JP2004165579A

JP2004165579A - 真空処理装置

Info

Publication number: JP2004165579A
Application number: JP2002355489A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Yamashita; 義弘山下; Kisaburo Yoshida; 喜三郎吉田; Shizuo Furukawa; 静夫古川; Isao Noguchi; 功男野口
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2002-09-18
Filing date: 2002-12-06
Publication date: 2004-06-10

Abstract

【課題】試料搬送装置の占有する容積が小さい真空処理装置を提供する。
【解決手段】大気側３の回転駆動源５から真空側のバッファ室２へ回転動力を伝達し、バッファ室２でこの回転動力を非接触かつ９０°方向変換する方向変換非接触動力伝達手段８を介して、複数段のリニアガイド６、７に伝達し、リニアガイド６、７を伸縮させ、伸ばした状態でリニアガイド７上のハンド４０が真空処理室１に入って試料Ｗを受け渡す。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ、水晶、ストレージ等の基板の処理、検査等の製造に用いられる真空処理室に試料を搬入搬出するのに好適な真空処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体やフラットパネルディスプレイ等の製造工程では、シリコンウエハ等の試料にエッチング、ＣＶＤ、アッシング、ＲＴＰ、ドライクリーニング、計測、分析、観察等種々のプロセスが施されていく。これらのプロセスは、クリーンな高度の真空中で行う必要があり、この真空環境を得るために、真空処理室への試料の搬入、搬出には、大掛かりな装置が使用される。
【０００３】
従来のこの種の装置として、試料を大気圧下の外部との間で受け渡しするロードロック室と、このロードロック室を真空に引いた後に試料にプロセスを施す真空処理室との間で受け渡しするトランスファー室とを備えた真空処理装置が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−３３０１９９号公報（段落番号００１４〜００２１、図２）
【０００５】
【特許文献２】
特開平９−２７０４５０号公報（段落番号０００２〜０００６、図１、図８）
【０００６】
図１６にこの種の真空処理装置の例を示す。図１６における真空処理装置は、ロードロック室９０１、トランスファー室９０２および真空処理室９０３からなり、ロードロック室９０１とトランスファー室９０２の間に真空処理室ゲートバルブ９０４が、トランスファー室９０２とロードロック室９０１との間にトランスファー室ゲートバルブ９０５が、更に、ロードロック室９０１と外部の大気搬送室９０７との間にロードロック室ゲートバルブ９０８が設けられている。９０９は、複数枚の試料を積層した試料カセットである。
【０００７】
上記大気搬送室９０７には大気ロボット９１０が、また、トランスファー室９０２には真空搬送装置９０６がそれぞれ設置されている。
【０００８】
真空処理室９０３と試料カセット９０９との試料の受け渡しの手順は、以下の（１）、（２）のようになる。
【０００９】
（１）試料カセット／ロードロック室間試料受け渡し
トランスファー室ゲートバルブ９０５が閉じた状態でロードロック室９０１内の気圧を大気圧にしてロードロック室ゲートバルブ９０８を開き、大気ロボット９１０により試料カセット９０９とロードロック室９０１との間で試料を受け渡し、ロードロック室ゲートバルブ９０８を閉じる。
【００１０】
すなわち、次の順序で試料カセットとロードロック室の試料受け渡しを行う。
【００１１】
（ａ）最初に、ロードロック室９０１に向いた大気ロボット９１０がアームを伸ばしてロードロック室９０１内のバッファスタンド９０１ａの下側試料載置棚にある加工済み試料をアーム先端のハンドに載せて取り出す。
【００１２】
（ｂ）アームを曲げ縮め、１８０°旋回して試料カセット９０９に向く。
【００１３】
（ｃ）アームを伸ばしてハンドを試料カセット９０９のひとつの空き棚上に挿入してやや下げ、加工済み試料を上記空き棚に収める。
【００１４】
（ｄ）アームを縮めてから上昇し、再びアームを伸ばして試料カセット９０９の未加工試料のやや下方にハンドを挿入して、やや上げ、未加工試料をハンドに載せて取り出す。
【００１５】
（ｅ）アームを曲げ縮め、１８０°旋回してロードロック室９０１に向く。
【００１６】
（ｆ）アームを伸ばしてハンドをロードロック室９０１内のバッファスタンド９０１ａの上側試料載置棚の上方まで入れ、やや下げてハンド上の未加工試料を上側試料載置棚に置く（Ｗ２）。
【００１７】
（ｇ）アームを縮めて大気搬送室９０７内に戻し、ロードロック室ゲートバルブ９０８を閉じる。
【００１８】
（２）ロードロック室／真空処理室間試料受け渡し
次いで、次の順序で、ロードロック室と真空処理室の試料受け渡しを行う。
【００１９】
（ｈ）ロードロック室９０１を真空に引く。一方、ＣＶＤ等のプロセス処理を終えた真空処理室９０３は真空に引かれた状態である。こうして、ロードロック室９０１、トランスファー室９０２、真空処理室９０３が真空状態になる。
【００２０】
（ｊ）真空処理室ゲートバルブ９０４とトランスファー室ゲートバルブ９０５を開く。
【００２１】
（ｋ）真空搬送装置９０６によりロードロック室９０１と真空処理室９０３との間で試料の受け渡しを行う。すなわち、先ず、プロセス処理を施された真空処理室９０３の試料Ｗ３をロードロック室９０１に戻し、ロードロック室９０１の未加工試料Ｗ２を真空処理室９０３に搬入する。受け渡しの際、真空搬送装置９０６は、そのアームを屈伸してチャックを半径方向に移動し、ステムを旋回および上下動する。ステムの上下動は、ロードロック室９０１のバッファスタンド９０１ａの上下２段の試料載置棚のいずれかに対応させてチャックを移動するためである。なお、この受け渡しの際、真空処理室９０３のサセプタの昇降ピンは上下に移動して試料を真空搬送装置９０６のチャックとの受け渡しを行う。
【００２２】
（ｍ）その後、真空処理室ゲートバルブ９０４を閉じて真空処理室９０３内の未加工試料に対してプロセス処理を開始する。トランスファー室ゲートバルブ９０５は閉じる。
【００２３】
