JP2022506461A

JP2022506461A - リニア軸受を備えた搬送装置およびそのための方法

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Publication number: JP2022506461A
Application number: JP2021523853A
Authority: JP
Inventors: バッブス、ダニエル; シーメイ、ロバート; ティーキャベニー、ロバート
Original assignee: AZENTA, INC.
Current assignee: AZENTA, INC.
Priority date: 2018-11-01
Filing date: 2019-10-31
Publication date: 2022-01-17
Anticipated expiration: 2039-10-31
Also published as: KR102539207B1; JP2023120354A; CN116845017A; US11545380B2; TWI828789B; KR20230084321A; US20230129289A1; TW202028095A; CN113227594A; JP7301129B2; US20200144087A1; CN113227594B; KR20210076146A; WO2020092668A1

Abstract

真空基板搬送装置は、フレームと、駆動軸を有する駆動セクションと、基板を保持するためのエンドエフェクタを有し、伸長および収縮をもたらす少なくとも１つの自由度軸を有する、少なくとも１つのアームと、軸を画定するガイドウェイを画定する軸受とを含み、軸受は、アームの負荷を支持するために、軸受レースウェイと軸受レールとの間をインターフェース接続し、レールに沿ってケースの摺動をもたらす、軸受ケースに配置される、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素と、転がり負荷軸受要素の各々の間で介在する、ケースに配置される、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素とを含み、スペーサ要素は、指定された所定の使用期間中の２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に対して適合可能である犠牲緩衝材料である。

Description

［関連出願への相互参照］
本出願は、２０１８年１１月１日に出願された米国仮特許出願第６２／７５４，４６５号の特許出願であり、その利益を主張し、その開示全体が、援用により、本明細書に組み込まれる。

例示的な実施形態は、概して、搬送装置、およびより具体的には、熱的に上昇した真空雰囲気で利用される搬送装置に関する。

［関連する開発の簡単な説明］
たとえば、半導体産業のために開発されたプロセスが、概して真空雰囲気で実施されてきたが、これは、真空雰囲気が清浄度および分子純度を提供するためである。歴史的に、約５０℃（約１２０°Ｆ）を超える温度で動作される限られた数の真空プロセスが実施されてきたが、本出願の執筆時点での実施されるプロセスの大部分は、約１５０℃（約３００°Ｆ）から約７００℃（約１２９０°Ｆ）の温度で実施される。真空雰囲気と上昇した温度との組み合わせは、たとえば半導体処理装置の使用寿命にわたって信頼性の高い動作を達成するために潤滑剤を使用する場合でさえ、転がり要素にとって困難な雰囲気を提示する。約１５０℃（約３００°Ｆ）を超える温度では、ほとんどの真空グリースが蒸発プロセスを加速し始め、これにより利用可能な潤滑剤は少なくなる。これによって、続いて、転がり要素の寿命が短くなり、概して転がり要素を再潤滑するための使用間隔が短くなる。これらの使用間隔の間、たとえば、半導体処理装置は停止され、大気状態にさらされ、その後、（１つまたは複数の）転がり要素を保守点検した後に、プロセスは再認定される（パージ／洗浄、真空にされるなど）。転がり要素の使用およびプロセスの再認定の結果、約３－５日の生産損失が発生する可能性があり、その結果、半導体デバイスメーカーに多大な金銭的損失が発生する。代替的に、使用間隔を延長することができ、これにより、微粒子またはサーボ位置エラーの増加などの、ランダムな故障モードの数が増加する可能性がある。これらのオプションはいずれも、望ましい使用寿命を満たすことができない。

さらに、特定の半導体プロセスは、半導体基板（たとえば、ウェーハ）上の機械的接触に対してより敏感になりつつある。たとえば、ウェーハに適用された材料の薄膜が、ウェーハの搬送中に破砕または破壊され得る。薄膜の破砕または破壊から結果として生じる材料片は、ウェーハ表面に沈降して、ウェーハ上に欠陥をもたらし、ウェーハの半導体デバイスの収率を低下させかねない。劣化した転がり要素および／または機械的共振が乏しい転がり要素などが原因のウェーハへの厳しい機械的接触は望ましくない。

本開示の前述の態様および他の特徴は、添付の図面に関連した以下の記載において説明される。

本開示の態様による、基板処理装置の概略図である。本開示の態様による、基板処理装置の概略図である。本開示の態様による、基板処理装置の概略図である。本開示の態様による、基板処理装置の概略図である。本開示の態様による、図１Ａ－１Ｄの基板処理装置の一部の概略図である。本開示の態様による、図１Ａ－１Ｄの基板処理装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、搬送装置の駆動セクションの概略図である。開示される実施形態の態様による、図２Ａの搬送装置の駆動セクションの一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図２Ａの搬送装置の駆動セクションの一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図２Ａの搬送装置の駆動セクションの一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、搬送装置の概略図である。開示される実施形態の態様による、搬送装置の概略図である。開示される実施形態の態様による、図３Ａ－３Ｂの搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図３Ａ－３Ｂの搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図３Ａ－３Ｂの搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図３Ａ－３Ｂの搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図３Ａ－３Ｂの搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図３Ａ－３Ｂの搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、搬送装置の概略図である。開示される実施形態の態様による、搬送装置の概略図である。開示される実施形態の態様による、搬送装置の概略図である。開示される実施形態の態様による、搬送装置の概略図である。開示される実施形態の態様による、搬送装置の概略図である。開示される実施形態の態様による、搬送装置の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図８Ａ－８Ｂに示される基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図８Ａ－８Ｂに示される基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図８Ａ－８Ｂに示される基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、図８Ａ－８Ｂに示される基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。開示される実施形態の態様による、基板搬送装置の一部の概略図である。本開示の態様による、基板搬送装置の軸受の概略図である。本開示の態様による、図１１の軸受の概略図である。本開示の態様による、図１１の軸受の一部の概略図である。従来の軸受の概略図である。本開示の態様による、軸受の一部の概略図である。従来の軸受の概略図である。本開示の態様による、図１１の軸受を含む、様々な軸受構成に対して、移動した距離を例示す、例示的なグラフである。本開示の態様による、図１１の軸受を含む、様々な軸受構成に対して、経験的に導出された累積エネルギーの代表的な結果としての振動応答を示す、例示的なグラフである。本開示の態様による、図１１の軸受の材料を含む高温での持続的な材料特性を例示する例示的なグラフである。本開示の態様による、例示的な方法のフロー図である。

図１Ａ－１Ｄは、本開示の態様による、搬送装置１０４を含む半導体処理システム１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄを示す。本開示の態様が、図面を参照して説明されるが、多くの形態で具体化され得ることを理解されたい。さらに、任意の適切な寸法、形状、またはタイプの要素または材料が使用され得る。

本開示の態様は、約１５０℃（３００°Ｆ）（またはそれ以下）から約５００℃（約９３０°Ｆ）の間、約２６０℃（約５００°Ｆ）（またはそれ以下）から約５００℃（約９３０°Ｆ）の間、より具体的には約２６０℃（約５００°Ｆ）（またはそれ以下）から約７００℃（約１２９０°Ｆ）の間の温度で真空雰囲気における、実質的に定期的な使用間隔なしで動作し得る基板搬送装置１０４（本明細書では単に搬送装置１０４とも呼ばれる）を提供する。一例として、搬送装置１０４の使用間隔は、たとえば、メンテナンスが実質的にゼロの最低５年間の使用期間（service period）／寿命など、搬送装置１０４の所望の使用寿命または期間に略等しい（すなわち、搬送装置１０４は、搬送装置１０４の所望の使用期間にわたって実質的にメンテナンスフリーである）。搬送装置１０４は、本明細書では、リニア真空基板搬送装置として記載されているが、他の態様では、搬送装置は、転がり要素（リニア軸受（linear bearing）用途などのリニア転がり要素（linear rolling element）または回転軸受（rotary bearing）用途などの回転転がり要素（rotary rolling element）のいずれか－本開示の態様は、リニア軸受に関して説明されているが、本開示の範囲から逸脱することなく回転軸受に等しく適用されることを理解されたい）を有する少なくとも１つの軸受を含む任意の適切な構成を有し得る。転がり要素は、本開示の態様によれば、本明細書で説明されるように転がり要素／軸受性能により制御されるエンドエフェクタ振動を伴った搬送装置１０４のエンドエフェクタとウェーハとの間の滑らかな機械的接触を提供する。

本開示の態様はまた、たとえば、搬送装置１０４によって運搬されるウェーハ上の処理される膜に影響を及ぼさないように、搬送装置１０４によって運搬されるウェーハに対して低減された振動効果を搬送装置１０４に提供する。たとえば、搬送装置１０４は、軸受２１６００の転がり負荷軸受要素（rolling load bearing element）２１６１１（図１１を参照）間の摩擦抵抗および振動を誘発する衝撃を最小化する軸受２１６００（図１１を参照）を含む。以下でより詳細に説明されるように、本開示の態様は、転がり負荷軸受要素２１６１１間の、および転がり負荷軸受要素２１６１１の各々を転がり負荷軸受要素２１６１１の別の１つと離間している、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素（rolling, substantially non-load bearing, spacer element）２１６２０（図１１を参照）を提供する。実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０は、本明細書に記載されるように、転がり負荷軸受要素２１６１１に対して、実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０と、軸受２１６００の軸受レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ｂ（図１１および１３Ａを参照）と間の自由なランニングクリアランス２１８０１、および実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０と、隣接する転がり負荷軸受要素２１６１１との間の別の自由なランニングクリアランス２１８００を形成するように、寸法を小さくされ得る。実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０と、軸受レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ｂおよび転がり負荷軸受要素２１６１１の両方との間の接触インターフェース２１８５１（図１３Ａを参照）での逆回転摩擦力１８５０（図１３Ａを参照）は、以下でさらに説明されるように、たとえば、２つの転がり負荷軸受要素２１６１１の接触インターフェース２１８７１での逆回転摩擦力２１８７０（図１３Ｂ）に対して、少なくとも、実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０の構造および材料特性によって、大幅に低減される。

