JPS59138524A - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は摩擦のない搬送システムに関し２、更に詳細に
は半導体ウェハーを、クリーンルーム環境内の処理部署
間で搬送するに適したシステムに関する。

半導体集積回路の製造は通常シリコン・ウェハー等の半
導体ウェハーに対して行なわれる一連の処理工程を伴う
。かかる処理工程はウェハーの粒子汚染（ｐａｒｔｉｃ
ｌｅ　ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ）を避けるためにク
リーンルーム環境内で行なわねばならない。かかるクリ
ーンルームへのウェハーの搬入および搬出ならびにクリ
ーンルーム内の処理部署間での搬送はいかなる粒子汚染
も招いてはならず、臨界的な処理時間の制限に応じねば
ならないと同時にウェハーの押し合いを最小に抑えるた
めにウェハーの穏やかな運動を与えねばならない。

半導体ウェハーを取扱い搬送するための１つの公知の技
術が１９７３年３月２０日にＷ　、　Ｋ　、マメルに発
行され本件譲受人に譲渡された米国特許第３．７２１．
４７２号に記載されている。かかる公知の技術は板状工
作物を流体の層上で運搬するためにコアンダ（Ｃｏａｎ
ｄａ　）効果を用いるものである。この公知方法は半導
体ウェハーの取扱いおよび搬送を容易ならしめ且つその
所期の目的のために満足に作動するものではあるが、ウ
ェハーの移動を制限するためにウェハーと保持部材との
間の何らかの物理的接触が必要とされる。汚染および粒
子発生はかかる物理的接触から生じてかかる公知の配置
をクリーンルーム適用例には不得策なものとする恐れか
あ、る。しかも、この公知技術はコアンダ効果を発生す
る装置の物理的形状によりウェハーを実質的に一方向に
沿ってしか搬送することができない。

物品をトラック状表面に沿って搬送するためのもう１つ
の公知の方法および装置がＴ。

Ａ、ホツジの米国特許第４．０１０．’　９８１号に記
載されている。この装置は高圧充満空間と空気をデツキ
プレートに連通させるための穴あきデツキプレートとを
含む空気コンベヤから成る。このプレートの空気穴はプ
レート表面に沿って主要成分を有する方向性の空気噴射
を発生し、物品はその搬送空気噴射の影響の下に移動せ
しめられる。換言すれば、かかる空気的搬送系は一方向
性であり物体ｆ：２つの所定位置間で移動せしめるのに
適している。

かかる公知の配置は幾つかの物品を同じデツキプレート
上で同時に選択的に搬送することはできないし、また他
の物品がプレート上に残っている間に１つの物品を運搬
することもできない。本質的に、運搬される物品に対す
る選択性および制御の欠如がかかる配置を半導体製造施
設に不適当なものにしている。

半導体製造施設における汚染を低下することを目的とし
た商業的なつＩＡ−搬送システムはカリホルニア州タス
チンのナコム・インダストリーズ社から市販されている
ナムトラック（ＮＡＭＴＲＡＫ　）システムとして知ら
れている。

かかる公知のシステムにおいては、ウェハー・カセット
は駆動輪により通路上を移動するキャリッジ上で搬送さ
れる。このキャリッジは前記通路の下方に位置するトラ
ック上を移動する駆動機構との磁気的結合を用いて移動
せしめられる。駆動機構全体はその移動により発生する
汚染物に対し閉鎖されシールされている。キャリッジと
通路を窒素雰囲気内に閉鎖は汚染を低下させうるが、キ
ャリッジ駆動輪と通路との間に存在する物理的接触およ
び摩擦は互いに協力して最終的に生産される半導体構成
素子の歩留まりに悪影響を与える汚染粒子を発生する。

そのため、粒子汚染を実質的に無くしなからウェハ（体
（・」負荷）キャリア（ｗａｆｅｒ　Ｌｏｏｄ　ｃａｒ
ｒｉｅｒ　）の制御における選択性およびその移動およ
び導きにおける柔軟性を示す摩擦なしウェハー搬送シス
テムに対する要請が存在する。

発明の要旨 本発明はトラッキング表面を画成する細長いトラックと
、担体キャリヤをトランキング表面に沿って第１の方向
に移動せしめるだめの手段と、トラッキング表面と担体
キャリヤとの間に流体クッションを形成するための手段
と、担体キャリヤに結合されて担体キャリヤに前記第１
の方向とほぼ直角の第２の方向に横方向案内を与えるた
めの磁気案内手段とから成る摩擦なし搬送システムで上
記問題を解決するものである。

本発明の図示の一実施例に従えば、担体キャリヤを移動
せしめるための手段は細長いトラック内にトラッキング
表面とほぼ直角の方向に位置せしめられた複数の選択的
に付勢可能な電磁極部材と、該極部材に複数の横断磁束
復帰通路を与えるために負荷キャリヤ内に実質的に前記
第２の方向に沿って位置せしめられた複数の強磁性本体
とから成る磁気推進配置である。この図示の一実施例に
おいて、加圧流体発生手段は細長いトラックに結合され
ていて、トラッキング表面内に前記複数の電磁極部材の
各々の周に沿って位置する複数の空気スロットから成る
。磁気案内手段は負荷キャリヤ内に埋め込まれ且つ細長
い軌道内にその第１の方向に位置せしめられた１対の案
内棒と磁気的に結合されるようになされた少なくとも１
対の案内磁石から成る。

本発明の他の図示の実施例に従えば、担体キャリヤを移
動せしめるための手段はトラッキング表面に近接して位
置せしめられた細長いトラック内を第１の方向に沿って
選択的に可動の磁気手段と、負荷キャリヤ内に埋め込ま
れ前記磁気手段と磁気的に結合されるようになされた強
磁性素子とから成る。磁気案内手段は細長いトラック内
を第１の方向に沿って選択的に可動の少なくとも１対の
案内磁石を含む。かかる他の例示的実施例においては、
加圧流体発生手段は好捷しくは担体キャリヤに結合され
る。

本発明の更なる図示の実施例において、担体キャリヤを
移動せしめるための手段は細長いトラックの第１の部分
を基準水平面に関して所定の角度で位置ぎめするための
トラ゛ツク支持構体から成る。細長い軌道の第２の音す
分は上述した型式の磁気推進配置力・ら成る。細長い軌
道の第１の部分の角度は負荷キャリヤに重力加速度ベク
トルか重力減速度ベクトノしを与えるように選択されて
いる。