ところで、近年、生産性向上を狙って、シリコンウエハ等の試料の径は大きくなってきている。試料の径が大きければ、大気ロボットの搬送ストロークは必然的に大きくなければならず、試料の径＋ゲートバルブ奥行きを超える搬送ストロークが必要となる。例えば、直径３０ｃｍの試料のロードロック室への搬送には、６０ｃｍ近い搬送ストロークが好ましいものになる。
【００２４】
従来のいわゆるフログレッグ型（図１６の真空搬送装置９０６）やスリーリンク型（図１６の大気ロボット９１０）のアーム構造を採用して搬送ストロークを大きくすると、占有面積が大きくなり、占有面積増加を避けてリンクを増やす等すると、装置の剛性維持、多数のリンクの複雑な運動制御、コスト等、多くの困難が発生する。
【００２５】
真空搬送装置、トランスファー室の大型化、複雑化による信頼性低下、コスト上昇は、好ましくない。更に、真空搬送装置９０６が収納されるトランスファー室９０２は真空引きが必要なので、その容積は極力小さい方が、サイクルタイム短縮、経費節減のために好ましく、真空引きの面からも好ましいことである。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、真空搬送装置の占有面積、占有容積が小さい真空処理装置を提供するものである。
【００２７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明の真空搬送装置は、真空処理装置のバッファ室内に設けられ、真空処理室の試料処理部との間で試料を受け渡す真空搬送装置であって、下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成された複数段のリニアガイドを備え、２段目より上段の直線レールの前進側および後退側には、それぞれプーリが設けられ、これらのプーリに巻き掛けられ、かつ、該プーリが設けられた直線レール上を摺動する上段のスライダに固定された駆動テープが、上記上段のスライダを駆動するようになっていることを特徴とする。
【００２８】
この発明の真空処理装置は、真空処理室にゲートバルブを介して配置されたバッファ室と、このバッファ室内に設けられ、真空処理室の試料処理部との間で試料を受け渡す真空搬送装置と、大気側に配備された上記真空搬送装置駆動用の回転駆動源と、この回転駆動源から上記真空搬送装置に回転動力を導入する大気・真空動力伝達手段と、真空搬送装置に導入された上記回転動力を非接触で方向変換して搬送方向の運動に変換する方向変換非接触動力伝達手段とを具備することを特徴とする。
【００２９】
上記真空処理装置において、真空搬送装置の上記搬送方向の運動が、複数段のリニアガイドの運動であって、上記複数段のリニアガイドは、下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成され、最上段のリニアガイドのスライダには試料載置用のハンドが固定され、上記直線レールの各々には駆動プーリが設けられ、この駆動プーリには、該直線レール上を摺動するスライダに固定された駆動テープが巻き掛けられているようにし、更に、上記駆動プーリが一斉に回転することにより、駆動テープとこれに固定されたスライダが同じ向きに同期して移動するようになっているようにする。
【００３０】
また、この発明の真空処理装置は、真空処理室にゲートバルブを介して配置されたバッファ室と、このバッファ室内に設けられ、真空処理室の試料処理部との間で試料を受け渡す真空搬送装置と、大気側に配備された上記真空搬送装置駆動用の回転駆動源と、この回転駆動源から上記真空搬送装置に回転動力を導入する大気・真空動力伝達手段とを具備し、真空搬送装置の上記搬送方向の運動が、複数段のリニアガイドの運動であって、上記複数段のリニアガイドは、下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成され、最上段のリニアガイドのスライダには試料載置用のハンドが固定され、上記直線レールの各々には駆動プーリが設けられ、この駆動プーリには、該直線レール上を摺動するスライダに固定された駆動テープが巻き掛けられていることを特徴とする。
【００３１】
上記の真空処理装置において、更に、上記駆動テープが、金属テープ、撚線ワイヤまたはタイミングベルトであるようにする。
【００３２】
また、この発明の真空処理装置は、真空処理室にゲートバルブを介して配置されたバッファ室と、このバッファ室内に設けられ、真空処理室の試料処理部との間で試料を受け渡す真空搬送装置と、大気側に配備された上記真空搬送装置駆動用の駆動源と、この駆動源から上記真空搬送装置に動力を導入する大気・真空動力伝達手段とを具備し、真空搬送装置の上記搬送方向の運動が、複数段のリニアガイドの運動であって、上記複数段のリニアガイドは、下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成され、最上段のリニアガイドのスライダには試料載置用のハンドが固定され、基部リニアガイドのスライダは大気・真空動力伝達手段が導入する動力により直接駆動され、２段目より上段の直線レールの前進側および後退側には、それぞれプーリが設けられ、これらのプーリには、該直線レール上を摺動するスライダと該直線レールの下段の直線レールまたは下段の直線レールのベースとに固定された駆動テープが巻き掛けられていることを特徴とする。
【００３３】
また、上記駆動プーリが一斉に回転することにより、駆動テープとこれに固定されたスライダが同じ向きに同期して移動するようにする。
【００３４】
また、上記真空搬送装置をふたつ平行に装備し、それぞれに設けたハンドが上下に配設されているようにする。
【００３５】
この発明において、「大気・真空動力伝達手段」とは、大気側と真空側との間で、ガスのリークなしに回転動力を伝達する手段を意味する。「方向変換非接触動力伝達手段」とは、原動側と従動側とが非接触で磁気結合により、動力の運動が、原動側と従動側とでその軸線方向が異なる（例えば、互いに直交する回転運動と回転運動、回転運動と直線運動、直線運動と直線運動等）動力伝達手段で、真空雰囲気中で発塵の少ないものを意味する。また、「テープ」とは、プーリとの間の摩擦力で滑りなく動力を伝達でき、真空雰囲気中で発ガスの少ないテープである。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明に係る実施形態を図１〜図８を参照して説明する。
【００３７】
図１は、この発明の一実施の形態を示し、ハンドが真空処理室へ途中まで伸びた状態を示す正面図、図２は、図１においてハンドが縮んでバッファ室内にある状態を示す正面図、図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図、図４の（ａ）および（ｂ）は、図２のリニアガイド駆動動力伝達系の細部を示す説明図、図５は、上段リニアガイド、ハンドを補って示す図３のＶ−Ｖ矢視図、図６は、図５のＶＩ矢視図、図７は、図１のＶＩＩ−ＶＩＩ矢視図である。
