JPH08282842A - 空気浮上式リニアモータ駆動搬送路における分岐装置 - Google Patents
空気浮上式リニアモータ駆動搬送路における分岐装置Info
- Publication number
- JPH08282842A JPH08282842A JP11790395A JP11790395A JPH08282842A JP H08282842 A JPH08282842 A JP H08282842A JP 11790395 A JP11790395 A JP 11790395A JP 11790395 A JP11790395 A JP 11790395A JP H08282842 A JPH08282842 A JP H08282842A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveying
- branching
- path
- linear motor
- conveying route
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 空気浮上用の搬送路を昇降する側ガイドを選
択的に動作させるようにして分岐搬送路に分岐させるこ
とにより、効率の良い搬送方向転換と、少ないスペース
で分岐させる。 【構成】 物品を搬送する行程に沿って配設され、箱形
の搬送台を搬送台嵌挿溝１１内に嵌挿し、かつ搬送路１
内から噴出される空気圧で浮上させながらリニアモータ
にて移送する搬送路１と、この搬送路１と交わるように
配した分岐用搬送路２とよりなり、搬送路１の分岐用搬
送路２との交差位置での搬送路１の両側壁切欠部に夫々
側ガイド６１，６２を昇降手段を介して配設する。そし
てこの搬送路１の分岐搬送路２との交差位置内に分岐用
のリニアモータを配設する。
択的に動作させるようにして分岐搬送路に分岐させるこ
とにより、効率の良い搬送方向転換と、少ないスペース
で分岐させる。 【構成】 物品を搬送する行程に沿って配設され、箱形
の搬送台を搬送台嵌挿溝１１内に嵌挿し、かつ搬送路１
内から噴出される空気圧で浮上させながらリニアモータ
にて移送する搬送路１と、この搬送路１と交わるように
配した分岐用搬送路２とよりなり、搬送路１の分岐用搬
送路２との交差位置での搬送路１の両側壁切欠部に夫々
側ガイド６１，６２を昇降手段を介して配設する。そし
てこの搬送路１の分岐搬送路２との交差位置内に分岐用
のリニアモータを配設する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリニアモータにより搬送
台を加減速走行させる空気浮上搬送装置の搬送路におい
て、搬送台の任意方向への方向転換を効率的に行う空気
浮上式リニアモータ駆動搬送路における分岐装置に関す
るものである。
台を加減速走行させる空気浮上搬送装置の搬送路におい
て、搬送台の任意方向への方向転換を効率的に行う空気
浮上式リニアモータ駆動搬送路における分岐装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＳＩ等の半導体製造工場ならび
に医薬品製造工場などクリーンルームにおけるファクト
リーオートメーション化には発塵のない搬送装置が要請
されている。
に医薬品製造工場などクリーンルームにおけるファクト
リーオートメーション化には発塵のない搬送装置が要請
されている。
【０００３】この要請に合致した無塵搬送装置としては
特開昭５９−１２４６２３号公報に記載のものがある。
この搬送装置は、回転部分のないリニアモータを駆動装
置に使用し、さらに搬送台を空気浮上させることによ
り、全ての機械的摩擦を排除したもので、上記の目的に
合致している。そして搬送路が分岐して交差している場
合、この搬送路の分岐点にはターンテーブル式の分岐装
置が設けられている。
特開昭５９−１２４６２３号公報に記載のものがある。
この搬送装置は、回転部分のないリニアモータを駆動装
置に使用し、さらに搬送台を空気浮上させることによ
り、全ての機械的摩擦を排除したもので、上記の目的に
合致している。そして搬送路が分岐して交差している場
