KR960007402A - 반송장치, 반송처리장치, 피처리물반송처리방법 및 자세전환장치 - Google Patents

Abstract

반도체기판 등의 피처리물을 탑재한 피반송물체를 주반송로, 주반소로와 분기 또는 교차한 부반송로 사이에 있어서 슬라이드 하지 않고 고속전환전송을 할 수 있고 피처리물을 처리장치에 투입해서 프로세스처리할 수 있도록 한 반송장치, 반송처리장치 및 피처리물 반송처리방법에 관한 것으로서, 피반송물체에 대해서 분기 또는 교차반소을 슬라이드 하지 않고 고속으로 실현한 반송장치를 제공하기 위해서, 피반송물체를 반송하기 위한 주반송로, 피반송물체를 반송하기 위한 부반송로, 교차점 또는 분기점에 있어서 주반송로와 부반송로를 교차 또는 분기시키고 교차 또는 분기반송로부를 구비하고, 피반송물체를 주반송로, 부반송로 및 교차 또는 분기반송로부의 각각에서 부상시키기 위한 부상수단을 주반송로, 부반송로 및 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 적어도 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서의 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 유도하고, 교차 또는 분기반송로부에 있어서 피반송물체의 회전을 억제하는 유도수단을 주반송로, 부반송로 및 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 유도수단에 의해 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 유도되는 피반송물체를 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기구동수단을 구비하고 유도수단 및 자기 또는 전자기 구동수단에 의해서 주반송로 또는 부반송로에 따라 유도반송되어 교차점 또는 분기점에 도달한 피반송물을 교차점 또는 분기점에서 유도수단 및 자기 또는 전자기 구동수단에 의해서 부반송로 또는 주반송로에 따라서 유도반송시키도록 교차 또는 분기반송로부에 있어서 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환해서 제어하는 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단을 구비한 구성으로 하였다.

이러한 구성에 의해 슬라이드 하지 않는 것에 의해 먼지발생을 현저히 저감해서 고속으로 반송할 수 있는 효과가 있다.

*선택도:제1도

Description

반송장치, 반송처리장치, 피처리물반송처리방법 및 자세전환장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 관한 제1의 실시예의 주요부를 도시한 사시도,

제2도는 본 발명에 관한 제조라인구성의 일부를 도시한 도면,

제3도는 본 발명에 관한 제1의 실시예의 횡단면도,

제4도는 제1도에 도시한 리니어모터의 부분종단면도,

제5도는 본 발명에 관한 제1의 실시예의 제어계를 도시한 블럭도.

Claims (46)

1. 피반송물체를 반송하기 위한 주반송로, 상기 피반송물체를 반송하기 위한 부반송로, 교차점 또는 분기점에 있어서 상기 주반송로와 상기 부반송로를 교차 또는 분기시키는 교차 또는 분기반송로부를 구비하고, 상기 피반송물체를 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로의 각각에서 부상시키기 위한 부상수단을 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 적어도 상기 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서의 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 유도되고, 상기 교차 또는 분기반송로부에 있어서 상기 피반송물체의 회전을 억제하는 유도수단을 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 상기 유도수단에 의해 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 유도되는 피반송물체를 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기 구동수단을 구비하고, 상기 유도수단 및 상기 자기 또는 전자기 구동수단에 의해 상기 주반송로 또는 부반송로에 따라서 유도반송되어 교차점 또는 분기점에 도달한 피반송물을 상기 교차점 또는 분기점에서 상기 유도수단 및 상기 자기 또는 전자기 구동수단에 의해서 부반송로 또는 주반송로에 따라서 유도반송시키도록 상기 교차 또는 분기반송로부에 있어서 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환해서 제어하는 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송장치.