【００３８】
図１および図２において、１は真空処理室、２はバッファ室である。真空処理室１とバッファ室２とは、ゲートバルブ１ａを介して連結して配置されている。試料Ｗを受け渡すときは、ゲートバルブ１ａを開き（図１参照）、試料にプロセス処理を施すとき、バッファ室２が大気側３と試料を受け渡すときは、ゲートバルブ１ａを閉じる（図２参照）。
【００３９】
バッファ室２のゲートバルブ１ａと反対側には、大気側３との間を仕切るバッファ室ゲートバルブ２ａが設けられている。このバッファ室ゲートバルブ２ａは、真空処理室１に試料を受け渡すとき閉じられ、真空処理室１とバッファ室２は真空引きされる（図１参照）。バッファ室２が大気側３と試料を受け渡すときは、バッファ室ゲートバルブ２ａは開かれる（図２参照）。
【００４０】
上記バッファ室２内には、試料Ｗを搬送するための真空搬送装置４が収納され、また、バッファ室２の下側の大気側３には、上記真空搬送装置駆動用のモータ（回転駆動源）５が配備されている。
【００４１】
大気中の回転駆動源５から真空中の真空搬送装置４への回転動力導入は、後に詳述する大気・真空動力伝達手段５０を介して、ガスのリークなく行われる。
【００４２】
上記真空搬送装置４には、直線レールとこのレールに沿って摺動するスライダとからなるリニアガイドが複数段設けられ、最上段のリニアガイドのスライダにハンド４０が取り付けられている。この複数段のリニアガイドは真空処理室１に向けて水平に直列に設置され、後に説明するように、回転駆動源５により駆動されてハンド４０を搬送方向、すなわち、真空処理室１の方向に移動する。
【００４３】
上記バッファ室２の底部２ｂには、基部リニアガイド６の基部直線レール６ａが水平に固定され、基部スライダ６ｂがこの直線レール６ａに沿って摺動可能となっている。上記基部スライダ６ｂには、基部直線レール６ａと平行に最上段リニアガイド７の最上段直線レール７ａが固定され、最上段スライダ７ｂがこの最上段直線レール７ａに沿って摺動可能となっている。
【００４４】
そして、上記の両スライダ６ｂ、７ｂの直線レール上の摺動により、ハンド４０の後退位置では、図２のように、バッファ室２内に収まり、ハンド４０が真空処理室１内に入る位置では、図１のように、バッファ室２から大きく張り出すようになっている。
【００４５】
図１および図２では、リニアガイドが２段の例を示したが、ハンド４０の所要ストロークがリニアガイドの長さに比して更に大きい場合には、基部リニアガイドと最上段リニアガイドの間に、適宜数のリニアガイドを基部リニアガイドと平行に配置して挿入し、ひとつのリニアガイドのスライダに次のリニアガイドの直線レールが結合されるようにして段数を増やすようにしてもよい。
【００４６】
なお、リニアガイドは、その直線レールとスライダの間のがたつきがなく、スムーズに直線運動ができて、摩耗粉等の発塵や発ガスが少なく耐久性がよいので、半導体製造装置のような清浄な真空雰囲気中での使用に好適である。
【００４７】
次に、リニアガイドの駆動系を説明する。基部リニアガイド６の下部にはモータ（回転駆動源）５が取り付けられている。この実施の形態では、このモータ５で、基部リニアガイド６と最上段リニアガイド７とを駆動して、同期して互いに等距離移動するように動作させる。ハンド４０は、ふたつのリニアガイドの移動量の和、すなわち、この実施の形態では、ひとつのリニアガイドの移動量の倍だけ移動し、リニアガイドの長さよりも長いストロークを得られる。
【００４８】
バッファ室２の底部２ｂの大気側３とバッファ室２内との間には、大気・真空動力伝達手段５０が設けられている。そして、上記モータ５の出力軸５ａが、この大気・真空動力伝達手段５０の入力側に接続され、出力側には、原動マグネットカップリング８ａが取り付けられている。
【００４９】
大気・真空動力伝達手段５０は、大気側から真空側へ回転動力を伝達する手段である。大気・真空動力伝達手段５０としては、真空側の真空レベルに合わせて、周知のＯリングタイプ、ベローズタイプ、磁気シールタイプ、マグネットカップリングタイプ等のものを用いる。
【００５０】
図３に示すように、この原動マグネットカップリング８ａに対向し少しのギャップを保って、第１の従動マグネットカップリング８ｂと第２の従動マグネットカップリング８ｃとが配置されている。これらのマグネットカップリング８ａ、８ｂ、８ｃは、図４（ａ）に示すように、互いにその軸を直交させてあり、原動マグネットカップリング８ａの回転動力が９０°方向転換されて、従動マグネットカップリング８ｂおよび８ｃの回転動力に伝達される。つまり、ここで使用しているマグネットカップリング８（８ａ・８ｂ、８ａ・８ｃ）は、互いに直交するベベル歯車と同じような動力伝達を行うタイプのマグネットカップリング（方向変換非接触動力伝達手段）である。
【００５１】
［基部リニアガイドの駆動機構］
上記第１の従動マグネットカップリング８ｂは、基部リニアガイド伝動軸９の一端側に取り付けられ、この基部リニアガイド伝動軸９は、上記バッファ室底部２ｂに設けられた第１の軸受台１０に回転自在に保持されている。基部リニアガイド伝動軸９の他端側には、基部リニアガイド駆動プーリ１１が固定されている。
【００５２】
上記バッファ室底部２ｂには、第１の軸受台１０と平行に、第２の軸受台１２が設置され、この第２の軸受台１２に、基部リニアガイドガイドプーリ１３が取り付けられた基部リニアガイドガイド軸１４が回転自在に保持されている。
【００５３】
上記基部リニアガイド駆動プーリ１１と基部リニアガイドガイドプーリ１３との間には、基部リニアガイド駆動テープ（この実施の形態では、金属テープ）１５がこれらのプーリ１１、１３に巻き掛けられ水平に張設されていている。図４（ｂ）に上記駆動テープ１５が駆動プーリ１１に巻き掛けられた状態を示す。この基部リニアガイド駆動テープ１５の水平上部には、基部スライダ６ｂの側方に突出した固定具１６が固定されている。
【００５４】
上記駆動テープ（金属テープ）１５には、この実施形態では、Ｎｉ３１．４〜３３．４ｗｔ％、Ｃｒ１９．５〜２０．５ｗｔ％、Ｍｏ９．５〜１０．５ｗｔ％、Ｎｂ０．８〜１．２ｗｔ％、Ｔｉ０．３〜０．７ｗｔ％、Ｆｅ１．１〜２．１ｗｔ％、Ｃ０．０３ｗｔ％以下、Ｓｉ０．１ｗｔ％以下、Ｍｎ０．５ｗｔ％以下、Ｐ０．０２ｗｔ％以下、Ｓ０．０２ｗｔ％以下、残部Ｃｏの組成のコバルトニッケル基合金、ＳＰＲＯＮ（登録商標）を採用した。
【００５５】