本発明の１つの利点は粒子発−生および汚染の実質的低
下であり、後者は特に半導体処理用のクリーンルーム環
境において望ましくないものである。

本発明の他の利点は幾つかのウエノ＼−・カセットを同
一トラック上で同時に搬送ｔｌｔ制御することができる
ことにある。

本発明の更なる利点は空気クッション式２方向性摩擦な
し搬送システムを達成することができることにある。

本ｉ明の更に他の利点はウェハーの穏やかな運動をその
振動をひきおこすことなく正確に制御できることにある
。

本発明の上記その他の利点は添付図面に関連して詳細に
説明される図示の実施例の考察により更に明らかとなる
であろう。

詳細な説明 第１図に本発明の一実施例に係る摩擦なし搬送システム
１の斜視図を示す。実質的に平行六面体形状の高圧充満
室１０の形態をなす細長いトラックはその外壁の１つが
トラッキング表面１１を画成する。本摩擦なしシステム
により搬送されるべき半導体ウェハー１２は担体キャリ
ヤまたはパレット１４上に着座するカセット１３内に保
持されている。この担体キャリヤまたはパレットは典型
的には両者間に空気クッションを形成させてトラッキン
グ表面１１に対して離隔された状態で移動するようにな
された底の平坦なそシの形態をなしている。本発明の一
実施例においては、トラッキング表面１１に沿っての担
体キャリヤ１４の移動は充満室１０内にドラッキング表
面１１に対してほぼ直角の方向に位置せしめられた複数
対の選択的に付勢可能な電磁極部材１６．１７から成る
磁気推進配置により達成される。各極部材１６．１７は
コイル１９により包囲された極カートリッジ１８から成
る。極部材（ｐｏｌｅ　ｖｙ＋ｅｍｂｅｒｌ　１６　＋
　１７の下にはその磁気回路を閉成するために回路２１
が位置せしめられる。担体キャリヤ１４内には該キャリ
ヤがトラッキング表面１１に沿って移動するにつれて前
記複数対の極部材に横断磁束復帰通路を与えるために移
つかの強磁性本体が位置せしめられているが、第１図に
はそのうちの１つの本体２２のみが図示されている。

横方向、即ちキャリヤの移動の縦方向に直角の方向への
負荷キャリヤ１４０案内は該負荷キャリヤ１４内にほぼ
トラッキング表面１１０幅の距離に互いに離れて位置す
る少なくとも１対の磁気案内部材により本発明の一実施
例に従って達成される。好ましくは、担体キャリヤ１４
はその四隅に実質的に位置せしめられた第１図示の案内
磁石２３と同型の４つの案内磁石を有する。案内磁石２
３は高圧充満、室１０内にその縦方向に沿って位置せし
められた案内棒２４に磁気的に結合されるようになされ
ている。同様に、負荷キャリヤ内に磁石２３に対向して
位置せしめられた第２の案内磁石（不図示）も案内棒２
６に磁気的に結合されるようになされている。担体キャ
リヤ１４の各側にはキゼリャの横方向への実質的な移動
を制限するために１対の安全案内脚２７．２８が結合さ
れている。この安全案内脚は担体キャリヤ１４の両側部
°からも高圧充満室１０の両側部からも離隔している。

また第１図には担体キャリヤ１４の両端に位置せしめら
れた１対の細長い磁気ストリップ１５．２０も示、され
ている。この磁気ストリップ１５，２０は軌道１０上の
隣り合う２つの負荷キャリヤ１４間で縦方向に沿って斥
力を生せしめるように極づけらｈでいる。本質的に、磁
気ストリップ１５．２０はトラッキング表面１１上に同
時に存在する順次の負荷キャリヤ間での物理的な接触ま
たは摩擦を防止する１対の無接触磁気バンパとして作用
する。

磁気案内配置 第２図は第１図の図示の実施例の磁気案内配置を明確に
するように特定的に意図された一部断面した端面図を示
す。好捷しくけ、担体キャリヤ１４内には２対の案内磁
石が位置せしめられており、そのうちの１対の磁石２３
．３１のみ図には示している。磁石２３．３１は好まし
くはＵ字形であって、その対応案内棒２４．２６の幅に
匹敵するそれぞれの幅を有している。第２図の拡大部に
示すごとく、案内磁石３１と案内棒２６との間には磁束
線３２で示すように磁界が存在する。

負荷キャリヤ１４がトラッキング表面１１上のその意図
された縦方向コースに沿って移動する限り、案内磁石２
３．３１はそれぞれその対応案内棒２４．２６と実質的
に心合し且つ磁気的結合状態を保つ。担体キャリヤ１４
がその意図されたコースから横方向にずれた場合には、
案内磁石２３．３１とその対応案内棒２４．２６との間
に存在する磁気的結合が復帰力により担体キャリヤをト
ラッキング表面１１上のコース上に戻す。安全案内脚２
８．２９は上記復帰力が負荷キャリ゛ヤをそのコース上
位置に戻す上で無効となる点を越えての担体キャリヤ１
４のずれを防止するようになされている。

第３図は第１図の図示の実施例の空気吊り配置を明確に
するように特定的に意図された一部断面した端面図を示
す。高圧充満室１０は複数対の選択的に付勢可能な電磁
極部材から成り、第３図にはそのうちの１対２５を示す
。各極部材は伺勢用コイル３６．３７ＶＣより包囲され
た極カートリッジ３３．３４から成る。極部材はそのそ
れぞれの杉カートリッジ３３．３４の頂部がトラッキン
グ表面１１と同一平面となるように高圧充満室１ｏ内に
装着されている。