2. 피반송물체를 반송하기 위한 주반송로, 상기 피반송물체를 반송하기 위한 부반송로, 교차점 또는 분기점에 있어서 상기 주반송로와 상기 부반송로를 교차 또는 분기시키는 교차 또는 분기반송로부를 구비하고, 상기 피반송물체를 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로의 각각에서 부상시키기 위한 부상수단을 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 적어도 상기 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서의 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 자기적 또는 전자기적으로 유도하는 자기 또는 전자기 유도수단을 구비하고, 상기 유도수단에 의해 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 유도되는 피반송물체를 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기 구동수단을 구비하고, 상기 자기 또는 전자기유도수단, 상기 자기 또는 전자기 구동수단에 의해서 상기 주반송로 또는 부반송로에 따라서 유도반송되어 교차점 또는 분기점에 도달한 피반송물을 상기 교차점 또는 분기점에서 상기 자기 또는 전자기유도/구동수단에 의해서 부반송로 또는 주반송로에 따라서 유도반송시키도록 상기 교차 또는 분기반송로부에 있어서 자기적 또는 전자기적 구동력 부여방향을 전환해서 제어하는 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송장치.
3. 피반송물체를 반송하기 위한 주반송로, 상기 피반송물체를 반송하기 위한 부반송로, 교차점 또는 분기점에 있어서 상기 주반송로와 상기 부반송로를 교차 또는 분기시키는 교차 또는 분기반송로부를 구비하고, 상기 피반송물체를 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로의 각각에서 부상시키기 위한 부상수단을 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 적어도 상기 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서의 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 자기적 또는 전자기적으로 유도하면서 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기유도/구동수단을 구비하고, 상기 유도/구동수단에 의해서 상기 주반송로 또는 부반송로에 따라서 유도반송되어 교차점 또는 분기점에 도달한 피반송물을 상기 교차점 또는 분기점에서 상기 자기 또는 전자기유도/구동수단에 의해서 부반송로 또는 주반송로에 따라서 유도반송시키도록 상기 교차 또는 분기반송로부에 있어서 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환해서 제어하는 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송장치.
4. 피반송물체를 반송하기 위한 주반송로, 상기 피반송물체를 반송하기 위한 부반송로, 교차점 또는 분기점에 있어서 상기 주반송로와 상기 부반송로를 교차 또는 분기시키는 교차 또는 분기반송로부를 구비하고, 상기 피반송물체를 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로의 각각에서 부상시키기 위한 부상수단을 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 적어도 상기 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서의 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 자기적 또는 전자기적으로 유도하는 자기 또는 전자기유도수단, 적어도 상기 주반송로 및 상기 부반송로의 일부에 따라서 상기 피반송물체의 양측면으로 기체를 분사해서 상기 피반송물체의 횡방향의 진동을 억제하는 기체진동억제수단을 구비하고, 상기 유도수단에 의해 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 유도되는 피반송물체를 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기 구동수단을 구비하고, 상기 유도수단, 상기 자기 또는 전자기 구동수단에 의해서 상기 주반송로 또는 부반송로에 따라서 유도반송되어 교차점 또는 분기점에 도달한 피반송물을 상기 교차점 또는 분기점에서 상기 자기 또는 전자유도/구동수단에 의해서 부반송로 또는 주반송로에 따라서 유도반송시키도록 상기 교차 또는 분기반송로부에 있어서 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환해서 제어하는 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송장치.
5. 제2항에 있어서, 상기 자기 또는 전자기 유도수단은 상기 피반송물체에 다수 마련된 자성체와 상기 주반송로, 부반송로 및 교차 또는 분기반송로의 적어도 일부에 마련된 자성체 사이에서 작용하는 자력에 의해서 상기 피반송물체를 유도하도록 구성한 것을 특징으로 하는 반송장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 부상수단은 피반송물체를 주반송로, 부반송로 및 교차 또는 분기반송로의 각각에서 기체압에 의해서 부상시키기 위한 기체부상수단인 것을 특징으로 하는 반송장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 부상수단은 피반송물체를 주반송로, 부반송로 및 교차 또는 분기반송로의 각각에서 기체압에 의해서 부상시키기 위한 기체부상수단인 것을 특징으로 하는 반송장치.