基部リニアガイド６の駆動機構が上記のように構成されているので、モータ５の回転動力が、原動マグネットカップリング８ａ、従動マグネットカップリング８ｂ、基部リニアガイド伝動軸９、基部リニアガイド駆動プーリ１１の回転運動、基部リニアガイド駆動テープ１５のベルト運動、固定具１６の搬送方向の直線運動へと変換されて、基部スライダ６ｂを基部直線レール６ａ上を摺動させる。
【００５６】
［最上段リニアガイドの駆動機構］
上記第２の従動マグネットカップリング８ｃは、スプライン軸１７の一端側に取り付けられ、このスプライン軸１７は、上記バッファ室底部２ｂに設けられた第３の軸受台１８および第４の軸受台１９に回転自在に保持されている。スプライン軸１７のスプライン溝１７ａには、スプライン軌道部２０が軸方向摺動自在に嵌合されている。
【００５７】
上記スプライン軌道部２０は、上記基部スライダ６ｂに取り付けられたふたつのカムフォロワ２１、２２に両端を挟み込まれていて、基部スライダ６ｂとともに搬送方向に移動するようになっている。上記カムフォロワ２１、２２はクラウニングタイプで、一方のカムフォロワ２１は偏心軸２１ａに回転自在に支持されている。したがって、両カムフォロワ２１、２２間隔を微調整して両カムフォロワ２１、２２で隙間なくスプライン軌道部２０を挟み込むことができ、スプライン軌道部２０は、基部スライダ６ｂにバックラッシュなしで追従して搬送方向に往復移動する。
【００５８】
上記スプライン軌道部２０には、中間原動マグネットカップリング２３が一体に固定され、この中間マグネットカップリング２３は、スプライン軸１７と同芯に配置されている。中間マグネットカップリング２３は、第２の従動マグネットカップリング８ｃ、スプライン軸１７、スプライン軌道部２０と一体となって回転しながら、基部スライダ６ｂと一緒に搬送方向に移動するわけである。
【００５９】
上記中間原動マグネットカップリング２３には、図５および図６に示すように、中間従動マグネットカップリング２４が対向配設されている。なお、このマグネットカップリング２３と２４も前述のマグネットカップリング８と同様、方向変換非接触動力伝達手段である。
【００６０】
上記中間従動マグネットカップリング２４は、図７に示すように、最上段リニアガイド伝動軸２５の一端側に取り付けられ、この最上段リニアガイド伝動軸２５は、基部スライダ６ｂ上に設けられた第５の軸受台２６に回転自在に支持されている。上記最上段リニアガイド伝動軸２５の他端側には、最上段リニアガイド駆動プーリ２７が固定されている。
【００６１】
上記基部スライダ６ｂには、第５の軸受台２６と平行に、第６の軸受台２８が設置されている。この第６の軸受台２８に、最上段リニアガイドガイド軸３０が回転自在に保持されている。そして、この最上段リニアガイドガイド軸３０には、最上段リニアガイドガイドプーリ２９が取り付けられている。
【００６２】
上記最上段リニアガイド駆動プーリ２７と最上段リニアガイドガイドプーリ２９との間には、最上段リニアガイド駆動テープ３１がこれらのプーリ２９、３１に巻き掛けられ水平に張設されていて、この最上段リニアガイド駆動テープ３１の水平上部には、最上段スライダ７ｂの側方に突出した固定具３２が固定されている。
【００６３】
最上段リニアガイド７の駆動機構が上記のように構成されているので、モータ５の回転動力が、原動マグネットカップリング８ａ、従動マグネットカップリング８ｃ、スプライン軸１７、中間原動マグネットカップリング２３、中間従動マグネットカップリング２４、最上段リニアガイド伝動軸２５、最上段リニアガイド駆動プーリ２７の回転運動、最上段リニアガイド駆動テープ３１のベルト運動、固定具３２の搬送方向の直線運動へと変換されて、最上段スライダ７ｂを最上段直線レール７ａ上を摺動させる。
【００６４】
すなわち、上記基部及び最上段リニアガイドの駆動機構では、駆動プーリ１１、２７が一斉に回転して、駆動テープ１５、３１とこれに固定されたスライダ６ｂ、７ｂが同じ向きに同期して移動する。
【００６５】
上記基部及び最上段リニアガイドの駆動機構において、基部リニアガイド駆動テープ１５の移動速度と最上段リニアガイド駆動テープ３１の移動速度とは、この実施の形態では、等しくなるように従動マグネットカップリング８ｂ、８ｃ、中間原動マグネットカップリング２３、中間従動マグネットカップリング２４の有効径（歯車の場合のピッチ径に相当）やプーリ１１、２７の径を設定しておく。具体的には、例えば、従動マグネットカップリング８ｂと８ｃの有効径を等しくして、基部リニアガイド伝動軸９とスプライン軸１７の回転数を等しくし、更に、中間マグネットカップリング２３と２４の有効径を等しくして、基部リニアガイド伝動軸９と最上段リニアガイド伝動軸２５の回転数を等しくし、プーリ１１と２７の径を等しく設定する。
【００６６】
このように、各リニアガイドを互いに同期して、しかも、等速度で動作するようにすれば、各部の運動が平均化されて、局所的過負荷、摩耗等も起こらず、無理なくスムーズにハンド４０を搬送方向に移動することができる。この構成は、リニアガイドを３段以上とした場合も同様である。
【００６７】
各リニアガイドを等速、同期して動作させた場合、ハンド４０のバッファ室底部２ｂに対する移動量、移動速度は、各リニアガイドのスライダの直線レールに対する移動量、移動速度のリニアガイド段数倍となる。
【００６８】
各リニアガイドの同期動作には、上記実施の形態のように、ひとつの回転駆動源５で全てのリニアガイドの動作を行うのが、制御も簡単で信頼性が高いので好ましいが、回転駆動源を別々にして電気的に同期を取る等、他のやり方でもリニアガイド同期動作を行うことができる。
【００６９】
上記のマグネットカップリングは、９０°方向転換型を使用した。マグネットカップリングは、原動側と従動側とが接触することなく、摩耗、発塵等が少なく、清浄な雰囲気で使用するのに適している。
【００７０】
上記駆動テープ１５および３１には、いずれも薄くて金属疲労を起こしにくい金属テープを用いることが好ましい。あるいは、タイミングベルトや金属製の撚線ワイヤも用いることができる。また、タイミングベルトの場合は、内部に金属やケブラー等の撚り線で補強されて伸びが少ないものが好ましい。駆動テープは、プーリとの間にスリップを生じないものが、摩耗、発塵が少なく、長寿命で信頼性が高くなる。
【００７１】
図８は、この発明の他の実施の形態を示す横断面図である。この実施の形態では、バッファ室底部２ｂ上に、ふたつのリニアガイド部とハンドを設けたもので、二組の真空搬送構造部を平行に装備し、それぞれに設けたハンドを上下に配設した構成にしたものである。
【００７２】
図８において、ふたつの真空搬送構造部４_−１、４_−２は、バッファ室底部２ｂ上に左右にほぼ対称に配置され、それぞれのハンド４０_−１、４０_−２は上下に配置されている。その他の構成は、図１〜図７で説明した第１の実施の形態と同様であるので、対応する部分に同一の符号と−１、−２の添字を付して詳細な説明は省略する。