本発明の一実施例に従えば、加圧流体、′例えば不図示
の源からの空気は高圧充満室１０に結合され、そしてト
ラッキング表面１１に対してほぼ直角の方向に該室から
流出するようになされている。しかし、半導体クリーン
ルーム内で通常入手しうる加圧ガスの他の源および型式
も本発明の吊り配置に使用してもよい。第３図の拡大部
に示すごとく、極カートリッジ３４の頂部とトラッキン
グ表面１１の隣シ合う域との間には小さなスロットまた
は隙間３８が存在する。この小さなスロットまたは隙間
３８は好ましくは極カートリッジ３４の周に沿って分布
されることによりトラッキング表面１１に対してほぼ直
角の方向への加圧空気の流出を生ぜしめる。トラッキン
グ表面１１上の担体キャリヤ１４の存在はそれらの間に
空気クッションの形成を生ぜしめる。空気スロット３８
はトラッキング表面１１上のどこに位置せしめてもよい
が、好ましくは極カートリッジ３３．３４の周のまわり
に位置、せしめられることにより極部材とその空気スロ
ットとのだめの別々のせん孔動作を不要にする。このよ
うな好ましい配置は極カートリッジ例えば３４０頂部を
、該極カートリッジ３４の外径よりも大きな外径と、極
カートリッジ３４とリング３９との間に移つかの隣り合
う周方向空気スロットまたは隙間３８の形成を可能なら
しめるに充分な内径と、トラッキング表面の厚さ程度の
厚さとを有する非鉄リング３９で包囲することにより達
成されうる。高圧充満室１０に供給される加圧空気の源
は例えば公知の市販されている空気ポンプであってよい
。

第４図は第１図の例示的実施例の磁気推進配置を明確に
するように特定的に意図された一部断面した側面図を示
す。第１図ないし第３図に示したごとく、推進配置は細
長いトラック１０に位置せしめられた複数対の選択的に
付勢可能な電磁極部材から成る。発射の極部材は対応す
る付勢用コイルをそなえた２つの極カートリッジから成
り、この極カートリッジは細長いトラッキング表面１１
の横方向に並べられている。磁気推進配置の作動を説明
する目的のために、トラック１０の一部の発射の極部材
のうち１つの極部材（４０ないし４６）のみを第４図に
は示している。各電磁極部材４０ないし４６は対応する
付勢用コイル５４ないし６０により包囲された極カート
リッジ４７ないし５３から成る。２つの磁気端バンパ１
５．２０をそなえた担体キャリヤ１４とウェハーカセッ
ト１３はトラック１０のトラッキング表面１１上に位置
せしめられた状態に示されている。担体キャリヤ１４内
には横方向に隣り合う発射の極部材により発生する磁界
のために複数の横断磁束復帰通路を与えるために実質的
にその横方向に沿って幾つかの磁気本体６１ないし６Ｆ
）が位置せしめられている。本質的に、該推進配置は軌
道上の２つの極部材と、極部材対の下にその磁気回路を
閉成するために位置せしめられた横断方向内回路バー２
１と、負荷キャリヤ１４上の横断磁束磁気本体６１ない
し６５を含む横断方向極片とをそなえた横断磁束構成を
有する磁気抵抗可変リニア・各チッピング・モータ型の
ものである。例示の目的のためにのみ、５つの横断磁束
磁気本体６１〜６５を有する４相モータを示す。しかし
、６１〜６５のごとき磁気本体の数、即ち、磁束復帰通
路の総数は負荷キャリヤ１４の大きさと電磁極部材の付
勢シーケーンに応じて変化せしめてよい。

磁気推進配置の作動に当っては、第１の極部材４８はそ
の対応する付勢用コイル５５にパルスを結合することに
より付勢される。担体キャリヤ１４の横断磁束磁気本体
６１は最小磁気抵抗位置に対応する位置において（図示
のごとく）極部材４８と整列する。換言すれば、極部材
４１と磁気本体６１は両者間の磁気回路の最小磁気抵抗
に対応する機械的心合をなしている。次に、極部材４１
が脱勢され極部材４２が付勢される。この結果担体キャ
リヤ１４は右方向に（第４図で）移動する。

何例なら横断方向極片６２が最小磁気抵抗位置で、即ち
４２と６２の間の機械的心合状態で、極部材４２と整列
するからである。

次に極部材４２が消勢され、極部材４３７５Ｅ付勢され
る。再び、負荷キャリヤ１４は横断方向極片６３が付勢
された極部材４３と整列しようとするから第４図で右方
へ移動する。

極部材４４に対する順次の付勢プロセスを継続すると、
担体キャリヤ１４は付勢している極部材４２と横断方向
極片６４が整列するので右方向に更に所定距離だけ移動
する。従って、極部材４１ないし４４の順次の付勢は担
体キャリヤ１４を横断磁気本体と極部材とのピッチ差Δ
Ｓ　の４倍に等し、い総距離だけ移動せしめることにな
る。上記の順次の付勢が続行するにつれて、極部材４５
は付勢された状態となシ、その結果担体キャリヤ１４は
横断方向極片６５が極部材４５と整列するので右方向に
更に移動する。

いまトラックに沿う連続対の極部材間のピッチをＰＴ　
　とし、キャリヤ内の連続的な横断方向極片間のピッチ
をＰＣとすれば、キャリヤの軌道に対する相対移動をも
つためには、次の条件を満たさねばならない。

ｐｒ　ｆ−ｐｃ　　　　　　　　（１）および Ｎ（ＰＴ−ｐＣ）：ｐＣ（２１ ここでＮはモータの相の数である。

（２）式は次のように書きかえることができる。

ｐｃ　＝　ｐｒ　（−１（３） Ｎ＋１ 従って、上記実施例においてＮＡ３の場合、次式が得ら
れる。

４ ｐｃ　＝　−ｐｒ　　　　　　　　　　　　（４）そし
て１位相スイッチ当りに移動する距離ΔＳは次式のよう
になる。

電磁極部材４０ないし７４６のそれぞれの付勢用コイル
５４ないし６０に結合される付勢用信号は所定の特性を
有する−続きのパルスを１出力または複数の出力で送り
出すことのできるパルスシーケンス発生器６６により発
生されうる。これらのパルスの反復率は究極的には担体
キャリヤ１４の移動速度を決定する。しかも、トラック
上での担体キャリヤ１４の移動方向は連続的な付勢用コ
イルが伺勢される順序により決定される。上記説明にお
いて、担体キャリヤ１４はそれぞれのコイルの付勢の時
間的順序が５５．５６Ｉ、５７．５８の順序にある時に
右方へ移動する。コイルの付勢順序が５８．５γ、５６
．５５の場合には負荷キャリヤ１４は左方へ移動する。

垂直シャツトル搬送システム 次に摩擦なしエレベータシステム５を示す第５図Ａを参
照すると、該エレベータは磁気推進、空気吊りおよび磁
気案内の諸特徴を組合わせている。このエレベータはほ
ぼ矩形断面の細長い管状トラック７ｏがら成り、その外
壁７１の１つはエレベータのトラッキング表面を画成し
ている。トラック７ｏは例えば細長いアルミニウム管か
ら成ってよい。トラックγ０内に位置するキャリッジγ
２は例えばそれに結合された位置ぎめ用親ねじ７３によ
りトラックの縦方向に移動することができる。しかし、
キャリッジ７２はそれに結合されトラックの上方向がま
たは下方向にキャリッジを選択的に移動せしめるように
なされた空気手段等の他の機構を用いてトラック７゜内
を移動せしめられてもよい。

