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  1. ベイ間搬送ラインによりＦＯＵＰ（カセット）を搬送するステップと、該搬送されたＦＯＵＰをベイストッカへ載置するステップとを備え、
    ベイ内の複数の処理装置を用いて処理速度の異なる基板の処理を行うための基板の搬送方法であって、
    ベイ内の搬送ラインによりＦＯＵＰ内の任意の基板を枚葉搬送するステップと、
    前記ベイ内の搬送ラインの基板搬送面と相対する基板搬送面を有する他の搬送ラインにより前記ＦＯＵＰ内の任意の基板を枚葉搬送するステップと、
    前記ベイ内の搬送ライン、他の搬送ラインの基板搬送面に沿って配置された複数の処理装置と、前記ベイ内の搬送ライン、他の搬送ラインとの間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
    前記ベイ内の基板の枚葉搬送を、前記基板の処理情報により前記搬送ラインと前記他の搬送ラインとを処理速度の速い基板と処理速度の遅い基板とに対応して使い分けて実施するステップと
    を備える基板の搬送方法。
  2. ベイ間搬送ラインによりＦＯＵＰ（カセット）を搬送するステップと、該搬送されたＦＯＵＰをベイストッカへ載置するステップとを備え、
    ベイ内の複数の処理装置を用いて処理速度の異なる基板の処理を行うための基板の搬送方法であって、
    略水平面の基板搬送面を有するベイ内の搬送ラインによりＦＯＵＰ内の任意の基板を枚葉搬送するステップと、
    前記搬送ラインの基板搬送面と上下方向に相対する基板搬送面を有する他の搬送ラインにより前記ＦＯＵＰ内の任意の基板を枚葉搬送するステップと、
    前記ベイ内の搬送ライン、他の搬送ラインの基板搬送面に沿って配置された複数の処理装置と、前記ベイ内の搬送ライン、他の搬送ラインとの間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
    前記ベイ内の基板の枚葉搬送を、前記基板の処理情報により前記搬送ラインと前記他の搬送ラインとを処理速度の速い基板と処理速度の遅い基板とに対応して使い分けて実施するステップと
    を備える基板の搬送方法。
  3. 複数の処理装置と、複数のＦＯＵＰ（カセット）が載置し得るベイストッカと、前記各処理装置で処理される基板を枚葉で搬送する搬送ラインと前記基板を枚葉で並搬送する他の搬送ラインとで構成された枚葉搬送ラインとを有し、及び前記複数の処理装置を並設し、該並設された複数の処理装置に沿って前記枚葉搬送ラインが配設されてなるベイで前記基板を枚葉搬送する方法であって、
    任意のＦＯＵＰ内の任意の基板を前記搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
    任意のＦＯＵＰ内の任意の基板を前記他の搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
    前記搬送ラインと前記処理装置との間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
    前記他の搬送ラインと前記処理装置との間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
    前記基板の枚葉搬送を、前記基板の処理情報により前記搬送ラインと前記他の搬送ラインとを処理速度の速い基板と処理速度の遅い基板とに対応して使い分けて前記ベイ内で実施するステップと
    を備える基板の搬送方法。
  4. 複数の処理装置と、複数のＦＯＵＰ（カセット）が載置し得るベイストッカと、基板を枚葉で搬送する枚葉搬送ラインとを有し、及び前記複数の処理装置を並設し、該並設された複数の処理装置に沿って前記枚葉搬送ラインが配設されてなるベイで、該ベイ外から前記ベイ内に枚葉搬送されてきた任意のＦＯＵＰ内の任意の基板を枚葉搬送する方法であって、
    前記枚葉搬送ラインを構成する搬送ラインにより、前記任意のＦＯＵＰ内の任意の基板を枚葉搬送するステップと、
    前記枚葉搬送ラインを前記搬送ラインと共に構成し該搬送ラインと並搬送可能に設けた他の搬送ラインにより、前記任意のＦＯＵＰ内の任意の基板を枚葉搬送するステップと、
    前記搬送ラインと前記処理装置との間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
    前記他の搬送ラインと前記処理装置との間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
    前記基板の枚葉搬送を、前記基板の処理情報により前記搬送ラインと前記他の搬送ラインとを処理速度の速い基板と処理速度の遅い基板とに対応して使い分けて前記ベイ内で実施するステップと
    を備える基板の搬送方法。
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