8. 피처리물을 탑재한 피반송물체를 반송하기 위한 주반송로, 상기 피반송물체를 반송하기 위한 부반송로, 교차점 또는 분기점에 있어서 상기 주반송로와 상기 부반송로를 교차 또는 분기시키는 교차 또는 분기반송로부를 구비하고, 상기 피반송물체를 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 분기시키는 교차 또는 분기반송로부의 각각에서 부상시키기 위한 부상수단을 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 적어도 상기 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서의 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 유도하고, 상기 교차 또는 분기반송로부에 있어서 상기 피반송물체의 회전을 억제하는 유도수단을 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 상기 유도수단에 의해 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 유도되는 피반송물체를 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기 구동수단을 구비하고, 상기 유도수단 및 상기 자기 또는 전자기 구동수단에 의해서 상기 주반송로 또는 부반송로에 따라서 유도반송되어 교차점 또는 분기점에 도달한 피반송물 상기 교차점 또는 분기점에서 상기 유도수단 및 상기 자기 또는 전자기 구동수단에 의해서 상기 주반송로 또는 부반송로에 따라서 유도반송되어 교차점 또는 분기점에 도달하는 피반송물체를 상기 교차점 또는 분기점에서 상기 자기 또는 전자기유도/구동수단에 의해서 상기 부반송로 또는 주반송로에 따라서 유도반송시키도록 상기 교차 또는 분기반송로부에 있어서 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환제어하는 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단을 구비하고, 상기 피처리물에 대해서 처리를 실시하는 처리장치를 상기 부반송로의 소정의 장소와 관련한 위치를 설치하고, 상기 부반송로에 있어서 상기 소정의 장소로 반송된 상기 피반송물체에 탑재된 피처리물을 상기 처리장치의 투입구로 재이동하는 재이동수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반송처리장치.
9. 피처리물을 탑재한 피반송물체를 반송하기 위한 주반송로, 상기 피반송물체를 반송하기 위한 부반송로, 교차점 또는 분기점에 있어서 상기 주반송로와 상기 부반송로를 교차 또는 분기시키는 교차 또는 분기반송로부를 구비하고, 상기 피반송물체를 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 분기시키는 교차 또는 분기반송로부의 각각에서 부상시키기 위한 부상수단을 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 적어도 상기 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서의 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 자기적 또는 전자기적으로 유도하면서 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기유도/구동수단을 구비하고, 상기자기 또는 전자기유도/구동수단에 의해서 상기 주반송로 또는 부반송로에 따라서 유도반송되어 교차점 또는 분기점에 도달하는 피반송물체를 상기 교차점 또는 분기점에서 상기 자기 또는 전자기유도/구동수단에 의해 상기 부반송로 또는 주반송로에 따라서 유도반송시키도록 상기 교차 또는 분기반송로부에 있어서 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환제어하는 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단을 구비하고, 상기 피처리물에 대해서 처리를 실시하는 처리장치를 상기 부반송로의 소정의 장소와 관련한 위치에 설치하고, 상기 부반송로에 있어서 상기 소정의 장소로 반송된 상기 피반송물체에 탑재된 피처리물을 상기 처리장치의 투입구로 재이동하는 재이동수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반송처리장치.
10. 제8항에 있어서, 상기 부상수단은 피반송물체를 주반송로, 부반송로 및 교차 또는 분기반송로의 각각에서 기체압에 의해서 부상시키기 위한 기체부상수단인 것을 특징으로 하는 반송처리장치.
