JP2659321B2 - ウエハ移送装置 - Google Patents
ウエハ移送装置Info
- Publication number
- JP2659321B2 JP2659321B2 JP5092975A JP9297593A JP2659321B2 JP 2659321 B2 JP2659321 B2 JP 2659321B2 JP 5092975 A JP5092975 A JP 5092975A JP 9297593 A JP9297593 A JP 9297593A JP 2659321 B2 JP2659321 B2 JP 2659321B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- ultrapure water
- wafer transfer
- float
- transfer device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエハの移送装置に関す
るものである。
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年デバイスの高集積化に伴いウエハに
要求される品質もますます厳しくなってきている。これ
に対応するためにウエハ製造工程においてもウエハハン
ドリングに種々の対策が講じられている。従来、ウエハ
を移送する場合、その直径が４インチ、５インチ、６イ
ンチ又は８インチ等比較的小径のウエハについては、２
５枚単位でカセットに収納して次工程に移送する方法が
採られている。
要求される品質もますます厳しくなってきている。これ
に対応するためにウエハ製造工程においてもウエハハン
ドリングに種々の対策が講じられている。従来、ウエハ
を移送する場合、その直径が４インチ、５インチ、６イ
ンチ又は８インチ等比較的小径のウエハについては、２
５枚単位でカセットに収納して次工程に移送する方法が
採られている。
【０００３】ウエハを乾燥させて次工程へ移送すると、
乾燥の部分的不均一及び空気中での酸化によるウエハ表
面の変質などが発生するのでこれを防止するために超純
水に浸漬させたまま次工程へ移送する等の技術が開発さ
れている。一方ウエハの口径が大きくなると例えば８イ
ンチ径のウエハの次は１２インチの直径のウエハが要求
されており、１枚当りの重量も重くなり搬送中の破損を
防止する意味から枚葉式搬送が好ましい。
乾燥の部分的不均一及び空気中での酸化によるウエハ表
面の変質などが発生するのでこれを防止するために超純
水に浸漬させたまま次工程へ移送する等の技術が開発さ
れている。一方ウエハの口径が大きくなると例えば８イ
ンチ径のウエハの次は１２インチの直径のウエハが要求
されており、１枚当りの重量も重くなり搬送中の破損を
防止する意味から枚葉式搬送が好ましい。
【０００４】ウエハを超純水中に浸漬して搬送する場
合、様々な搬送用器具が開発されているが、いずれの場
合でも次のような問題がある。 （１）超純水の管理が難しく、バクテリアが発生し易
く、ウエハの品質に悪影響を及ぼす。 （２）搬送中に超純水が飛散したり、また、超純水と共
に搬送するため、重量が重くなり、自動化にも限度があ
る。
合、様々な搬送用器具が開発されているが、いずれの場
合でも次のような問題がある。 （１）超純水の管理が難しく、バクテリアが発生し易
く、ウエハの品質に悪影響を及ぼす。 （２）搬送中に超純水が飛散したり、また、超純水と共
に搬送するため、重量が重くなり、自動化にも限度があ
る。
【０００５】一方、枚葉式搬送においては、ベルトコン
ベヤの上にウエハを乗せて搬送するコンベヤ方式が一般
的であるが、コンベヤ等には必ず可動部分があり、そこ
でウエハ面に付着したパーティクルが純水中で発塵する
大きな原因となるなど、超純水中の搬送は種々の問題が
あり、成功していない。
ベヤの上にウエハを乗せて搬送するコンベヤ方式が一般
的であるが、コンベヤ等には必ず可動部分があり、そこ
でウエハ面に付着したパーティクルが純水中で発塵する
大きな原因となるなど、超純水中の搬送は種々の問題が
あり、成功していない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】今後デバイスの集積度
が増すことによるウエハ要求品質の高度化及びウエハ口
径の巨大化に対応するためには、 （１）枚葉式搬送 （２）超純水中への浸漬搬送 （３）ウエハの番地管理 （４）デバイスの製造工程でのそれぞれの設備能力に応
じた適切なウエハの供給が必要である。
が増すことによるウエハ要求品質の高度化及びウエハ口
径の巨大化に対応するためには、 （１）枚葉式搬送 （２）超純水中への浸漬搬送 （３）ウエハの番地管理 （４）デバイスの製造工程でのそれぞれの設備能力に応
じた適切なウエハの供給が必要である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は前記問題点を一
挙に解決するために開発されたものである。すなわち、
本発明は、超純水を収納した循環流路と、該超純水に一
定方向の流動を生ぜしめる駆動源と、一枚ずつ載置した
状態でウエハが該超純水中に浸漬するように浮力を調整
してウエハを位置決めするウエハ移送用フロートと、循
環流路内に設けたウエハ移送装置のストッパとを具備し
たことを特徴とするウエハ移送装置である。この場合
に、ウエハの認識のために設置された位置検出用センサ
又はフロートに内蔵した位置伝達用信号発信器等を具備
することとすれば好適である。
挙に解決するために開発されたものである。すなわち、
本発明は、超純水を収納した循環流路と、該超純水に一
定方向の流動を生ぜしめる駆動源と、一枚ずつ載置した
状態でウエハが該超純水中に浸漬するように浮力を調整
してウエハを位置決めするウエハ移送用フロートと、循
環流路内に設けたウエハ移送装置のストッパとを具備し
たことを特徴とするウエハ移送装置である。この場合
に、ウエハの認識のために設置された位置検出用センサ
又はフロートに内蔵した位置伝達用信号発信器等を具備
することとすれば好適である。
【０００８】
【作用】前記フロートを超純水循環流路中に入れると、
ウエハを乗せた状態では、フロートは浮いたまま、ウエ