依然として図１Ａ－１Ｄを参照すると、たとえば半導体ツールステーションなどの処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは、本開示の態様によって示されている。半導体ツールステーションが図面に示されているが、本明細書に記載される本開示の態様は、任意のツールステーションまたはロボットマニピュレータを利用する用途に適用することができる。一態様では、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは、クラスタツール配置を有する（たとえば、中央チャンバに接続される基板保持ステーションを有する）ものとして示され、他の態様では、処理装置は、線形に配置されるツールであり得るが、本開示の態様は、任意の適切なツールステーションに適用され得る。処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは、概して、大気フロントエンド１０１、少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、および真空バックエンド１０３を含む。少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂは、任意の適切な配置で、大気フロントエンド１０１および／または真空バックエンド１０３の（１つまたは複数の）任意の適切なポートまたは（１つまたは複数の）開口部に連結され得る。たとえば、一態様では、１つまたは複数の真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂは、図１Ｂ－１Ｃに見られ得るように、共通の水平面に並べて配置され得る。他の態様では、１つまたは複数の真空ロードロックは、図１Ｅに示されるように、少なくとも２つの真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄが、行（たとえば、離間した水平面を有する）および列（たとえば、離間した垂直面を有する）に配置されるように、格子状に配置され得る。さらに他の態様では、１つまたは複数の真空ロードロックは、図１Ａに示されるように、単一のインラインロードロック１０２であり得る。さらに別の態様では、少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ｅは、図１Ｆに示されるように、積層インライン配置（stacked in-line arrangement）に配置され得る。真空ロードロックが、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの端部１００Ｅ１またはファセット１００Ｆ１に例示されているが、他の態様では、１つまたは複数の真空ロードロックは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの任意の数の側部１００Ｓ１、１００Ｓ２、端部１００Ｅ１、１００Ｅ２、またはファセット１００Ｆ１－１００Ｆ８に配置され得ることを理解されたい。少なくとも１つの真空ロードロックの各々はまた、１つまたは複数のウェーハ／基板静置面ＷＲＰ（図１Ｆ）を含み得、ここで、基板はそれぞれの真空ロードロック内の適切な支持体上に保持される。他の態様では、ツールステーションは任意の適切な構成を有し得る。大気フロントエンド１０１、少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、および真空バックエンド１０３の各々のコンポーネントは、たとえば、クラスタ化アーキテクチャ制御部などの任意の適切な制御アーキテクチャの一部であり得る、コントローラ１１０に接続され得る。制御システムは、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、２０１１年３月８日に特許査定を受けた、発明の名称「ＳｃａｌａｂｌｅＭｏｔｉｏｎＣｏｎｔｒｏｌＳｙｓｔｅｍ」の米国特許第７，９０４，１８２号明細書に開示されているものなどの、マスターコントローラ、クラスタコントローラ、および自律リモートコントローラを有する閉ループコントローラであり得る。他の態様では、任意の適切なコントローラおよび／または制御システムが利用され得る。

一態様では、真空フロントエンド１０１は、概して、ロードポートモジュール１０５、およびたとえば、機器用フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）などの、ミニエンバイロメント１０６を含む。ロードポートモジュール１０５は、３００ｍｍのロードポート、前面開口部または底面開口のボックス／ポッドおよびカセットのためのＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１、Ｅ４７．１、Ｅ６２、Ｅ１９．５またはＥ１．９に準拠する開梱機／装荷機－ツール標準（ＢＯＬＴＳ）インターフェースであり得る。他の態様では、ロードポートモジュールは、２００ｍｍのウェーハ／基板のインターフェース、４５０ｍｍのウェーハ／基板のインターフェース、またはたとえば、より大きいもしくはより小さい半導体ウェーハ／基板、フラットパネルディスプレイ用のフラットパネル、ソーラパネル、レチクルまたは任意の他の適切なオブジェクトなどの、任意の他の適切な基板インターフェースとして構成されてもよい。図１Ａ－１Ｄには３つのロードポートモジュール１０５が示されているが、他の態様では、任意の適切な数のロードポートモジュールが、大気フロントエンド１０１に組み込まれてもよい。ロードポートモジュール１０５は、オーバーヘッド搬送システム、無人搬送車、有人搬送車、有軌道式無人搬送車から、または任意の他の適切な搬送方法から、基板キャリアまたはカセットＣを受けるように構成され得る。ロードポートモジュール１０５は、ロードポート１０７を介してミニエンバイロメント１０６とインターフェース接続し得る。ロードポート１０７によって、基板カセットとミニエンバイロンメント１０６との間の基板の通行が可能になり得る。ミニエンバイロメント１０６は、概して、本明細書に記載される本開示の１つまたは複数の態様を組み込み得る任意の適切な移送ロボット１０８を含む。一態様では、搬送ロボット１０８は、たとえば、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、１９９９年１２月１４日に特許査定を受けた米国特許第６，００２，８４０号明細書、２０１３年４月１６日に特許査定を受けた米国特許第８，４１９，３４１号明細書、および２０１０年１月１９日に特許査定を受けた米国特許第７，６４８，３２７号明細書に記載されているものなどの、トラック搭載ロボットであり得る。他の態様では、搬送ロボット１０８は、真空バックエンド１０３に関して本明細書に記載されるものに略類似し得る。ミニエンバイロメント１０６は、複数のロードポートモジュール間の基板移送のための制御される、クリーンゾーンを提供し得る。

少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂは、ミニエンバイロメント１０６と真空バックエンド１０３との間に配置され、それらに接続され得る。他の態様では、ロードポート１０５は、少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂまたは搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄに実質的に直接連結され得、ここで、基板キャリア／カセットＣは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの真空までポンプダウンされ（pumped down）、基板は、基板キャリアＣと真空ロードロックまたは移送チャンバとの間で直接移送される。本態様では、基板キャリアＣは、搬送チャンバの処理真空が基板キャリアＣ内に伸長するようにロードロックとして機能し得る。理解され得るように、基板キャリアＣが、適切なロードポートを介してロードロックに実質的に直接連結される場合、任意の適切な搬送装置が、ロードロック内に提供され得るか、そうでなければ、基板を基板キャリアＣ間で移送するために基板キャリアＣへのアクセスを有する。なお、本明細書で使用されるような、真空または真空雰囲気という用語が、基板が処理される１０^-5トール以下などの高真空の基板作製動作に適合可能である高真空を示し得る。少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂは、概して、大気および真空のスロットバルブを含む。真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ（および処理ステーション１３０）のスロットバルブは、大気フロントエンドから基板を積載した後に真空ロードロックを排気するために、および窒素などの不活性ガスによって真空ロードロックを通気するときに、搬送チャンバ内を真空に維持するために利用される、雰囲気分離を提供し得る。本明細書に記載されるように、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄのスロットバルブは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄに連結される少なくとも処理ステーション１３０と真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂとの間の基板の移送に適応するために、（ロードポートに関して上述されるように）同じ平面、または別途に垂直に積層される平面に配置され得るか、あるいは同じ平面に配置されるスロットバルブと異なる垂直に積層される平面に配置されるスロットバルブとの組み合わせであり得る。少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ（および／または真空フロントエンド１０１）はまた、基板の基準を処理のための所望の位置に並べるためのアライナ、または任意の他の適切な基板計測機器を含み得る。他の態様では、真空ロードロックは、処理装置の任意の適切な場所に配置され、任意の適切な構成を有してもよい。

真空バックエンド１０３は、概して、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１つまたは複数の処理ステーション１３０、および本明細書に記載される本開示の１つまたは複数の態様を含み得る、１つまたは複数の移送ロボットを含む任意の適切な数の搬送装置１０４を含む。搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄは、たとえば、ＳＥＭＩ規格Ｅ７２ガイドラインに準拠する、任意の適切な形状および寸法を有し得る。（１つまたは複数の）搬送装置１０４および１つまたは複数の移送ロボットは、以下に説明され、真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂと（またはロードポートに配置されるカセットＣと）と様々な処理ステーション１３０との間で基板を搬送するために、少なくとも部分的に搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ内に配置され得る。一態様では、搬送装置１０４は、ＳＥＭＩ規格Ｅ７２ガイドラインに準拠するように、モジュール式ユニットとして搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄから取り外し可能であり得る。

処理ステーション１３０は、様々な成膜、エッチング、または他のタイプのプロセスを介して基板上で動作して、基板上に電気回路または他の所望の構造を形成し得る。典型的なプロセスは、限定されないが、プラズマエッチングまたは他のエッチングプロセスなどの真空を使用する薄膜プロセス、化学蒸着（ＣＶＤ）、プラズマ蒸着（ＰＶＤ）、イオン注入などの注入、計測、ラピッドサーマルプロセス（ＲＴＰ）、ドライストリップ原子層蒸着（ＡＬＤ）、酸化／拡散、窒化物の形成、真空リソグラフィー、エピタキシー（ＥＰＩ）、ワイヤボンダおよび蒸着、または真空圧を使用する他の薄膜プロセスを含む。処理ステーション１３０内で／処理ステーション１３０によって実施されるプロセスは、約１５０℃（約３００°Ｆ）（またはそれ以下）から約７００℃（約１２９０°Ｆ）の間、約２６０℃（約５００°Ｆ）（またはそれ以下）および約５００℃（約９３０°Ｆ）の間、より具体的には約２６０℃（約５００°Ｆ）から約７００℃（約１２９０°Ｆ）の間の範囲の温度で真空雰囲気下において実施され得る。処理ステーション１３０は、スロットバルブＳＶを介するなど、任意の適切な方法で搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄに連通可能に接続され、基板が搬送チャンバ１２５から処理ステーション１３０に、またはその逆に通過することが可能になる。搬送チャンバ１２５のスロットバルブＳＶは、対の（たとえば、共通のハウジング内に配置される１つを超える基板処理チャンバ）または並んだプロセスステーション１３０Ｔ１、１３０Ｔ２、単一のプロセスステーション１３０Ｓ、および／または積層プロセスモジュール／ロードロック（stacked process modules/load locks）（図１Ｅおよび１Ｆ）の接続を可能にするように配置され得る。