担体キャリヤγ４はトラッキング表面７１に沿って移動
できるそりまたはパレット部分１５を有する。好ましく
は、担体キャリヤ７４はそり部分７５にそれに対してほ
ぼ直角の方向に取付けられたＪ対の支持部材７６．７７
から成る。支持部材７６．１７は各々エレベータにより
搬送されるべきウェハー・カセット・パレットの安全案
内脚（例えば第１図における２７．２８および第２図に
おける２８．２９）を受容することのできる１対の空洞
部７８．７９を有する。あるいはまた、担体キャリヤ７
４は例えばブラケット型支持体によシそシ部分７５に取
付けられたプラットホームから成ってもよい。次いで、
エレベータにより運搬されるべきウェハー・カセット・
パレットがプラットホーム上に直接置かれる。

本発明の一実施例に従えば、キャリッジ７２は、第５図
Ｂに示すごとく、それに取付けられトラッキング表面７
１に近接して位置せしめられた複数の磁気素子８０ない
し８５を有するこれらの磁気素子８ｏないし８５は、そ
のうちの３つの素子８０．８１および８２のみを第５図
Ａに示し７ているが、担体キャリヤ７４のそり部分７５
に取付けられた複数の対応強磁性本体に磁気的に結合さ
れるようになされている。第５図Ｃはトラッキング表面
７１に面するそシ部分７５の表面８６を示す。

強磁性本体８７ないし９２はそり表面８６内に埋め込ま
れておりそれぞれキャリッジ７２の磁気素子８０ないし
８５に磁気的に結合されるようになされている。

好ましい実施例においては、磁気素子８０ないし８５は
永久磁石であり強磁性本体８７ないしは９２は鉄材で作
られている。第５図Ａおよび第５図Ｃにはそり部分７５
に加圧空気を供給するために該そり部分７５に結合され
た可撓性導管９３が示されている。そり部分７５はトラ
ッキング表・面７１に面するその表面８６に複数の穴９
４を有すｚｏこれらの穴９４は紋穴からの加圧空気の流
れがトラッキング表面７１と担体キャリヤ７４のそり部
分７５の表面８６との間に空気クッションを形成させる
ように空気供給導管９３と連通している。換言すれば、
そり表面８６は間に空気クッションをもってトラッキン
グ表面７１に沿って移動する。

トラッキング表面１１に沿っての担体キャリヤ７４の上
下運動はキャリッジ１２を軌道７０内で位置ぎめ用親ね
じ７３により上下に移動せしめることにより達成される
。永久磁石８２．８５およびそり部分７５に取付けられ
たその対応強磁性本体８９．９２は軌道の横方向、即ち
トラッキング表面７１の幅に沿う方向での負荷キャリヤ
７４の磁気的案内を達成する。キャリッジ７２に取付け
られた永久磁石８０．８１．８３．８４とそり部分７５
に取付けられたその対応強磁性本体８７．８８．９０．
９１との間の磁気結合は負荷キャリヤ７４のそり部分７
５を移動するキャリッジ７２に従動せしめる。この実施
例はキーヤリッジ１２に取付けられた永久磁石８ｏない
し８５について説明したが、強磁性本体８７ないし７２
に代わって永久磁石を用いることおよび強磁性本体をキ
ャリッジ７２に取付けることは本発明の精神および範囲
内にある。

あるいはまた、キャリッジγ２および負荷キャリヤ７４
は各々互いに惹き合うように極付けされた永久磁石また
は電磁石から成ってもよ旨・ 第６図は第５図Ａないし第５図Ｃで説明した摩擦なしエ
レベータシステム５と同様な水平摩擦なしシャツトル搬
送システム６を示し、その構成素子の大部分には第５図
Ａないし第５図Ｃですでに説明し起素゛子と同じ参照数
字を付しである。第６図に示した水平シャツ゛トルシス
テムは上記の磁気推進、磁気案内および空気吊り原理を
用いてトラッキング表面７１に沿って移動することので
きるそり部分７５をそなえた担体キャリヤ９６を有する
。

担体キャリヤ９６は更に結合配置９８によりそ多部分７
５に結合された積載用プラットホーム９７を含んで成る
。結合配置９８は空気的または親ねじ構成を有する伸長
自在な型式のものでよい。かかる伸長自在な結合は積載
４用プラツトホーム９７の上下運動を可能とするが、磁
気推進／案内と空気吊りの組合わせは負荷キャリヤの側
部から側部への、または縦方向粗動を達成する。上記組
合わせは、例えば、半導体ウェハー・カセットの化学的
処理槽内への持上げおよび下降を容易ならしめると共に
、異る化学的処理槽間でのかかるウェハー・カセットの
摩擦なし搬送を容易ならしめる。この水平シャツトルシ
ステムの他の使用°法も本発明の範囲内にある。

上記磁気案内および空気吊り配置を選択的に付勢可能な
電磁手段またはトラック内の選択的に可動な磁気素子に
より推進される搬送システムに関連して説明したが、担
体キャリヤをトラッキング表面に沿って移動せしめるた
めの他の推進手段を用いて摩擦なし搬送システムを達成
することも本発明の精神および範囲内にある。かかる他
の摩擦なし搬送システム１０００１つを第７図に示すが
、同図において、トラッキング表面１０２を画成するト
ラック１０１は加圧空気源に結合された細長い高圧充満
室１０５の形態をなしている。

摩擦なし搬送システム１００により搬送されるべき半導
体ウェハー１０３は負荷キャリヤ寸たはパレット１０６
上に着座したカセット１０４内に保持されている。第１
図〜第４図で上述したごとく、担体キャリヤ１０６は典
型的にはトラッキング表面１０２上の空気クッション上
に乗るようになされた平底そりの形態をなしている。か
かる空気クッションは、第７図の実施例では、トラッキ
ング表面１０２に形成され加圧空気の流れを細長い高圧
充満室１０５からトラッキング表面１０２に対してほぼ
直角の方向に流出せしめ４ようになされた複数の空気ス
ロットまたは穴１０７によ多形成される。

