JPH0858965A - 姿勢転換装置、及びこれを備えている搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 搬送物の搬送過程で、搬送時間を長くするこ
となく、搬送物の向きを変える。 【構成】 搬送物が載置される搬送台車３０の下面に
は、永久磁石２０ａ〜ｄが設けられている。経路形成ベ
ース４０上には、軟磁性体で形成されたレール１０ａ〜
ｈが設けられている。搬送台車３０は、経路形成ベース
４０に設けたガス噴出口５０からのガスによって浮上し
ながら、搬送台車３０の永久磁石２０ａ〜ｄがレール１
０ａ〜ｈに案内されつつ、目的の搬送経路Ｒに沿って移
動する。レール１０ａ〜ｈは、目的の搬送経路Ｒに対し
て平行な部分１０ｅ〜ｈと、搬送台車３０の向きが次第
に変わるよう目的の搬送経路Ｒに対する角度が次第に変
わって行く部分１０ａ〜ｄとがある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、搬送中の搬送物の姿勢
を変える姿勢転換装置、例えば、製造中の半導体を半導
体製造装置から検査装置等へ搬送する過程で、半導体の
姿勢を変える姿勢転換装置、及びこれを備えている搬送
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造工程の中には、製造装置、
保管装置、検査装置等、各装置相互間において製造中の
半導体を搬送する工程がある。この搬送工程では、搬送
先の装置が作業しやすいように、搬送中に半導体の姿勢
を変える必要性が生じる場合がある。

【０００３】従来、搬送中の搬送物の姿勢を変える、こ
の種の装置としては、例えば、特開昭60-118529号公報
に記載されているものがある。この装置は、搬送物が載
置される搬送台車と、搬送元側において搬送経路に沿っ
てリニアモータが形成されている搬送元側部と、リニア
モータが上部に形成されているターンテーブルと、この
ターンテーブルより搬送先側において搬送経路に沿って
リニアモータが形成されている搬送先側部とを備えてい
る。

【０００４】ここで、この装置の搬送台車の動作につい
て簡単に説明する。搬送元側部のリニアモータ上の搬送
台車は、このリニアモータの駆動により、ターンテーブ
ル上部のリニアモータ上まで移動する。搬送台車がター
ンテーブル上部のリニアモータ上に至ると、搬送台車は
この上で一端停止する。搬送台車が停止すると、ターン
テーブルが回転して、ターンテーブル上の搬送台車の向
きが変わる。その後、搬送台車は、再び移動し始め、タ
ーンテーブルのリニアモータ上から搬送先側部のリニア
モータ上に乗り移り、搬送先まで移動する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記従来技術では、姿
勢転換直前に、一端、搬送物を停止させ、停止させた状
態で搬送物の姿勢を変えているため、搬送時間が長くな
るという問題点がある。さらに、ターンテーブル上で搬
送物を一端停止させることから、搬送物を加減速させる
機構をターンテーブルに設ける必要があり、装置が複雑
化し、製造コストがかさむという問題点もある。

【０００６】本発明は、このような従来の問題点につい
て着目してなされたもので、装置が比較的簡単で製造コ
ストの低減を図ることができると共に、搬送時間を短く
することができる搬送物の姿勢転換装置、及びこれを備
えている搬送装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の姿勢転換装置は、搬送物が載置される搬送台車と、前
記搬送台車が目的の搬送経路に沿って移動するよう、該
搬送経路に沿って形成されているレールと、前記レール
上の前記搬送台車を該レールから浮上させる浮上手段
と、を備え、前記搬送台車には、前記レールに対向する
よう複数の被案内端が設けられ、前記被案内端と前記レ
ールとは、該被案内端が該レールと非接触であっても該
被案内端が該レール上に案内されるよう、いずれも磁性
体で形成されていると共に、少なくとも一方が磁化され
た磁性体であり、前記レールは、レールが搬送元側にお
いて前記搬送経路に平行に形成されている進入部と、該
進入部のレールの搬送先側端部につながり、複数の前記
被案内端を相互に結ぶ仮想線分の方向が前記搬送経路に
対して次第に変化するようレールの該搬送経路に対する
角度が次第に変わって行く姿勢転換部と、該姿勢転換部
のレールの搬送先側端部につながり、レールが前記搬送
経路に平行に形成されている退出部とを有していること
を特徴とするものである。

【０００８】なお、レールが搬送経路に平行であるとい
うことは、ここでは、レールと搬送経路との距離が常に
一定であることを意味するものとする。従って、搬送経
路が曲がっている場合でも、搬送経路との距離が一定で
ある場合には、搬送経路に対してレールは平行であるこ
とになる。

【０００９】ここで、前記浮上手段は、前記搬送台車の
下方から該搬送台車に向かって気体を噴出する気体噴出
手段であってもよい。

【００１０】また、磁性体で形成する前記被案内端と前
記レールとのうち、被案内端を永久磁石又は電磁石で形
成してもよい。この場合、レールを軟磁性体で形成する
ことが製造コストの面等から好ましいが、被案内端の磁
気極性に対して逆の極性を示す永久磁石又は電磁石の一
部でレールを形成してもよい。なお、レールを永久磁石
又は電磁石の一部で形成する場合には、被案内端は永久
磁石又は電磁石でなくてもよいことは言うまでもない。

【００１１】また、前記姿勢転換装置において、前記進
入部には、前記搬送経路と平行で、前記搬送台車の複数
の前記被案内端のうちの少なくとも２個の被案内端を案
内する１本のレール（以下、進入部レールとする。）が
設けられ、前記姿勢転換部には、１本の前記進入部レー
ルで案内されていた複数の被案内端の数量と同じ数だ
け、該進入部レールの搬送先端部から分岐したレール
（以下、姿勢転換部レールとする。）が設けられている
場合、前記姿勢転換装置には、１本の前記進入部レール
に案内されていた複数の前記被案内端のうち特定の被案
内端が前記姿勢転換部に至ると、該特定の被案内端を、
複数の前記姿勢転換部レールのうちの目的のレールに強
制的に導くレール分岐部案内手段が設けられていること
が好ましい。

【００１２】また、前記目的を達成するための前記搬送
装置は、前記姿勢転換装置と、前記搬送経路に平行に形
成され、且つ前記被案内端を案内すべく磁性体で形成さ
れ、前記進入部の前記レールの搬送元側端部に接続され
ている搬送元側レールと、前記搬送経路に平行に形成さ
れ、且つ前記被案内端を案内すべく磁性体で形成され、
前記退出部の前記レールの搬送先側端部に接続されてい
る搬送先側レールと、前記搬送元側レール及び前記搬送
先側レールから前記搬送台車を浮上させる浮上手段と、
前記搬送元側レール及び前記搬送先側レールから浮上し
ている前記搬送台車に対して、前記搬送経路が伸びてい
る方向に推進力を加える搬送台車推進手段と、を備えて
いるものである。

【００１３】ここで、前記搬送台車推進手段は、レール
から浮上している搬送台車に対して非接触で推進力を与
えるものであれば、如何なるものでもよく、例えば、搬
送経路が伸びている方向に進行磁界を発生するリニアモ
ータであっても、搬送経路が伸びている方向に気体を噴
射するものであってもよい。

【００１４】

【作用】搬送台車は、浮上手段により、レールから浮上
させられる。搬送台車の被案内端とレールとは、いずれ
も磁性体で形成されていると共に少なくとも一方が磁化
された磁性体であるため、搬送台車は、レールから浮上
しているものの、レールに沿って移動することができ
る。従って、搬送台車が目的の搬送経路に沿って移動し
てきて、本発明の姿勢転換装置のレール上にある速度で
至ると、その慣性で、搬送台車は姿勢転換装置のレール
に沿って移動する。

【００１５】ここで、進入部のレールは目的の搬送経路
に平行に形成されているため、このレール上に位置する
搬送台車の複数の被案内端は、搬送経路に平行に移動す
る。従って、進入部を移動中の搬送台車は、搬送台車の
複数の被案内端が搬送経路に平行に移動するために、目
的の搬送経路に対する向きを変えることができない。ま
た、姿勢転換部のレールは、搬送経路に対する角度が次
第に変わって行くよう形成されているため、このレール
上を複数の被案内端が移動する過程で、搬送台車の搬送
経路に対する向きが次第に変わって行く。すなわち、搬
送台車は、姿勢転換部において、姿勢転換させられる。
搬送台車が姿勢転換部から退出部に至ると、進入部にお
ける搬送台車と同様に、搬送経路に対する向きを変える
ことができない状態で、搬送経路に沿って移動する。

【００１６】このように、本発明では、目的の搬送経路
に対する角度が次第に変わって行くレールに沿って、搬
送台車が移動して行くと、自然に搬送経路に対する搬送
台車の向きが変わるので、姿勢転換装置に進入してきた
搬送台車を姿勢転換のために、わざわざ停止させる必要
がない。また、慣性で移動する搬送台車の運動エネルギ
は、搬送台車周囲の気体との流体学上の摩擦損失と形状
損失によって失われるが、搬送台車がレールから浮上し
ているため、そのエネルギ損失は搬送台車の持つ運動エ
ネルギに比較して充分小さい。さらに、姿勢転換の途中
では、搬送台車の運動エネルギの一部は、搬送台車の回
転エネルギに変換されるので、搬送台車の重心の移動速
度は僅かに低下するものの、姿勢転換が終了すると回転
エネルギは再び重心移動エネルギに変換される。このた
め、搬送台車の移動速度は、姿勢転換装置に進入してか
ら出るまでの間において、実質的にほとんど低下しな
い。

【００１７】従って、本発明では、搬送時間を短縮する
ことができる。また、搬送台車の加減速装置が不要であ
るため、製造コストの低減も図ることができる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明に係る各種実施例について図面
を用いて説明する。まず、本発明に係る第１の実施例に
ついて、図１〜図６を用いて説明する。