11. 피처리물을 탑재한 피반송물체를 반송하기 위한 주반송로, 상기 피반송물체를 반송하기 위한 부반송로, 교차점 또는 분기점에 있어서 상기 주반송로와 상기 부반송로를 교차 또는 분기시키는 교차 또는 분기반송로부를 구비하고, 상기 피반송물체를 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에서 기체압에 의해서 부상시키기 위한 기체부상수단을 상기 주반송로, 상기 부반송로 및 상기 교차 또는 분기반송로부의 각각에 구비하고, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 적어도 상기 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서의 주반송로 및 부반송로의 각각에 따라서 자기적 또는 전자기적으로 유도하는 자기 또는 전자기 유도수단, 적어도 상기 주반송로 및 상기 부반송로의 일부에 따라서 상기 피반송물체의 양층면으로 기체를 분사해서 상기 피반송물체의 횡방향의 진동을 억제하는 기체진동억제수단을 구비하고, 상기 기체부상수단에 의해 부상되고, 상기 유도수단에 의해 상기 주반송로 및 상기 부반송로에 유도되고 있는 피반송물체를 적어도 상기 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서의 주반송로 및 상기 부반송로의 각각에 따라서 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기 구동수단을 구비하고, 상기 자기 또는 전자기 구동수단에 의해서 상기 주반송로 또는 부반송로에 따라서 반송되어 교차점 또는 분기점에 도달하는 피반송물체를 상기 교차점 또는 분기점에서 상기 자기 또는 전자기 구동수단에 의해서 상기 부반송로 또는 주반송로에 따라서 반송시키도록 상기 교차 또는 분기반송로부에 있어서 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환제어하는 자기또는 전자기 구동전환 제어수단을 구비하고, 상기 피처리물에 대해서 처리를 실시하는 처리장치를 상기 부반송로의 소정의 장소와 관련한 위치에 설치하고, 상기 부반송로에 있어서 상기 소정의 장소로 반송된 상기 피반송물체에 탑재된 피처리물을 상기 처리장치의 투입구로 재이동하는 재이동수단을 설치한 것을 특징으로 하는 반송처리장치.
12. 피처리물을 탑재한 피반송물체를 주반송로에 따라서 부상수단에 의해 부상시켜서 반송하고, 피반송물체를 상기 주반송로에 있어서의 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기 또는 전자기유도/구동수단에 의해 상기 주반송로에 따라서 교차덤 또는 분기점을 향해서 자기적 또는 전자기적으로 유도반송하고, 이 유도반송된 피반송물체에 대해서 교차점 또는 분기점에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단에 의해 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환제어하고, 이 전환제어된 피반송물체를 상기 주반송로와 교차 또는 분기해서 마련된 부반송로에 있어서의 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기 또는 전자기유도/구동수단에 의해 상기 부반송로에 따라서 교차점 또는 분기점에 떨어진 방향을 향해서 자기적 또는 전자기적으로 유도반송하고 또, 피반송물체를 상기 부반송로에 따라서 부상시켜서 소정의 장소까지 반송하고, 이 소정의 장소로 반송된 피반송물체에 탑재된 피처리물을 재이동수단에 의해 처리장치의 투입구로 재이동하고, 이 재이동된 피처리물을 처리장치에 있어서 투입해서 소정의 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 피처리물 반송처리방법.
13. 피처리물을 탑재한 피반송물체를 주반송로에 따라서 부상수단에 의해 부상시켜서 반송하고, 피반송물체를 상기 주반송로에 있어서의 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기 또는 전자기유도수단과 자기 또는 전자기 구동수단에 의해 상기 주반송로에 따라서 교차점 또는 분기점을 향해서 자기적 또는 전자기적으로 유도반송하고, 이 유도반송된 피반송물체에 대해서 교차점 또는 분기점에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단에 의해 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환제어하고, 이 전환제어된 피반송물체를 상기 주반송로와 교차 또는 분기해서 마련된 부반송로에 있어서의 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기 또는 전자기유도와 자기 또는 전자기 구동수단에 의해 상기부반송로에 따라서 교차점 또는 분기점에서 떨어진 방향을 향해서 자기적 또는 전자기적으로 유도반송하고, 또 피반송물체를 상기 부반송로에 따라서 부상시켜서 소정의 장소까지 반송하고, 이 소정의 장소로 반송된 피반송물체에 탑재된 피처리물을 재이동수단에 의해 처리장치의 투입구로 재이동하고, 이 재이동된 피처리물을 처리장치에 있어서 투입해서 소정의 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 피처리물 반송처리방법.