なお、移送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄに連結される処理ステーション１３０、ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ（またはカセットＣ）間の基板の移送が、搬送装置１０４の１つまたは複数のアームが所定の処理ステーション１３０と整列するときに行われ得る。本開示の態様によれば、１つまたは複数の基板は、（たとえば、基板が、図１Ｂ、１Ｃおよび１Ｄに示されるように、並置されるか、またはタンデムの処理ステーションから取り出される／配置されるときなどに）個別に、または実質的に同時に、それぞれの所定の処理ステーション１３０に移送され得る。一態様では、搬送装置１０４は、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、「ＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、２０１４年１０月１６日の特許協力条約の出願日を有する、米国特許出願第１５／１０３，２６８号、および「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、２０１３年２月１１日の特許協力条約の出願日を有する、米国特許出願第１４／３７７，９８７号に記載されるものなどの、ブームアーム１４３（たとえば図１Ｄを参照）またはリニアキャリッジ１４４に取り付けられ得る。搬送装置１０４は、少なくとも部分的に本明細書でさらに説明されるように、線形半径方向運動の構成を含む搬送アームを含む。したがって、移送動作の使用デューティ（service duty）はそれに対応する。

ここで図２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂ、および５Ｂを参照すると、一態様では、搬送装置１０４は、少なくとも１つの駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂ（図６Ａ－７Ｂ）と、少なくとも１つの移送アーム３００、３０１を有する少なくとも１つの移送アーム部分３７１とを含む。少なくとも１つの駆動セクションは、Ｚ軸ドライブ２７０および回転駆動セクション２８２の１つまたは複数を収容するフレーム２００Ｆを含む共通の駆動セクション２００を含み得る。フレーム２００Ｆの内部２００ＦＩは、以下に説明されるように、任意の適切な方法で密閉され得る。一態様では、Ｚ軸ドライブは、少なくとも１つの移送アーム３００、３０１をＺ軸に沿って移動させるように構成される任意の適切なドライブであり得る。Ｚ軸ドライブは、ねじ式のドライブとして図２Ａに例示されているが、他の態様では、リニアアクチュエータ、ピエゾモータなどの任意の適切なリニアドライブであり得る。回転駆動セクション２８２は、たとえば、ハーモニック駆動セクションなどの任意の適切な駆動セクションとして構成され得る。たとえば、回転駆動セクション２８２は、回転駆動セクション２８２が３つの同軸に配置されるハーモニック駆動モータ２８０、２８０Ａ、２８０Ｂを含む図２Ｂに見られ得るように、任意の適切な数の同軸に配置されるハーモニック駆動モータ２８０を含み得る。他の態様では、駆動セクション２８２のドライブは、並置および／または同軸配置で配置され得る。一態様では、図２Ａに示される回転駆動セクション２８２は、駆動シャフト２８０Ｓのための１つのハーモニック駆動モータ２８０を含むが、他の態様では、駆動セクションは、たとえば、同軸駆動システムにおける任意の適切な数の駆動シャフト２８０Ｓ、２８０ＡＳ、２８０ＢＳ（図２Ｂ）に対応する、任意の適切な数のハーモニック駆動モータ２８０、２８０Ａ、２８０Ｂ（図２Ｂ）を含み得る。ハーモニック駆動モータ２８０は、磁性流体シール２７６、２７７の構成部品が、搬送装置１０４の所望の回転Ｔおよび伸長Ｒ１、Ｒ２の運動の間に十分な安定性およびクリアランスを有するように、少なくとも部分的にハーモニック駆動モータ２８０によって中心に配置されて支持されるように、高容量出力軸受を有し得る。なお、磁性流体シール２７６、２７７は、以下に記載されるように、略同心の同軸シールを形成する、いくつかの部品を含み得る。本例では、回転駆動セクション２８２は、上に、および／または開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、米国特許第６，８４５，２５０号明細書、米国特許第５，８９９，６５８号明細書、米国特許第５，８１３，８２３号明細書、および米国特許第５，７２０，５９０号明細書に記載されるものに略類似し得る、１つまたは複数の駆動モータ２８０を収容するハウジング２８１を含む。磁性流体シール２７６、２７７は、駆動シャフトアセンブリ内に各駆動シャフト２８０Ｓ、２８０ＡＳ、２８０ＢＳを密閉するために許容され得る。一態様では、磁性流体シールは提供されなくてもよい。たとえば、駆動セクション２８２は、搬送アームが動作する雰囲気から略密閉されているステータを有するドライブを含み得る一方で、ロータおよび駆動シャフトは、アームが動作する雰囲気を共有する。磁性流体シールを有さず、開示される実施形態の態様で利用され得る駆動セクションの適切な例としては、以下に説明されるように密閉される缶配置を有し得る、ブルックスオートメーションインコーポレイテッド社製のＭａｇｎａＴｒａｎ（登録商標）７およびＭａｇｎａＴｒａｎ（登録商標）８のロボット駆動セクションが挙げられる。なお、駆動シャフト２８０Ｓ、２８０ＡＳ、２８０ＢＳは、たとえば、ドライブ２００に取り付けられる、（たとえば図６Ｅ、７Ａ－９Ｃに関して以下に説明されるような）別の駆動セクション、任意の適切な位置エンコーダ、コントローラ、および／または少なくとも１つの移送アーム３００、３０１との接続のために、駆動アセンブリを介してワイヤ２９０または他の任意の部品の通貨を可能にする、（たとえば、駆動シャフトの中心に沿う、長手方向に通る孔を有する）中空構造を有し得る。理解され得るように、駆動セクション２００、２００Ａ、２００Ｂの駆動モータの各々は、各搬送アーム３００、３０１のエンドエフェクタ３００Ｅ、３０１Ｅの位置を判定するために、それぞれのモータの位置を検出するように構成される、任意の適切なエンコーダを含み得る。

一態様では、ハウジング２８１は、Ｚ軸ドライブ２７０がキャリッジ（およびその上に配置されるハウジング２８１）をＺ軸に沿って移動するように、Ｚ軸ドライブ２７０に連結されているキャリッジ２７０Ｃに取り付けられ得る。理解され得るように、少なくとも１つの移送アーム３００、３０１が動作する制御される雰囲気を（大気圧ＡＴＭ雰囲気で動作し得る）ドライブ２００の内部から密閉するために、上記の磁性流体シール２７６、２７７およびベローズシール２７５の１つまたは複数が含まれ得る。ベローズシール２７５は、フレーム２００Ｆの内部２００ＦＩが、少なくとも１つの移送アーム３００、３０１が動作する、制御される雰囲気から隔離されるように、一端がキャリッジ２７０Ｃに連結され、他端がフレーム２００ＦＩの任意の適切な部分に連結されている。

他の態様では、上述のように、ブルックスオートメーションインコーポレイテッド社製のＭａｇｎａＴｒａｎ（登録商標）７およびＭａｇｎａＴｒａｎ（登録商標）８のロボット駆動セクションなどの、磁性流体シールなしで搬送アームが動作する雰囲気から密閉される、ステータを有するドライブが、キャリッジ２７０Ｃに設けられてもよい。たとえば、また図２Ｃおよび２Ｄを参照すると、回転駆動セクション２８２は、モータステータが、ロボットアームが動作する雰囲気から密閉され、モータのロータは、ロボットアームが動作する雰囲気を共有するように構成されている。図２Ｃは、第１の駆動モータ２８０’および第２の駆動モータ２８０Ａ’を有する同軸ドライブを示す。第１の駆動モータ２８０’は、ステータ２８０Ｓ’およびロータ２８０Ｒ’を有し、ここで、ロータ２８０Ｒ’は駆動シャフト２８０Ｓに連結されている。ステータ２８０Ｓ’をロボットアームが動作する雰囲気から密閉するように任意の適切な方法で、キャンシール２８０ＣＳが、ステータ２８０Ｓ’とロータ２８０Ｒ’との間に位置付けられ、ハウジング２８１に接続され得る。同様に、モータ２８０Ａ’は、ステータ２８０ＡＳ’およびロータ２８０ＡＲ’を含み、ロータ２８０ＡＲ’は駆動シャフト２８０ＡＳに連結されている。ステータ２８０ＡＳ’とロータ２８０ＡＲ’との間にキャンシール２８０ＡＣＳが配置されてもよい。キャンシール２８０ＡＣＳは、ステータ２８０ＡＳをロボットアームが動作する雰囲気から密閉するように任意の適切な方法でハウジング２８１に接続され得る。理解され得るように、駆動シャフト（および（１つまたは複数の）駆動シャフトが動作するアーム）の位置を判定するために、任意の適切なエンコーダ／センサ２６８Ａ、２６８Ｂが設けられてもよい。図２Ｄを参照すると、３軸回転駆動セクション２８２が示されている。３軸回転駆動セクションは、図２Ｃに関して上述される同軸駆動セクションに略類似し得るが、本態様では、３つのモータ２８０’、２８０Ａ’、２８０Ｂ’があり、各々が、それぞれの駆動シャフト２８０Ａ、２８０ＡＳ、２８０ＢＳに連結されるロータ２８０Ｒ’、２８０ＡＲ’、２８０ＢＲ’を有する。各モータはまた、ロボットアームが動作する雰囲気からそれぞれのキャンシール２８０ＳＣ、２８０ＡＣＳ、２８０ＢＣＳによって密閉される、それぞれのステータ２８０Ｓ’、２８０ＡＳ’、２８０ＢＳ’を含む。理解され得るように、駆動シャフト（および（１つまたは複数の）駆動シャフトが動作する（１つまたは複数の）アーム）の位置を判定するために、図２Ｃに関して上述されるような、任意の適切なエンコーダ／センサが設けられてもよい。理解され得るように、一態様では、図２Ｃおよび２Ｄに示されるモータの駆動シャフトは、ワイヤ２９０のフィードスルーを可能にしない場合があるが、他の態様では、ワイヤは、たとえば、図２Ｃおよび２Ｄに例示されるモータの中空駆動シャフトを通過し得るように、任意の適切なシールが設けられ得る。