【００７３】
ふたつの真空搬送構造部４_−１、４_−２にそれぞれハンド４０_−１、４０_−２を設けて、ハンド４０_−１、４０_−２を上下に配設すると、真空処理室の試料処理部１ｂから処理済みの試料を下段のハンド４０_−２で取り出し、続いて、上段のハンド４０_−１で未処理の試料を試料処理部１ｂに供給するようにして、効率よく受け渡し作業を進めることができる。ふたつの真空搬送構造部は、コンパクトにまとまり、占有面積、占有容積は小さくて済み、第１の実施の形態同様、真空引きの時間が少なく、運転コストが安い。
【００７４】
図９〜図１２は、この発明の更に他の実施の形態を示す。この実施の形態では、回転動力を非接触で方向変換して搬送方向の運動に変換する上述の方向変換非接触動力伝達手段、この非接触動力伝達手段の出力側に接続された駆動プーリ、駆動テープとスプラインに代えて、駆動源直結駆動プーリ、駆動テープとラック・ピニオンを用いている。
【００７５】
図９〜図１２において、図１、図３、図５と同一の部分については、同一の符合を付してその詳細な説明を省略する。６１は、モータ５の出力軸に直結された基部リニアガイド駆動プーリである。６２は、基部直線レール６ａに沿って、バッファ室底部２ｂに設けられた基部リニアガイドガイドプーリである。ここで、モータ５と基部直線レール６ａはともにバッファ室底部２ｂに固定されているので、上記基部リニアガイドプーリ駆動プーリ６１と基部リニアガイドガイドプーリ６２は、実質的に、基部直線レール６ａに設けられていることになる。
【００７６】
上記基部リニアガイドプーリ駆動プーリ６１と基部リニアガイドガイドプーリ６２との間には、基部リニアガイド駆動テープ６３が巻き掛けられている。この基部リニアガイド駆動テープ６３は、固定具６４を介して、基部スライダ６ｂに固定されている。
【００７７】
６５は、バッファ室底部２ｂに固定されたラックである。このラック６５には、基部スライダ６ｂの軸受部６６に回転自在に設けられたピニオン６７が噛み合っている。
【００７８】
６８は、上記ピニオン６７と同軸、一体に軸受部６６に回転自在に設けられた最上段リニアガイド駆動プーリである。基部スライダ６ｂには最上段直線レール７ａが固定されているので、最上段リニアガイド駆動プーリ６８は、実質的に、最上段直線レール７ａに設けられていることになる。
【００７９】
６９は、最上段直線レール７ａに設けられた最上段リニアガイドガイドプーリである。上記最上段リニアガイド駆動プーリ６８と最上段リニアガイドガイドプーリ６９との間には、最上段リニアガイド駆動テープ７０が巻き掛けられている。この最上段リニアガイド駆動テープ７０は、最上段スライダ７ｂに固定されている。
【００８０】
図９〜図１２の実施の形態においても、駆動テープとして金属テープやタイミングベルトを使用することができることは、図１〜図８の実施の形態と同様である。また、ラック・ピニオンとしては、通常のラック・ピニオンの他、タイミングベルトの背をラックのベースに貼り付け、タイミングベルトの歯にタイミングプーリを噛み合わせるようにしてもよい。
【００８１】
この実施の形態では、モータ５、基部リニアガイドプーリ駆動プーリ６１の回転動力が基部リニアガイド駆動テープ６３のベルト運動に変換され、このベルト運動により基部スライダ６ｂを搬送方向に移動する。この移動により、基部スライダ６ｂすなわち最上段直線レール７ａ上のピニオン６７がラック６５に沿って回転する。最上段直線レール７ａ上では、ピニオン６７とともに最上段リニアガイド駆動プーリ６８が回転して、この回転動力が最上段リニアガイド駆動テープ７０のベルト運動に変換され、このベルト運動により最上段スライダ７ｂを搬送方向に移動する。つまり、基部スライダ６ｂが動くと、それに同期して、最上段リニアガイド駆動プーリ６８が回転し、最上段スライダ７ｂが動く。
【００８２】
この実施の形態においても、他の構成、動作、作用は図１〜図８の実施の形態と同様であり、図８のように、ふたつの真空搬送装置を平行に装備し、それぞれに設けたハンドを上下に配設するようにして、同様の作用効果を得ることができる。
【００８３】
図１３は、この発明の更に他の実施の形態の概念を示す側面図で、図１３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、ハンドが後退位置から前進位置へと移動する状態を示したものである。
【００８４】
この実施の形態でも、図８のように、ふたつの真空搬送装置を平行に装備し、それぞれに設けたハンドを上下に配設するようにして、同様の作用効果を得ることができる。また、真空処理装置の主要な構成、複数段のリニアガイドを用いている点は、すでに説明した実施の形態と同様であるので、相違点を説明する概念図として示した。図１３において、図１と同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００８５】
図１３の実施の形態は、構造を一層簡単にして部品点数を更に減らし、省スペースを徹底し、コストを下げるとともに信頼性を向上し、維持費を低減できるものである。
【００８６】
図１３においては、大気・真空動力伝達手段として、図１４に詳細に示すリニアマグネットカップリング８０を用いている。図１４（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）の１４Ｂ矢視図である。
【００８７】
８１は、バッファ室底部２ｂ裏面の大気側に取り付けられた直線ガイド、８２は、上記直線ガイド８１に沿って摺動するスライダである。
【００８８】
このスライダ８２の両サイド上面には、磁性体のヨーク９５が固定され、このヨーク９５の長手方向両サイド上には、磁石９６ａ、９６ｂ‥‥が固定されている。
【００８９】
真空側の最上段直線レール７ａ両サイド下面には、大気側の磁性体のヨーク９５に対向させて磁性体のヨーク９７が固定され、このヨーク９７の長手方向両サイド下面には、磁石９８ａ、９８ｂ‥‥が固定されて大気側の磁石９６ａ、９６ｂ‥‥と対向している。
【００９０】
大気側のヨーク９５、磁石９６ａ、９６ｂ、真空側の磁石９８ａ、９８ｂ、ヨーク９７は、図１４（ｂ）に示すように、閉じた磁気回路を構成しており、大気側のスライダ８２が摺動すると、磁力により真空側の最上段直線レール７ａ、基部スライダ６ｂが摺動し駆動されるようになっている。
【００９１】
リニアマグネットカップリング８０の磁気回路の磁気洩れによる他への悪影響、効率アップのため、大気側磁石と真空側磁石との間隔ｘは磁石と磁石との間隔ｙより小さくし、ヨークは飽和磁束密度以下になるようにその材料、断面を選択する。なお、バッファ室底部２ｂの材料は、リニアマグネットカップリング８０の磁気回路の磁束に影響を与えないアルミ合金またはオーステナイト系ステンレス鋼を用いる。