14. 피처리물을 탑재한 피반송물체를 주반송로에 따라서 기체압으로 부상시켜서 반송하고, 피반송물체를 상기 주반송로에 있어서의 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서 기체압으로 부상시키면서 또, 양측면으로 기체를 분사해서 피반송물체의 횡방향의 진동을 억제하면서 자기 또는 전자기유도/구동수단에 의해 상기 주반송로에 따라서 교차점 또는 분기점을 향해서 자기적 또는 전자기적으로 반송하고, 이 반송된 피반송물체에 대해서 교차점 또는 분기점에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단에 의해 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환제어하고, 이 전환제어된 피반송물체를 상기 주반송로와 교차 또는 분기해서 마련된 부반송로에 있어서의 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기또는 전자기유도/구동수단에 의해 상기 부반송로에 따라서 교차점 또는 분기점에서 떨어진 방향을 향해서 자기적 또는 전자기적으로 유도반송하고 또, 피반송물체를 상기 부반송로에 따라서 부상시켜서 소정의 장소까지 반송하고, 이 소정의 장소로 반송된 피반송물체에 탑재된 피처리물을 재이동수단에 의해 처리장치의 투입구로 재이동하고. 이 재이동된 피처리물을 처리장치에 있어서 투입해서 소정의 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 피처리물 반송처리방법.
15. 피처리물을 탑재한 피반송물체를 주반송로에 따라서 기체압으로 부상시켜서 반송하고, 피반송물체를 상기 주반송로에 있어서의 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서 기체압으로 부상시키면서 또, 양측면으로 기체를 분사해서 피반송물체의 횡방향의 진동을 억제하면서 자기 또는 전자기 유도수단과 자기 또는 전자기 구동수단에 의해 상기 주반송로에 따라서 교차점 또는 분기점을 향해서 자기적 또는 전자기적으로 반송하고, 이 반송된 피반송물체에 대해서 교차점 또는 분기점에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기 또는 전자기 구동전환 제어수단에 의해 자기적 또는 전자기적으로 구동력 부여방향을 전환제어하고, 이 전환제어된 피반송물체를 상기 주반송로와 교차 또는 분기해서 마련된 부반송로에 있어서의 교차점 또는 분기점의 근방에 있어서 부상수단에 의해 부상시키면서 자기 또는 전자기 유도수단과 자기 또는 전자기 구동수단에 의해 상기 부반송로에 따라서 교차점 또는 분기점에서 떨어진 방향을 향해서 자기적 또는 전자기적으로 유동반송하고 또, 피반송물체를 상기 부반송로에 따라서 부상시켜 소정의 장소까지 반송하고, 이 소정의 장소로 반송된 피반송물체에 탑재된 피처리물을 재이동수단에 의해 처리장치의 투입구로 재이동하고, 이 재이동된 피처리물을 처리장치에 있어서 투입해서 소정의 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 피처리물 반송처리방법.
16. 피반송물체에 대해서 부상기체를 분사해서 피반송물체를 반송로에서 부상시키는 부상수단, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 상기 반송로에 따라서 자기적 또는 전자기적으로 유도하면서 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기유도/구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송장치.
17. 피반송물체에 대해서 부상기체를 분사해서 피반송물체를 반송로에서 부상시키는 부상수단, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체를 상기 반송로에 따라서 자기적 또는 전자기적으로 유도하는 자기 또는 전자기 유도수단, 상기 부상수단에 의해 부상되고, 상기 유도수단에 의해 유도된 피반송물체를 상기 반송로에 따라서 자기적 또는 전자기적으로 유도하면서 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송장치.
18. 피반송물체에 대해서 부상기체를 분사해서 피반송물체를 반송로에서 부상시키는 부상수단, 상기 부상수단에 의해 부상되는 피반송물체의 양측면으로 기체를 분사해서 피반송물체의 횡방향의 진동을 억제하는 기체진동억제수단, 상기 부상수단에 의해 부상되고, 상기 기체진동억제수단에 의해 횡방향의 진동이 억제된 피반송물체를 상기 반송로에 따라서 전기적 또는 전자기적으로 유도하면서 자기적 또는 전자기적으로 구동해서 반송하는 자기 또는 전자기유도/구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송장치.
