JPH0590383A

JPH0590383A - 磁気浮上搬送装置の仕切弁

Info

Publication number: JPH0590383A
Application number: JP24890191A
Authority: JP
Inventors: Fumio Kondo; 文雄近藤; Yuji Shirao; 祐司白尾; Yoichi Kanemitsu; 陽一金光
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1991-09-27
Filing date: 1991-09-27
Publication date: 1993-04-09
Anticipated expiration: 2011-02-14
Also published as: JPH0815181B2

Abstract

(57)【要約】【目的】磁気浮上搬送装置の搬送路の接合箇所におい
ても磁極を等間隔に配置することが出来る様な仕切弁を
提供する。【構成】隔壁によって包囲されて外部雰囲気から遮断
された搬送路と、対象物を載置して搬送路内を浮上移動
する搬送台と、隔壁外部に配置されて搬送台に対して磁
力を作用する複数の電磁石とを含み、前記搬送台を隔壁
に対して非接触状態に維持しつつ浮上走行せしめる磁気
浮上搬送装置で用いられる仕切弁において、該仕切弁は
搬送路の接合箇所近傍に配置され、そのアームには電磁
石から構成されている磁極が取り付けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、隔壁によって包囲され
て外部雰囲気から遮断された搬送路と、対象物を載置し
て搬送路内を浮上移動する搬送台と、隔壁外部に配置さ
れて搬送台に対して磁力を作用する複数の電磁石とを含
み、前記搬送台を隔壁に対して非接触状態に維持しつつ
浮上走行せしめる磁気浮上搬送装置で用いられる仕切弁
に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気浮上搬送装置は、半導体製造設備の
様な精密工学の分野で好適に使用されている。例えば、
クリーンルームの様に粉塵の発生防止が絶対条件となっ
ている環境において、搬送台が軌道に対して接触するこ
となく浮上移動することが出来れば、搬送装置からの粉
塵の発生が防止され非常に好都合である。そのため、搬
送台を軌道上で浮上移動せしめる磁気浮上方式による搬
送装置が従来から種々提案されている。

【０００３】一方、半導体製造設備のクリーンルーム内
の搬送装置として用いる場合には、被搬送物としてはウ
エハである場合が多い。そして、搬送中にウエハに粉塵
等の不純物が付着すると歩留まりが悪化するので、それ
を防止するため、搬送台を隔壁内に収容して外部雰囲気
から遮断することも提案されている。

【０００４】ここで、搬送台を隔壁内に収容して外部雰
囲気から遮断したタイプの磁気浮上搬送装置において、
必要な搬送路の長さに対応して隔壁を接合する必要があ
る。そして、搬送路の一部分のみを大気圧に戻して、メ
インテナス等を行う為、搬送路の該接合箇所近傍に仕切
弁を設けることが望まれていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし従来の仕切弁に
おいては、搬送路接合箇所近傍の該仕切弁を設置した部
分においては電磁石から構成された磁極を設けることが
出来なかった。そのため、仕切弁設置部分において搬送
台に磁力が作用せず、搬送台が大きく振動してしまう。
そして、搬送台が振動して隔壁等に衝突してしまうと、
粉塵の発生に起因する粒子汚染、被搬送物の変位或いは
脱落、その他の種々の問題を生じてしまう。

【０００６】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたもので、磁気浮上搬送装置の搬送路の接合
箇所においても磁極を等間隔に配置することが出来る様
な仕切弁の提供を目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置の仕切弁は、隔壁によって包囲されて外部雰囲気から
遮断された搬送路と、対象物を載置して搬送路内を浮上
移動する搬送台と、隔壁外部に配置されて搬送台に対し
て磁力を作用する複数の電磁石とを含み、前記搬送台を
隔壁に対して非接触状態に維持しつつ浮上走行せしめる
磁気浮上搬送装置で用いられる仕切弁において、該仕切
弁は搬送路の接合箇所近傍に配置され、そのアームには
電磁石から構成されている磁極が取り付けられている。