また図３Ａ－３Ｃおよび４Ａ－４Ｅを参照すると、本態様では、駆動シャフト２８０Ｓは、少なくとも１つの移送アーム３００、３０１の各々に共通し得る共通軸４７０（本明細書では共通軸ＣＡＸとも呼ばれる）を中心に矢印Ｔの方向に移送アーム部分３７１をユニットとして回転させるための、移送アーム部分３７１のベース部材またはフレーム３１０Ｆに連結され得る。たとえば、ベース部材３１０Ｆは、アーム３００、３０１が共通軸４７０を中心にユニットとして回転するように、共通軸４７０を中心に回転し得る。ベース部材３１０Ｆは取り付け部分４５０を含み得て、これには、たとえば、駆動シャフト２８０Ｓが移動すると、ベース部材３１０Ｆが一緒に移動するように、駆動シャフト２８０Ｓが連結される。取り付け部分４５０は開口４５０Ａを含み得て、そこを通って、駆動シャフト２８０ＡＳ、２８０ＢＳなどの１つまたは複数の駆動シャフトが、たとえばここではクランク部材３２１として示される、１つまたは複数のリニアアームの半径方向運動のトランスミッション部材に連結される（他のトランスミッション構成が使用されてもよい）。他の態様では、１つまたは複数の駆動シャフト２８０ＡＳ、２８０Ｓは、任意の適切なトランスミッションなどを介して、任意の適切な方法で、それぞれのクランク部材３２１に連結されてもよい。本態様では、ドライブ２００は２つの駆動シャフトを含み得て、ここでは、１つの駆動シャフト２８０Ｓはベース部材３１０Ｆに実質的に直接連結され、別の駆動シャフト２８０ＡＳはクランク部材３２１に実質的に直接連結されている。

自由度軸を画定し、それぞれのアーム３００、３０１の伸長／収縮をもたらす、１つまたは複数のガイドレール、トラック、または軸受４００、４０１が、任意の適切な方法でベース部材３１０Ｆに取り付けられ得る。軸受４００、４０１は、リニア軸受などの任意の適切な軸受であり得る。第１のキャリッジ（本明細書では、軸受ケースとも呼ばれる）４２０が、任意の適切な方法で、軸受（たとえば、軸受レール）４００に移動可能に取り付けられるか、または連結され得る。たとえば、第１のキャリッジ４２０は、軸受４００上のキャリッジと係合して支持するように構成される、軸受インターフェース部分４２０Ｂを含み得る。第１のキャリッジ４２０は、搬送アーム３００が連結されるアーム取り付け部分４２０Ｐを含み得る。たとえば、搬送アームは、ベース３００Ｂおよびベース３００Ｂに連結されるエンドエフェクタ３００Ｅを含み得る（エンドエフェクタは、たとえば、ベースがエンドエフェクタとは異なる平面において、エンドエフェクタの上または下に位置するなど、ベースが、エンドエフェクタの上面または下面に接続されるように、ベースに連結され得るか、または、ベースは、ベースおよびエンドエフェクタが共通の平面に位置するように、エンドエフェクタに接続され得る）。搬送アームのベース３００Ｂは、任意の適切な方法で、取り付け部分４２０Ｐに連結されてもよい。他の態様では、搬送アーム３００および第１のキャリッジ４２０の少なくともベース３００Ｂは、単一の一体部材として一体的に形成され得る。

第２のキャリッジ（本明細書では、軸受ケースとも呼ばれる）４２１は、任意の適切な方法で、軸受（たとえば、軸受レール）４０１に移動可能に取り付けられるか、または連結され得る。たとえば、第１のキャリッジ４２１は、軸受４０１上のキャリッジと係合して支持するように構成される、軸受インターフェース部分４２１Ｂを含み得る。第１のキャリッジ４２１は、搬送アーム３０１が連結されるアーム取り付け部分４２１Ｐを含み得る。たとえば、搬送アーム３０１は、ベース３０１Ｂおよびベース３０１Ｂに連結されるエンドエフェクタ３０１Ｅを含み得る（エンドエフェクタは、たとえば、ベースがエンドエフェクタとは異なる平面においてエンドエフェクタの上または下に配置されるなど、ベースがエンドエフェクタの上面または下面に接続されるように、ベースに固定して連結され得るか、または、ベースは、ベースおよびエンドエフェクタが共通の平面に配置されるように、エンドエフェクタに接続され得る）。搬送アームのベース３０１Ｂは、任意の適切な方法で、取り付け部分４２１Ｐに連結されてもよい。他の態様では、搬送アーム３０１および第１のキャリッジ４２１の少なくともベース３０１Ｂは、単一の一体部材として一体的に形成され得る。

第１および第２のキャリッジ４２０、４２１によって生成される任意の粒子を実質的に含むために、軸受レール４００、４０１および第１および第２のキャリッジ４２０、４２１の少なくとも一部の上に、任意の適切なカバー３１０Ｃが設けられ得る。本態様では、アーム３００、３０１は、積層配置で上下に配置されているように示されているが、他の態様では、アームは、並んで配置され得るか、または任意の他の適切な配置を有し得る。一態様では、１つまたは複数の適切なセンサまたはエンコーダ１２３Ｃ、１２３Ｄが、フレーム３１０Ｆに配置され、エンドエフェクタの位置を判定するために、キャリッジ４２０、４２１または移送アーム３００、３０１の１つまたは複数と相互作用するように構成され得る。他の態様では、１つまたは複数のセンサ１２３Ａ、１３Ｂが、エンドエフェクタおよび／またはその上の基板の位置を判定するために、エンドエフェクタおよび／またはその上に配置される基板を検出するための移送チャンバ（図１Ｂ）に配置され得る。

各搬送アーム３００、３０１は、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＴｒａｎｓｐｏｒｔＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、特許協力条約の出願日が２０１５年１月１６日である、米国特許出願第１５／１１０，１３０号に記載されているように、クランク部材３２１に連結され、駆動され得る。クランク部材３２１、および駆動リンク３２２、３２３の１つまたは複数は、トランスミッションリンクまたはリンケージ３２０を画定し得る。一態様では、トランスミッションリンケージ３２０およびそれぞれのキャリッジ４２０、４２１／ガイド部材４００、４０１のうちの１つまたは複数は、それぞれのアーム３００、３０１を支持するように構成され得る。他の態様では、トランスミッションリンケージ３２０は、アーム３００、３０１の１つまたは複数を独立して支持し得る。さらに他の態様では、それぞれのキャリッジ４２０、４２１／ガイド部材４００、４０１は、それぞれのアーム３００、３０１を独立して支持するように構成され得る。トランスミッションリンケージ３２０は二軸剛性リンクであり得るが、二軸剛性リンクという用語は、米国特許出願第１５／１１０，１３０号（上述のように援用により本明細書に組み込まれる）に記載されるように、軸に沿って２方向に駆動力を伝送するように構成されていることを意味している。他の態様では、任意の適切なリンケージは、ドライブ２００をアーム３００、３０１に連結し得る。たとえば、適切なリンケージは、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、２０１１年５月２４日に特許査定を受けた「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＴｒａｎｓｐｏｒｔＡｐｐａｒａｔｕｓｗｉｔｈＭｕｌｔｉｐｌｅＩｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔｌｙＭｏｖａｂｌｅＡｒｔｉｃｕｌａｔｅｄＡｒｍｓ」と題される米国特許第７，９４６，８００号明細書、２００８年５月８日に出願された「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＴｒａｎｓｐｏｒｔＡｐｐａｒａｔｕｓｗｉｔｈＭｕｌｔｉｐｌｅＭｏｖａｂｌｅＡｒｍｓＵｔｉｌｉｚｉｎｇａＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｗｉｔｃｈＭｅｃｈａｎｉｓｍ」と題される米国特許出願第１２／１１７，４１５号、および２０１１年５月２３日に出願された「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＴｒａｎｓｐｏｒｔＡｐｐａｒａｔｕｓｗｉｔｈＭｕｌｔｉｐｌｅＩｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔｌｙＭｏｖａｂｌｅＡｒｔｉｃｕｌａｔｅｄＡｒｍｓ」と題される米国特許出願第１３／１１３，４７６号に記載されている。トランスミッションリンケージ３２０は、エンドエフェクタ３００Ｅ、３０１Ｅの移動の２５サブミクロンの精細度を画定する剛性を有し得る。

搬送装置１０４は、単一のベース部材３１０上に２つの移送アーム３００、３０１を有するものとして上述されているが、他の態様では、単一の移送アームが、単一のベース部材３１０上に配置され得る。さらに他の態様では、各ベース部材３１０が少なくとも１つの移送アーム３００、３０１を含むように、１つまたは複数のベース部材３１０が上下に積層され得る。積層されるベース部材３１０およびそれぞれの移送アームは、共通の駆動セクションによって駆動され得るか、または、それぞれのベース部材３１０の少なくとも１つの移送アーム３００、３０１を駆動させるための駆動モータが、搬送装置内に分配され得る。搬送装置１０４のアーム３００、３０１は、対向するアーム（たとえば、対向する両方向に伸長するアーム）として図３Ａ－４Ｃに示されているが、他の態様では、アームおよびトランスミッションリンケージが、互いに対して任意の適切な配置／構成を有し得る。たとえば、図５Ａは、開示される実施形態の態様による搬送装置１０４Ａを例示している。搬送装置１０４Ａは、本明細書に記載される搬送装置に略類似し得る。本態様では、ベース部材３１０ＦＡは、ドライブ２００の１つの駆動シャフト２８０Ｓに連結され（図２Ａおよび２Ｂ）、一方で、共通のクランク部材３２１Ａが、ドライブ２００の別の駆動シャフト２８０ＡＳに連結される。ここで、クランク部材は、（任意の適切な方法でドライブ２００に連結され得る）近接する中央部分および対向する遠位端を有するように共通軸４７０の対向する両側に伸長する。駆動リンク３２２は、上記に略類似した方法で、アーム３００をクランク部材３２１Ａに連結するために、ピボット軸４７４Ａで遠位端に回転可能に連結され得る。駆動リンク３２３は、上記に略類似した方法で、クランク部材３２１Ａをアーム３０１に連結するために、ピボット軸４７３Ａで対向する遠位端に回転可能（pivotally）に連結され得る。本態様では、各アームについての伸長／収縮の軸Ｒに沿う独立した自由度、および、共通軸４７０を中心とする矢印Ｔの方向でのユニットとしてのアームの回転は、２駆動軸の駆動セクションによって達成される。搬送装置１０４Ａは、クランク部材３２１Ａが矢印３９８Ａの方向に回転すると、駆動リンク３２２がアーム３００を押圧して軸Ｒ１に沿って伸長し、アーム３０１が略静止したままである、および／または、伸長された位置から収縮されるように、上記に略類似した方法で動作し得る。クランク部材３２１Ａが矢印３９８Ｂの方向に回転すると、駆動リンク３２３はアーム３０１を押圧して軸Ｒ１に沿って伸長し、アーム３０１は略静止したままである、および／または、伸長された位置から収縮される。ここで、アーム３００、３０１の伸長および収縮は、連動する（coupled）が、他の態様では、アーム３００、３０１の伸長および収縮は、本明細書に記載されるように、各アーム３００、３０１に対して分離し、別個に独立して駆動されるクランク部材を提供することによって、解除（uncoupled）し得る。