【００９２】
リニアマグネットカップリング８０の磁気回路は、リニアガイドの左右に一対設ければ機能する。しかし、大気側と真空側との直結合力を強めて応答性をよくするには、図（ｂ）のように複数の磁気回路（９５ｍ、９６ａ、９８ａ、９７ｍ、９８ｂ、９６ｂ）、（９５ｎ、９６ｃ、９８ｃ、９７ｎ、９８ｄ、９６ｄ）、‥‥を長手方向に並べて設置する。その際、隣り合う磁気回路が干渉しないよう、隣り合う磁石９８ｂと９８ｃ、９６ｂと９６ｃは、図に示すように、同じ極にする。このようにすれば、隣り合う磁気回路間の磁気洩れ等の干渉がなく、隣り合う磁気回路と磁気回路の間隔ｚを小さくすることができ、スペース効率が向上する。
【００９３】
駆動源からスライダ８２への動力伝達は、図示は省略したが、周知の手段、例えば、カム、リンク、エアシリンダ、ねじ送り、タイミングベルト、リニアモータ等を使用している。
【００９４】
上段直線レール７ａの前進側（真空処理室側）および後退側には、それぞれプーリ８４、８５が設けられ、これらのプーリ８４、８５には、駆動テープ８６、８７が巻き掛けられている。上記駆動テープ８６、８７のそれぞれは、上段直線レール７ａ上を摺動する上段スライダ７ｂと下段の直線レール（基部直線レール）６ａのベース（バッファ室底部）２ｂとに固定されている。
【００９５】
すなわち、前進側のテープ８６は、ベース２ｂ上に固定された固定具８６ａに一端を固定され、上段スライダ７ｂに他端を固定され、中間を前進側プーリ８４に巻き掛けてある。後退側のテープ８７は、ベース２ｂ上に固定された固定具８７ａに一端を固定され、上段スライダ７ｂに他端を固定され、中間を後退側プーリ８５に巻き掛けてある。作動中のテープの脱落を防ぐために、これらのテープ８６、８７には適度のテンションを与え、プーリ８４、８５にはクラウニング加工を加えている。
【００９６】
もちろん、テープ８６、８７を１本のテープとして、両プーリ８４、８５に巻き掛け、上段スライダ７ｂとベース２ｂとに固定してもよいし、固定具８６ａと８７ａをひとつの固定具にまとめてもよい。
【００９７】
図１３の実施の形態は、図１〜図７の実施の形態や図９〜図１２の実施の形態と次の点が異なる。
【００９８】
すなわち、上段スライダ７ｂを駆動するのに、駆動プーリ２７（あるいは６８）と、この駆動プーリに大気・真空動力伝達手段から直接動力を伝達するスプライン機構、ラックピニオン機構等を別途設けることがない。基部スライダ６ｂの摺動運動に連動して、上段スライダ７ｂが上段直線レール上を摺動する。このような動作をする図１３の実施の形態の前進後退動作を、以下に詳細に説明する。
【００９９】
先ず、図１３の実施の形態の前進動作を説明する。図１３（ａ）の後退位置で、リニアマグネットカップリング８０の動作でスライダ８２が図の左方へ移動し、これに伴い基部スライダ６ｂが移動し、最上段直線レール７ａも基部スライダ６ｂとともに図の左方へ移動する。
【０１００】
この間、テープ８６のベース側端部はベース２ｂに固定されているので、最上段直線レール７ａの前進側のプーリ８４は固定具８６ａとの間でテープ８６を左方に引くようになる。一方、プーリ８４は回転自在で、上段スライダ７ｂは摺動自在である。このため、プーリ８４は反時計方向に回転し、上段スライダ７ｂとその上のハンド４０は左方に摺動して、図１３（ｂ）のようになる。
【０１０１】
以上のように前進動作するので、基部リニアガイド、上段リニアガイドの移動は同期している。上段スライダ７ｂ、ハンド４０の移動量は、滑車の原理により、基部スライダ６ｂ、最上段直線レール７ａの移動量の丁度２倍であり、移動速度も２倍である。この移動量、移動速度の関係は、図１３（ｃ）の搬送装置が最も伸びきった状態になるまでずっと維持される。
【０１０２】
なお、前進する間、後退側プーリ８５と後退側テープ８７とは格別の働きをしないが、後退側テープ８７がたるみなく張られているので、後退側テープ８７が上段スライダ７ｂに引かれ、これにつれて、後退側プーリ８５は反時計方向に回転する。
【０１０３】
次に、後退動作を説明する。図１３（ｃ）の状態から、リニアマグネットカップリング８０の動作でスライダ８２が図の右方へ移動し、これに伴い基部スライダ６ｂが移動し、最上段直線レール７ａも基部スライダ６ｂとともに図の右方へ移動する。
【０１０４】
この間、テープ８７のベース側端部はベース２ｂに固定されているので、最上段直線レール７ａの後退側のプーリ８５は固定具８７ａとの間でテープ８７を右方に引くようになる。一方、プーリ８５は回転自在で、上段スライダ７ｂは摺動自在である。このため、プーリ８５は時計方向に回転し、上段スライダ７ｂとその上のハンド４０は右方に摺動して、図１３（ｂ）のようになる。
【０１０５】
上段スライダ７ｂ、ハンド４０の移動量、移動速度の関係は、前進動作の場合と同様、基部スライダ６ｂ、最上段直線レール７ａの２倍である。図１３（ａ）の搬送装置が最も後退した状態になるまでずっと維持される。
【０１０６】
なお、後退する間、前進側プーリ８４と後退側テープ８７とは格別の働きをしないが、前進側テープ８６がたるみなく張られているので、前進側テープ８６が上段スライダ７ｂに引かれ、これにつれて、前進側プーリ８４は時計方向に回転する。
【０１０７】
この実施の形態でも、テープとして薄い金属テープを用いたが、撚線ワイヤやタイミングベルトを用いてもよい。
【０１０８】
基部リニアガイドのスライダを直接駆動する大気・真空動力伝達手段として、リニアマグネットカップリング以外の他の周知の手段を用いることもできる。
【０１０９】
図１５は、図１３の実施の形態を、３段のリニアガイドに適用した概念を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は、（ａ）の１５Ｂ矢視図である。図１３と同一の部分については同一の符号を付してある。
【０１１０】
８８は、ベース２ｂ上に固定された固定具である。この固定具８８には、前進側テープ８６、後退側テープ８７の各一端が固定されている。
【０１１１】
図１３の上段リニアガイドは、図１５では中段リニアガイドとなっていて、中段スライダ７ｂには最上段リニアガイドの直線レール８９ａが固定されている。最上段直線レール８９ａは、中段直線レール７ａおよび基部リニアガイドの直線レール６ａと平行に配置されている。
【０１１２】
最上段リニアガイドのスライダ８９ｂには、ハンド４０が取り付けられている。
【０１１３】
