JPH04217514A - 搬送装置及び搬送方法 - Google Patents
搬送装置及び搬送方法Info
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- JPH04217514A JPH04217514A JP40216190A JP40216190A JPH04217514A JP H04217514 A JPH04217514 A JP H04217514A JP 40216190 A JP40216190 A JP 40216190A JP 40216190 A JP40216190 A JP 40216190A JP H04217514 A JPH04217514 A JP H04217514A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims abstract description 6
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 8
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気球の浮上力と磁石の
反発力とファンの送風力とを利用して被搬送物を搬送す
る搬送装置及び搬送方法に関するものである。半導体装
置の製造工程における搬送のような、塵埃が被搬送物で
ある製品の品質に重大な悪影響を及ぼす搬送工程におい
ては、被搬送物に塵埃が付着しないように搬送すること
が必要である。
反発力とファンの送風力とを利用して被搬送物を搬送す
る搬送装置及び搬送方法に関するものである。半導体装
置の製造工程における搬送のような、塵埃が被搬送物で
ある製品の品質に重大な悪影響を及ぼす搬送工程におい
ては、被搬送物に塵埃が付着しないように搬送すること
が必要である。
【０００２】以上のような状況から、被搬送物に塵埃を
付着させないで搬送することが可能な搬送装置及び搬送
方法が要望されている。
付着させないで搬送することが可能な搬送装置及び搬送
方法が要望されている。
【０００３】
【従来の技術】従来の搬送装置及び搬送方法を、被搬送
物がウエーハである半導体装置の製造工程の場合につい
て図２により説明する。図２は従来のウエーハの搬送装
置を示す図である。従来の半導体装置の製造工程におい
ては、図２（ａ） に示すように半導体ウエーハ１２を
ウエーハキャリア１３に収納して人手によりそのままの
状態で搬送するか、または最近は図２（ｂ） に示すよ
うにボックス１１内にウエーハ１２を収納したウエーハ
キャリア１３を収納して図に示すような車輪１５と車台
１４からなる無人搬送車に搭載し、床面１７上の軌道１
６を用いて搬送している。
物がウエーハである半導体装置の製造工程の場合につい
て図２により説明する。図２は従来のウエーハの搬送装
置を示す図である。従来の半導体装置の製造工程におい
ては、図２（ａ） に示すように半導体ウエーハ１２を
ウエーハキャリア１３に収納して人手によりそのままの
状態で搬送するか、または最近は図２（ｂ） に示すよ
うにボックス１１内にウエーハ１２を収納したウエーハ
キャリア１３を収納して図に示すような車輪１５と車台
１４からなる無人搬送車に搭載し、床面１７上の軌道１
６を用いて搬送している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の搬
送装置及び搬送方法においては、ウエーハキャリアのみ
を人手により搬送する場合にはウエーハに塵埃が付着し
易くなるという問題点があり、無人搬送車を用いる場合
には車輪と軌道との接触による振動が被搬送物に伝達さ
れ、また、車輪と軌道との接触により発生する塵埃がウ
エーハに付着すると同時にクリーンルームの雰囲気をも
汚染するという問題点があった。
送装置及び搬送方法においては、ウエーハキャリアのみ
を人手により搬送する場合にはウエーハに塵埃が付着し
易くなるという問題点があり、無人搬送車を用いる場合
には車輪と軌道との接触による振動が被搬送物に伝達さ
れ、また、車輪と軌道との接触により発生する塵埃がウ
エーハに付着すると同時にクリーンルームの雰囲気をも
汚染するという問題点があった。
【０００５】本発明は以上のような状況から、ウエーハ
に塵埃が付着するのと、振動がウエーハに伝達されるの
と、クリーンルームの雰囲気が汚染されるのを防止する
ことが可能となる搬送装置及び搬送方法の提供を目的と
したものである。
に塵埃が付着するのと、振動がウエーハに伝達されるの
と、クリーンルームの雰囲気が汚染されるのを防止する
ことが可能となる搬送装置及び搬送方法の提供を目的と
したものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の搬送装置は、フ
ァンとフィルタとを備え、被搬送物を収納するボックス
と、空気より比重の小さな気体が内部に充満されており
、このボックスを上方に浮上させる気球と、この気球の
上部に設けた磁石と、この磁石と対向する、天井のこの
ボックスの搬送経路に設けた電磁石とを具備するよう構
成する。
ァンとフィルタとを備え、被搬送物を収納するボックス
と、空気より比重の小さな気体が内部に充満されており
、このボックスを上方に浮上させる気球と、この気球の
上部に設けた磁石と、この磁石と対向する、天井のこの
ボックスの搬送経路に設けた電磁石とを具備するよう構
成する。
【０００７】本発明の搬送方法は、上記の搬送装置を用