図５Ｃは、開示される実施形態の一態様による搬送装置１０４Ｂを示す。搬送装置１０４Ｂは、本明細書に記載されているものに略類似し得る。本態様では、ベース部材３１０ＦＢは、上記に略類似した方法で、ドライブ２００の駆動シャフト２８０Ｓに連結される。第１のクランク部材３２１Ｃは、ドライブ２００の第２の駆動シャフト２８０ＡＳに連結され得て、第２のクランク部材３２１Ｄは、ドライブ２００の第３の駆動シャフト２８０ＢＳに連結され得る。ここで、クランク部材は、アーム３００、３０１が完全に収縮された位置にあるときに、軸４７０からベース部材３０１ＦＢの対向する両側面（たとえば、伸長／収縮の軸に対して略横方向に）に向かって伸長し得る。本態様では、アーム３００の伸長／収縮は、各アームが、（搬送装置１０４、１０４Ａに関して示される対向する伸長方向に対して）同じ方向に独立して伸長するように、アーム３０１の伸長／収縮から連動が解除（uncoupled）される。理解され得るように、同じ方向へのアーム３００、３０１の伸長は、処理ステーション１３０などの基板保持ステーションからの基板の高速交換を可能にし得る。他の態様では、アーム３００、３０１は反対方向に伸長し得る。本例では、各アーム３００、３０１は、両方のアームが同時か、または異なる時間に伸長し得るように、独立して動作可能である。たとえば、駆動リンク３２２は、第２の駆動シャフト２８０ＡＳが回転すると、アーム３００が、上記に略類似した方法で、クランク部材３２１Ｃおよび駆動リンク３２２によって伸長または収縮して駆動されるように、クランク部材３２１Ｃをアーム３００に連結し得る。同様に、駆動リンク３２３は、第３の駆動シャフト２８０ＢＳが回転すると、アーム３０１が、上記に略類似した方法で、クランク部材３２１Ｄおよび駆動リンク３２３によって伸長または収縮して駆動されるように、クランク部材３２１Ｄをアーム３０１に連結し得る。他の態様では、共通のクランク部材は、本明細書に記載される方法に類似した方法で、駆動リンク３２２、３２３を駆動させ得る。本態様では、各アームについての伸長／収縮の軸Ｒに沿う独立した自由度、および、共通軸４７０を中心とする矢印Ｔの方向でのユニットとしてのアームの回転は、３駆動軸の駆動セクションによって達成される。

図５Ｄは、開示される実施形態の態様による搬送装置１０４Ｅを示す。搬送装置１０４Ｅは、本明細書に記載されているものに略類似し得る。本態様では、アーム３００、３０１は、図５Ｃに関して記載される方向と同じ方向に伸長するように配置されている。他の態様では、アーム３００、３０１は反対方向に伸長し得る。本態様では、アーム３００、３０１の伸長および収縮は、各アームについての伸長／収縮の軸Ｒに沿う独立した自由度、および、共通軸４７０を中心とする矢印Ｔの方向でのユニットとしてのアームの回転が、２駆動軸の駆動セクションによって達成されるように、図５Ａに関して上述される方法に略類似した方法で連結される。たとえば、駆動リンク３２２Ｂは、上記に略類似した方法で、アーム３００をクランク部材３２１Ａに連結するために、ピボット軸４７４Ａで共通のクランク部材３２１の遠位端に回転可能に連結され得る。駆動リンク３２３Ｂは、上記に略類似した方法で、アーム３０１をクランク部材３２１Ａに連結するために、共通のクランク部材３２１Ａの対向する遠位端に回転可能に連結され得る。他の態様では、各駆動リンクは、各アームについての伸長／収縮の軸Ｒに沿う独立した自由度、および、共通軸４７０を中心とする矢印Ｔの方向でのユニットとしてのアームの回転が、３駆動軸の駆動セクションによって達成されるように、本明細書に記載される方法に略類似した方法で、各アーム３００、３０１の連動解除動作のために、独立して回転可能なクランク部材に連結され得る。本態様では、駆動リンク３２２Ｂ、３２３Ｂは、概してそれぞれのエンドエフェクタ３００Ｅ、３０１Ｅに向かう方向に、クランク部材３２１Ａからそれぞれのアーム３００、３０１まで伸長する直線状の剛性リンクであり得る。搬送装置１０４Ａは、クランク部材３２１Ａが矢印３９８Ａの方向に回転すると、駆動リンク３２３Ｂがアーム３０１を押圧して軸Ｒ２に沿って伸長し、アーム３００が略静止したままである、および／または、伸長された位置から収縮されるように、上記に略類似した方法で動作し得る。クランク部材３２１Ａが矢印３９８Ｂの方向に回転すると、駆動リンク３２２Ｂはアーム３００を押圧して軸Ｒ１に沿って伸長し、アーム３０１は略静止したままである、および／または伸長された位置から収縮される。

図５Ｅは、開示される実施形態の一態様による搬送装置１０４Ｃを示す。搬送装置１０４Ｃは、本明細書に記載されているものに略類似し得る。本態様では、ベース部材３１０ＦＣは、上記に略類似した方法で、ドライブ２００の駆動シャフト２８０Ｓに連結される。第１のクランク部材３２１Ｃは、ドライブ２００の第２の駆動シャフト２８０ＡＳに連結され得て、第２のクランク部材３２１Ｄは、ドライブ２００の第３の駆動シャフト２８０ＢＳに連結され得る。ここで、クランク部材は、アーム３００、３０１が完全に収縮された位置にあるときに、軸４７０からベース部材３０１ＦＣの共通する側面（たとえば、伸長／収縮の軸に対して略横方向に）に向かって伸長し得る。本態様では、アーム３００の伸長／収縮は、各アームが、（搬送装置１０４、１０４Ａに関して示される対向する伸長方向に対して）同じ方向に独立して伸長するように、アーム３０１の伸長／収縮から連動が解除される。他の態様では、アーム３００、３０１は反対方向に伸長し得る。本態様では、各アームについての伸長／収縮の軸Ｒに沿う独立した自由度、および、共通軸４７０を中心とする矢印Ｔの方向でのユニットとしてのアームの回転は、３駆動軸の駆動セクションによって達成される。本例では、各アーム３００、３０１は、両方のアームが同時か、または異なる時間に伸長し得るように、独立して動作可能である。たとえば、駆動リンク３２２は、第２の駆動シャフト２８０ＡＳが回転すると、アーム３００が、上記に略類似した方法で、クランク部材３２１Ｃおよび駆動リンク３２２によって伸長または収縮して駆動されるように、クランク部材３２１Ｃをアーム３００に連結し得る。同様に、駆動リンク３２３は、第３の駆動シャフト２８０ＢＳが回転すると、アーム３０１が、上記に略類似した方法で、クランク部材３２１Ｄおよび駆動リンク３２３によって伸長または収縮して駆動されるように、クランク部材３２１Ｄをアーム３０１に連結し得る。

ここで図５Ａを参照すると（図６Ａおよび９も参照）、搬送装置は、少なくとも１つの駆動セクション２００および少なくとも１つの移送アーム５２１０、５２１１、５２１２、５２１３を含む。搬送装置の適切な例は、たとえば、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、２０１４年１２月１２日に出願された「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＴｒａｎｓｐｏｒｔＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題される米国特許出願第１４／５６８，７４２号、「ＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、２０１４年１０月１６日の特許協力条約の出願日を有する、米国特許出願第１５／１０３，２６８号、および「ＳｕｂｓｔｒａｔｅＴｒａｎｓｐｏｒｔＡｐｐａｒａｔｕｓ」と題され、２０１５年１月１６日の特許協力条約の出願日を有する、米国特許出願第１５／１１０，１３０号に見ることができる。少なくとも１つの駆動セクション２００は、Ｚ軸ドライブ２７０および回転駆動セクション２８２の１つまたは複数を収容するフレーム２００Ｆを含む。フレーム２００Ｆの内部２００ＦＩは、全体が援用により前に本明細書に組み込まれる、米国特許出願第１４／５６８，７４２号に記載される方法などの、任意の適切な方法で密閉され得る。一態様では、Ｚ軸ドライブは、少なくとも１つの移送アーム５２１０、５２１１、５２１２、５２１３をＺ軸に沿って移動させるように構成される、任意の適切なドライブであり得る（図７Ａを参照）。Ｚ軸ドライブは、ねじ式のドライブであり得るが、他の態様では、リニアアクチュエータ、ピエゾモータなどの任意の適切なリニアドライブであり得る。回転駆動セクション２８２は、たとえば、ハーモニック駆動セクションなどの任意の適切な駆動セクションとして構成され得て、駆動セクション２８２の（１つまたは複数の）駆動モータは、開示全体が援用により本明細書に組み込まれる、米国特許第６，８４５，２５０号明細書、米国特許第５，８９９，６５８号明細書、米国特許第５，８１３，８２３号明細書、および米国特許第５，７２０，５９０号明細書に記載される方法に略類似した方法で収容される。理解され得るように、回転駆動セクション２８２は、Ｚ軸ドライブが、Ｚ軸に沿って回転駆動セクション２８２およびアーム２１０、２１１、２１２、２１３を移動させるように、Ｚ軸ドライブ２７０に取り付けられ得る。