合、この搬送路の分岐点にはターンテーブル式の分岐装
置が設けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の搬送路は
搬送台を跨座して搬送させる方式であるため、搬送台の
搬送方向を変える場合、ターンテーブルを用いこれ回動
させて所望の方向へ切り換えるようにしているので、方
向転換のためのスペースとして大きなスペースを要する
と共に、ターンテーブル毎の方向転換であるため、正確
な位置決めを行うためには、これが完全に停止するまで
待つことが必要となり、位置決めなどに時間を要するも
のとなっている。
搬送台を跨座して搬送させる方式であるため、搬送台の
搬送方向を変える場合、ターンテーブルを用いこれ回動
させて所望の方向へ切り換えるようにしているので、方
向転換のためのスペースとして大きなスペースを要する
と共に、ターンテーブル毎の方向転換であるため、正確
な位置決めを行うためには、これが完全に停止するまで
待つことが必要となり、位置決めなどに時間を要するも
のとなっている。
【０００５】本発明は空気浮上用の搬送路を昇降する側
ガイドを選択的に動作させるようにして分岐搬送路に分
岐させることにより、効率の良い搬送方向転換と、少な
いスペースで分岐させることを目的とする。
ガイドを選択的に動作させるようにして分岐搬送路に分
岐させることにより、効率の良い搬送方向転換と、少な
いスペースで分岐させることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するためになしたもので、物品を搬送する行程に沿っ
て配設され、箱形の搬送台を搬送路の搬送台嵌挿溝内に
嵌挿し、かつ搬送路から噴出される空気で浮上させなが
ら搬送台嵌挿溝内に設けたリニアモータにて移送する搬
送路と、この搬送路と交わるように配した分岐用搬送路
と、よりなり搬送路の分岐用搬送路との交差位置での搬
送路の両側壁切欠部に側ガイドを昇降手段を介して配設
すると共に、この搬送路の分岐搬送路との交差位置内に
分岐用のリニアモータを配設したことを要旨とする。
成するためになしたもので、物品を搬送する行程に沿っ
て配設され、箱形の搬送台を搬送路の搬送台嵌挿溝内に
嵌挿し、かつ搬送路から噴出される空気で浮上させなが
ら搬送台嵌挿溝内に設けたリニアモータにて移送する搬
送路と、この搬送路と交わるように配した分岐用搬送路
と、よりなり搬送路の分岐用搬送路との交差位置での搬
送路の両側壁切欠部に側ガイドを昇降手段を介して配設
すると共に、この搬送路の分岐搬送路との交差位置内に
分岐用のリニアモータを配設したことを要旨とする。
【０００７】
【作用】物品を搬送する行程に沿ってに配設された搬送
路に、分岐用搬送路を交わるように配設し、この搬送
路、分岐用搬送路ともにその長手方向内部に箱形の搬送
台を嵌挿して搬送する搬送台嵌挿溝を形成し、かつ搬送
路及び分岐用搬送路の内部から噴出される空気で浮上さ
せながらリニアモータにて搬送台を移送するようになす
と共に、分岐用搬送路と交わる搬送路に、搬送路側壁の
対向する両切欠部に側ガイドを昇降手段を介して配設
し、かつこの搬送路の分岐搬送路との交差位置内に分岐
用のリニアモータを配設しているので、この搬送路内を
移動する搬送台の方向転換側の側ガイドを選択的に昇降
手段を介して降下する動作を行うことによって狭いスペ
ースで確実に、かつ短時間で方向転換が行える。
路に、分岐用搬送路を交わるように配設し、この搬送
路、分岐用搬送路ともにその長手方向内部に箱形の搬送
台を嵌挿して搬送する搬送台嵌挿溝を形成し、かつ搬送
路及び分岐用搬送路の内部から噴出される空気で浮上さ
せながらリニアモータにて搬送台を移送するようになす
と共に、分岐用搬送路と交わる搬送路に、搬送路側壁の
対向する両切欠部に側ガイドを昇降手段を介して配設
し、かつこの搬送路の分岐搬送路との交差位置内に分岐
用のリニアモータを配設しているので、この搬送路内を
移動する搬送台の方向転換側の側ガイドを選択的に昇降
手段を介して降下する動作を行うことによって狭いスペ
ースで確実に、かつ短時間で方向転換が行える。