19. 피반송물을 목적의 반송경로에 따라서 반송하면서 그 자세를 바꾸는 자세전환장치에 있어서, 상기 피반송물이 탑재되는 반송대차, 상기 반송대차가 목적의 반송경로에 따라서 이동하도록 상기 반송경로에 따라서 형성되어 있는 레일, 상기 레일상의 상기 반송대차를 상기 레일에서 부상시키는 부상수단을 구비하고, 상기 반송대차에는 상기 레일에 대향하도록 다수의 피안내단이 마련되고, 상기 피안내단과 상기 레일은 상기 피안내단이 상기 레일과 비접촉이라도 상기 피안내단이 상기 레일상에 안내되도록 모두 자성체로 형성되어 있음과 동시에 적어도 한쪽이 자화된 자성체이고, 상기 레일은 레일이 반송원측에 있어서 상기 반송경로와 평행하게 형성되어 있는 진입부, 상기 진입부의 레일의 반송지측끝부에 연결되고, 다수의 상기 피안내단을 상호로 연결하는 가상선분의 방향이 상기 반송경로에 대해서 점차 변화하도록 레일의 상기 반송경로에 대한 각도가 점차 바뀌어 가는 자세전환부, 상기 자세전환부의 레일의 반송지측끝부에 연결되고 레일이 상기 반송경로와 평행하게 형성되어 있는 퇴출부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
20. 제19항에 있어서, 상기 부상수단은 상기 반송대차의 아래쪽에서 상기 반송대차를 향해서 기체를 분출하는 기체분출수단인 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
21. 제19항에 있어서, 상기 진입부에는 상기 반송경로와 평행하고, 상기 반송대차의 다수의 상기 피안내단중 적어도 2개의 피안내단을 안내하는 1개의 레일(이하, 진입부레일이라고 한다)가 마련되고, 상기 자세전환부에는 1개의 상기 진입부레일에 의해 안내되고 있던 다수의 피안내단의 수량과 동일한 수만큼 상기 진입부레일의 반송지끝부에서 분기한 레일(이하, 자세전환부레일이라 한다)이 마련되고, 1개의 상기 진입부레일로 안내되고 있던 다수의 상기 피안내단 중 특정의 피안내단이 상기 자세전환부에 도달하면, 상기 특정의 피안내단을 다수의 상ㄱ 자세전환부레일 중 목적의 레일로 강제적으로 인도하는 레일분기부 안내수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
22. 제21항에 있어서, 상기 레일분기부 안내수단은 상기 특정의 피안내단이 상기 자세전환부에 도달하면, 자성체로 형성되어 있는 상기 특정의 피안내단을 다수의 상기 자세전환부레일 중 상기 목적의 레일 방향으로 인도하는 자세를 발생하는 자석을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
23. 제22항에 있어서, 상기 레일분기부 안내수단의 상기 자석은 영구자석인 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
24. 제22항에 있어서, 상기 레일분기부 안내수단은 1개의 상기 진입부의 레일에 안내되고 있던 다수의 상기 피안내단 중 상기 특정의 피안내단이 상기 자세전환부에 도달하기 직전에 상기 특정의 피안내단을 검지하는 피안내단 검지수단, 상기 피안내단 검지수단이 상기 특정의 피안내단을 검지하면, 상기 자석을 상기 목적의 레일에 대해서 접근 또는 멀어지게 하는 자석 이동수단을 갖고, 상기 자석은 영구자석인 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
25. 제22항에 있어서, 상기 레일분기부 안내수단은 1개의 상기 진입부레일로 안내되고 있던 다수의 상기 피안내단 중 상기 특정의 피안내단이 상기 자세전환부에 도달하기 직전에 상기 특정의 피안내단을 검지하는 피안내단 검지수단을 갖고, 상기 자석은 상기 파안내단 검지수단이 상기 특정의 피안내단을 검지하면, 상기 자계를 발생하는 전자석인 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