いる搬送方法であって、このボックス内に被搬送物を収
納してこのファンを回転させてこのフィルタを通過した
空気をこのボックス内に送風し、この電磁石にこの磁石
が吸引された状態で、電磁石の極性を逆極性に切り換え
てこの磁石をこの電磁石から反発させることにより、こ
のボックスをこの電磁石に沿って搬送するよう構成する
。
いる搬送方法であって、このボックス内に被搬送物を収
納してこのファンを回転させてこのフィルタを通過した
空気をこのボックス内に送風し、この電磁石にこの磁石
が吸引された状態で、電磁石の極性を逆極性に切り換え
てこの磁石をこの電磁石から反発させることにより、こ
のボックスをこの電磁石に沿って搬送するよう構成する
。
【０００８】
【作用】即ち本発明においては、被搬送物を収納するボ
ックスにファンとフィルタとを設け、空気より比重の小
さな気体が内部に充満されている気球とこのボックスと
をロープにより結合し、この気球の上部に磁石を設け、
この磁石と対向する電磁石をこのボックスの搬送経路に
設けるので、この電磁石に磁石が吸引された状態で、こ
の電磁石の極性を逆極性にすると、磁石が電磁石により
反発され、電磁石と磁石との間に空隙が生じる。
ックスにファンとフィルタとを設け、空気より比重の小
さな気体が内部に充満されている気球とこのボックスと
をロープにより結合し、この気球の上部に磁石を設け、
この磁石と対向する電磁石をこのボックスの搬送経路に
設けるので、この電磁石に磁石が吸引された状態で、こ
の電磁石の極性を逆極性にすると、磁石が電磁石により
反発され、電磁石と磁石との間に空隙が生じる。
【０００９】ボックスの中にはファンにより空気が送り
込まれ後方から吹き出すので、このボックスをこのファ
ンの送風方向の反対方向に搬送し、この磁石が隣接する
異なる極性の電磁石に吸引されるように搬送することが
可能となり、この電磁石の極性の切り換えをボックスの
移動に従って行うと、この電磁石に沿ってボックスの搬
送を行うことが可能となる。
込まれ後方から吹き出すので、このボックスをこのファ
ンの送風方向の反対方向に搬送し、この磁石が隣接する
異なる極性の電磁石に吸引されるように搬送することが
可能となり、この電磁石の極性の切り換えをボックスの
移動に従って行うと、この電磁石に沿ってボックスの搬
送を行うことが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下図１により本発明による一実施例の搬送
装置及び搬送方法について詳細に説明する。図１は本発
明による一実施例のウエーハの搬送装置を示す側面図で
ある。図１に示す本発明による一実施例のウエーハの搬
送装置は８インチのウエーハの搬送装置の例であり、図
に示すように被搬送物６を収納するボックス１にはファ
ン１ａ及びフィルタ１ｂが備えられている。
装置及び搬送方法について詳細に説明する。図１は本発
明による一実施例のウエーハの搬送装置を示す側面図で
ある。図１に示す本発明による一実施例のウエーハの搬
送装置は８インチのウエーハの搬送装置の例であり、図
に示すように被搬送物６を収納するボックス１にはファ
ン１ａ及びフィルタ１ｂが備えられている。
【００１１】このボックス１とロープ２により一体とな
っている気球３の内部には空気より比重の小さな気体、
例えばヘリウムが充満されており、このヘリウムと空気
の比重の差によって上方に浮力が加えられている。この
気球３の上面には磁石４が設けられており、天井７には
ウエーハの搬送経路に沿って電磁石５が設けられている
。
っている気球３の内部には空気より比重の小さな気体、
例えばヘリウムが充満されており、このヘリウムと空気
の比重の差によって上方に浮力が加えられている。この
気球３の上面には磁石４が設けられており、天井７には
ウエーハの搬送経路に沿って電磁石５が設けられている
。
【００１２】先ずこの電磁石５の下に気球３を置くと、
磁石４が電磁石５の異なる極に吸引される。つぎにボッ
クス１に設けたファン１ａを回転させると、空気がフィ
ルタ１ｂを通過してボックス１内に供給されて後方から
吹き出す。ここで電磁石５に通電する電流の方向を逆に
し、電磁石５の磁極の極性を反対にすると、電磁石５の
磁極と気球３の磁石４との間に反発力が働き、気球３が
その浮力に抗して下方に押し下げられる。上記のように
ボックス１にはファン１ａによる送風によって横方向に
力が加えられているので、磁石４は電磁石５の隣接する
異なる磁極に吸引されるように電磁石５の列に沿って移
動する。
磁石４が電磁石５の異なる極に吸引される。つぎにボッ
クス１に設けたファン１ａを回転させると、空気がフィ
ルタ１ｂを通過してボックス１内に供給されて後方から
吹き出す。ここで電磁石５に通電する電流の方向を逆に
し、電磁石５の磁極の極性を反対にすると、電磁石５の
磁極と気球３の磁石４との間に反発力が働き、気球３が
その浮力に抗して下方に押し下げられる。上記のように
ボックス１にはファン１ａによる送風によって横方向に
力が加えられているので、磁石４は電磁石５の隣接する
異なる磁極に吸引されるように電磁石５の列に沿って移
動する。
【００１３】この時再び電磁石５に通電する電流の方向
を逆にし、電磁石５の極性を反対にすると、電磁石５の
磁極と気球３の磁石４との間に反発力が働き、気球３が
その浮力に抗して下方に押し下げられる。このように電
磁石５に通電する電流の方向を順次逆にし、電磁石５の