担体キャリヤ１０６の横方向、即ち第７図でＸ軸方向へ
の案内は負荷キャリヤ１０６内に埋め適寸れた少なくと
も１対の案内磁石により達成される。この１対の案内磁
石のうちの一方の案内磁石１０８を第７図に示す。案内
磁石１０８は充満室１０５内に縦方向りに沿って位置せ
しめられた案内棒またはレール１０９に磁気的に結合さ
れる。第２の案内棒１１１も前記１対の案内磁石のうち
の第２の案内磁石（不図示）に磁気的に結合される。

この磁気案内配置の構造および作動上の特徴は第１図〜
第４図に示した実施例に関連して上述したものと同様で
ある。

第７図の摩擦なし、搬送システム１００においては、担
体キャリヤ１０６が重力推進ベクトルを受けるように軌
道１０１を水平面ＸＹに関して小さな角度θ（２，３度
程度）で支持構体１１２上に位置ぎめすることにより担
体キャリヤ１０６はトラッキング表面１０２に沿って移
動せしめられる。図示の実施例において、支持構体１１
２および角度θの値および符号は矢印１１０で示す方向
での負荷キャリヤの移動を招来する重力加速度ベクトル
を担体キャリヤ１０６に受けさせる。あるいは、支持構
体１１２は重力減速度ベクトルが担体キャリヤ１０６に
課されることになるようなもう１つの角度でトラック１
０１、従ってトラッキング表面１０２を支持するように
設計してもよい。

半導体クリーンルーム環境では、重力推進される軌道１
０１は積込み／積出しプラットホームまたは作業部署に
近接して位置せしめてよい。また、かかる重力推進され
るトラックは第１図で示した型式の磁気的に推進される
水平トラック部分に隣接して、あるいは２つのかかる水
平トラック部分の間に位置せＬ２めてもよい。更に、こ
のような重力推進されるトラックはキャリヤ１０６をト
ラック１０１上に積込んだりそれから積出したりしうる
〜第５図Ａないし第５図Ｃで説明した型式の摩擦なしエ
レベータシステム５に近接して位置せしめてもよい。こ
の実施９Ｉｌによれば、担体キャリヤの重力推進はトラ
ック部分を傾けることにより履行される。重力推進され
る傾けられた部分に次ぐ磁気的に推進される水平トラッ
ク部分の結合はいったん担体キラ１ツヤ７５５この水平
トラック部分に進入すると担体キャリヤの制御された減
速を可能にする・同様に・重力推進される傾けられた部
分に先立つ磁気的に推進される水平トラック部分の結合
は水平トラック部分を出る際の負荷キャリヤの市１１御
された加速を可能にする。本質的に、水平軌道部分での
電破的推進は負荷キャリヤ１０６に対して「ロック・オ
ン（１ｏｃｋ　ｏｎ　）　Ｊすることにより、所定の移
動距離にわたってよく市１）御された仕方でそれを減速
または加速させることができる。

次に第８図を参照すると、トラック１２０の湾曲部分は
２つの線形トラック部分１２１および１２２に結合され
て示されている。後者は例えば第１図ないし２第４図に
関連して上述した型式か、または第７図で述べた型式の
ものでよい。湾曲軌道部分１２０の設計および寸法状め
は線形部分１２１上を移動する負荷キャリヤまたはパレ
ット１２３が線形部分１２２に結合するまで湾曲部分１
２０内に進入してその上に残るようになさねばならない
。

線形トラック部分１２１および１２２は、図示のごとく
、各々複数対の選択的に付勢可能な極部材を有し、その
うちの少数の対１２４．１２５．１２６および１２７を
図には示しである。対１２４．１２５．１２６．１２７
の極部材の各々はそれぞれ極カートリッジ１２８．１２
９．１３１．１３２から成り、対応する付勢用コイル（
不図示）をそなえている。極カートリッジ１２８．１２
９および１３１．１３２はそのそれぞれの頂部がそれぞ
れ部分１２１および１２２の線形トラッキング表面１３
３および１３４と同一平面をなすように線形軌道部分１
２１および１２２内に装着されている。極カートリッジ
１２Ｂ、１２９．１３１および１３２の各々は非鉄リン
グ１３６１３７．１３８および１３９により包囲されて
おり、その間には第１図ないし第４図の実施例に関連し
て上述したように空気スロットが形成されている。

湾曲トラック部分１２０は複数の磁気回路を発生するこ
とのできる１４１．１４２および１４３等の複数対の選
択的に付勢可能な極部材から成る。担体キャリヤ１２３
は実質的にその横方向に沿って位置せしめられた複数の
強磁性本体１４４から成るので、これらの強磁性本体１
４４は上記磁気回路のために複数の横断磁束復帰通路を
与える。湾曲トラック部分１２０の設計に課される第１
の要求はその曲率半径ｒが担・体キャリヤ１２３の強磁
性本体１４４が１４１．１４２および１４３等の極部材
のだめの横断磁束通路としてなお作用しうるように選択
されることである。湾曲トラック部分１２０の設計に課
される第２の要求は極部材１４１ないし１４３により発
生する磁界が担体キャリヤ１２３がトラックの湾曲部で
停止するのを防止するに充分強くなければならないとい
うことである。

しかも、湾曲部分１２０の弧状軸１４６に沿う連続対の
極部材（例えば１４１と１４２．１−４２と１４３）の
間の距離は、極部材と強磁性本体１４４との間に磁気的
結合が存在するように選択されねばならない。軌道部分
１２０ないし１２２は典型的には４インチ（１０，１６
α）程度の幅を横方向に沿って有する。９０°湾曲軌道
部分１２０の曲率半径ｒは好ましくは少なくとも２フイ
ート （０，６１ｍ１程度であるから、担体キャリヤ１２３が
軌道の湾曲部分に沿って連続的に移動するのを許す。ま
た、複数対の極部材１４１ないし１４３のピ”ツチＰＴ
　　は複数対の極部材１２４．１２５および１２６．１
゛２７のピッチと同程度である。典型的には、ＰＴ　　
は１．５インチ（３，８１ｃｍ　）程度である。