26. 제21항에 있어서, 상기 자세전환부레일은 자화되어 있지 않은 자성체이고, 상기 레일분기부 안내수단은 1개의 상기 진입부레일로 안내되고 있던 다수의 상기 피안내단 중 특정의 피안내단이 상기 자세전환부에 도달하기 직전에 상기 특정의 피안내단을 검지하는 피안내단 검지수단, 상기 피안내단 검지수단이 상기 특정의 피안내단을 검지하면, 다수의 상기 자세전환부레일 중 상기 목적의 레일에 상기 특정의 피안내단을 인도할 수 있도록 상기 목적의 레일의 반송원측끝부를 일시적으로 자화하는 전자석을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
27. 제2항에 있어서, 다수의 상기 자세전환부레일은 상기 진입부와 상기 자세전환부의 경계근방에는 형성되어 있지 않고, 1개의 상기 진입부레일은 상기 자세전환부내까지 연장되고, 상기 진입부레일의 상기 자세전환부내까지 연장되어 있는 부분이 다수의 상기 자세전환부레일의 반송원측끝부의 어느것에 대해서도 선택적으로 연결되도록 적어도 상기 자세전환부내까지 연장되어 있는 부분이 변경가능하고, 상기 레일분기부 안내수단은 상기 진입부레일로 안내되고 있던 다수의 상기 피안내단 중 특정의 피안내단이 상기 자세전환부에 도달하기 직전에 상기 특정의 피안내단을 검지하는 피안내단 검지수단, 상기 피안내단 검지수단이 상기 특정의 피안내단을 검지하면, 상기 진입부레일의 상기 자세전환부내까지 연장되어 있는 부분을 변형시켜서 다수의 상기 자세전환부레일 중 상기 목적의 레일의 반송원측끝부에 상기 진입부레일의 상기 자세전환부내까지 연장되어 있는 부분을 연결할 수 있는 레일변형수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
28. 제21항에 있어서, 상기 레일분기부 안내수단은 1개의 상기 진입부레일로 안내되고 있던 다수의 상기 피안내단 중 특정의 피안내단이 상기 자세전환부에 도달하기 직전에 상기 특정의 피안내단을 검지하는 피안내단 검지수단, 상기 피안내단 검지수단이 상기 특정의 피안내단을 검지하면, 다수의 상기 자세전환부레일중의 상기 목적의 레일로 상기 특정의 피안내단을 인도할 수 있도록 상기 반송대차에 대해서 기체를 분출하는 기체분출수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
29. 제19항에 있어서, 상기 반송대차의 다수의 상기 피안내단은 영구자석인 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
30. 제19항에 있어서, 상기 레일은 이동중인 상기 반송대차의 다수의 상기 피안내단과 대향하고 있는 부분이 적어도 자화하고 있는 자성체인 것을 특징으로 하는 자세전환장치.
31. 특허청구의 범위 19기재의 자세전환장치, 상기 반송경로와 평행하게 형성되고 또한, 상기 피안내단을 안내하도록 자성체로 형성되고, 상기 진입부의 상기 레일의 반송원측끝부에 접속도어 있는 반송원측레일, 상기 반송경로와 평행하게 형성되고 또한, 상기 피안내단을 안내하도록 자성체로 형성되고, 상기 퇴출부의 상기 레일의 반송지측끝부에 접속되어 있는 반송지측레일, 상기 반송원측레일 및 상기 반송지측레일에서 상기 반송대차를 부상시키는 부상수단, 상기 반송원측레일 및 상기 반송지측레일에서 부상하고 있는 상기 반송대차에 대해서 상기 반송경로가 연장되어 있는 방향으로 추진력을 가하는 반송대차 추진수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송대차.
32. 제31항에 있어서, 상기 반송대차는 다수의 상기 피안내단과 도전체로 형성된 대차본체를 갖고, 상기 반송대차 추진수단은 상기 반송경로가 연장되어 있는 방향으로 진행자계를 발생하는 진행자계발생수단인 것을 특징으로 하는 반송장치.