最上段直線レール８９ａの前進側および後退側には、それぞれプーリ９０、９１が設けられ、これらのプーリ９０、９１には、駆動テープ９２、９３が巻き掛けられている。上記駆動テープ９２、９３のそれぞれは、最上段直線レール８９ａ上を摺動する最上段スライダ８９ｂと下段の直線レール（中段直線レール）７ａとに固定されている。
【０１１４】
すなわち、前進側のテープ９２は、中段直線レール７ａ上に固定された固定具９４に一端を固定され、最上段スライダ８９ｂに他端を固定され、中間を前進側プーリ９０に巻き掛けてある。後退側のテープ９３は、上記固定具９４に一端を固定され、最上段スライダ８９ｂに他端を固定され、中間を後退側プーリ９１に巻き掛けてある。作動中のテープの脱落を防ぐために、これらのテープ９２、９３には適度のテンションを与え、プーリ９０、９１にはクラウニング加工を加えている。
【０１１５】
この図１５の実施の形態では、３段のリニアガイド（６ａ・６ｂ、７ａ・７ｂ、８９ａ・８９ｂ）が、下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成されている。そして、２段目より上段の直線レールの前進側および後退側に、それぞれプーリが設けられている。これらのプーリには、該直線レール上を摺動するスライダと該直線レールの下段の直線レールまたは下段の直線レールのベースとに固定された駆動テープが巻き掛けられている。
【０１１６】
図１５の実施の形態の前進後退動作は、図１３の実施の形態と同様である。前進の場合を概略説明すると、以下のようになる。
【０１１７】
先ず、リニアマグネットカップリングのスライダ８２が図の左方へ移動し、これに伴い基部スライダ６ｂが移動し、中段直線レール７ａも基部スライダ６ｂとともに図の左方へ移動する。
【０１１８】
この間、中段直線レール７ａの前進側のプーリ８４は固定具８６ａとの間でテープ８６を左方に引くようになる。一方、プーリ８４は回転自在で、中段スライダ７ｂは摺動自在である。このため、プーリ８４は反時計方向に回転し、中段スライダ７ｂとその上の最上段直線レール８９ａは左方に摺動する。
【０１１９】
最上段直線レール８９ａの摺動により、最上段直線レール８９ａの前進側のプーリ９０は固定具９４との間でテープ９２を左方に引くようになる。一方、プーリ９０は回転自在で、最上段スライダ８９ｂは摺動自在である。このため、プーリ９０は反時計方向に回転し、最上段スライダ８９ｂとその上のハンド４０は左方に摺動する。
【０１２０】
以上のように動作するので、基部リニアガイド、中段リニアガイド、最上段リニアガイドの移動は同期している。中段スライダ７ｂ、最上段直線レール８９ａの移動量は、基部スライダ６ｂ、最上段直線レール７ａの移動量の丁度２倍であり、移動速度も２倍である。最上段スライダ８９ｂ、ハンド４０の移動量は、基部スライダ６ｂ、最上段直線レール７ａの移動量の丁度３倍となり、移動速度も３倍となる。
【０１２１】
このように、リニアガイドの段数を増やせば、後退時の搬送装置の長さが短くコンパクトでありながら、ハンドのストロークが大きいものにすることができる。前進側、後退側のプーリを直線レールの前後から張り出して配置すれば、特にハンドのストロークを大きくできる。
【０１２２】
リニアガイドの直線レールとスライダの相対速度はハンドの移動速度の段数分の１であるから、速い搬送速度を実現しながらリニアガイドの磨耗や発塵が抑えられる。
【０１２３】
図１３、１４の実施の形態は、スライダ駆動機構が動力源をスライダに伝達するための特別のスライダ駆動機構がないから、多段化が一層容易である。前進側、後退側のプーリの軸線をハンド移動方向と直交する水平軸とし、薄いテープを小径のプーリに巻き付けるようにしたから、多段にしても高さ方向のスペースを取らず、搬送装置の高さはそれ程高くはならない。したがって、また、真空搬送装置をふたつ平行に装備し、それぞれに設けたハンドが上下に配設することも容易である。また、真空処理装置の占有容積が小さくでき、真空引きが短時間で済むので、処理のサイクルタイムを短くできる。
【０１２４】
以上のように、この発明の真空処理装置では、バッファ室２の占有面積、占有容積が小さく、真空引きの時間が少なく、運転コストが安くなる。したがって、図１６に示した従来のロードロック室９０１を使わず、大きなトランスファー室９０２に代えてバッファ室２を用い、このバッファ室２内の真空搬送装置４に直接大気側から試料を供給したり、真空搬送装置４から大気側へ試料を取り出したりすることができる。
【０１２５】
【発明の効果】
この発明によれば、上述したように、バッファ室内の真空搬送装置が、次の（Ａ）〜（Ｅ）のように構成したから、下記（１）、（２）の効果を奏する。
【０１２６】
（Ａ）下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成された複数段のリニアガイドを備える。
【０１２７】
（Ｂ）直線レールの前進側および後退側にそれぞれ設けたプーリを備える。
【０１２８】
（Ｃ）これらのプーリに巻き掛けた駆動テープを備える。
【０１２９】
（Ｄ）これらの駆動テープが、大気側の駆動源からの動力により各スライダを移動させ、最上段のリニアガイドに固定されたハンドが真空処理室との間で試料を受け渡す。
【０１３０】
（Ｅ）更に、複数段のリニアガイドの各スライダが同期して移動するようにする。
【０１３１】
（１）真空搬送装置の幅方向、上下方向とも大きなスペースを必要とせず、搬送装置動作に要する占有容積、占有面積が小さくなり、省スペース、真空引き時間が短縮される。
【０１３２】
（２）複雑なリンク、制御系等がなく、シンプルな構造なので、保守性がよくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態を示し、ハンドが真空処理室へ途中まで伸びた状態を示す正面図。
【図２】図１においてハンドが縮んでバッファ室内にある状態を示す正面図。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、図２のリニアガイド駆動動力伝達系の細部を示す説明図。
【図５】図３のＶ−Ｖ矢視図で、上段リニアガイド、ハンドを補って示す。
【図６】図５のＶＩ矢視図。
【図７】図１のＶＩＩ−ＶＩＩ矢視図。
【図８】この発明の他の実施の形態を示す横断面図。
【図９】この発明の他の実施の形態を示す側面図。
【図１０】図９のＸ矢視図。
【図１１】図９のＸＩ矢視図。
【図１２】図９のＸＩＩ−ＸＩＩ図。
【図１３】この発明の他の実施の形態の概念を示す側面図で、（ａ）は、ハンドの最後退位置、（ｂ）は、中間位置、（ｃ）は、最前進位置を示す。
【図１４】図１３のリニアマグネットカップリング部を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）の１４Ｂ矢視図。