トランク部分１２０上での負荷キャリヤ１２３の連続的
移動を確実□ならしめるに充分な大きさの磁界を発生す
るために、極部材対の各々（例えば１４１）は非鉄リン
グ１４８により包囲された′より小さな太きさあ極カー
トリッジ１４７から成る。湾曲トラック部分１２０にお
ける非鉄リング１４８の外径は線形軌道部分１２１およ
び１２２における非鉄リング１３６ないし１３９のそれ
と同じ大きさである。しかし、極カートリッジ１４７は
線形トラック部分１２１および１２２の極カートリッジ
１２８．１２９．１３１および１３２の直径の半分程度
の直径を有する。極カートリッジ１４７の大きさがより
小さい結果、部分１２０のトラッキング表面と負荷キャ
リヤ１２３との間の隙間における磁束密度は約４の係数
だけ増大する。この増大した磁束密度はその結果得られ
る可変磁気抵抗「湾曲」ステッピング・モータ構成のや
や歪んだ形状に照らしてキャリヤ１２３の移動を確実な
らしめるために必要とされるものである。

第９図には負荷キャリヤ１５１を摩擦なし搬送システム
の種々のトラック部分１５２．１５３および１５４の間
で選択的に切換えることのできるターンテーブル軌道部
分１５０が示されている。トランク部分１５２ないし１
５４の各々は第４図および第８図に関連して上述したご
とく互いにピッチ距離ｐｒ　　に位置せしめられた複数
対の選択的に付勢可能な極部材１５６から成る。複数の
半導体ウェハー１５８を保持することのできるウェハー
カセット１５７を支持するようになされた負荷キャリヤ
１５１はその両端に位置せしめられた１対の細長い磁気
バンパ１５９．１６１から成る。担体キャリヤ１５１の
実質的に４つの隅に位置せしめられた２対の磁気案内磁
石１６２および１６３はトランク部分１５２．１５３お
よび１５４内に位置せ゛しめられた対応する強磁性案内
レール（不図示）と磁気的に結合することができる。負
荷キャリヤ１５１は更にその両側部に取付けられた安全
案内脚１６４．１６６．１６７および１６８を含んで成
り、これらの安全案内脚は第１図の脚２７．２８および
第２図、第３図Ω脚２８．２９と同じ型式および形状で
ある。

トラック部分１５２．１５３および１５４の交点に位置
するターンテーブル１５０は２方向矢印１７２で示すご
とく時計方向にまたは半時針方向に回転することのでき
る円筒形プラットホーム１７１から成る。プラットホー
ム１７１の回転は任意の周知の回転作動機構により行な
われる。円筒形プラットホーム１７１はその中にその上
面に対してほぼ直角の方向に位置せしめられた複数対の
選択的に付勢可能な極部材１７３から成る。プラットホ
ーム１７１の上面は負荷キャリヤ切換えを達成するため
にトラック部分１５２．１５３および１５４のそれぞれ
のトラッキング表面と同一の高さにされている。また、
プラットホーム１７１上での負荷キャリヤ１５１の位置
を選択的に制御するために、その内部の複数対の極部材
１７３は軌道部分１５２ないし１５４の極部材１５６と
互いに同じ距離ＰＴに位置せしめられている。同様に、
円筒形プラットホーム１７１には極部材１７３の各々の
まわりに空気流を発生するために加圧空気源（不図示、
）が結合されている。故に、ターンテーブル１５０は上
述した磁気推進および空気吊りの原理を用いている。し
かも、プラットホーム１７１の上面上での負荷キャリヤ
１５１の横方向案内はプラットホーム１７１内に位置せ
しめられた１対の強磁性レール１７４および１γ６によ
り達成される。この強磁性レール１７４および１γ６は
負荷キャリヤ１５１の対応案内磁石１６２および１６３
に磁気的に結合されるようになされている。

従って、上述の磁気案内原理はプラットホーム１７１に
も適用されることにスる。

プラットホーム１７１の上面が軌道部分１５２．１５３
および１５４のトラッキング表面と同じ高さにあるので
、負荷キャリヤ１５１の安全案内脚１６４．１６６．１
６７および１６８がプラットホーム１７１と衝突しない
ように注意すべきである。かかる衝突を避けるために、
プラットホーム１７１の上面には負荷キャリヤ１７１が
ターンテーブル１５０上にあるうちに安全案内脚１６４
．１６６および１６７．１６８をそれぞれ受容し案内す
るためのほぼ平行な溝１７７および１７８が形成されて
いる。溝１７７および１７８の各々の幅と深さは、案内
脚１６４．１６６．１６７．１６８とプラットホーム１
７１との接触を避けるために、それぞれ安全案内脚の厚
さと高さよシもやや大きくなるように選択されている。

第９図のターンテーブルトラック部分の作動は以下の通
りである。即ち、負荷キャリヤ１５１がトラック部分１
５２からターンテーブル１５０を介してトラック部分１
５３まで移動すべき場合には、後者は図示のごとく位置
しておりその複数対の付勢可能な極部材１７３はあたか
も軌道部分１５２および１５３の極部材１５６の一部で
あるかのごとくに順次付勢される。換言すれば、ターン
テーブル１５０のプラットホーム１７１は軌道部分１５
２と１５３の間に介装された線形摩擦なしトラック部分
に匹敵する。

他方、担体キャリヤ１５１がトラック部分１５２からタ
ーンテーブル１５０を経てトラック部分１５４に搬送さ
れるべき場合には、負荷キャリヤ１５１はまずトラック
部分１５２からプラットホーム１７１へ移動せしめられ
る。次に、担体キャリヤ１５１はその極部材１７３のす
べてを消勢することによりプラットホーム１７１上に停
止せしめられる。この時点で、担体キャリヤ１５１はプ
ラットホーム１７１の上面とキャリヤ１５１の底面との
間に形成された空気クッション干に支持されている。次
いで、円筒形プラットホーム１７１は、その上面上の担
体キャリヤ１５１と共に、その極部材１７３が軌道部分
１５４の極部材１５６と心合する１で所定の角度だけ回
転する。次いで極部材１γ３は順次付勢されて担体キャ
リヤ１５１をターンテーブル部分１５０からトラック部
分１５４上へと移動せしめる。

第８図の実施例に関連して上述したごとく、軌道部分１
５２．１５３および１５４は典型的には４インチ（１０
，１６ｃｒｎ）程度の幅を有し、極部材は１．５インチ
（３，８１α）程度のピッチｐＴ　　を有する。ターン
テーブル１５０は、図示のごとく、同じく１．５インチ
（３８１ｃｎｒ　）程度のピッチ距離ｐｒ　　に位置せ
しめられた６対の付勢可能な極部材１７３を有し、そし
て９インチ（２２，８６ｃｍ　］程度の外径金有する。