図６Ａを参照すると、一態様では、回転駆動セクション２８２の駆動シャフト２８０Ｓは、他の駆動セクション５２０１を、少なくとも１つの移送アーム２１０、５２１１、５２１２、５２１３の各々に共通し得る共通軸ＣＡＸを中心に矢印Ｔの方向に回転させるために、別の駆動セクション５２０１に連結され得る。ここで、駆動セクション５２０１は、ベース部材５２５０および少なくとも１つの駆動部分５２５１、５２５２を含み得る。本態様では、２つの駆動部分５２５１、５２５２が存在するが、他の態様では、任意の適切な数の駆動部分が設けられてもよい。ベース部材５２５０は、内部チャンバ５２５０Ｐを形成するフレームを含む。各駆動部分５２５１、５２５２はまた、ベース部材５２５０の内部チャンバ５２５０Ｐと密閉されて連通する内部チャンバ５３００Ｐを形成するフレーム５２５１Ｆ、５２５２Ｆを含む。理解され得るように、各駆動部分５２５１、５２５２は、たとえば、任意の適切なカバー５２５０Ｃによって密閉され得る、任意の適切なアクセス開口部を含み得る。図６Ａに見られるように、ベース部材５２５０は、それぞれの端部の１つに駆動部分５２５１、５２５２が密閉されて連結されるように、第１および第２の端部を含み得る。駆動部分は、それらに取り付けられる（１つまたは複数の）アームの伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２が、（１つまたは複数の）アームが配置されている移送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄのポートを通って伸長することができるように、互いに対して任意の適切な角度βで配置され得る。たとえば、一態様では、（駆動部分５２５１、５２５２の伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２間の角度に対応し得る）角度βは、移送チャンバ１２５Ａ（図１Ａ）のファセット１００Ｆ１－１００Ｆ８の角度αと実質的に同じであり得るか、または等しくなり得る。他の態様では、角度βは、駆動部分（およびそれらに取り付けられる（１つまたは複数の）アーム）の伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２が、たとえば、移送チャンバ１２５Ｂ（図１Ｂ）、１２５Ｃ（図１Ｃ）および１２５Ｄ（図１Ｄ）の並んだポートを通って伸長するように互いに略平行となるように、約０°であり得る。さらに他の態様では、角度βは、駆動部分５２５１、５２５２の伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２が互いに対して任意の適切な角度βを有し得るように、（たとえば、全体が援用により前に本明細書に組み込まれる米国特許出願第１４／５６８，７４２号に記載されるように、手動または自動化のいずれかによって）調整可能であり得る。たとえば、角度βは、たとえば、全体が援用により前に本明細書に組み込まれる、米国特許出願第１４／５６８，７４２号に記載されるように、移送チャンバ１２５Ｃ（図１Ｃ）のポートを通って伸長するために、および／または自動ワークピースセンタリングのために、角度０°とθとの間で調整され得る。さらに他の態様では、角度βおよび／または駆動部分間の間隔は、搬送装置１０４のアームが、共通の駆動軸ＣＡＸの回転および各駆動部分５２５１、５２５２の独立した伸長または動作を介して角度付きファセットを有する移送モジュールのポートを通って伸長し得るように固定され得る。ベース部材５２５０は、各駆動部分５２５１、５２５２の伸長および収縮の軸Ｒ１、Ｒ２が、一定距離で離間するように、任意の適切な長さＬ１を有し得て、固定距離は、システムツール構成によって課される要件（たとえば、搬送装置１０４が配置されているモジュールのポート間の距離）に対応するか、そうでなければ一致し得る。

引き続き図６Ａを参照すると、移送アーム５２１０－５２１３は、本開示の態様による駆動部分５２５２に関して説明される。本態様では、移送アーム５２１０－５２１３は、伸縮構成を有するが、他の態様では、移送アーム５２１０－５２１３は、任意の適切な構成を有し得る。また本態様では、各駆動部分５２５１、５２５２は、２つの伸縮アーム５２１０－５２１３を含むが、他の態様では、任意の適切な数の移送アームが、各駆動部分５２５１、５２５２に設けられ得る。本態様では、各移送アーム５２１０－５２１３は、ベース部材５２１０Ｂ、５２１１Ｂ、およびそれぞれのベース部材５２１０Ｂ、５２１１Ｂに移動可能に連結されるエンドエフェクタ５２１０Ｅ、５２１１Ｅ（移送アーム５２１２、５２１３のエンドエフェクタ５２１２Ｅ、５２１３Ｅも参照）を含む。各ベース部材５２１０Ｂ、５２１１Ｂは、伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２に沿ってエンドエフェクタを駆動させるために、任意の適切なトランスミッションが配置され得る内部を有し得る。ベース部材の内部は、移送アームが動作する雰囲気に曝され得るが、任意の粒子が雰囲気に侵入したり、雰囲気内に搬送されるワークピースに接触したりするのを防ぐために、ラビリンスシールなどの任意の適切なシールを含み得る。なお、本明細書に記載される各エンドエフェクタは、基板がエンドエフェクタによって保持されるときに配置される、エンドエフェクタ着座面ＳＰ（図４）を含む。ベース部材５２１０Ｂは、駆動部分５２５２に対して移動可能であるように、駆動部分５２５２の１つまたは複数のリニア軸受３１０を介して駆動部分５２５２に移動可能に連結され得る。ベース部材５２１１Ｂは、駆動部分５２５２に対して移動可能であるように、１つまたは複数のリニア軸受３１１を介して駆動部分５２５２に連結され得る。リニア軸受５３１０、５３１１は各々、より詳細に以下に説明するように、それぞれの軸受レール５５００、および軸受レール５５００に沿って移動する軸受ケース５１０（たとえば、この軸受ケースにそれぞれのベース部材５２１０Ｂ、５２１１Ｂが取り付けられている）を含み得る。各アーム５２１０、５２１１は、以下に説明するように、それぞれのリニア軸受によって画定される自由度を有し、それにより、リニア軸受５３１０、５３１１によって画定される移送アーム５２１０および５２１１の各々の自由度は、互いに平行である（たとえば、エンドエフェクタの移送面は上下に配置されている）。理解され得るように、移送アーム５２１２、５２１３は類似した平行な自由度を有する。また理解され得るように、アーム５２１１の（１つまたは複数の）リニア軸受によって画定される自由度は、移送アーム５２１２に対してリニア軸受によって画定される自由度と同一平面上にあり得て（たとえば、各移送アーム５２１１、５２１２のエンドエフェクタは同じ平面に配置される）、一方でアーム２１０の（１つまたは複数の）リニア軸受によって画定される自由度は、移送アーム５２１３の（１つまたは複数の）リニア軸受によって画定される自由度と同一平面上にあり得る（たとえば、各移送アーム５２１０、５２１３のエンドエフェクタは同じ平面に配置される）。

上述のように、本明細書に記載される移送アーム５２１０、５２１１、５２１２、５２１３は、例示目的のみで伸縮アームとして示されている。しかし、他の態様では、搬送装置１０４の移送アームは、たとえば、図１および図３および４に示されるものなどの直線的に摺動するアームなどの、任意の適切な移送アームであり得る。

ここで図６Ｃ－６Ｅを参照すると、搬送装置１０４のアーム駆動トランスミッションが、開示される実施形態の態様によって示されている。本態様では、駆動部分５２５１、５２５２は、エンドエフェクタ５２１０Ｅ－５２１３Ｅの着座面ＳＰ（図１０）に略平行であるプーリを有する駆動システムを含み得て、各アーム５２１０－５２１３についての駆動モータ５３２０、５３２１（アーム５２１２、５２１３についての駆動モータのみが示されているが、アーム５２１０、５２１１が類似した駆動モータを有することが理解される）は、ベース部材５２５０内に配置される（カバー５２５０Ｃが取り外されて示されている）。図６Ｃを参照し、駆動部分５２５１が説明されるが、駆動部分５２５２は、駆動部分５２５１に略類似していることを理解されたい。駆動部分５２５１は、任意の適切な寸法、形状、および／または構成を有し得るフレーム５２５１Ｆを含む。フレーム５２５１Ｆは、例示目的で平板として示されているが、他の態様では、フレーム５２５１Ｆは、駆動トランスミッションを収容するための任意の適切なカバーを含み得て、カバーは、駆動トランスミッションによって生成される任意の粒子が、アームが動作する雰囲気に侵入するのを実質的に防止するように構成されている。フレーム５２５１Ｆは、本明細書に記載されるものに類似した、任意の適切なレールまたはガイド部材を含み得て、任意の適切なレールまたはガイド部材にそれぞれのベース部材５２１０Ｂ、５２１１Ｂが移動可能に取り付けられている。各駆動モータ５３２０、５３２１は、それぞれのベルトまたはバンド５７４０、５７４１を駆動するために、それぞれの駆動プーリ５７３３Ａ、５７３３Ｂ（図６Ｄ）に連結されている駆動シャフトを含み得る。理解され得るように、ベルトまたはバンドが、上記の方法でそれぞれのアーム２１０、５２１１を駆動させるためにベース部材に固定して連結または固定され得るように、ベルトまたはバンド５７４０、５７４１をそれぞれのベース部材５２１０Ｂ、５２１１Ｂに隣接させて方向付けるために、任意の適切なアイドラプーリ５７３４Ａ、５７３４Ｂ、５７３５Ａ、５７３５Ｂが、フレーム５２５１Ｆに設けられて取り付けられ得る。理解され得るように、ベース部材５２５０は、モータ５３２０、５３２１が、駆動セクション２００とともに共通の大気雰囲気に配置されるように、カバー５２５０Ｃなどで適切に密閉され得る。２つの駆動部分が、図６Ｃにおいてベース部材５２５０に取り付けられて示されているが、他の態様では、２つを超えるまたは２つ未満の駆動部分がベース部材５２５０に取り付けられてもよい。たとえば、図６Ｅは、ベース部分５２５０に取り付けられる２つのアームを有する単一の駆動部分を示す。理解され得るように、図５Ｅに示される単一の駆動部分は、上記のものに略類似した３軸ドライブであり得る。一態様では、３軸ドライブの１つの駆動軸が、アーム５２１０の伸長／収縮を駆動させるために、プーリに連結され得て、３軸ドライブの１つの軸が、アーム５２１０、５２１１をユニットとして回転させるために、フレーム５２５１Ｆに連結され得て、３軸ドライブの１つの軸が、アーム５２１１の伸長／収縮を駆動させるために、プーリに連結され得る。