【０００８】
【実施例】以下本発明の空気浮上式リニアモータ駆動搬
送路における分岐装置を図面に示す実施例にもとづき説
明する。図１は本発明装置の要部を示す平面図で、１は
搬送路、２はこの搬送路１と交わるように配設した分岐
搬送路で、この搬送路１と分岐搬送路２は図示のように
直交しても或いは所定の角度で交わっても良い。そして
このいずれの搬送路１，２もその長手方向全長に亘って
中央部に搬送台３を嵌挿して移動するための搬送台嵌挿
溝１１，２１を形成する。
送路における分岐装置を図面に示す実施例にもとづき説
明する。図１は本発明装置の要部を示す平面図で、１は
搬送路、２はこの搬送路１と交わるように配設した分岐
搬送路で、この搬送路１と分岐搬送路２は図示のように
直交しても或いは所定の角度で交わっても良い。そして
このいずれの搬送路１，２もその長手方向全長に亘って
中央部に搬送台３を嵌挿して移動するための搬送台嵌挿
溝１１，２１を形成する。
【０００９】搬送台嵌挿溝１１，２１は図１乃至図３に
詳示するように箱形の搬送台３を嵌挿したとき、搬送台
外側面と搬送路内側面との間に僅かな隙間を空けて搬送
台３が搬送路内側面に接触しないで、しかもがたつくこ
となく移動できるようにすると共に、搬送台嵌挿溝１
１，２１の両側に側壁１２，１３及び２２，２３を互い
に対向して設けると共に、搬送台嵌挿溝１１，２１の内
底面及び両側壁１２，１３及び２２，２３に高圧の気体
を噴射する噴射孔１４，２４を夫々穿孔し、これにより
搬送台３を搬送台嵌挿溝１１，２１の内底面より別設の
エアー供給ユニットから供給された圧縮クリーンエアー
を噴出して所定の間隔だけ浮上させ、かつ側壁の内面か
ら噴出する高圧の気体によって側壁と接触しないで円滑
に移動できるようにする。
詳示するように箱形の搬送台３を嵌挿したとき、搬送台
外側面と搬送路内側面との間に僅かな隙間を空けて搬送
台３が搬送路内側面に接触しないで、しかもがたつくこ
となく移動できるようにすると共に、搬送台嵌挿溝１
１，２１の両側に側壁１２，１３及び２２，２３を互い
に対向して設けると共に、搬送台嵌挿溝１１，２１の内
底面及び両側壁１２，１３及び２２，２３に高圧の気体
を噴射する噴射孔１４，２４を夫々穿孔し、これにより
搬送台３を搬送台嵌挿溝１１，２１の内底面より別設の
エアー供給ユニットから供給された圧縮クリーンエアー
を噴出して所定の間隔だけ浮上させ、かつ側壁の内面か
ら噴出する高圧の気体によって側壁と接触しないで円滑
に移動できるようにする。
【００１０】尚、この発明では搬送台３の浮上のために
噴出する気体は圧縮クリーンエアー（空気）に限らず、
例えば必要に応じて窒素ガスなど不活性ガスの使用を許
容するものであるが、エアー（空気）を以って総称す
る。
噴出する気体は圧縮クリーンエアー（空気）に限らず、
例えば必要に応じて窒素ガスなど不活性ガスの使用を許
容するものであるが、エアー（空気）を以って総称す
る。
【００１１】また、この搬送路１と分岐搬送路２にはそ
の長手方向に沿って予め定めた間隔でリニアモータ固定
子４が夫々配設される。これは搬送路１，分岐搬送路２
の内底面に図２，図３に示すようにして設け、搬送台３
の下底面にはこのリニアモータの推力を受けるリアクシ
ョンプレートを取り付けると共に、前記リニアモータ固
定子４を制御することにより搬送台３を走行または停止
させるものである。
の長手方向に沿って予め定めた間隔でリニアモータ固定
子４が夫々配設される。これは搬送路１，分岐搬送路２
の内底面に図２，図３に示すようにして設け、搬送台３
の下底面にはこのリニアモータの推力を受けるリアクシ
ョンプレートを取り付けると共に、前記リニアモータ固
定子４を制御することにより搬送台３を走行または停止
させるものである。
【００１２】図２は本発明に係る装置の分岐用リニアモ
ータ固定子５を配した搬送路の分岐部分の縦断側面図を
示す。分岐搬送路２が交わるように配設した搬送路１に
は図示のように分岐搬送路２の搬送台嵌挿溝２１の内幅
Ｗと同じ幅となるように対向する側壁１２，１３の一部
を切り欠きこの切欠部１６，１７内に側面ガイド６１，