【０００８】ここで本発明の仕切弁は、搬送路を構成す
る隔壁と、該隔壁内に収容されて外部雰囲気から遮断さ
れ且つ非磁性且つ良導体材料から構成されて対象物を載
置する搬送台と、複数のヨーク状磁極から構成された軌
道とを含み、レンツの法則に従う反撥力により該搬送台
は該軌道及び隔壁に対して非接触状態を維持しつつその
上方を浮上走行する磁気浮上搬送装置に適用することが
出来る。或いは、上部隔壁の上方に複数の電磁石（磁
極）を取り付け、励磁された電磁石の磁気的吸引力によ
り搬送台を吊り下げつつ非接触状態にて浮上移動させる
タイプの磁気浮上搬送装置に適用しても良い。

【０００９】本発明の実施に際して、弁が開放されてお
り弁体が搬送路中に存在しない状態においては、アーム
に取り付けられた磁極は、該磁極が搬送台に作用する磁
力と隔壁外部に設けられた複数のその他の磁極の各々が
搬送台に対して作用せしめる磁力とが略々等しくなる様
な位置に配置されているのが好ましい。

【００１０】

【作用】上記のように構成された本発明の磁気浮上搬送
装置の仕切弁によれば、弁閉鎖時には搬送路が完全に閉
鎖されて、該閉鎖箇所から下流側のみを真空引きするこ
とが可能である。一方、弁開放時であって弁体が搬送路
内部に存在しない場合には、アームに取り付けられた磁
極（電磁石）が搬送台に対して磁力を作用させるので、
従来の様に仕切弁を設置した箇所では磁力が作用しない
という事態が防止される。そのため、仕切弁設置箇所を
通過する際に搬送台が振動することが無くなり、隔壁と
の衝突、それに伴う粒子汚染の発生、その他の不都合が
防止されるのである。

【００１１】

【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。

【００１２】図１において、隔壁１０−１及び１０−２
はそれぞれ搬送路Ｒ−１、Ｒ−２を構成している。そし
て搬送路１０−１内には搬送台１２が収容されている。
ここで図示の実施例は、搬送路（Ｒ−１、Ｒ−２）を構
成する隔壁（１０−１、１０−２）と、該隔壁内に収容
されて外部雰囲気から遮断され且つ非磁性且つ良導体材
料から構成されて対象物を載置する搬送台（１２）と、
複数のヨーク状磁極（１４）から構成された軌道とを含
み、レンツの法則に従う反撥力により該搬送台（１２）
は該軌道及び隔壁に対して非接触状態を維持しつつその
上方を浮上走行するタイプの磁気浮上搬送装置に、本発
明の仕切弁を適用した場合を示している。

【００１３】隔壁１０−１、１０−２の接合箇所は全体
を符号Ｊで示されており、該接合部Ｊに全体を符号２０
で示す仕切弁が設けられている。この仕切弁２０は、弁
体２２と、アーム２４と、該アーム上端に取り付けられ
た電磁石から成る磁極２６とを含んでいる。そして、弁
体２２の座着面側（図１では左側）には、弁座に座着し
た際に気密状態を保持するためのシール部材２８、３０
が設けられている。なお、弁体２２は隔壁１０−１の内
周縁部１０−１ｓに座着し、該内周縁部１０−１ｓを弁
座とする。従って、該内周縁部は以下「弁座１０−１
ｓ」と表現する。図１で示す仕切弁２０の開放状態にお
いては、磁極２６は隔壁１０−１、１０−２外部に設け
られた複数の磁極１４…に対して、その上下方向位置は
略々等しく配置されている。より詳細には、搬送台１２
が上方を通過するに際して磁極２６が励磁される時に該
搬送台１２に作用する磁極２６からの磁力と、各磁極１
４上を搬送台１２が通過する時にそれぞれの磁極１４か
ら作用する磁力とが等しくなる様に、仕切弁２０開放状
態における磁極２６の配置が設定されている。ここで、
磁極２６は真空中でもガスを発生しない真空用電磁石で
構成されている。搬送路Ｒ−１、Ｒ−２内の汚染を防止
するためである。