【００１９】本実施例の搬送装置は、図３に示すよう
に、搬送物が載置される搬送台車３０と、この搬送台車
３０がその上面を移動して行く搬送経路形成ベース２
ｘ，４０，２ｚとを備えている。この搬送経路形成ベー
ス２ｘ，４０，２ｚは、目的の搬送経路Ｒに沿って形成
されているレール１０ａ〜ｌと、このレール１０ａ〜ｌ
が上部に設けられるベース本体３ｘ，４１，３ｚとを有
している。このベース本体３ｘ，４１，３ｚには、搬送
台車３０をレール１０ａ〜ｌから浮かせるために、レー
ル１０ａ〜ｌに沿って複数のガス噴出口５０，５０，…
が形成されている。ベース本体３ｘ，４１，３ｚは、非
磁性材料であるアルミニウムで形成され、レール１０ａ
〜ｌは、磁化しやすい一方で減磁もしやすい軟磁性材料
である珪素鋼板で形成されている。搬送台車３０は、図
１及び図２に示すように、正方形板状の台車本体３１
と、この台車本体３１に埋め込まれている４つの永久磁
石２０ａ〜ｄとを有している。台車本体３１は、非磁性
材料で且つ導電性材料であるアルミニウムで形成されて
いる。各永久磁石２０ａ〜ｄは、円柱形でその軸方向に
磁化されている。各永久磁石２０ａ〜ｄは、その軸方向
の両端部がそれぞれ台車本体３１の上面及び下面から露
出するよう、矩形板状の台車本体３１の４角にそれぞれ
埋め込まれている。なお、本実施例及び以下の実施例に
おいて、搬送台車３０の重心Ｇの軌跡を搬送経路Ｒと
し、この搬送経路Ｒはｘ方向に直線的に伸びているもの
とする。但し、ここでは、説明の都合上、搬送経路Ｒは
直線的であるものとしているが、本発明において、搬送
経路Ｒは直線的である必要はなく、例えば、途中で折れ
曲がっているものでも、なだらかに曲がっているもので
もよい。

【００２０】本実施例の搬送装置は、図３に示すよう
に、搬送台車３０を搬送経路Ｒに沿って単に移動させる
搬送部Ｘ，Ｚと、搬送台車３０を搬送経路Ｒに沿って移
動させつつその向きを変える姿勢転換部Ｙとを有してい
る。この姿勢転換部Ｙの搬送経路形成ベース４０と搬送
台車３０とが、本発明の主要部である姿勢転換装置１を
構成している。搬送部Ｘ，Ｚの搬送経路形成ベース２
ｘ，２ｚとしては、姿勢転換部Ｙを中心として、搬送元
側の搬送元側搬送経路形成ベース２ｘと搬送先側搬送経
路形成ベース２ｚとがある。

【００２１】搬送元側搬送経路形成ベース本体３ｘ上に
は、搬送経路Ｒに平行な２本のレール１０ｉ，１０ｊが
設けられている。また、搬送先側搬送経路形成ベース本
体３ｚ上にも、搬送経路Ｒに平行な２本のレール１０
ｋ，１０ｌが設けられている。これら２本のレールのう
ち、一方のレール上に搬送台車３０の２つの永久磁石が
位置し、他方のレール上に搬送台車３０の残った２つの
永久磁石が位置することになる。ベース本体３ｘ，３ｚ
上には、さらに、搬送経路Ｒに平行で且つ２本のレール
の間にリニアモータのステータ４ｘ，４ｚが設けられて
いる。リニアモータのステータ４ｘ，４ｚは、搬送経路
Ｒに平行な方向に長く伸びている鉄心と、この鉄心に巻
きつけられているコイル（図示されていない。）とを有
して構成されている。このように構成されているリニア
モータのステータ４ｘ，４ｚは、鉄心の上面が露出する
一方でコイルがベース本体３ｘ，３ｚ内に収まるよう、
ベース本体３ｘ，３ｚ内に埋め込まれている。なお、リ
ニアモータのステータ４ｘ，４ｚに対するリアクション
プレートは、導電性材料で形成されている台車本体３０
が構成している。但し、以下では、リニアモータのステ
ータを単にリニアモータと言うものとする。

【００２２】姿勢転換装置１の搬送経路形成ベース４０
は、図１及び図２に示すように、搬送元側搬送部Ｘから
搬送台車３０が搬送経路Ｒに沿って単に進入してくる進
入部Ａと、搬送台車３０が搬送経路Ｒに沿って移動しつ
つその向きが変わる姿勢転換部Ｂと、姿勢転換部Ｂから
搬送先側搬送部Ｚへ搬送台車３０が搬送経路Ｒに沿って
単に移動して行く退出部Ｃとをを有している。

【００２３】進入部Ａの搬送経路形成ベース本体４１上
には、搬送元側搬送部Ｘの２本のレール１０ｉ，１０ｊ
にそれぞれつながり且つ搬送経路Ｒに平行な２本のレー
ル１０ｅ，１０ｆが設けられている。また、退出部Ｃの
搬送経路形成ベース本体４１上にも、搬送先側搬送部Ｚ
の２本のレール１０ｋ，１０ｌにそれぞれつながり且つ
搬送経路Ｒに平行な２本のレール１０ｇ，１０ｈが設け
られている。姿勢転換部Ｂの搬送経路形成ベース本体４
１上には、搬送台車３０の４つの永久磁石２０ａ〜ｄを
それぞれ案内する４本のレール１０ａ，１０ｂ，１０
ｃ，１０ｄが設けられている。具体的には、進入部Ａの
２本のレール１０ｅ，１０ｆのうち、一方のレール１０
ｅの端部から姿勢転換部Ｂにおいて２本のレール１０
ａ，１０ｃに分岐し、他方のレール１０ｆの端部からも
姿勢転換部Ｂにおいて２本のレール１０ｂ，１０ｄに分
岐している。進入部Ａの一方のレール１０ｅから分岐し
た２本のレール１０ａ，１０ｃのうち、一方のレール１
０ｃは、退出部の２本のレール１０ｇ，１０ｈのうちの
一方のレール１０ｇに接続され、他方のレール１０ａ
は、退出部Ｃの２本のレール１０ｇ，１０ｈのうちの他
方のレール１０ｈ接続されている。また、進入部Ａの他
方のレール１０ｆから分岐した２本のレール１０ｂ，１
０ｄのうち、一方のレール１０ｄは、退出部Ｃの２本の
レール１０ｇ，１０ｈのうち一方のレール１０ｇに接続
され、他方のレール１０ｂは、退出部Ｃの２本のレール
１０ｇ，１０ｈのうち他方のレール１０ｈに接続されて
いる。

【００２４】ここで、姿勢転換部Ｂの４本のレール１０
ａ〜ｄの形状について説明する。図４は、（＋）ｘ方向
に等速直線運動してきた搬送台車３０が、その重心Ｇの
進行方向を変えることなしに、姿勢転換部Ｂで時計回り
に９０゜回転をする場合における、搬送台車３０の一定
時間ごとの輪郭を１点鎖線で表し、永久磁石２０ａ〜ｄ
それぞれの軌跡を実線で表した図である。これらの軌跡
は、重心Ｇを中心とする搬送台車３０の回転角速度ωが
（数１）、回転角加速度αが（数２）に示す値になるよ
うな軌跡である。

【００２５】

【数１】

【００２６】

【数２】

【００２７】なお、以上の式において、ｔは搬送台車３
０の回転開始時からの経過時間、Ａは搬送台車３０の最
大角速度である。また、（数１）における経過時間ｔと
回転角速度ωとの関係を示したものが図５に示すグラフ
であり、（数２）における経過時間ｔと回転角加速度α
との関係を示したものが図６に示すグラフである。

【００２８】本実施例では、図４において実線で示した
永久磁石２０ａ〜ｄの軌跡と同一形状になるよう、レー
ル１０ａ〜ｄを形成した。

【００２９】今、仮に搬送台車３０が搬送元側搬送部Ｘ
に在ったとする。搬送台車３０は、ガス噴出口５０より
噴出するクリーンエアによって、搬送経路形成ベース２
ｘから浮上している。また、搬送台車３０の４つの永久
磁石２０ａ〜ｄのうち、隣合っている２つの永久磁石２
０ａ，２０ｃは、搬送元側搬送部Ｘの２本のレール１０
ｉ，１０ｊのうちの一方のレール１０ｉ上に位置し、残
りの２つの永久磁石２０ｂ，２０ｄは、搬送元側搬送部
Ｘの２本のレール１０ｉ，１０ｊのうちの他方のレール
１０ｊ上に位置している。リニアモータを駆動して、リ
ニアモータのステータ４ｘの磁気極性を（＋）ｘ方向に
順次変えて行くと、導電性材料のアルミニウムで形成さ
れている台車本体３１に渦電流が発生し、この渦電流の
発生で搬送台車３０をｘ方向に進めようとする推進力が
生まれる。この推進力により、搬送台車３０は、（＋）
ｘ方向に移動する。このとき、搬送台車３０は、搬送経
路形成ベース２ｘから浮上しているものの、搬送台車３
０の永久磁石２０ａ〜ｄと軟磁性材料で形成されている
レール１０ｉ，１０ｊとの間に発生する吸引力により、
これらレール１０ｉ，１０ｊに沿って移動する。なお、
本実施例で搬送台車本体３１を導電性材料で形成したの
は、リニアモータを駆動した際に、搬送台車本体３１に
渦電流を発生させるためであるから、搬送台車本体３１
の全てを導電性材料で形成する必要はなく、リニアモー
タと対向する一部だけを導電性材料で形成しておけばよ
い。