６２を配設する。この側面ガイド６１，６２は互いに対
向し、かつ側壁１２，１３と一直線上に配設すると共
に、この側面ガイド６１，６２の内側面と頂面には高圧
空気を吹き出す噴出孔６３，６４が穿孔される。そして
さらにこの各側面ガイド６１，６２の下部にはエアシリ
ンダ等の昇降手段６５を備え、この昇降手段６５の作動
にて側面ガイド６１，６２のいずれか一方を選択的に昇
降動作させるものである。
ータ固定子５を配した搬送路の分岐部分の縦断側面図を
示す。分岐搬送路２が交わるように配設した搬送路１に
は図示のように分岐搬送路２の搬送台嵌挿溝２１の内幅
Ｗと同じ幅となるように対向する側壁１２，１３の一部
を切り欠きこの切欠部１６，１７内に側面ガイド６１，
６２を配設する。この側面ガイド６１，６２は互いに対
向し、かつ側壁１２，１３と一直線上に配設すると共
に、この側面ガイド６１，６２の内側面と頂面には高圧
空気を吹き出す噴出孔６３，６４が穿孔される。そして
さらにこの各側面ガイド６１，６２の下部にはエアシリ
ンダ等の昇降手段６５を備え、この昇降手段６５の作動
にて側面ガイド６１，６２のいずれか一方を選択的に昇
降動作させるものである。
【００１３】側面ガイド６１，６２の昇降動作は図２に
示すように上昇時には側面ガイド６１，６２の頂面が搬
送路１の側壁１２，１３の頂面とほぼ同じ位置になるよ
うにし、また下降時には側面ガイド６１，６２の頂面が
搬送路１の搬送台嵌挿溝１１の内底面とほぼ同じ高さと
なるようにする。
示すように上昇時には側面ガイド６１，６２の頂面が搬
送路１の側壁１２，１３の頂面とほぼ同じ位置になるよ
うにし、また下降時には側面ガイド６１，６２の頂面が
搬送路１の搬送台嵌挿溝１１の内底面とほぼ同じ高さと
なるようにする。
【００１４】なお、これらの搬送路１，分岐搬送路２，
側面ガイド６１，６２はアルミ合金等軽金属等の非磁性
体の材質よりなり、所定の長さに押出された金型成形体
で、この成形体内にエアーダクトＤを一体に設ける。こ
れは前記成形体の一部に、エアー供給ユニットから供給
された圧縮クリーンエアーを、このエアーダクトＤに供
給され、各噴射孔を介して夫々搬送路内および両側内面
に向かって噴出するようにする。
側面ガイド６１，６２はアルミ合金等軽金属等の非磁性
体の材質よりなり、所定の長さに押出された金型成形体
で、この成形体内にエアーダクトＤを一体に設ける。こ
れは前記成形体の一部に、エアー供給ユニットから供給
された圧縮クリーンエアーを、このエアーダクトＤに供
給され、各噴射孔を介して夫々搬送路内および両側内面
に向かって噴出するようにする。
【００１５】上述のように構成した装置において、搬送
台３を搬送路１内を空気にて浮上させつつ、リニアモー
タにて移動させる場合、これと交わる分岐搬送路２の左
または右方向に分岐させるには、この分岐位置で搬送台
３を減速させ、かつ左方向へ方向を転換するときは左側
の側面ガイド６１を、また反対に右方向へ転換するには
右側の側面ガイド６２を選択的にして降下させる。これ
は昇降手段６５の操作にて行うと共に、この分岐位置に
ある分岐用リニアモータ５１，５２を方向転換方向へ駆
動することにより行う。
台３を搬送路１内を空気にて浮上させつつ、リニアモー
タにて移動させる場合、これと交わる分岐搬送路２の左
または右方向に分岐させるには、この分岐位置で搬送台
３を減速させ、かつ左方向へ方向を転換するときは左側
の側面ガイド６１を、また反対に右方向へ転換するには
右側の側面ガイド６２を選択的にして降下させる。これ
は昇降手段６５の操作にて行うと共に、この分岐位置に
ある分岐用リニアモータ５１，５２を方向転換方向へ駆
動することにより行う。
【００１６】側面ガイド６１は降下し、その頂面が搬送
台嵌挿溝内底面と同一位置となっており、しかもその頂
面よりエアーが噴出しているので、搬送台３はスムース
に嵌挿溝１１より分岐搬送路左方の嵌挿溝２１へ移動す
るものである。
台嵌挿溝内底面と同一位置となっており、しかもその頂
面よりエアーが噴出しているので、搬送台３はスムース
に嵌挿溝１１より分岐搬送路左方の嵌挿溝２１へ移動す
るものである。
