁性
   体である案内部と、該案内部と前記被案内部との間に、
   反発力または吸引力が働くように、該案内部を磁化する
   ことで前記移動体を誘導する磁化調整手段とを備えるこ
   とを特徴とするガス浮上搬送装置。
4. 【請求項４】請求項３において、 前記案内部を前記基準レ−ルの一部および前記分岐レ−
   ルの一部として用いることを特徴とするガス浮上搬送装
   置。
5. 【請求項５】請求項１または２において、 前記基準レ−ルは、前記分岐部において分断されてお
   り、 前記移動体誘導手段は、 前記移動体を前記基準レ−ルに誘導する場合には、前記
   基準レ−ルの分断された一方の端部を、分断された他方
   の端部に接続し、前記移動体を前記分岐レ−ルに誘導す
   る場合には、前記基準レ−ルの分断された一方の端部
   を、前記分岐レ−ルに接続させる接続手段と、 前記一方の端部および前記接続手段を少なくとも封入す
   る封入手段とを備えることを特徴とするガス浮上搬送装
   置。
6. 【請求項６】請求項１または２において、 前記移動体誘導手段は、前記分岐部に設けられ、かつ、
   前記移動体を誘導するためのガスを噴出する誘導用ガス
   噴出手段を備えることを特徴とするガス浮上搬送装置。
7. 【請求項７】請求項１または２において、 前記移動体は、非磁性の導体であり、 前記移動体誘導手段は、前記分岐部に設けられ、かつ、
   前記移動体を誘導するための磁界を発生させる誘導磁界
   発生手段を備えることを特徴とするガス浮上搬送装置。
8. 【請求項８】請求項１、２、３、４、６または７におい
   て、 前記分岐レ−ルは、前記分岐部において、前記基準レ−
   ルに対して隙間が空くように敷設されていることを特徴
   とするガス浮上搬送装置。
9. 【請求項９】請求項１、２、３、４、５、６、７または
   ８において、 前記移動体は、非磁性の導電体であり、 前記分岐レ−ルは、前記基準レ−ルから分岐したのち、
   再び前記基準レ−ルに接続し、該分岐レ−ルの途中に
   は、前記移動体を発進および停止させるための進行磁界
   発生手段が設けられていることを特徴とするガス浮上搬
   送装置。
10. 【請求項１０】請求項９において、 前記進行磁界発生手段の設置位置に対応するように前記
    分岐レ−ルに隣接して設けられ、かつ、停止している移
    動体に対してワ−クの積み降ろしを行う移載手段をさら
    に備えることを特徴とするガス浮上搬送装置。
11. 【請求項１１】請求項１、２、３、４、５、６、７、
    ８、９、または１０において、 前記基準レ−ルは、前記移動体が周回軌道を描けるよう
    に閉ル−プ状に敷設されている部分を有することを特徴
    とするガス浮上搬送装置。