【００３０】搬送台車３０が姿勢転換装置１の搬送経路
形成ベース４０上に至ると、ここにはリニアモータが設
けられていないので、搬送台車４０は、このベース４０
上では慣性力で移動することになる。搬送台車３０が姿
勢転換装置１の搬送経路形成ベース４０上に至ると、搬
送台車３０の２つの永久磁石２０ａ，２０ｃは、搬送元
搬送部Ｘのレール１０ｉに接続されている進入部Ａのレ
ール１０ｅ上に乗り移り、搬送台車３０の残りの２つの
永久磁石２０ｂ，２０ｄは、搬送元搬送部Ｘのレール１
０ｊに接続されている進入部Ａのレール１０ｆ上に乗り
移ることになる。搬送台車３０の永久磁石２０ａは、進
入部Ａのレール１０ｅから、姿勢転換部Ｂのレール１０
ａ、退出部Ｃのレール１０ｈに沿って移動し、永久磁石
２０ｂは、進入部Ａのレール１０ｆから、姿勢転換部Ｂ
のレール１０ｂ、退出部Ｃのレール１０ｈに沿って移動
する。また、永久磁石２０ｃは、進入部Ａのレール１０
ｅから、姿勢転換部Ｂのレール１０ｃ、退出部Ｃのレー
ル１０ｇに沿って移動し、永久磁石２０ｄは、進入部Ａ
のレール１０ｆから、姿勢転換部Ｂのレール１０ｄ、退
出部Ｃのレール１０ｇに沿って移動する。ところで、姿
勢転換部Ｂの各レール１０ａ〜ｄは、前述したように、
搬送台車３０の重心Ｇが進行方向（ｘ方向）を変えるこ
となしに、搬送台車３０が重心Ｇを中心として時計回り
に９０゜回転する場合における、永久磁石２０ａ〜ｄの
軌跡と一致しているので、搬送台車３０は、その重心Ｇ
がＸ方向に伸びている搬送経路Ｒ上を移動しつつ、重心
Ｇを中心として時計回りに９０゜回転する。

【００３１】搬送台車３０が搬送先側搬送部Ｚに至る
と、姿勢転換装置１の経路形成ベース４０上のレール１
０ｇ上に位置していた搬送台車３０の２つの永久磁石２
０ｃ，２０ｄは、このレールｇに接続されている搬送先
側搬送部Ｚのレール１０ｋ上に乗り移り、姿勢転換装置
１の経路形成ベース４０上のレール１０ｈに位置してい
た搬送台車３０の２つの永久磁石２０ａ，２０ｂは、こ
のレール１０ｈに接続されている搬送先搬送部Ｚのレー
ル１０ｌ上に乗り移ることになる。そして、搬送台車３
０は、搬送先側搬送部Ｚに設けられているリニアモータ
により、推進力を得、ｘ方向に伸びている搬送経路Ｒに
沿って、更に移動する。

【００３２】本実施例では、図５及び図６に示すよう
に、回転開始時と回転終了時とにおける回転角速度及び
回転角加速度が共に０で、この間における回転角加速度
の変化がなめらかななので、搬送台車３０の姿勢転換開
始から終了までの間において、搬送台車３０にかかる衝
撃を少なくすることができる。このため、搬送台車３０
上の図示していない搬送物の振動を抑えることができる
ので、搬送物の振動に起因する発塵を抑えることができ
る。なお、本実施例の搬送装置は、搬送経路形成ベース
２ｘ，４０，２ｚ上を搬送台車３０が非接触で移動する
ので、両者の接触による発塵も押さえることができる。
このように発塵を抑えることは、搬送物が例えば半導体
である場合のように塵の付着を嫌うものの搬送におい
て、非常に重要なことである。

【００３３】姿勢転換装置１の搬送経路形成ベース４０
上を慣性力で移動している搬送台車３０の持つ運動エネ
ルギは、周囲のガスとの流体学上の摩擦損失と形状損失
によって若干低下するものの、搬送経路形成ベース４０
と搬送台車３０とは非接触であるので、ほとんど保存さ
れる。搬送台車３０が回転運動を始めると、搬送台車３
０の持つ運動エネルギのうち、搬送台車３０の重心位置
移動エネルギは、搬送台車３０の回転エネルギに変換さ
れるために低下する。しかし、この移動エネルギ低下は
元々搬送台車３０が持っていた運動エネルギに比較して
僅かなので移動速度の低下も僅かである。また、搬送台
車３０の回転エネルギは回転終了時に再び搬送台車３０
の重心位置移動エネルギに変換される。従って、搬送台
車３０は、姿勢転換装置１の搬送経路形成ベース４０上
を慣性力で移動するものの、このベース４０において、
搬送台車３０の移動速度は実質的にほとんど変化しな
い。このため、搬送中に搬送台車３０の向きを変えて
も、搬送時間はほとんど増大しない。

【００３４】本実施例の姿勢転換装置１には、レールの
分岐部近傍及びレール相互の結合部近傍に、電磁石６０
ａ〜ｄ及び磁気センサ７０ａ〜ｄが設けられている。具
体的には、進入部Ａのレール１０ｅ，１０ｆから姿勢転
換部Ｂのレール１０ａ〜ｄに分岐する分岐部より、僅か
に搬送元側に磁気センサ７０ａ，７０ｂが設けられ、こ
の分岐部より、僅かに搬送先側に電磁石６０ａ，６０ｂ
が設けられている。また、姿勢転換部Ｂの２本のレール
１０ｃ，１０ｄが結合する結合部、及び残りの２本のレ
ール１０ａ，１０ｄが結合する結合部より、僅かに搬送
元側に磁気センサ７０ｃ，７０ｄが設けられ、この結合
部より僅かに搬送先側に電磁石６０ｃ，６０ｄが設けら
れている。

【００３５】搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動する場
合、つまり搬送元から搬送先へ移動する場合、磁気セン
サ７０ａで永久磁石２０ａの通過及び永久磁石２０ａの
下面の磁気極性を確認すると、電磁石６０ａは、永久磁
石２０ａの下面の極性と同じ極性に磁化する。この結
果、電磁石６０ａと永久磁石２０ａの間に反発力が発生
し、永久磁石２０ａは、分岐した２本のレール１０ａ，
１０ｃのうち電磁石６０ａから遠い側のレール１０ａに
至る。また、磁気センサ７０ｂで永久磁石２０ｂの通過
及び永久磁石２０ｂの下面の磁気極性を確認すると、電
磁石６０ｂは永久磁石２０ｂの下面の極性と逆の磁性に
磁化する。この結果、電磁石６０ｂと永久磁石２０ｂと
の間に吸引力が発生し、永久磁石２０ｂは、分岐した２
本のレール１０ｂ，１０ｄのうち電磁石６０ｂに近い側
のレール１０ｂに至る。

【００３６】その後、磁気センサ７０ａで永久磁石２０
ｃの通過及び永久磁石２０ｃの下面の磁気極性を確認す
ると、電磁石６０ａが永久磁石２０ｃの下面の磁気極性
と逆の極性に磁化し、吸引力が発生して、永久磁石２０
ｃは、分岐した２本のレール１０ａ，１０ｃのうち電磁
石６０ａから近い側のレール１０ｃに至る。また、磁気
センサ７０ｂで永久磁石２０ｄの通過及び永久磁石２０
ｄの下面の磁気極性を確認すると、電磁石６０ｂが永久
磁石２０ｄの下面の磁気極性と同じ極性に磁化し、反発
力が発生して、永久磁石２０ｄは、分岐した２本のレー
ル１０ｂ，１０ｄのうち電磁石６０ｂから遠い側のレー
ル１０ｄに至る。

【００３７】この一連の制御において、電磁石６０ａ，
６０ｂの磁力の強さが小さすぎると反発力又は吸引力が
充分でなく、永久磁石６０ａ〜ｄをそれぞれ目的のレー
ル１０ａ〜ｄに案内することができない。また、逆に、
電磁石６０ａ〜ｂの磁化の強さが大きすぎると反発力又
は吸引力が過剰になるため、搬送台車３０が永久磁石２
０ａ〜ｄがレール１０の各部分との間の吸引力による案
内から外れてしまう可能性がある。更に、磁化のタイミ
ングを適切に設定しないと、搬送台車３０に不必要な加
減速が加わる。以上の理由により、電磁石６０ａ〜ｂの
磁力の強さ及び磁化のタイミングを適切に設定する必要
がある。

【００３８】なお、レール１０ａとレール１０ｄとは交
差するが、レール１０ａに対してレール１０ｄが鋭角的
に交わっており、この交差点では、搬送台車３０の持っ
ている移動と回転の慣性の働きによって、永久磁石２０
ａはレール１０ａとレール１０ｄの交差点を通過後もレ
ール１０ａ上を、永久磁石２０ｄはレール１０ａとレー
ル１０ｄの交差点を通過後もレール１０ｄ上を移動する
ので、磁気センサや電磁石で構成される上記レール分岐
部案内機構は必要ない。

【００３９】また、レール１０ｇ、レール１０ｈに案内
され、搬送台車３０が（−）ｘ方向に移動する場合、つ
まり、以上とは逆に搬送先であったところから搬送元で
あったところに移動する場合に、電磁石６０ａの代わり
に電磁石６０ｃを、電磁石６０ｂの代わりに電磁石６０
ｄを、磁気センサ７０ａの代わりに磁気センサ７０ｃ
を、磁気センサ７０ｂの代わりに磁気センサ７０ｄを、
搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動するときと同様に操
作することにより、レールの分岐部において、搬送台車
３０を目的のレール上に案内することができる。