ここで図７Ａ－８Ｆを参照すると、搬送装置１０４Ｄが、本開示の態様によって示されている。搬送装置１０４Ｄは、上記の搬送装置１０４に略類似し得る。本態様では、駆動部分８００、８０１は、単一の直線的に摺動するアーム８１０－８１３で構成されている。本態様では、各駆動部分８００、８０１は、密閉されるモータセクション８６０およびトランスミッションセクション８５３を有するフレーム８５１、８５２を含む。駆動部分８００、８０１が、駆動部分８０１に関して説明されるが、駆動部分８００が、図７Ａに示されるように、略類似しているが、掌性が反対であり得ることを理解されたい。密閉されるモータセクション８６０は、フレーム８５１に固定して取り付けられ、任意の適切な（１つまたは複数の）モータ３２０、３２１を収容するように構成されている、ハウジングまたはカバー８５１Ｃ１を含み得る。ハウジング８５１Ｃ１は、モータ３２０、３２１が、駆動セクション２００内の大気雰囲気に共通する大気雰囲気内に配置されるように、任意の適切なシール部材によってフレームに密閉され得る。上記に略類似した方法で、ハウジング８５１Ｃ１は、任意の適切な方法で、ハウジング８５１Ｃ１を密閉される支持部材５６０（これは上記のベース部材２５０に略類似し得る）に取り付けるように構成される、開口または開口部を含み得る。理解され得るように、ハウジング８５１Ｃ１は、任意の適切な材料で構築され得て、（たとえば、密閉される支持部材５６０に連結されるときに）フレーム８５１、駆動コンポーネント、アーム８１２、８１３、およびアーム８１２、８１３によって運搬される、任意のワークピースを支持するように構成され得る。モータ５３２０、５３２１は、たとえば、それぞれのモータ５３２０、５３２１の磁性流体シールがフレーム８５１のそれぞれの開口部を密閉し、それぞれの駆動シャフトが密閉されるモータセクション８６０内の密閉される雰囲気を維持するようにフレーム８５１を通って伸長するように、任意の適切な方法でフレーム８５１に取り付けられ得る。

少なくとも１つのアーム８１２、８１３の独立した駆動軸のための自由度を画定するような任意の適切な方法で、１つまたは複数のリニア軸受８９８、８９９（図７Ｂを参照）が、トランスミッションセクション８５３内のフレーム８５１に取り付けられ得る。本態様では、（たとえば、図６Ａおよび６Ｂに関して本明細書に記載される方法に略類似した方法で）アーム８１２、８１３のＸ軸または伸長／収縮の軸Ｒに沿って配置される２つのリニア軸受９３０、９３１が存在するが、他の態様では、任意の適切な数のアームを誘導するために、任意の適切な数のリニア軸受が提供されてもよい。キャリアまたはアーム支持体９４０、９４１（たとえば、軸受ケース５１０；図７Ｂを参照）が、軸受レール（たとえば、軸受レール５５００；図６Ｂを参照）によって支持され、Ｘ軸に沿って（たとえば、伸長／収縮の軸Ｒに沿って）移動可能であるように、それぞれのリニア軸受９３０、９３１に取り付けられ得る。本態様では、キャリア９４０は、ガイドレール９３０に移動可能に取り付けられ、キャリア９４１は、ガイドレール９３１に移動可能に取り付けられ、リニア軸受９３０は、リニア軸受５３１０に略類似し得、リニア軸受９３１は、リニア軸受５３１１に略類似し得る。各キャリア９４０、９４１（たとえば、軸受ケース５１０）は、それぞれのアーム８１２、８１３が固定して取り付けられる、アーム取り付け部分９４０Ｍ、９４１Ｍを含み得る。キャリア９４０、９４１は、１つのキャリア９４０、９４１が伸長／収縮の軸Ｒに沿ってキャリア９４０、９４１の別の１つを通過すること可能とするように、任意の適切な方法で構成され得る（本態様ではリニアレール９３０、９３１およびそれらのそれぞれの軸受ケースは並んで配置されるが、他の態様では、リニアレールおよびそれらのそれぞれの軸受ケースは上下に配置され得る）。全体が援用によって前に本明細書に組み込まれる、米国特許出願第１４／５６８，７４２号に記載されるベルト／バンドおよびプーリのトランスミッションなどの任意の適切なそれぞれの駆動トランスミッション（図９Ｂに示されるベルトおよびプーリのトランスミッションも参照）を介して、キャリア９４０はモータ３２０に連結され得て、キャリア９４１は、モータ３２１に連結され得る（またはその逆もあり得る）。

図８Ａ－８Ｄに最もよく見られるように、一態様では、駆動プーリ９２１は、シャフト５３７０が回転すると、駆動プーリ９２１も一緒に回転するように、モータ３２０のシャフト５３７０に連結され得る。アイドラプーリ９１０Ａ、９１０Ｂは、実質的にガイドレール９３０、９３１の対向する両端部に配置され得て、１つまたは複数のベルトまたはバンドは、アイドラプーリ９１０Ａ、９１０Ｂの周りに少なくとも部分的に巻き付けられ得るように構成され得る。図８Ｅおよび８Ｆに見られるように、１つまたは複数のベルトまたはバンド９４０Ｂ１、９４０Ｂ２によって、駆動プーリ９２０、９２１をそれぞれのキャリア９４０、９４１に連結し得る。たとえば、駆動プーリ９２１およびキャリア９４０を参照すると、第１のバンド／ベルト９４０Ｂ１が、バンド／ベルト９４０Ｂ１の一端ＢＥ１でプーリ９２１に固定して連結され得る。バンド／ベルト９４０Ｂ１は、アイドラプーリ９１０Ａに少なくとも部分的に巻き付き、バンド／ベルト９４０Ｂ１の別の１つの対向する端部ＢＥ２がキャリア９４０に固定して連結されるように、キャリア９４０に伸長し得る。第２のバンド／ベルト９４０Ｂ２が、バンド／ベルト９４０Ｂ２の一端ＢＥ３でプーリ９２１に固定して連結され得る。バンド／ベルト９４０Ｂ２は、アイドラプーリ９１０Ｂに少なくとも部分的に巻き付き、バンド／ベルト９４０Ｂ２のもう１の対向する端部ＢＥ４がキャリア９４０に固定して連結されるように、（たとえば、第１および第２のバンド／ベルト９４０Ｂ１、９４０Ｂ２の１つがキャリアを引き、別の１つのバンド／ベルト９４０Ｂ１、９４０Ｂ２がキャリアを押すように、第１のバンド／ベルト９４０Ｂ１の方向とは反対の方向から）キャリア９４０に伸長し得る。同様に、キャリア９４１に関して、第１のバンド／ベルト９４１Ｂ１が、バンド／ベルト９４１Ｂ１の一端でプーリ９２０に固定して連結され得る。バンド／ベルト９４１Ｂ１は、アイドラプーリ９１０Ａに少なくとも部分的に巻き付き、バンド／ベルト９４１Ｂ１の別の１つの対向する端部がキャリア９４１に固定して連結されるように、キャリア９４１に伸長し得る。第２のバンド／ベルト９４１Ｂ２が、バンド／ベルト９４１Ｂ２の一端でプーリ９２０に固定して連結され得る。バンド／ベルト９４１Ｂ２は、アイドラプーリ９１０Ｂに少なくとも部分的に巻き付き、バンド／ベルト９４１Ｂ２の別の１つの対向する端部がキャリア９４１に固定して連結されるように、（たとえば、第１および第２のバンド／ベルト９４１Ｂ１、９４１Ｂ２の１つがキャリアを引き、もう１のバンド／ベルト９４１Ｂ１、９４１Ｂ２がキャリアを押すように、第１のバンド／ベルト９４１Ｂ１の方向とは反対の方向から）キャリア９４１に伸長し得る。一態様では、トランスミッションセクション８５３は、アーム８１２、８１３が動作する雰囲気に曝され得る。

ここで図５Ｆ、７Ａおよび７Ｂを参照すると、搬送装置１０４Ｄのアーム８１０－８１３は、図４Ａ－６Ｅに関して上述されるものに略類似した剛性リンクによって伸長および収縮され得る。本態様では、各アーム８１０－８１３がそれぞれの伸長／収縮の軸Ｒに沿う独立した自由度を有するように、および、共通軸４７０／ＣＡＸを中心とするユニットとしてのアームを回転のために、少なくとも５軸駆動システムが提供され得る。他の態様では、各ベース部材３１０Ｆ１、３１０Ｆ２に独立したＺ軸運動を提供し、各ベース部材８５１、８５２に共通のＺ軸運動を提供し、本明細書に記載されるような方向Ｙへの１つまたは複数のベース部材８５１、８５２の回転と、１つまたは複数のベース部材８５１、８５２の移動とをもらすように、追加の駆動軸が提供され得る。