ターンチーフルの好ましい作動に従って、円筒形プラッ
トホーム１７１をその上の担体キャリヤ１５１と共に回
転させるに先立って、ターンテーブル１５ｂに供給され
た加圧空気が遮断されることにより担体キャリヤ１５１
をプラットホーム１７１の上面と直接接触させる。上記
はプラットホーム１７１の回転中に負荷キャリヤ１５１
の揺動または移動を防止すると共に、プラットホーム回
転工程時にウェハーの押し合いを最小に抑える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る摩擦なし運搬系の斜視
図、 第２図は本発明の一実施例に係る磁気案内配置の詳細を
示す第１図実施例の部分的断面端面図、 第３図は本発明の一実施例に係る空気吊り配置の詳細を
示す第１図の部分的断面端面図、第４図は本発明の一実
施例に係る磁気推進　　□配置の詳細を示す第１図の部
分的断面側面図、第５図Ａ、第５図Ｂおよび第５図Ｃは
本発明の更なる例示的実施例に係る摩擦なし垂直シャツ
トル搬送システムを示す図゛、 第６図は本発明の更に他の例示的実施例に係る摩擦なし
水平シャツトル搬送システムの斜視図、 第７図は本発明の他の実施例に係る摩擦なし搬送システ
ムの斜視図、 第８図は本発明の一実施例に係る湾曲トラック組立体を
示す図、 第９図は本発明の一実施例に係るターンテーブル組立体
を示す図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １：５：６：１００・・・搬送システム１０　；７０　
；ｉｏｌ　：１２０・−１−ラック１１　；７１　；１
０２・・・トラッキング表面１４ニア４；９６；１０６
；１２３：１５１・・・担体キャリヤ １５；２０・・・磁気ストリップ １６．１７・・・電磁極部材 ２２・・・強磁性本体 ２３．３１　；１０８・・・案内磁石 ２７．２８　：１６４，１６６．１６７．１６８・・・
案内脚 ３８・・・小さなスロットまたは隙間 ３９・・・非鉄リング ４０〜４６・・・電磁極部材 ７５・・・そり部分 ７６．７７・・・支持部材 ８０〜８５・・・磁気素子 ８１〜９２・・・強磁性本体 ９４・・・穴 １０７・・・空気スロット １０９・・・案内レール １１２・・・支持構体 １２０・・・湾曲トラック部分 １２１．１２２・・・線形トラック部分１７１・・・円
筒形プラットホーム １７３・・・その電磁極部材