【図１５】この発明の他の実施の形態の概念を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）の１５Ｂ矢視図。
【図１６】従来の搬送装置の使用例を説明する側面図。
【符号の説明】
１真空処理室
１ａゲートバルブ
１ｂ試料処理部
２バッファ室
２ａバッファ室ゲートバルブ
２ｂバッファ室底部
３大気側
４真空搬送装置
５モータ（回転駆動源）
６基部リニアガイド
６ａ基部直線レール
６ｂ基部スライダ
７最上段リニアガイド
７ａ最上段（中段）直線レール
７ｂ最上段（中段）スライダ
８ａ原動マグネットカップリング
８ｂ第１の従動マグネットカップリング
８ｃ第２の従動マグネットカップリング
９基部リニアガイド伝動軸
１０第１の軸受台
１１基部リニアガイド駆動プーリ
１２第２の軸受台
１３基部リニアガイドガイドプーリ
１４基部リニアガイドガイド軸
１５基部リニアガイド駆動テープ
１６固定具
１７スプライン軸
１７ａスプライン溝
１８第３の軸受台
１９第４の軸受台
２０スプライン軌道部
２１、２２カムフォロワ
２１ａ偏心軸
２３中間原動マグネットカップリング
２４中間従動マグネットカップリング
２５最上段リニアガイド伝動軸
２６第５の軸受台
２７最上段リニアガイド駆動プーリ
２８第６の軸受台
２９最上段リニアガイドガイドプーリ
３０最上段リニアガイドガイド軸
３１最上段リニアガイド駆動テープ
３２固定具
４０ハンド
５０大気・真空動力伝達手段
５１フランジ
５２Ｏリング
５３磁気シール
６１基部リニアガイド駆動プーリ
６２基部リニアガイドガイドプーリ
６３基部リニアガイド駆動テープ
６５ラック
６６軸受部
６７ピニオン
６８最上段リニアガイド駆動プーリ
６９最上段リニアガイドガイドプーリ
７０最上段リニアガイド駆動テープ
８０リニアマグネットカップリング
８１直線ガイド
８２スライダ
８４前進側プーリ
８５後退側プーリ
８６前進側駆動テープ
８７後退側駆動テープ
８８固定具
８９ａ最上段直線レール
８９ｂ最上段スライダ
９０前進側プーリ
９１後退側プーリ
９２前進側テープ
９３後退側テープ
９４固定具
９５、９５ｍ、９５ｎヨーク
９６、９６ａ、９６ｂ、９６ｃ、９６ｄ磁石
９７、９７ｍ、９７ｎヨーク
９８、９８ａ、９８ｂ、９８ｃ、９８ｄ磁石
９０１ロードロック室
９０１ａバッファスタンド
９０２トランスファー室
９０３真空処理室
９０４真空処理室ゲートバルブ
９０５トランスファー室ゲートバルブ
９０６真空搬送装置
９０７大気搬送室
９０８ロードロック室ゲートバルブ
９０９試料カセット
９１０大気ロボット
Ｗ試料

Claims

真空処理装置のバッファ室内に設けられ、真空処理室の試料処理部との間で試料を受け渡す真空搬送装置であって、
下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成された複数段のリニアガイドを備え、
２段目より上段の直線レールの前進側および後退側には、それぞれプーリが設けられ、
これらのプーリに巻き掛けられ、かつ、該プーリが設けられた直線レール上を摺動する上段のスライダに固定された駆動テープが、上記上段のスライダを駆動するようになっていることを特徴とする真空処理装置用の真空搬送装置。
真空処理室にゲートバルブを介して配置されたバッファ室と、
このバッファ室内に設けられ、真空処理室の試料処理部との間で試料を受け渡す真空搬送装置と、
大気側に配備された上記真空搬送装置駆動用の回転駆動源と、
この回転駆動源から上記真空搬送装置に回転動力を導入する大気・真空動力伝達手段と、
真空搬送装置に導入された上記回転動力を非接触で方向変換して搬送方向の運動に変換する方向変換非接触動力伝達手段と
を具備することを特徴とする真空処理装置。
真空搬送装置の上記搬送方向の運動が、複数段のリニアガイドの運動であって、
上記複数段のリニアガイドは、下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成され、
最上段のリニアガイドのスライダには試料載置用のハンドが固定され、
上記直線レールの各々には駆動プーリが設けられ、
この駆動プーリには、該直線レール上を摺動するスライダに固定された駆動テープが巻き掛けられている請求項２記載の真空処理装置。
真空処理室にゲートバルブを介して配置されたバッファ室と、
このバッファ室内に設けられ、真空処理室の試料処理部との間で試料を受け渡す真空搬送装置と、
大気側に配備された上記真空搬送装置駆動用の回転駆動源と、
この回転駆動源から上記真空搬送装置に回転動力を導入する大気・真空動力伝達手段と、
を具備し、
真空搬送装置の上記搬送方向の運動が、複数段のリニアガイドの運動であって、
上記複数段のリニアガイドは、下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成され、
最上段のリニアガイドのスライダには試料載置用のハンドが固定され、
上記直線レールの各々には駆動プーリが設けられ、
この駆動プーリには、該直線レール上を摺動するスライダに固定された駆動テープが巻き掛けられている
ことを特徴とする真空処理装置。
上記駆動プーリが一斉に回転することにより、駆動テープとこれに固定されたスライダが同じ向きに同期して移動するようになっている請求項３または４に記載の真空処理装置。
真空処理室にゲートバルブを介して配置されたバッファ室と、
このバッファ室内に設けられ、真空処理室の試料処理部との間で試料を受け渡す真空搬送装置と、
大気側に配備された上記真空搬送装置駆動用の駆動源と、
この駆動源から上記真空搬送装置に動力を導入する大気・真空動力伝達手段と、
を具備し、
真空搬送装置の上記搬送方向の運動が、複数段のリニアガイドの運動であって、
上記複数段のリニアガイドは、下段のスライダの上にその上段の直線レールを固定するようにして構成され、
最上段のリニアガイドのスライダには試料載置用のハンドが固定され、
基部リニアガイドのスライダは大気・真空動力伝達手段が導入する動力により直接駆動され、
２段目より上段の直線レールの前進側および後退側には、それぞれプーリが設けられ、
これらのプーリには、該直線レール上を摺動するスライダと該直線レールの下段の直線レールまたは下段の直線レールのベースとに固定された駆動テープが巻き掛けられている
ことを特徴とする真空処理装置。
上記駆動テープが、金属テープ、撚線ワイヤまたはタイミングベルトである請求項３、４、５または６に記載の真空処理装置。
上記真空搬送装置をふたつ平行に装備し、それぞれに設けたハンドが上下に配設されている請求項２ないし７のいずれかに記載の真空処理装置。