【００４０】なお、本実施例では、搬送台車３０が搬送
経路Ｒに沿って往復移動することを前提に、レール分岐
部案内機構を設けたが、搬送台車３０が搬送元側から搬
送先側への一方通行の場合は、電磁石６０ｃ，６０ｄ及
び磁気センサ７０ｃ，７０ｄは不要である。また、本実
施例ではレール１０に珪素鋼板を使用したが、この代わ
りに軟磁性材料の低炭素鋼等を用いてもよい。また、台
車本体３１及び搬送経路形成ベース本体３ｘ，４１，３
ｚにアルミニウムを使用したが、非磁性材料である真鍮
などを用いることも可能である。また、レールに案内さ
れる被案内端を本実施例では、永久磁石で形成したが、
これを軟磁性体で形成し、逆に、レール１０を永久磁石
で形成してもよい。この場合、レール１０は永久磁石で
なくとも、磁化されていればよいので、レール自体を軟
磁性体で形成し、これに永久磁石又は電磁石を接触させ
ておいてもよい。すなわち、被案内端とレールとのう
ち、一方が磁化された又は磁化されていない磁性体で、
他方が磁化された磁性体であれば、被案内端はレール上
に案内される。

【００４１】また、本実施例では、レール分岐部案内機
構として電磁石を用いたが、この代わりに、永久磁石を
用い、これを移動させることによっても同様の効果が得
られる。また、浮上用ガスとしてクリーンエアを使用し
たが、基本的に、如何なる気体を用いてもよい。但し、
製造中の半導体を搬送する場合には、反応性の低い、窒
素やアルゴン等の不活性ガスで、且つクリーンなものを
使用することが望まれる。この場合、搬送装置全体を隔
離壁等で覆うことで、隔離壁内での化学反応を効果的に
抑えることができる。

【００４２】また、永久磁石２０についても、本実施例
では円柱形で、上下方向に磁化した永久磁石２０を使用
したが、その形状は直方体でもよいし、磁化の方向も半
径方向や、左右方向でもよい。但し、永久磁石２０の形
状が円柱状から大きく外れる場合は、レール１０に対し
て永久磁石２０の方向性が生じるため、姿勢転換が円滑
に起こらないおそれがあるので、形状は注意して選択す
る必要がある。また、永久磁石２０の大きさ及びレール
１０の一本のｙ方向の幅は、基本的に自由であるが、必
要な吸引力が得られれば、いずれも小さいほど正確に被
案内端である永久磁石がレールの中心線上をトレースす
る。また、搬送台車３０の形状も正方形に限らず、浮上
用ガスによる浮上量を確保するだけの面積を有すれば、
円形、三角形、五角形等、任意の形状にできる。また、
永久磁石の位置も変えることができるが、この場合、永
久磁石の位置に対応させてレールの形状を変える必要が
ある。また、搬送台車３０に対して推進力を与える推進
手段として、以上の実施例ではリニアインダクションモ
ータを用いたが、本発明はこれに限定されるものではな
く、非接触で搬送台車３０に対して推進力を与えるもの
であれば如何なるものでもよく、例えば、リニアパルス
モータや、ガス噴出ノズル等を用いてもよい。

【００４３】また、以上の実施例では、姿勢転換の転換
角度を９０゜としたが、レール１０ａ〜ｈの形状を変え
ることにより、別の角度に搬送台車３０の姿勢を変換で
きる。例として、図７に搬送台車３０の姿勢を時計回り
に４５゜転換する例を示す。なお、同図において、永久
磁石２０の各々の軌跡を実線で、搬送台車３０の一定時
間毎の輪郭を一点鎖線で示す。第１の実施例同様、レー
ル１０のそれぞれの形状を同図の永久磁石２０の各々の
軌跡と同一にすれば、搬送台車３０を４５゜姿勢転換さ
せることができる。同様に、レール１０の形状を変える
ことで姿勢転換中の回転角速度も変えることができる。
例えば、回転角速度曲線をカム曲線の一種の変形正弦曲
線や変形台形曲線にすることもできる。また、図８に示
すように、等角加速度で角速度が増加し、等角加速度で
角速度が減少するよう、角速度変化を持たせたり、図９
に示すように、角速度変化を持たせないことも可能であ
る。これの場合、角加速度の変化が滑らかでなくなり、
搬送台車３０にかかる衝撃が大きくなるものの、レール
の設計を簡略化できるという利点がある。

【００４４】次に、姿勢転換装置の第２の実施例につい
て、図１０を用いて説明する。本実施例の姿勢転換装置
１ａは、レール分岐部案内機構を構成する磁気センサ及
び電磁石の数を第１の実施例より少なくしたものであ
る。具体的には、進入部Ａのレール１０ｆから姿勢転換
部Ｂのレール１０ｂ，１０ｄに分岐する分岐部、及び姿
勢転換部Ｂの２本のレール１０ａ，１０ｄが結合する結
合部における、磁気センサ７０ｂ，７０ｄ及び電磁石６
０ｂ，６０ｄを削除している。

【００４５】搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動すると
き、磁気センサ７０ａで永久磁石２０ａの通過を確認す
ると、電磁石６０ａを永久磁石２０ａの下面の磁性と同
じ磁気極性に磁化させて永久磁石２０ａに対する反発力
を発生さることにより、永久磁石２０ａはレール１０
ａ，１０ｃのうち電磁石６０ａに対して遠い側のレール
１０ａに至る。この結果、ｘ方向において永久磁石２０
ａと同じ位置に位置している永久磁石２０ｂも、必然的
にレール１０ｂ，１０ｄのうち電磁石６０ａに対して遠
い側のレール１０ｂへ案内される。そして、磁気センサ
７０ａで永久磁石２０ｃの通過を確認すると、電磁石６
０ａを永久磁石２０ｃの下面の磁性と逆の磁性に磁化さ
せて永久磁石２０ｃに対する吸引力を発生させることに
より、永久磁石２０ｃはレール１０ａ，１０ｃのうち電
磁石６０ａに対して近い側のレール１０ｃに至る。この
際も、ｘ方向において永久磁石２０ｃと同じ位置に位置
している永久磁石２０ｄが、必然的にレール１０ｂ，１
０ｄのうち電磁石６０ａに対して近い側のレール１０ｂ
へ案内される。

【００４６】このように、２個の永久磁石が同時にそれ
ぞれの分岐点に進入する場合は、磁気センサと電磁石の
数を減少することができるので、製造コストを下げるこ
とができると共に、制御の簡易化を図ることもできる。
なお、第１の実施例と同様に、（−）ｘ方向へ搬送台車
３０が移動していく場合には、磁気センサ７０ａの代わ
りに磁気センサ７０ｃを、電磁石６０ａの代わりに電磁
石６０ｃを用いることになる。また、前述したが、搬送
台車３０が搬送元側から搬送先側への一方通行の場合に
は、磁気センサ７０ｃ及び電磁石６０ｃは不要になる。

【００４７】次に、本発明に係る姿勢転換装置の第３の
実施例について、図１１〜図１３を用いて説明する。本
実施例の姿勢転換装置１ｂは、以上の実施例において、
レール分岐部案内機構の構成要素として用いていた電磁
石の代わりにアクチュエータ（レール変形手段）８０を
用いたものである。以上の実施例における電磁石の代わ
りに用いるアクチュエータ８０は、図１２及び図１３に
示すように、シリンダケーシング８１と、シリンダケー
シング８１内において往復移動するピストン（図示され
ていない。）と、ピストンに連結されているピストンロ
ッド８２とを有している。このアクチュエータ８０は、
ピストン及びピストンロッド８２が搬送経路Ｒに対して
垂直なｙ方向に動作するよう、搬送経路形成ベース本体
４１ｂに埋め込まれている。

【００４８】本実施例において、各レール１１ａ〜ｈ
は、図１１に示すように、第１の実施例の各レール１０
ａ〜ｈとほぼ同じ形状を成している。しかし、進入部Ａ
において搬送経路Ｒと平行な２本のレール１１ｅ，１１
ｆは、姿勢転換部Ｂ内まで伸びていると共に、退出部Ｃ
において搬送経路Ｒと平行な２本のレール１１ｇ，１１
ｈも姿勢転換部Ｂ内まで伸び、この関係で、姿勢転換部
Ｂにおけるレール１１ａ〜ｄの長さが短くなっている点
で、第１の実施例と異なっている。また、本実施例のレ
ール１１は、第１の実施例のレール１０とは異なり、軟
磁性材料であるものの脆くなく変形しやすい炭素鋼板で
形成されている。経路形成ベース本体４１ｂは、図１２
に示すように、姿勢転換部Ｂ内まで伸びているレール１
１ｅ〜ｈの端部が変形できるよう、姿勢転換部Ｂにレー
ル変形空間４２が形成されている。このレール変形空間
４２は、各レール１１ｅ〜ｈの端部毎に形成されてお
り、例えば、レール１１ｅの端部が位置している箇所に
形成されているレール変形空間４２は、レール１１ｅの
端部が変形した結果、姿勢転換部Ｂのレール１１ａ，１
１ｃの端部とほぼつながるよう形成されている。なお、
ここで、レールとレールとがつながるとは、一方のレー
ルの端部と他方のレールの端部とが接触する場合のみな
らず、一方のレールから他方のレールへ搬送台車３０の
永久磁石２０が乗り移ることができる範囲内で両レール
の端部相互が離れている場合も含んでいる。姿勢転換部
Ｂ内まで伸びているレール１１ｅ〜ｈの端部には、図１
２及び図１３に示すように、アクチュエータ８０のピス
トンロッド８２の端部がレール把持具８３を介して取り
付けられている。

【００４９】このレール変形空間４２及びアクチュエー
タ８０の上部、つまり搬送台車３０と対向する部分は、
図１３に示すように、アルミニウム製の上部カバー４３
で覆われている。なお、図１１及び図１２は、アクチュ
エータ８０の存在を明確にするため、このカバー４３を
省略している。進入部Ａと姿勢転換部Ｂとの境である分
岐部より僅かに搬送元側の位置、及び姿勢転換部Ｂと退
出部Ｃとの境である結合部より僅かに搬送先側の位置に
は、第１の実施例と同様に、磁気センサ７０設けられて
いる。

