JP2009004661A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点では、基板載置台上の基板に所定の処理を施す処理チャンバと、前記基板載置台に基板を搬送する基板搬送装置と、前記基板搬送装置を収容し、前記処理チャンバが連結される搬送室とを具備し、前記基板搬送装置は、基板を支持した状態で前記処理チャンバ内に進入して基板を前記基板載置台に搬送するピックと、ピックを駆動する主駆動機構とを有し、前記ピックは、基部と、前記基部から延び基板を支持する複数の支持部材と、これら支持部材を伸縮動させる副駆動機構とを有し、前記支持部材を伸ばした状態で基板が搬送されることを特徴とする基板処理装置を提供する。
本発明の第２の観点では、基板を搬送する基板搬送装置であって、基板を支持した状態で基板を搬送するピックと、ピックを駆動する主駆動機構とを有し、前記ピックは、基部と、前記基部から延び基板を支持する複数の支持部材と、これら支持部材を伸縮動させる副駆動機構とを有し、前記支持部材を伸ばした状態で基板が搬送されることを特徴とする基板搬送装置を提供する。
Claims (2)
- 基板載置台上の基板に所定の処理を施す処理チャンバと、
前記基板載置台に基板を搬送する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置を収容し、前記処理チャンバが連結される搬送室と
を具備し、
前記基板搬送装置は、基板を支持した状態で前記処理チャンバ内に進入して基板を前記基板載置台に搬送するピックと、ピックを駆動する主駆動機構とを有し、
前記ピックは、基部と、前記基部から延び基板を支持する複数の支持部材と、これら支持部材を伸縮動させる副駆動機構とを有し、前記支持部材を伸ばした状態で基板が搬送されることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を搬送する基板搬送装置であって、
基板を支持した状態で基板を搬送するピックと、
ピックを駆動する主駆動機構とを有し、
前記ピックは、基部と、前記基部から延び基板を支持する複数の支持部材と、これら支持部材を伸縮動させる副駆動機構とを有し、前記支持部材を伸ばした状態で基板が搬送されることを特徴とする基板搬送装置。
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