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、トラッキング表面を画成する細長いトラックと、担
   体キャリヤをトラッキング表面に沿って第１の方向に移
   動せしめるための手段とから成る搬送システムにおいて
   、更に、トラッキング表面と担体キャリヤとの間に流体
   クッションを形成するだめの装置と、前記第１の方向に
   対してほぼ直角の第２の方向に負荷キャリヤに横方向案
   内を与えるために担体キャリヤに結合された磁気案内手
   段とを含んで成ることを特徴とする搬送システム。 ２、特許請求の範囲第１項の記載のシステムにおいて、 担体キャリヤを移動せしめるための手段は前記細長いト
   ラック内に前記トラッキング表面に対してほぼ直角の方
   向に位置せしめられた複数の選択的に付勢可能な電磁極
   部材と、該極部材に複数の横断磁束復帰通路を与えるた
   めに前記負荷キャリヤ内に実質的に前記第２の方向に沿
   って位置せしめられた複数の強磁性本体とから成る磁気
   推進配置であることを特徴とするシステム０３、特許請
   求の範囲第２項記載のシステムにおいて、 流体クッションを形成するための手段は前記トラッキン
   グ表面に対し、てほぼ直角の方向に加圧流体の流れを発
   生するだめの手段から成ることを特徴々するシステム。 ４、特許請求の範囲第３項記載のシステムにおいて、 前記加圧流体発生手段は細長い軌道に結合されており、
   そしてトラッキング表面内に位置する複数の空気スロッ
   トから成ることを特徴とするシステム。 ５、特許請求の範囲第４項記載のシステムにおいて、 前記空気スロットは前記複数の電磁極部材の各々の周に
   沿って位置することを特徴とするシステム。 ４、特許請求の範囲第１項記載のシステムにおいて、 前記磁気案内手段は担体キャリヤ内に埋め込まれ軌道の
   幅程度の距離に前記第２の方向に沿って位置せしめられ
   た少なくとも１対の案内磁石から成ることを特徴とする
   システム。 ７、特許請求の範囲第６項記載のシステムにおいて、 前記磁気案内手段は更に、細長いトラック内に前記第１
   の方向に沿って位置せしめられ前記１対の案内磁石に磁
   気的に結合された１対の案内棒を含んで成ることを特徴
   とするシステム。 ８、特許請求の範囲第１項記載のシステムにおいて、 担体キャリヤを移動せしめるための手段はトラッキング
   表面に近接して位置せしめられ細長いトラック内を前記
   第１の方向に沿って選択的に可動の磁気手段と、負荷キ
   ャリヤ内に埋め込まれ前記磁気手段に磁気的に結合され
   るようになされた強磁性部材とから成ることを特徴とす
   るシステム。 ９、特許請求の範囲第１項記載のシステムにおいて、 担体キャリヤを移動せしめるための手段は前記細長いト
   ラックの第１の部分を基準水平面に関して所定の角度で
   位置ぎめするためのトラック支持構体、から成ること′
   ｆ：特徴とするシステム。 １０　　％許請求の範囲第９項記載のシステムにおいて 担体キャリヤを移動せしめるための手段は更に、前記細
   長い軌道の第２の部分にトラッキング表面に対してほぼ
   直角の方向に位置せしめられた複数対の選択的に付勢可
   能な電磁極部材と、該極部材に複数の横断磁束復帰通路
   を与えるために担体キャリヤ内に実質的に前記第２の方
   向に沿って位、置せしめられた複数の強磁性本体とを含
   む磁気推進配置を含んで成ることを特徴とするシステム
   。 １１、特許請求の範囲第９項記載のシステムにおいて、 前記細長いトラックの第１の部分の所定の角朋は担体キ
   ャリヤに重力加速度ベクトルを与えるように選択されて
   いることを特徴とするシステム。 １２、特許請求の範囲第９項記載のシステムにおいて、 前記細長いトラックの第１の部分の所定の角度は担体キ
   ャリヤに重力減速度ベクトルを与えるように選択されて
   いることを特徴とするシステム。 １３、特許請求の範囲第１項記載のシステムにおいて、 トラッキング表面を画成する外壁を有する細長い充満庫
   と、 ウェハー・カセット・キャリヤをトラッキング表面に沿
   って縦方向に移動せしめるために前記室内に位置せしめ
   られた磁気推進手段と、 前記外壁に対してほぼ直角の方向に加圧流体の流れを発
   生することによりトラッキング表面と前記カセット・キ
   ャリヤとの間に流体クッションを形成するだめの手段と
   、カセット・キャリヤに前記縦方向とほぼ直角の横方向
   に案内を与えるために前記充満室内およびカセット・キ
   ャリヤ内に位置せしめられた磁気案内手段と を有することを特徴とするシステム。 １４、特許請求の範囲第１３項記載のシステムにおいて
   、 磁気推進手段は前記細長い充満室内に前記外壁とほぼ直
   角の方向に位置せしめられた複数対の選択的に付勢可能
   な電磁極部材と、該極部材に複数の横断磁束復帰通路を
   与えるためにウェハー・カセット・キャリヤ内に実質的
   に横方向に沿って位置せしめられた複数の強磁性本体と
   から成ることを特徴とするシステム。 １５、特許請求の範囲第１３項記載のシステｌにおいて
   、 磁気案内手段はウェハー・カセット・キャリヤ内に縦方
   向に沿って中央に位置せしめられ前記１対の案内磁石に
   磁気的に結合された１対の強磁性ストリップから成るこ
   とを特徴とするシステム。 １６、特許請求の範囲第１３項記載のシステムにおいて
   、 加圧流体発生手段はウェハー・カセット・キャリヤに結
   合されていることを特徴とするシステム。 １７、特許請求の範囲第１項記載のシステムにおいそ、 底壁と、１対のほぼ平行な側壁と、トラッキング表面を
   画成する頂壁とを有する細長い充満室を含んで成り、前
   記頂壁および底壁は複数対の隣り合う穴を有し、該穴の
   各々は選択的に付勢可能な電磁極部材を前記充満室内に
   前記頂ζおよび底壁とほぼ直角の方向に保持するように
   寸法取りされていることを特徴とするシステム。 １８、特許請求の範囲第１７項記載のシステム−におい
   て、 前記頂壁の各穴は前記選択的に付勢可能な電磁極部材の
   周のまわりに形成された複数の空気スロットから成るこ
   とを特徴とするシステム。 １９　　特許請求の範囲第１８項記載のシステムにおい
   て、 更に、前記充満室内に位置せしめられその全長に沿って
   延びる１対の強磁性案内レールを含んで成り、該案内レ
   ールは前記頂壁と２つの側壁との隅交差部に位置するこ
   とを特徴とするシステム。 ２、特許請求の範囲第１７項記載のシステムにおいで、 前記細長い充満室は第１の直径を有し線形トラック部分
   内に互いに所定のピッチ距離ＰＴ　　に位置する複数対
   の第１の電磁極部材を含む線形軌道部分と、該線形トラ
   ック部分に結合されておシ前記第１の直径より小さい直
   径を有し湾曲トラック部分内に互いにピッチ距離ｐｒ　
   　に位置する複数対の第２の電磁極部材を含む湾曲軌道
   部分とから成ることを特徴とするシステム。 ２、特許請求の範囲第１項記載のシステムにおいて、 内部にその上面とほぼ直角の方向に位置せし、められた
   複数対の選択的に付勢可能な電磁極部材を有する回転可
   能な円筒形プラットホームと、該円筒形プラットホーム
   内に互いに軌道幅程度の距離に位置せ１２められた第１
   および第２の細長い強磁性案内レールと、前記プラット
   ホームの上面に互いにトラック幅よシ大きい距離に位置
   する第１および第２の案内溝とを有することを特徴とす
   るシステム。 ２、特許請求の範囲第２１項記載のシステムにおいて、 前記回転可能な円筒形プラットホームに結合されてその
   上面とほぼ直角の方向に加圧空気の流れを発生するだめ
   の手段を有することを特徴とするシステム。 ２、特許請求の範囲第１項記載のシステムにおいて、 ２つの平行な縦方向側面と、２つの平行な横方向側面と
   、ウェハー・カセットを受容するようになされた上面と
   、軌道上を移動するようになされ゛た平底トラッキング
   表面とを有するそりと、このそり内にその横方向側面に
   ほぼ平行な方向に埋め込まれた複数の強磁性本体と、前
   記そり内に埋め込まれ実質的にその縦方向側面と横方向
   側面ぜ との交差部で前記そシのトラッキング表面に近接して位
   置せしめら１−Ｌｆｃ磁気案内手段と、前記そりの横方
   向側面の各々に取付けられた細長い磁気手段と、前記そ
   りの縦方向側面の各々に結合された１対の安全案内手段
   とを有することを特徴とするシステム。 ２、特許請求の範囲第２３項記載のシステムにおいて、 前記強磁性本体は、トラック内のリニア・ステッピング
   モータの連続対の電磁極部材間のピッチをｐｒ　　とし
   、該モータの相の数をＮとする時、 ｐｃ＝ｐｒ（−） Ｎ＋１ で与えられる所定のピッチ距離ＰＣだけ互いに離隔して
   いることを特徴とするシステム。 ２、特許請求の範囲第２３項記載のシステムにおいて゛
   、 磁気案内手段は前記そりの四隅に実質的に位置するＵ字
   形永久磁石から成ることを特徴とするシステム。 ２、特許請求の範囲第２３項記載のシステムにおいて、 安全案内手段は前記そりの縦方向側面に取付けられそこ
   から外方に延びるＬ字形安全脚を含むことを特徴とする
   システム。 ２、特許請求の範囲第２３項記載のシステムにおいて、 前記そりの横方向側面の寸法はトラックの幅程度である
   ことを特徴とするシステム。 ２８、物品をトラックに沿って摩擦なしに搬送する方法
   において、 軌道のトラック状表面と物品との間に 流体クッションを形成する工程と、 物品を軌道に沿って第１の方向に移動せしめる工程と、 物品を前記第１の方向とほぼ直角の第２の方向に出猟的
   に案内する工程 とを特徴とする摩擦なし物品搬送方法。