【００５０】搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動してき
た場合、磁気センサ７０ａで永久磁石２０ａの通過を感
知すると、アクチュエータ８０ａを駆動させ、レール１
１ｅの端部がレール１１ａの端部と連結するよう、レー
ル１１ｅの端部を変形させると共に、アクチュエータ８
０ｂを駆動させ、レール１１ｆの端部がレール１１ｂの
端部と連結するよう、レール１１ｆの端部を変形させ
る。この結果、レール１１ｅ上を進行してきた永久磁石
２０ａは、レール１１ａ上に乗り移り、このレール１１
ａに案内され、レール１１ｆ上を進行してきた永久磁石
２０ｂは、レール１１ｂ上に乗り移り、このレール１１
ｂに案内される。その後、磁気センサ７０ａで永久磁石
２０ｃの通過を感知すると、アクチュエータ８０ａを前
述の場合とは逆方向に駆動させ、レール１１ｅの端部が
レール１１ｃの端部と連結するよう、レール１１ｅの端
部を変形させると共に、アクチュエータ８０ｂも前述の
場合とは逆方向に駆動させ、レール１１ｆの端部がレー
ル１１ｄの端部と連結するよう、レール１１ｆの端部を
変形させる。この結果、レール１１ｅ上を進行してきた
永久磁石２０ｃは、レール１１ｃ上に乗り移り、このレ
ール１１ｃに案内され、レール１１ｆ上を進行してきた
永久磁石２０ｄは、レール１１ｄ上に乗り移り、このレ
ール１１ｄに案内される。

【００５１】以上のように、本実施例では、アクチュエ
ータ８０のピストンロッド８２が移動すると共に、レー
ルの一部も移動するが、これらは、カバー４３で覆われ
ているため、これらの移動に起因する発塵は、搬送台車
上には至らない。また、本実施例の姿勢転換部Ｂにおけ
るレール１１ａ〜ｄの形状は、基本的に第１の実施例と
同じであるので、搬送台車３０が姿勢転換部Ｂに至る
と、搬送台車３０は、第１の実施例と同様に、その重心
ＧがＸ方向に伸びている搬送経路Ｒ上を移動しつつ、重
心Ｇを中心として時計回りに９０゜回転する。

【００５２】搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動する場
合、アクチュエータ８０ｃで、レール１１ｃの搬送先側
端部とレール１１ｄの搬送先側端部との中間位置にレー
ル１１ｇの搬送元側端部を固定しておく。更に、アクチ
ュエータ８０ｄで、レール１１ａの搬送先側端部とレー
ル１１ｂの搬送先側端部との中間位置にレール１１ｈの
搬送元側端部を固定しておく。レール１１ｇの搬送元側
端部及びレール１１ｆの搬送元側端部を以上の位置で固
定しておくことにより、搬送台車３０が姿勢転換部Ｂか
ら退出部Ｃに移る過程で、搬送台車３０の永久磁石２０
ａ〜ｄは、レール１１ｇ，１１ｆに自然と乗り移り、こ
れらのレール１１ｇ，１１ｆに案内される。

【００５３】搬送台車３０が（−）ｘ方向に移動する場
合は、搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動する場合と同
様に、アクチュエータ８０ａの代わりにアクチュエータ
８０ｃを、アクチュエータ８０ｂの代わりにアクチュエ
ータ８０ｂを制御すれば、搬送台車３０の永久磁石２０
ａ〜ｄを姿勢転換部Ｂにおける目的のレール１１ａ〜ｄ
に案内することができる。なお、本実施例においても、
搬送元側から搬送先側への一方通行のみである場合に
は、アクチュエータ８０ｃ，８０ｄは不要である。

【００５４】次に、本発明に係る姿勢転換装置の第４の
実施例について、図１４〜図１６を用いて説明する。本
実施例の姿勢転換装置１ｃは、分岐部近傍のレールを一
時的に磁化することで、搬送台車３０の永久磁石２０ａ
〜ｄを目的のレールに導けるよう、レール分岐部案内機
構を構成したものである。

【００５５】本実施例において、各レール１２ａ〜ｈ
は、図１４に示すように、第１の実施例の各レール１０
ａ〜ｈとほぼ同じ形状を成している。但し、図１５に示
すように、進入部Ａのレール１２ｅから姿勢転換部Ｂに
おいて分岐する２本のレール１２ａ，１２ｃとレール１
２ｅとの間には、軟磁性材料で形成されたレール９０
ａ，９０ｃが設けられている。同様に、進入部Ａのレー
ル１２ｆから姿勢転換部Ｂにおいて分岐する２本のレー
ル１２ｂ，１２ｄとレール１２ｆとの間には、軟磁性材
料で形成されたレール９０ｂ，９０ｄが設けられてい
る。更に、姿勢転換部Ｂのレール１２ｃ，１２ｄの搬送
先側端部と退出部Ｃのレール１２ｇの搬送元側端部との
間にも、軟磁性材料で形成されたレール９１ｃ，９１ｄ
が設けられ、姿勢転換部Ｂのレール１２ａ，１２ｂの搬
送先側端部と退出部Ｃのレール１２ｈの搬送元側端部と
の間にも、軟磁性材料で形成されたレール９１ａ，９１
ｂが設けられている。レール９０ａ，９０ｃの下部に
は、図１６に示すように、これらを磁化する電磁石が設
けられている。レール９０ｂ，９０ｄの下部、レール９
１ａ，９１ｂの下部、９１ｃ，９１ｄの下部にも、同様
に、電磁石９２，９２，９２が設けられている。

【００５６】（＋）ｘ方向に搬送台車３０が移動する場
合、磁気センサ７０ａにより搬送台車３０の永久磁石２
０ａの通過を確認すると、電磁石９２で、レール９０ｃ
を永久磁石２０ａの下面の磁気極性と同じ極性に磁化す
ると共に、レール９０ａを永久磁石２０ａの下面の磁気
極性と逆の極性に磁化する。この結果、搬送台車３０の
永久磁石２０ａは、レール９０ａに導かれる。また、磁
気センサ７０ｂにより永久磁石２０ｂの通過を確認する
と、電磁石９２で、レール９０ｄを永久磁石２０ｂの下
面の磁気極性と同じ極性に磁化すると共に、レール９０
ｂを永久磁石２０ｂの下面の磁気極性と逆の極性に磁化
する。この結果、搬送台車３０の永久磁石２０ｂは、レ
ール９０ｂに案内される。その後、搬送台車３０の持つ
慣性によって、永久磁石２０ａはレール１２ａに、永久
磁石２０ｂはレール１２ｂに乗り移って行く。

【００５７】更に、磁気センサ７０ａにより搬送台車３
０の永久磁石２０ｃの通過を確認すると、電磁石９２
で、レール９０ａを永久磁石２０ｃの下面の磁気極性と
同じ極性に磁化すると共に、レール９０ｃを永久磁石２
０ｃの下面の磁気極性と逆の極性に磁化する。この結
果、搬送台車３０の永久磁石２０ｃは、レール９０ｃに
案内される。また、磁気センサ７０ｂにより永久磁石２
０ｄの通過を確認すると、レール９０ｂを永久磁石２０
ｄの下面の磁気極性と同じ極性に磁化すると共に、レー
ル９０ｄを永久磁石２０ｄの下面の磁気極性と逆の極性
に磁化する。この結果、永久磁石２０ｄは、レール９０
ｄに案内される。その後、搬送台車３０の持つ慣性によ
って、永久磁石２０ｃはレール１２ｃに、永久磁石２０
ｄはレール１２ｄに乗り移って行く。

【００５８】搬送台車３０が（−）ｘ方向へ移動する場
合には、搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動する場合と
同様に、磁気センサ７０ｃ，７０ｄやレール９１ａ〜ｄ
等を、それぞれ磁気センサ７０ａ，７０ｂやレール９０
ａ〜ｄ等の代わりに、制御すれば、搬送台車３０の永久
磁石２０ａ〜ｄを姿勢転換部Ｂにおける目的のレール１
２ａ〜ｄに案内することができる。

【００５９】なお、永久磁石２０の下面と同じ磁気極性
に磁化するレール９０は、永久磁石２０に対する反発力
を必ずしも発生させる必要はなく、吸引力を弱める程度
でもよい。さらに、レール９０ａと９０ｃとのうちいず
れか一方のみ、同様に、９０ｄと９０ｂ、レール９１ａ
とレール９１ｂ、レール９１ｃとレール９１ｄに関して
も、いずれか一方のみを磁化するようにしても、同様の
効果が得られる。本実施例においても、搬送元側から搬
送先側への一方通行のみである場合には、磁気センサ７
０ｃ，７０ｄ、レール９１ａ〜ｄ、及びこれらレール９
１ａ〜ｄの下部に設ける電磁石９２は、不要である。

【００６０】次に、本発明に係る姿勢転換装置の第５の
実施例について、図１７及び図１８を用いて説明する。
本実施例の姿勢転換装置１ｄは、レール分岐部案内機構
として、搬送台車３０に対してクリーンエアを噴出する
ガスノズル１００ａ〜ｄを用いたものである。

【００６１】本実施例のレールは、第１の実施例のレー
ル１０ａ〜ｄとまったく同一である。レール１０ｇの分
岐部より僅かに搬送先側の位置近傍、レール１０ｆの分
岐部より僅かに搬送先側の位置近傍、レール１０ｃとレ
ール１０ｄとの結合部より僅かに搬送元側の位置近傍、
レール１０ａとレール１０ｂとの結合部より僅かに搬送
元側の位置近傍の搬送経路形成ベース本体４１ｄには、
ｙ方向にクリーンエアを噴出するガスノズル１００ａ〜
ｄが設けられている。４つのガスノズル１００ａ〜ｄう
ち、ガスノズル１００ａ，１００ｃは、（−）ｙ方向に
クリーンエアを噴出するよう設けられ、ガスノズル１０
０ｂ，１００ｄは、（＋）ｙ方向にクリーンエアを噴出
するよう設けられている。