【００１７】搬送台３が分岐位置で搬送路１に沿って直
進する場合は、対向する両側面ガイド６１，６２は上昇
位置を保持するものである。
進する場合は、対向する両側面ガイド６１，６２は上昇
位置を保持するものである。
【００１８】また搬送路１１はクリーンルーム等内に設
置され、該ルームの天井面より所要のクリーンエアーを
床面に向かって流下すなわちダウンフローとし、これに
よりクリーンルーム内で発生する微粉塵を被搬送物に付
着させることなくルーム外へ排出するようになす。
置され、該ルームの天井面より所要のクリーンエアーを
床面に向かって流下すなわちダウンフローとし、これに
よりクリーンルーム内で発生する微粉塵を被搬送物に付
着させることなくルーム外へ排出するようになす。
【００１９】また図７に示すものは第２実施例で、主た
る搬送路１と、分岐搬送路２の交叉位置において、この
両搬送路１，２に側ガイドすなわち分岐搬送路２に側ガ
イド６１，６２及び主たる搬送路１に側ガイド６６，６
７を夫々配設したものである。このように交叉する両搬
送路１，２に夫々昇降自在な側ガイドを設けることによ
り、搬送台３の搬送方向を四方いずれにも選択できる利
点がある。
る搬送路１と、分岐搬送路２の交叉位置において、この
両搬送路１，２に側ガイドすなわち分岐搬送路２に側ガ
イド６１，６２及び主たる搬送路１に側ガイド６６，６
７を夫々配設したものである。このように交叉する両搬
送路１，２に夫々昇降自在な側ガイドを設けることによ
り、搬送台３の搬送方向を四方いずれにも選択できる利
点がある。
【００２０】
【発明の効果】本発明の空気浮上式リニアモータ駆動搬
送路における分岐装置は、空気で浮上させながらリニア
モータにて搬送台を移送するようになした搬送路と、分
岐用搬送路とを互いに交わるように配設し、搬送路側壁
の切欠部に側面ガイドを昇降手段を介して配設し、かつ
この搬送路の分岐搬送路との交差位置内に分岐用のリニ
アモータを配設しているので、この搬送路内を移動する
搬送台の方向転換方向の側面ガイドを選択的に昇降手段
を介して降下する動作を行うとともに分岐用リニアモー
タの動作を切替ることによって狭いスペースで確実に、
かつ短時間で方向転換が行える利点を有する。
送路における分岐装置は、空気で浮上させながらリニア
モータにて搬送台を移送するようになした搬送路と、分
岐用搬送路とを互いに交わるように配設し、搬送路側壁
の切欠部に側面ガイドを昇降手段を介して配設し、かつ
この搬送路の分岐搬送路との交差位置内に分岐用のリニ
アモータを配設しているので、この搬送路内を移動する
搬送台の方向転換方向の側面ガイドを選択的に昇降手段
を介して降下する動作を行うとともに分岐用リニアモー
タの動作を切替ることによって狭いスペースで確実に、
かつ短時間で方向転換が行える利点を有する。
【図１】本発明の空気浮上式リニアモータ駆動搬送路に
おける分岐装置の平面図である。
おける分岐装置の平面図である。
【図２】搬送路における分岐装置部の縦断側面図であ
る。
る。
【図３】搬送路の縦断正面図である。
【図４】搬送台の縦断正面図である。
【図５】公知例の搬送路における分岐装置の平面図であ
る。
る。
【図６】搬送路における分岐装置部の縦断側面図であ
る。
る。
【図７】本発明第２実施例を示す平面図である。
１ 搬送路 １１ 搬送台嵌挿溝 １２ 側壁 １３ 側壁 １４ 噴出孔 １５ 噴出孔 ２ 分岐搬送路 ２１ 搬送台嵌挿溝 ２２ 側壁 ２３ 側壁 ２４ 噴出孔 ２５ 噴出孔 ３ 搬送台 ４ リニアモータの固定子 ５ 分岐用リニアモータ固定子 ６１ 側面ガイド ６２ 側面ガイド ６３ 噴出孔 ６４ 噴出孔 ６５ 昇降手段 ６６ 側面ガイド ６７ 側面ガイド
Claims (1)
- 【請求項１】 物品を搬送する行程に沿って配設され、
箱形の搬送台を搬送台嵌挿溝内に嵌挿し、かつ搬送路内
から噴出される空気圧で浮上させながらリニアモータに
て移送する搬送路と、この搬送路と交わるように配した
分岐用搬送路と、よりなり搬送路の分岐用搬送路との交
差位置での搬送路の両側壁切欠部に夫々側ガイドを昇降
手段を介して配設すると共に、この搬送路の分岐搬送路