33. 피반송물이 탑지되는 반송대차, 상기 워크의 반송경로에 따라서 부설된 다수의 레일, 상기 반송대차를 향해서 가스를 분출하고 상기 반송대차를 상기 레일에서 부상시키는 가수분출수단 및 상기 반송대차를 유도하는 반송대차 유도수단을 구비하고, 상기 반송대차에는 상기 레일에 대행하는 피안내부가 마련되고, 상기 피안내부와 상기 레일은 상기 피안내부가 상기 레일과 비접촉이라도 상기 피안내부가 상기 레일상에 안내되도록 모두 자성체로 형성되어 있음과 동시에 적어도 한쪽이 자화된 자성체이고, 상기 다수의 레일은 적어도 기준레일과 상기 기준레일에서 분기하는 분기레일의 2개의 레일을 포함하고, 상기 반송대차 유도수단은 상기 기준레일에서 상기 분기레일이 분기하는 분기부를 향해서 상기 반송대차가 상기 기준레일상을 진행하는 경우에 상기반송대차가 상기 분기부에 접어들었을 때에 상기 반송대차를 상기 기준레일로 유도하던가 또는 상기 반송대차를 상기 분기레일로 유도하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
34. 제33항에 있어서, 상기 분기부에 접어들기 전에 상기 반송대차를 검출하는 검출수단을 또 구비하고, 상기 반송대차 유도수단은 상기 검출수단의 검출타이밍에 따라서 상기 반송대차의 유도타이밍을 산출하고, 상기 유도타이밍에서 상기 반송대차를 유도하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
35. 제33항에 있어서, 상기 반송대차 유도수단은 상기 분기부에 마련된 자성체인 안내부와 상기 안내부, 상기 피안내부 사이에 반발력 또는 흡인력이 작용하도록 상기 안내부를 자화하는 것에 의해 상기 반송대차를 유도하는 자화조정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
36. 제35항에 있어서, 상기 안내부를 상기 기준레일의 일부 및 상기 분기레일의 일부로서 사용하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
37. 제33항에 있어서, 상기 기준레일은 상기 분기부에 있어서 분단되어 있고, 상기 반송대차 유도수단은 상기 반송대차를 상기 기준레일로 유도하는 경우에는 상기 기준레일의 분단된 한쪽의 끝부를 분단된 다른쪽의 끝부에 접속하고, 상기 반송대차를 상기 분기레일로 유도하는 경우에는 상기 기준레일의 분단된 한쪽의 끝부를 상기 분기레일에 접속시키는 접속수단, 상기 한쪽의 끝부 및 상기 접속수단을 적어도 봉입하는 봉입수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
38. 제33항에 있어서, 상기 반송대차 유도수단은 상기 분기부에 마련되고 또한 상기 반송대차를 유도하기 위한 가스를 분출하는 유도용 가스분출수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
39. 제33항에 있어서, 상기 반송대차는 비자성의 도전체이고, 상기 반송대차 유도수단은 상기 분기부에 마련되고 또한, 상기 반송대차를 유도하기 위한 자계를 발생시키는 유도자계발생수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
40. 제33항에 있어서, 상기 분기레일은 상기 분기부에 있어서 상기 기준레일에 대해서 극간이 비도록 부설되어 있는 것을 특징으로 하는 반송장치.
41. 제33항에 있어서, 상기 반송대차는 비자성의 도전체이고, 상기 분기레일은 상기 기준레일에서 분기한 후, 재차 상기 기준레일에 접속하고, 상기 분기레일의 도중에는 상기 반송대차를 발진 및 정지시키기 위한 진행자계발생수단이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 반송장치.
42. 제41항에 있어서, 상기 진행자계발생수단이 설치위치에 대응하도록 상기 분기레일에 인접해서 마련되고 또한, 정지하고 있는 반송대차에 대해서 워크의 하역을 실행하는 이동수단을 또 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송장치.
43. 제33항에 있어서, 상기 기준레일은 상기 반송대차가 주회궤도를 그릴 수 있도록 페루프형상으로 부설되어 있는 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 반송장치.
44. 제9항에 있어서, 상기 부상수단은 피반송물체를 주반송로, 부반송로 및 교차 또는 분기반송로의 각각에서 기체압에 의해서 부상시키기 위한 기체부상수단인 것을 특징으로 하는 반송처리장치.
45. 제41항에 있어서, 상기 기준레일은 상기 반송대차가 주회궤도를 그릴 수 있도록 페루프형상으로 부설되어 있는 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 반송장치.
46. 제42항에 있어서, 상기 기준레일은 상기 반송대차가 주회궤도를 그릴 수 있도록 페루프형상으로 부설되어 있는 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 반송장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.