【００６２】搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動する場
合、磁気センサ７０ａで搬送台車３０の永久磁石２０ａ
の通過を感知すると、ガスノズル１００ａから（−）ｙ
方向にクリーンエアを噴出させ、このクリーンエアで搬
送台車３０を（−）ｙ方向に押すことにより、永久磁石
２０ａをレール１０ａに案内する。このとき、搬送台車
３０が僅かに（−）ｙ方向に移動するため、この時点に
おける永久磁石２０ａと同じ方向に移動する永久磁石２
０ｂは、レール１０ｂに案内される。そして適切な時間
の後、クリーンエアの噴出が停止される。その後、磁気
センサ７０ｂで搬送台車３０の永久磁石２０ｄの通過を
感知すると、ガスノズル１００ｂから（＋）ｙ方向にク
リーンエアを噴出させ、このクリーンエアで搬送台車３
０を（＋）ｙ方向に押し、永久磁石２０ｄをレール１０
ｄに案内する。このとき、搬送台車３０が僅かに（＋）
ｙ方向に移動するため、この時点における永久磁石２０
ｄと同じ方向に移動する永久磁石２０ｃはレール１０ｃ
に案内される。

【００６３】また、（−）ｘ方向へ搬送台車３０が移動
する場合には、搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動する
場合と同様に、磁気センサ７０ａの代わりに磁気センサ
７０ｃ、磁気センサ７０ｂの代わりに磁気センサ７０
ｄ、ガスノズル１００ａの代わりにガスノズル１００
ｃ、ガスノズル１００ｂの代わりにガスノズル１００ｄ
を制御することで、搬送台車３０の永久磁石２０ａ〜ｄ
を姿勢転換部Ｂにおける目的のレール１０ａ〜ｄに案内
することができる。本実施例においても、搬送元側から
搬送先側への一方通行のみである場合には、磁気センサ
７０ｃ，７０ｄ、ガスノズル１００ｃ，１００ｄは不要
である。

【００６４】なお、本実施例では、ガスノズル１００ａ
〜ｄから噴出させる気体として、クリーンエアを使用し
たが、ガス噴出口５０から噴出させる気体と同様、ガス
の種類には限定されず、反応性の低い窒素やアルゴン等
の不活性ガスを使用することも可能である。但し、コス
ト面から、ガス噴出口５０から噴出させる気体とガスノ
ズル１００ａ〜ｄから噴出させる気体とは、同一種であ
ることが好ましい。

【００６５】次に、本発明に係る姿勢転換装置の第６の
実施例について、図１９を用いて説明する。本実施例の
姿勢転換装置１ｅは、レール分岐部案内機構として、ｙ
方向に進行磁界を発生するリニアモータ１１０ａ，１１
０ｂを用いたものである。本実施例のレールは、第１の
実施例のレール１０ａ〜ｄとまったく同一である。経路
形成ベース本体４１ｅには、レール１０ａの搬送元側端
部とレール１０ｄの搬送元側端部との中間位置、及びレ
ール１０ｄの搬送先側端部とレール１０ａの搬送先側端
部との中間位置に、それぞれ、ｙ方向に進行磁界を発生
するリニアモータ１１０ａ，１１０ｂが設けられてい
る。

【００６６】搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動する場
合、磁気センサ７０ａで搬送台車３０の永久磁石２０ａ
の通過を確認すると、リニアモータ１１０ａで（−）ｙ
負方向に進行磁界を発生させることにより、搬送台車３
０を（−）ｙ方向に移動させて、永久磁石２０ａをレー
ル１０ａに、永久磁石２０ｂをレール１０ｂに案内す
る。更に、磁気センサ７０ａで永久磁石２０ｃの通過を
確認すると、リニアモータ１１０ａで（＋）ｙ方向に進
行磁界を発生させることにより、永久磁石２０ｃをレー
ル１０ｃに、永久磁石２０ｄをレール１０ｄに案内す
る。ことで搬送台車移動体３０の姿勢転換を行う方法で
ある。なお、磁気センサ７０ｃとリニアモータ１１０ｂ
は、（−）ｘ方向へ搬送台車３０が移動する場合に、用
いることになる。本実施例においても、これら磁気セン
サ７０ｃとリニアモータ１１０ｂは、搬送元側から搬送
先側への一方通行のみである場合には、不要である。

【００６７】次に、本発明に係る姿勢転換装置の第７の
実施例について、図２０を用いて説明する。本実施例の
姿勢転換装置１ｆは、搬送台車３０の各永久磁石２０ａ
〜ｄの下面の磁気極性が予め判っている場合に、レール
分岐部案内機構として、永久磁石を用いるものである。

【００６８】例えば、搬送台車３０において対角的な位
置関係になる２つの永久磁石２０ａ，２０ｄの下面の磁
気極性が共にＳ極で、残りの２つの永久磁石２０ｂ，２
０ｃの下面の磁気極性が共にＮ極であるものとする。経
路形成ベース本体４１ｆには、第１の実施例と同形状の
レールａ〜ｆが設けられていると共に、レールの分岐部
近傍に永久磁石１２０ａ〜ｄが設けられている。各永久
磁石１２０ａ〜ｄのうち、永久磁石１２０ａは、レール
１０ｃの搬送元側端部近傍で且つレール１０ｃよりも
（＋）ｙ方向側に設けられ、永久磁石１２０ｂは、レー
ル１０ｂの搬送元側端部近傍で且つレール１０ｂより
（−）ｙ方向側に設けられ、永久磁石１２０ｃは、レー
ル１０ｃの搬送先側端部近傍で且つレール１０ｃより
（＋）ｙ方向側に設けられ、永久磁石１２０ｄは、レー
ル１０ｂの搬送先側端部近傍で且つレール１０ｂより
（−）ｙ方向側に設けられている。各永久磁石１２０ａ
〜ｄの上面、つまり搬送台車３０と対向する側の面の磁
極は、いずれもＳ極である。

【００６９】搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動する場
合、搬送台車３０の永久磁石２０ａがレール１０ｅの分
岐部に至り、搬送台車３０の永久磁石２０ｂがレール１
０ｆの分岐部に至ると、搬送台車３０の永久磁石（Ｓ
極）２０ａは、経路形成ベース本体４１ｆの永久磁石
（Ｓ極）２０ａから反発力を受けて、レール１０ａの方
へ案内され、搬送台車３０の永久磁石（Ｎ極）２０ｂ
は、経路形成ベース本体４１ｆの永久磁石（Ｓ極）１２
０ｂから吸引力を受けて、レール１０ｂの方へ案内され
る。その後、搬送台車３０の永久磁石（Ｎ極）２０ｃ
は、経路形成ベース本体４１ｆの永久磁石（Ｓ極）１２
０ａから吸引力を受けて、レール１ｃの方に案内され、
搬送台車３０の永久磁石（Ｓ極）２０ｄは、経路形成ベ
ース本体４１ｆの永久磁石（Ｓ極）１２０ｂから反発力
を受けて、レール１０ｄの方に案内される。

【００７０】このように、搬送台車３０上の永久磁石２
０の磁気極性が予め判っている場合には、分岐部付近に
永久磁石１２０を配置するだけで、特別な制御をするこ
となく、搬送台車３０の永久磁石２０を目的のレールに
案内することが可能である。

【００７１】また、搬送台車３０が（−）ｘ方向へ移動
していく場合には、経路形成ベース４１ｆの永久磁石１
２０ａ，１２０ｂの代わりに、経路形成ベース４１ｆの
永久磁石１２０ｃ，１２０ｄが搬送台車３０の永久磁石
２０ａ〜ｄに作用することで、搬送台車３０の永久磁石
２０ａ〜ｄは目的のレールに案内される。本実施例にお
いても、搬送元側から搬送先側への一方通行のみである
場合には、当然、永久磁石１２０ｃ，１２０ｄは不要で
ある。

【００７２】次に、本発明に係る姿勢転換装置の第８の
実施例について、図２１及び図２２を用いて説明する。
第１の実施例の姿勢転換装置１では、レール分岐部案内
機構として、レールの各分岐部毎に電磁石６０ａ〜ｄを
設けたものであるが、本実施例の姿勢転換装置１ｇで
は、レールの各分岐部をいくつかの組に分け、この組ご
とに電磁石１６０ａ，１６０ｂを設けて、電磁石の数量
削減を図ったものである。

【００７３】本実施例の経路形成ベース本体４１ｇに
は、第１の実施例と同形状のレール１０ａ〜ｆが設けら
れていると共に、２つの電磁石１６０ａ，１６０ｂが設
けられている。各電磁石１６０ａ，１６０ｂは、図２２
に示すように、鉄心１６２ａ，１６２ｂと、この鉄心１
６１ａ，１６１ｂに巻きつけられているコイル１６１
ａ，１６１ｂとを有している。図２１に示すように、２
つの電磁石１６０ａのうち、一方の電磁石１６０ａは、
その鉄心１６２ａの一方の端部１６３ａがレール１０ｃ
の搬送元側端部近傍に位置し、その鉄心１６２ａの他方
の端部１６４ａがレール１０ｂの搬送元側端部近傍に位
置するよう経路形成ベース本体４１ｇに設けられてい
る。また、他方の電磁石１６０ｂは、その鉄心１６２ｂ
の一方の端部１６３ｂがレール１０ｃの搬送先側端部近
傍に位置し、その鉄心１６２ｂの他方の端部１６４ｂが
レール１０ｂの搬送先側端部近傍に位置するよう、経路
形成ベース本体４１ｇに設けられている。なお、本実施
例において、搬送台車３０の各永久磁石２０ａ〜ｄのう
ち、対角的な位置関係になる２つの永久磁石２０ａ，２
０ｄの下面の磁気極性が互いに同じであり、残りの２つ
の永久磁石２０ｂ，２０ｃの下面の磁気極性が互いに同
じで且つ先の２つの永久磁石２０ａ，２０ｄの下面の磁
気極性と異なっている。