ハは超純水中に浸漬された状態となる。このようなフロ
ート全体は、超純水の流動に従って容易に移動させるこ
とができ、また、フロートストッパを用いて、フロート
を定位置に停止させ、所定工程でのウエハ受け渡しをす
ることができる。
ウエハを乗せた状態では、フロートは浮いたまま、ウエ
ハは超純水中に浸漬された状態となる。このようなフロ
ート全体は、超純水の流動に従って容易に移動させるこ
とができ、また、フロートストッパを用いて、フロート
を定位置に停止させ、所定工程でのウエハ受け渡しをす
ることができる。
【０００９】
【実施例】図１〜３に実施例を示した。流路１内に超純
水２を収納し、これを矢印５方向に流動させる。超純水
２中に浸漬したフロート４にウエハ３を乗せる。フロー
ト４はウエハ３を超純水２中に保持し、かつフロート４
全体が超純水２中に浮遊している。ウエハハンドリング
装置１０の位置でストッパ６を矢印７のようにシフト
し、フロート４を停止させ、ウエハのハンドリング装置
１０を作動させ、ウエハを取り出して処理を行い、処理
後再びフロート４上にのせ、ストッパ６を外側へシフト
すると、ウエハ３は超純水２と共に矢印５方向に移送さ
れる。
水２を収納し、これを矢印５方向に流動させる。超純水
２中に浸漬したフロート４にウエハ３を乗せる。フロー
ト４はウエハ３を超純水２中に保持し、かつフロート４
全体が超純水２中に浮遊している。ウエハハンドリング
装置１０の位置でストッパ６を矢印７のようにシフト
し、フロート４を停止させ、ウエハのハンドリング装置
１０を作動させ、ウエハを取り出して処理を行い、処理
後再びフロート４上にのせ、ストッパ６を外側へシフト
すると、ウエハ３は超純水２と共に矢印５方向に移送さ
れる。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、ウエハを空中にさらす
ことなく移送できる。また、超純水の移送においても、
一定の流速を維持するために超純水でバクテリアを発生
させることなく、しかも枚葉で移送することができる。
ことなく移送できる。また、超純水の移送においても、
一定の流速を維持するために超純水でバクテリアを発生
させることなく、しかも枚葉で移送することができる。
【図１】実施例のウエハ移送装置の横断面図である。
【図２】実施例のウエハ移送装置の説明図である。
【図３】実施例のウエハ移送装置の説明図である。
１ 流路 ２ 超純水 ３ ウエハ ４ フロート ５ 矢印（流動方向） ６ ストッパ ７ 矢印 １０ ハンドリング装置
Claims (2)
- 【請求項１】 超純水を収納した循環流路と、該超純水
に一定方向の流動を生ぜしめる駆動源と、一枚ずつ載置
した状態でウエハが該超純水中に浸漬するように浮力を
調整してウエハを位置決めするウエハ移送用フロート
と、循環流路内に設けたウエハ移送装置のストッパとを
具備したことを特徴とするウエハ移送装置。 - 【請求項２】 ウエハ認識のために設置された位置検出
用センサ又はフロートに内臓した位置伝達用信号発生器
を具備したことを特徴とする請求項１記載のウエハ移送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5092975A JP2659321B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | ウエハ移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5092975A JP2659321B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | ウエハ移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06298361A JPH06298361A (ja) | 1994-10-25 |
| JP2659321B2 true JP2659321B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=14069408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5092975A Expired - Lifetime JP2659321B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | ウエハ移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2659321B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7416370B2 (en) * | 2005-06-15 | 2008-08-26 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for transporting a substrate using non-Newtonian fluid |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04357852A (ja) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Fujitsu Ltd | 搬送方法 |
| JPH0574916A (ja) * | 1991-09-18 | 1993-03-26 | Fujitsu Ltd | 流体を用いる搬送装置 |
| JPH05109874A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-04-30 | Fujitsu Ltd | 液中搬送装置及び回収装置 |
-
1993
- 1993-04-20 JP JP5092975A patent/JP2659321B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06298361A (ja) | 1994-10-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970513 |