との交差位置内に分岐用のリニアモータを配設したこと
を特徴とする空気浮上式リニアモータ駆動搬送路におけ
る分岐装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11790395A JPH08282842A (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 空気浮上式リニアモータ駆動搬送路における分岐装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11790395A JPH08282842A (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 空気浮上式リニアモータ駆動搬送路における分岐装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08282842A true JPH08282842A (ja) | 1996-10-29 |
Family
ID=14723057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11790395A Pending JPH08282842A (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 空気浮上式リニアモータ駆動搬送路における分岐装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08282842A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005075543A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
| JP2006182560A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-07-13 | Daihen Corp | 基板搬送装置 |
| JP2008039408A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Justem:Kk | 厚み多点測定方法及びその装置 |
| EP3904249A1 (de) * | 2020-04-27 | 2021-11-03 | B&R Industrial Automation GmbH | Führungsvorrichtung für shuttles eines planarmotors |
-
1995
- 1995-04-18 JP JP11790395A patent/JPH08282842A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005075543A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
| JP2006182560A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-07-13 | Daihen Corp | 基板搬送装置 |
| JP4754885B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2011-08-24 | 株式会社ダイヘン | 基板搬送装置 |
| JP2008039408A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Justem:Kk | 厚み多点測定方法及びその装置 |
| EP3904249A1 (de) * | 2020-04-27 | 2021-11-03 | B&R Industrial Automation GmbH | Führungsvorrichtung für shuttles eines planarmotors |
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