【００７４】搬送台車３０が（＋）ｘ方向に移動する場
合、磁気センサ７０ａで、搬送台車３０の永久磁石２０
ａの通過を確認すると共に永久磁石２０ａの下面の磁気
極性を識別すると、電磁石１６０ａの鉄心１６２ａの一
方の端部１６３ａを永久磁石２０ａの下面の磁気極性と
同じ極性に磁化する。すると、この電磁石１６０ａの鉄
心１６２ａの他方の端部１６４ｂは一方の端部１６３ａ
と逆極性に磁化される。この結果、搬送台車３０の永久
磁石２０ａは、電磁石１６０ａの一方の端部１６３ａか
ら反発力を受けて、レール１０ａに案内され、搬送台車
３０の永久磁石２０ｂは、電磁石１６０ａの他方の端部
１６４ａから反発力を受けて、レール１０ｂに案内され
る。その後、搬送台車３０の永久磁石２０ｃは、電磁石
１６０ａの一方の端部１６３ａから吸引力を受けて、レ
ール１０ｃに案内され、搬送台車３０の永久磁石２０ｄ
は、電磁石１６０ａの他方の端部１６４ａから吸引力を
受けて、レール１０ｄに案内される。また、搬送台車３
０が（−）ｘ方向へ移動していく場合には、磁気センサ
７０ａ及び電磁石１６０ａの代わりに、磁気センサ７０
ｃ及び電磁石１６０ｂを動作させる。

【００７５】以上のように、本実施例では、磁気センサ
の数量及び電磁石の数量を第１の実施例よりも減らすこ
とができ、製造コストの低減を図ることができる。さら
に、電磁石の磁化制御の回数も減るので制御自体が楽に
なる。なお、本実施例においても、搬送元側から搬送先
側への一方通行のみである場合には、当然、磁気センサ
７０ｃ及び電磁石１６０ｂは不要である。

【００７６】ところで、以上の実施例では、すべて、レ
ールが分岐するものであるが、レールが分岐しない場合
も在りうるので、以下の第９の実施例において説明す
る。

【００７７】ここで、姿勢転換部Ｂにおいてレールを分
岐しなければならない条件について考察する。以上の実
施例のように、進入部Ａ又は退出部Ｃにおいて、１本の
レール上を搬送台車３０の２つの永久磁石２０，２０が
並んで走行する場合には、姿勢転換部Ｂにおいて搬送台
車３０が回転する際、並んで走行していた２つの永久磁
石２０，２０を別々のルート上を走行させなければなら
なくなるため、レールを分岐する必要が生じる。従っ
て、進入部Ａ又は退出部Ｃにおいて、１本のレール上を
複数の永久磁石２０，２０が走行しなければ、レールを
分岐する必要はない。

【００７８】そこで、本実施例の姿勢転換装置１ｈで
は、図２３に示すように、搬送台車３０の４つの永久磁
石２０ａ〜ｄに対して、それぞれ、互いに完全に独立し
たレール１７０ａ〜ｄを経路形成ベース本体４１ｈに設
け、１本のレール上を搬送台車３０の複数の永久磁石が
走行しないようにしている。このように構成することに
より、レール分岐部案内機構を設ける必要もなく、さら
に、そのための制御も不要になる。但し、本実施例の場
合、進入部Ａ及び退出部Ｃにおいても、４本のレールが
必要になってしまうという欠点が在る。

【００７９】また、以上の実施例では、搬送台車３０に
設けられている永久磁石の数量は、全て４個であるが、
本発明は、これに限定されるものではなく、搬送経路Ｒ
に対する搬送台車３０の方向性を確保できる数量、つま
り２個以上であれば、３個でも、５個でもよい。

【００８０】ここで、被案内体としての永久磁石が搬送
台車に２個設けられているものを第１０の実施例とし
て、図２４を用いて説明する。本実施例の姿勢転換装置
１ｉの搬送台車３０ｉは、正方形板状の台車本体３１ｉ
と、この台車本体３１ｉの角近傍で且つ互いに対角的な
関係になる位置に設けられている２個の永久磁石２０
ｅ，２０ｆとを備えている。また、経路形成ベース４０
ｉは、経路形成ベース本体４１ｉと、この経路形成ベー
ス本体４１ｉに設けられ、搬送台車３０ｉの２個の永久
磁石２０ｅ，２０ｆをそれぞれ案内するレール１０ｍ，
１０ｎとを備えている。

【００８１】搬送台車３０ｉが進入部Ａから姿勢転換部
Ｂに至ると、姿勢転換部Ｂに設けられているレールに案
内されて、搬送台車３０ｉは、その重心Ｇを中心として
時計回りに９０゜回転する。姿勢転換部Ｂから退出部Ｃ
に至ると、ｘ方向に伸びる搬送経路Ｒに沿って直進す
る。なお、本実施例及び第９の実施例においても、進入
部Ａ及び退出部Ｃにおいて、レールはｘ方向に直線的に
伸びている搬送経路Ｒに平行である。また、本実施例及
び第９の実施例においても、搬送台車の重心Ｇは、進入
部Ａ及び退出部Ｃのみならず姿勢転換部Ｂにおいても搬
送経路Ｒ上を直進する。

【００８２】本実施例の場合でも、２個の永久磁石２０
ｅ，２０ｆに対して互いに独立している２本のレール１
０ｍ，１０ｎが設けられているので、第９の実施例と同
様に、レールの分岐部や交差点がなく、レール分岐部案
内機構を設ける必要がない。このため、レール分岐部に
おける制御も必要ない。また、本実施例では、永久磁石
の数量が２個であるものの、正方形板状の台車本体３１
ｉの対角的な位置に設けたので、隣合う位置に設けるよ
りも、搬送台車３０のヨーイングを抑えることができ、
搬送台車３０を安定走行させることができる。さらに、
本実施例では、永久磁石の数量を２個にし、これに対応
してレールの本数も２本にしたので、以上の実施例より
も部品点数が少なくなり、製造コストを抑えることがで
きる。

【００８３】なお、本実施例では、永久磁石の数量が２
個であるが、前述したように、永久磁石の数量を５個、
６個と増やしてもよい。この場合、レールへの吸引力が
増加すると共に、この吸引力が搬送台車の広範囲に均一
にかかるので、搬送台車のピッングやローリングを抑え
られ、さらに搬送台車のレールへの追従性を上げられ、
搬送台車を安定走行させることができる。

【００８４】

【発明の効果】本発明では、目的の搬送経路に対する角
度が次第に変わって行くレールに沿って、搬送台車が移
動して行くと、自然に搬送経路に対する搬送台車の向き
が変わるので、姿勢転換装置に進入してきた搬送台車を
姿勢転換のために、わざわざ停止させる必要がない。ま
た、搬送台車の運動エネルギは、搬送台車周囲の気体と
の流体学上の摩擦損失と形状損失によって失われるが、
搬送台車がレールから浮上しているため、そのエネルギ
損失は搬送台車の持つ運動エネルギに比較して充分小さ
く、搬送台車の移動速度は、姿勢転換装置に進入してか
ら出るまでの間において、実質的にほとんど低下しな
い。従って、本発明によれば、搬送時間を短縮すること
ができる。また、搬送台車の加減速装置が不要であるた
め、製造コストの低減も図ることができる。

【００８５】さらに、本発明によれば、レールの形状に
工夫を凝らすことで搬送台車の姿勢転換を実現している
ため、従来技術のように、比較的大きく且つ比較的電力
を消費するターンテーブルを必要とせず、製造コストの
低減のみならず、ランニングコストの低減や設置スペー
スの縮小化を図ることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１の実施例の姿勢転換装置の斜
視図である。