【００１４】アーム２４の下部はベローズ３２で包囲さ
れており、エアシリンダ３４に接続されている。また、
仕切弁２０の側壁部３８には大気真空コネクタ４０が形
成されており、該コネクタ４０を介して磁極２６を構成
する電磁石の配線４２が引き出されている。ここで、該
配線４２は、側壁部３８の内側で丸められており、図２
で示す様に仕切弁２０を閉鎖するに際して配線４２の長
さ不足という事態が生じない様になっている。

【００１５】図１の仕切弁開放時において、搬送台１２
が図示の位置から右方向（矢印Ｒ）に移動して仕切弁２
０を通過する際に、アーム２４上端の磁極２６に電流を
供給して励磁すると、該磁極２６からの磁力が搬送台１
２に作用する。換言すると、仕切弁２０を通過する際に
も搬送台１２には磁力が作用するので、従来の様に大き
く振動してしまうことは無くなるのである。

【００１６】図１に示す開放状態から図２で示す閉鎖状
態に移行するに際しては、エアシリンダ３４によりアー
ム２４が上方（矢印Ｕ方向）に伸長される。そして、図
示しない揺動機構により、アーム２４は弁体２２ごと矢
印ＣＣＷに揺動して、弁体２２を弁座１０−１ｓに座着
せしめるのである。

【００１７】図２の仕切弁閉鎖状態から図１の仕切弁開
放状態に移行する際には、上述したのと逆の操作を行え
ば良い。すなわち、図２の仕切弁閉鎖状態において弁体
２２と共にアーム２４を矢印ＣＷ方向に回動し、そして
エアシリンダ３４によりアーム２４を下方（矢印Ｄ方
向）に縮小すれば、図１の仕切弁開放状態に移行するの
である。

【００１８】なお、図示の実施例はあくまでも例示であ
り、本明細書及び図面に示された範囲内において種々の
変更、変形が可能であることを付記する。

【００１９】

【発明の効果】以上説明した本発明の仕切弁の作用効果
を以下に列挙する。

【００２０】（１）アームに取り付けられた磁極（電
磁石）が搬送台に対して磁力を作用させるので、仕切弁
を設置箇所を搬送台が通過する際に、該搬送台に対して
アームの磁極から磁力が作用する。

【００２１】（２）磁気浮上搬送装置の搬送路の接合
箇所においても磁極を等間隔に配置することが出来る。

【００２２】（３）仕切弁設置箇所を通過する際に搬
送台が振動することが防止される。（４）隔壁との衝突、それに伴う粒子汚染の発生、そ
の他の不都合が防止される。

【００２３】（５）弁閉鎖時には搬送路が完全に閉鎖
されて、該閉鎖箇所から下流側のみを真空引きすること
が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の仕切弁が開放している状態を示す側面
図。

【図２】図１の仕切弁が閉鎖している状態を示す側面
図。。

【符号の説明】

１０−１、１０−２・・・隔壁１０−１ｓ・・・弁座１２・・・搬送台１４・・・ヨーク状磁極（電磁石）２０・・・仕切弁２２・・・弁体２４・・・アーム２６・・・磁極（電磁石）２８、３０・・・シール部材３４・・・エアシリンダＪ・・・接合箇所ＣＣＷ、ＣＷ・・・回動方向Ｒ−１、Ｒ−２・・・搬送路Ｌ・・・左方向Ｒ・・・右方向Ｄ・・・下方向Ｕ・・・上方向

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】隔壁によって包囲されて外部雰囲気から
遮断された搬送路と、対象物を載置して搬送路内を浮上
移動する搬送台と、隔壁外部に配置されて搬送台に対し
て磁力を作用する複数の電磁石とを含み、前記搬送台を
隔壁に対して非接触状態に維持しつつ浮上走行せしめる
磁気浮上搬送装置で用いられる仕切弁において、該仕切
弁は搬送路の接合箇所近傍に配置され、そのアームには
電磁石から構成されている磁極が取り付けられているこ
とを特徴とする磁気浮上搬送装置の仕切弁。