磁極の極性を順次反対にすると、磁石４と電磁石５の磁
極との間に一定の間隔をもった状態で気球３とボックス
１とが保持され、電磁石５の列に沿ってボックス１を移
動させることが可能となる。
を逆にし、電磁石５の極性を反対にすると、電磁石５の
磁極と気球３の磁石４との間に反発力が働き、気球３が
その浮力に抗して下方に押し下げられる。このように電
磁石５に通電する電流の方向を順次逆にし、電磁石５の
磁極の極性を順次反対にすると、磁石４と電磁石５の磁
極との間に一定の間隔をもった状態で気球３とボックス
１とが保持され、電磁石５の列に沿ってボックス１を移
動させることが可能となる。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、極めて簡単な構造の搬送装置を用いることによ
り、気球の浮力及び磁石と電磁石の磁極との間の反発力
によりボックスを保持し、ファンの風力と電磁石の極性
の切り換えとにより、被搬送物に振動を加えず、塵埃に
より被搬送物を汚染させないで被搬送物を搬送すること
が可能となる等の利点があり、著しい経済的及び、信頼
性向上の効果が期待できる搬送装置及び搬送方法の提供
が可能となる。
よれば、極めて簡単な構造の搬送装置を用いることによ
り、気球の浮力及び磁石と電磁石の磁極との間の反発力
によりボックスを保持し、ファンの風力と電磁石の極性
の切り換えとにより、被搬送物に振動を加えず、塵埃に
より被搬送物を汚染させないで被搬送物を搬送すること
が可能となる等の利点があり、著しい経済的及び、信頼
性向上の効果が期待できる搬送装置及び搬送方法の提供
が可能となる。
【図１】 本発明による一実施例のウエーハの搬送装
置を示す側面図、
置を示す側面図、
【図２】 従来のウエーハの搬送装置を示す図、
１はボックス、
１ａはファン、
１ｂはフィルタ、
２はロープ、
３は気球、
４は磁石、
５は電磁石、
６は被搬送物、
７は天井
Claims (2)
- 【請求項１】 ファン（１ａ）とフィルタ（１ｂ）と
を備え、被搬送物（６） を収納するボックス（１）
と、空気より比重の小さな気体が内部に充満されており
、該ボックス（１） を上方に浮上させる気球（３）
と、該気球（３） の上部に設けた磁石（４） と、該
磁石（４） と対向する、天井（７） の前記ボックス
（１） の搬送経路に設けた電磁石（５） と、を具備
することを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の搬送装置を用いる搬送
方法であって、前記ボックス（１） 内に被搬送物（６
） を収納して前記ファン（１ａ）を回転させて前記フ
ィルタ（１ｂ）を通過した空気を前記ボックス（１）
内に送風し、前記電磁石（５） に前記磁石（４） が
吸引された状態で、前記電磁石（５） の極性を逆極性
に切り換えて前記磁石（４） を前記電磁石（５） か
ら反発させることにより、前記ボックス（１）を前記電
磁石（５） に沿って搬送することを特徴とする搬送方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40216190A JPH04217514A (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 搬送装置及び搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40216190A JPH04217514A (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 搬送装置及び搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04217514A true JPH04217514A (ja) | 1992-08-07 |
Family
ID=18511985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40216190A Withdrawn JPH04217514A (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 搬送装置及び搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04217514A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5669652A (en) * | 1995-08-16 | 1997-09-23 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for gripping a flat substrate |
-
1990
- 1990-12-14 JP JP40216190A patent/JPH04217514A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5669652A (en) * | 1995-08-16 | 1997-09-23 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for gripping a flat substrate |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980312 |