【図２】本発明に係る第１の実施例の姿勢転換装置の平
面図である。

【図３】本発明に係る第１の実施例の姿勢転換装置を備
えた搬送装置の平面図である。

【図４】本発明に係る第１の実施例の搬送台車の姿勢変
化を示す概念図である。

【図５】本発明に係る第１の実施例の搬送台車の回転角
速度を示すグラフである。

【図６】本発明に係る第１の実施例の搬送台車の回転角
加速度を示すグラフである。

【図７】本発明に係る他の実施例の搬送台車の姿勢変化
を示す概念図である。

【図８】本発明に係る他の実施例の搬送台車の回転角速
度を示すグラフである。

【図９】本発明に係るさらに他の実施例の搬送台車の回
転角速度を示すグラフである。

【図１０】本発明に係る第２の実施例の姿勢転換装置の
平面図である。

【図１１】本発明に係る第３の実施例の姿勢転換装置の
平面図（但し、上部カバーを省略してある。）である。

【図１２】図１１におけるレール分岐部案内機構部分の
拡大平面図である。

【図１３】図１２におけるＸIII−ＸIII線断面図であ
る。

【図１４】本発明に係る第４の実施例の姿勢転換装置の
平面図である。

【図１５】図１４におけるレール分岐部の拡大平面図で
ある。

【図１６】図１５におけるＸVI−ＸVI線断面図である。

【図１７】本発明に係る第５の実施例の姿勢転換装置の
平面図である。

【図１８】図１７におけるガスノズル付近の拡大側断面
図である。

【図１９】本発明に係る第６の実施例の姿勢転換装置の
平面図である。

【図２０】本発明に係る第７の実施例の姿勢転換装置の
平面図である。

【図２１】本発明に係る第８の実施例の姿勢転換装置の
平面図である。

【図２２】図２１におけるXXII−XXII線断面図である。

【図２３】本発明に係る第９の実施例の姿勢転換装置の
平面図である。

【図２４】本発明に係る第１０の実施例の姿勢転換装置
の平面図である。

【符号の説明】

１，１ａ〜１ｉ…姿勢転換装置、２ｘ…搬送元側搬送経
路形成ベース、２ｚ…搬送先側搬送経路形成ベース、３
ｘ…搬送元側搬送経路形成ベース本体、３ｚ…搬送先側
搬送経路形成ベース本体、４ｘ…搬送元側リニアモータ
のステータ、４ｚ…搬送先側リニアモータのステータ、
１０ａ〜１０ｎ，１１ａ〜１１ｆ，１２ａ〜１２ｆ，９
０ａ〜９０ｄ，９１ａ〜９１ｄ，１７０ａ〜１７０ｄ…
レール、２０ａ〜２０ｆ…永久磁石（被案内端）、３
０，３０ｉ…搬送台車、３１，３１ｉ…搬送台車本体、
４０，４０ｂ〜４０ｉ…姿勢転換装置の搬送経路形成ベ
ース、４１，４１ｂ〜４１ｉ…姿勢転換装置の搬送経路
形成ベース本体、４２…レール変形空間、４３…上部カ
バー、５０…ガス噴出口、６０ａ〜６０ｄ，９２，１６
０ａ，１６０ｂ…電磁石、７０ａ〜７０ｄ…磁気セン
サ、８０…アクチュエータ（レール変形手段）、１００
ａ〜１００ｄ…ガスノズル、１１０ａ，１１０ｂ…リニ
アモータ、１２０ａ〜１２０ｄ…永久磁石、Ａ…進入
部、Ｂ…姿勢転換部、Ｃ…退出部、Ｇ…搬送台車の重
心、Ｒ…搬送経路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 47/52 １０１ Ｚ 54/02 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】搬送物を目的の搬送経路に沿って搬送しつ
   つ、その姿勢を変える姿勢転換装置において、 前記搬送物が載置される搬送台車と、 前記搬送台車が目的の搬送経路に沿って移動するよう、
   該搬送経路に沿って形成されているレールと、 前記レール上の前記搬送台車を該レールから浮上させる
   浮上手段と、 を備え、 前記搬送台車には、前記レールに対向するよう複数の被
   案内端が設けられ、 前記被案内端と前記レールとは、該被案内端が該レール
   と非接触であっても該被案内端が該レール上に案内され
   るよう、いずれも磁性体で形成されていると共に、少な
   くとも一方が磁化された磁性体であり、 前記レールは、レールが搬送元側において前記搬送経路
   に平行に形成されている進入部と、該進入部のレールの
   搬送先側端部につながり、複数の前記被案内端を相互に
   結ぶ仮想線分の方向が前記搬送経路に対して次第に変化
   するようレールの該搬送経路に対する角度が次第に変わ
   って行く姿勢転換部と、該姿勢転換部のレールの搬送先
   側端部につながり、レールが前記搬送経路に平行に形成
   されている退出部とを有していることを特徴とする姿勢
   転換装置。
2. 【請求項２】前記浮上手段は、前記搬送台車の下方から
   該搬送台車に向かって気体を噴出する気体噴出手段であ
   ることを特徴とする請求項１記載の姿勢転換装置。
3. 【請求項３】前記進入部には、前記搬送経路と平行で、
   前記搬送台車の複数の前記被案内端のうちの少なくとも
   ２個の被案内端を案内する１本のレール（以下、進入部
   レールとする。）が設けられ、 前記姿勢転換部には、１本の前記進入部レールで案内さ
   れていた複数の被案内端の数量と同じ数だけ、該進入部
   レールの搬送先端部から分岐したレール（以下、姿勢転
   換部レールとする。）が設けられ、 １本の前記進入部レールに案内されていた複数の前記被
   案内端のうち特定の被案内端が前記姿勢転換部に至る
   と、該特定の被案内端を、複数の前記姿勢転換部レール
   のうちの目的のレールに強制的に導くレール分岐部案内
   手段を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載
   の姿勢転換装置。
4. 【請求項４】前記レール分岐部案内手段は、 前記特定の被案内端が前記姿勢転換部に至ると、磁性体
   で形成されている該特定の被案内端を、複数の前記姿勢
   転換部レールのうち前記目的のレールの方向に導く磁界
   を発生する磁石を有していることを特徴とする請求項３
   記載の姿勢転換装置。
5. 【請求項５】前記レール分岐部案内手段の前記磁石は、
   永久磁石であることを特徴とする請求項４記載の姿勢転
   換装置。
6. 【請求項６】前記レール分岐部案内手段は、 １本の前記進入部レールに案内されていた複数の前記被
   案内端のうち前記特定の被案内端が前記姿勢転換部に至
   る直前で、該特定の被案内端を検知する被案内端検知手
   段と、 前記被案内端検知手段が前記特定の被案内端を検知する
   と、前記磁石を前記目的のレールに対して近づけ又は遠
   ざける磁石移動手段とを有し、 前記磁石は、永久磁石であることを特徴とする請求項４
   記載の姿勢転換装置。
7. 【請求項７】前記レール分岐部案内手段は、 １本の前記進入部レールに案内されていた複数の前記被
   案内端のうち前記特定の被案内端が前記姿勢転換部に至
   る直前で、該特定の被案内端を検知する被案内端検知手
   段を有し、 前記磁石は、前記被案内端検知手段が前記特定の被案内
   端を検知すると、前記磁界を発生する電磁石であること
   を特徴とする請求項４記載の姿勢転換装置。
8. 【請求項８】前記姿勢転換部レールは、磁化されていな
   い磁性体であり、 前記レール分岐部案内手段は、 １本の前記進入部レールに案内されていた複数の前記被
   案内端のうち特定の被案内端が前記姿勢転換部に至る直
   前で、該特定の被案内端を検知する被案内端検知手段
   と、 前記被案内端検知手段が該特定の被案内端を検知する
   と、複数の前記姿勢転換部レールのうち前記目的のレー
   ルに前記特定の被案内端を導けるよう、該目的のレール
   の搬送元側端部を一時的に磁化する電磁石とを有してい
   ることを特徴とする請求項３記載の姿勢転換装置。
9. 【請求項９】複数の前記姿勢転換部レールは、前記進入
   部と該姿勢転換部との境界近傍には、形成されておら
   ず、 １本の前記進入部レールは、前記姿勢転換部内まで伸
   び、該進入部レールの該姿勢転換部内まで伸びている部
   分が複数の前記姿勢転換部レールの搬送元側端部のいず
   れに対しても選択的につながるよう、少なくとも該姿勢
   転換部内まで伸びている部分が変形可能であり、 前記レール分岐部案内手段は、 前記進入部レールに案内されていた複数の前記被案内端
   のうち特定の被案内端が前記姿勢転換部に至る直前で、
   該特定の被案内端を検知する被案内端検知手段と、 前記被案内端検知手段が該特定の被案内端を検知する
   と、前記進入部レールの前記姿勢転換部内まで伸びてい
   る部分を変形させて、複数の前記姿勢転換部レールのう
   ちの前記目的のレールの搬送元側端部に、該進入部レー
   ルの該姿勢転換部内まで伸びている部分をつなげるレー
   ル変形手段とを有していることを特徴とする請求項３記
   載の姿勢転換装置。
10. 【請求項１０】前記レール分岐部案内手段は、 １本の前記進入部レールに案内されていた複数の前記被
    案内端のうち特定の被案内端が前記姿勢転換部に至る直
    前て、該特定の被案内端を検知する被案内端検知手段
    と、 前記被案内端検知手段が前記特定の被案内端を検知する
    と、複数の前記姿勢転換部レールのうちの前記目的のレ
    ールに前記特定の被案内端を導けるよう、前記搬送台車
    に対して気体を吹き付ける気体噴出手段とを有している
    ことを特徴とする請求項３記載の姿勢転換装置。
11. 【請求項１１】前記搬送台車の複数の前記被案内端は、
    永久磁石であることを特徴とする請求項１、２、３、
    ４、５、６、７、８、９又は１０記載の姿勢転換装置。
12. 【請求項１２】前記レールは、移動中の前記搬送台車の
    複数の前記被案内端と対向している部分が少なくとも磁
    化している磁性体であることを特徴とする請求項１、
    ２、３、４、５、６、７、９又は１０記載の姿勢転換装
    置。
13. 【請求項１３】請求項１、２、３、４、５、６、７、
    ９、１０、１１又は１２記載の姿勢転換装置と、 前記搬送経路に平行に形成され、且つ前記被案内端を案
    内すべく磁性体で形成され、前記進入部の前記レールの
    搬送元側端部に接続されている搬送元側レールと、 前記搬送経路に平行に形成され、且つ前記被案内端を案
    内すべく磁性体で形成され、前記退出部の前記レールの
    搬送先側端部に接続されている搬送先側レールと、 前記搬送元側レール及び前記搬送先側レールから前記搬
    送台車を浮上させる浮上手段と、 前記搬送元側レール及び前記搬送先側レールから浮上し
    ている前記搬送台車に対して、前記搬送経路が伸びてい
    る方向に推進力を加える搬送台車推進手段と、 を備えていることを特徴とする搬送装置。
14. 【請求項１４】前記搬送台車は、複数の前記被案内端と
    導電体で形成された台車本体とを有し、 前記搬送台車推進手段は、前記搬送経路が伸びている方
    向に進行磁界を発生するリニアモータであることを特徴
    とする請求項１３記載の搬送装置。