他の態様では、１つまたは複数のキャリアは、任意の適切なリニアモータによって、ベルト／バンドおよび／またはプーリまたは剛性リンクを介して駆動され得るよりむしろ、実質的に直接駆動され得る。たとえば、一態様では、トランスミッションセクション８５３は、共通の大気雰囲気がトランスミッションセクション８５３と駆動セクション２００との間で共有されるように、アーム８１２、８１３が動作する雰囲気から密閉され得る。軸受レール８９８、８９９は、トランスミッションセクション８５３の外側に配置され得て、軸受ケース５５１０とシール部分９９７、９９８を含むカバー８５１Ｃ２とを含み得る。各軸受ケース５５１０は、これに取り付けられる磁気従動部を有し得て、磁気従動部は、たとえば、それら全体が援用により前に本明細書に組み込まれる、米国特許第７，９０１，５３９号明細書、米国特許第８，２９３，０６６号明細書、米国特許第８，４１９，３４１号明細書、および米国特許出願第１３／２８６，１８６号に記載される方法に略類似した方法で、磁気従動部と磁気ドライバとの間の磁気連結を介して、たとえば、トランスミッションセクション８５３の壁またはカバーを介して磁気ドライバによって磁気的に駆動される。別の態様では、軸受ケース５５１０の各々は、たとえば、それら全体が援用により本明細書に組み込まれる、米国特許第７，５７５，４０６号明細書、米国特許第７，９５９，３９５号明細書、および米国特許第８，６５１，７８９号明細書に記載される方法に略類似した方法で、トランスミッションセクション８５３の密閉される大気雰囲気内に配置される、モータ巻線のリニアアレイにより駆動される、磁気プラテンを含み得る。

一態様では、各アーム８１０－８１３は、略剛性のアームセクションまたはエンドエフェクタ伸長部材８１０ＥＭ－８１３ＥＭによって、それぞれの軸受ケース５５１０に連結されるエンドエフェクタ８１０Ｅ－８１３Ｅを含む。たとえば、略剛性のアームセクション８１０ＥＭ－８１３ＥＭは、メカニカルファスナなどによって任意の適切な方法で、それぞれの軸受ケース５５１０のそれぞれのアーム取り付け部分９４０Ｍ、９４１Ｍに固定して連結され得る。エンドエフェクタ８１０Ｅ－８１３Ｅは、メカニカルファスナなどによって任意の適切な方法で、それぞれの略剛性のアームセクション８１０ＥＭ－８１３ＥＭに固定して連結され得る。他の態様では、略剛性のアームセクション８１０ＥＭ－８１３ＥＭおよびそれぞれのエンドエフェクタ８１０Ｅ－８１３Ｅは、単一の一体構造を有し得る。さらに他の態様では、略剛性のアームセクション８１０ＥＭ－８１３ＥＭ、それぞれのエンドエフェクタ８１０Ｅ－８１３Ｅ、およびそれぞれのキャリア９４０、９４１は、単一の一体構造を有し得る。

上述の説明から見られ得るように、各エンドエフェクタ８１０Ｅ－８１３Ｅは、それぞれの伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２に沿って独立して伸長／収縮可能である。一態様では、１つまたは複数の駆動部分８００、８０１は、全体が援用により本明細書に前に組み込まれる、米国特許出願第１４／５６８，７４２号に記載されるものに略類似した方法で、たとえば、移送モジュール１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄのファセット間で、互いに対する伸長／収縮の軸Ｒ１、Ｒ２の間の距離Ｄを変更するように、または自動的なワークピースのセンタリングおよび／またはワークピース保持ステーションの位置の変更のための独立したワークピースの配置調整のための共通の回転軸ＣＡＸに対する１つまたは複数の伸長／収縮の軸の距離Ｄ１、Ｄ２を変更するように、駆動部分８００、８０１の別の１つとは独立して、Ｙ軸に沿って独立して、移動可能であり得る。

図９Ａを参照すると、搬送装置１０４Ｆが、本開示の態様によって示されている。搬送装置１０４Ｄは、上記の搬送装置１０４Ｆに略類似し得る。本態様では、デュアルウェーハ伸長部またはエンドエフェクタ１３３１０、１３３１１が、本明細書に記載される搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅなどのリニア駆動チャンバの内側に配置され、駆動セクション２００（これは、一態様では、上記のようなＺ軸ドライブ２７０および回転駆動セクション２８２の１つまたは複数を収容するフレーム２００Ｆを含む。図６Ａおよび７Ａを参照）は、移送チャンバ３０１の外側に位置付けられる。

また図９Ｂおよび９Ｃを参照すると、本開示の一態様による例示的な単一のリニアドライブ１３４００の概略図が示されている。一態様では、アーム１０４Ｆの上部エンドエフェクタ１３３１０および下部エンドエフェクタ１３３１１は、各々、各エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１の独立した伸長および収縮をもたらすために、それぞれの単一のリニアドライブ１３４００によって駆動される。他の態様では、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１は、任意の適切な方法で、本明細書に記載されるものなどの任意の適切なドライブによって伸長および収縮される。図９Ｂに見られるように、各エンドエフェクタは、任意の適切な方法でエンドエフェクタ１３３１０、１３３１１を支持するエンドエフェクタステージ１３４１１に接続されている。一態様では、エンドエフェクタステージ１３４１１は、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１のそれぞれの部分を形成し、エンドエフェクタステージはエンドエフェクタと一体的に形成され、他の態様では、エンドエフェクタステージは、任意の適切な方法で、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１に連結される。一態様では、以下に記載されるように、単一のリニアドライブ１３４００は、関節機構であり（たとえば、エンドエフェクタステージおよび中間ステージの両方の二重のリニア伸長が、単一または１自由度のドライブによってもたらされる）、それにより、エンドエフェクタステージ１３４１１の運動は、任意の適切なトランスミッションによって、中間ステージ１３４１０の２倍に増大され、中間ステージ１３４１０は、エンドエフェクタステージ１３４１１（およびそれ故、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１）をテーブルプレートまたはアームベース部材１３４２３に接続する。理解され得るように、他の態様では、エンドエフェクタステージの運動は、中間ステージ１３４１０に対して、任意の適切な量だけ（たとえば、２倍を超えて）増大されるか、または１：１の比率で拡張される。一態様では、当該増大は、任意の適切な方法で、たとえば、中間ステージ１３４１０の対向する両端に取り付けられる２つのプーリ１３４２４、１３４２５間に引き伸ばされるベルト１３４２０を介して中間ステージ１３４１０を移動させることによって達成される。他の態様では、プーリ１３４２４、１３４２５は、中間ステージ１３４１０の任意の適切なそれぞれの位置に取り付けられる。この関節設計は、それぞれ、Ｘ座標とＲ座標で表される、中間ステージ１３４１０とエンドエフェクタステージ１３４１１の運動間に１：２の伸長／収縮の比率をもたらす。一態様では、中間ステージ１３４１０は、任意の適切なリニアモータ１４０００によって駆動される。たとえば、リニアモータ１４０００は、駆動部分またはステータ１３４２１および被駆動部分１３４２２を含む。リニアモータ１４０００の少なくとも被駆動部分１３４２２は、中間ステージ１３４１０に取り付けられ、それ故に、中間ステージ１３４１０と共に移動する。中間ステージ１３４１０は、たとえば、テーブルプレート１３４２３に取り付けられる（リニア軸受５３１０、５３１１、８９８、８９９に略類似した軸受ケーシング５１０および軸受レール５５００を有する）中間リニア軸受１３４０１などの任意の適切なリニア軸受上をテーブルプレート１３４２３に沿って滑走する。中間ステージ１３４１０に取り付けられる（リニア軸受５３１０、５３１１、８９８、８９９に略類似し得る）エンドエフェクタリニア軸受１３４０２は、エンドエフェクタステージ１３４１１に関節運動を付与する。エンドエフェクタ軸受１３４０２は、（軸受ケーシング５１０に類似した）１つまたは複数の軸受ケーシング１３４０２Ｂおよび（軸受レール５５００に類似した）レール１３４０２Ｒを含み、１つまたは複数の軸受ケーシング１３４０２Ｂは、レール１３４０２Ｒに沿って移動する。一態様では、エンドエフェクタ軸受１３４０２は、２つの軸受ケーシング１３４０２Ｂを含み、他の態様では、エンドエフェクタ軸受１３４０２は、２つを超える軸受ケーシング１３４０２Ｂを含む。理解され得るように、エンドエフェクタ軸受１３４０２は、中間リニア軸受１３４０１に略類似する。任意の適切な数のリニアエンコーダ１５０００が、中間ステージ１３４１０およびエンドエフェクタステージ１３４１１の１つまたは複数に取り付けられ、エンドエフェクタの伸長／収縮の運動制御のための位置フィードバックを提供する。

ここで図１０を参照すると、搬送装置１０４Ｆ’が、本開示の態様による伸長および収縮の構成で示されている。搬送装置１０４Ｆ’は、上記の搬送装置１０４Ｆに略類似し、搬送装置１０４に関して記載される方法に略類似した方法で、本明細書に記載される搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅのいずれか１つまたは複数で利用される。ここでは、１つのエンドエフェクタ１３３１０が例示目的のみで示されているが、他の態様では、搬送装置１０４Ｆ’が、エンドエフェクタ１３３１０、１３３１１などの任意の適切な数のエンドエフェクタを含むことを理解されたい。一態様では、エンドエフェクタステージ１３４１１およびエンドエフェクタ１３３１０（ここでは、例示目的で、エンドエフェクタ１３３１０と呼ばれる）は、中間ステージ１３４１０の長さよりも長い、組み合わされた長さを有し、不等長のリンクまたは部材を有する伸長アームを形成する。別の態様では、エンドエフェクタ１３３１０は、中間ステージ１３４１０の長さに略等しい長さを有し、等しい長さのリンクまたは部材を有する伸長アームを形成する。本態様では、搬送装置１０４Ｆ’の回転の中心は、軸ＣＡＸに略一致しており、軸ＣＡＸは、一態様では、実質的にテーブルプレート１３４２３の中点に配置されるような駆動セクション２００の回転の軸である。

ここで、図１１、１２、および１３Ａを参照すると、上述されるリニア軸受に略類似する軸受２１６００が説明される。軸受２１６００は、軸受ケース２１６１０（上記の軸受ケース／キャリアに略類似し、たとえば、軸受ケース／キャリア４２０、４２１、５１０、９４０、９４１、１３４０２Ｂ）および軸受レール６９０（上記の軸受レールに略類似し、たとえば、軸受レール４００、４０１、５５００、９３０、９３１、１３４０２Ｒ）を含む。軸受２１６００は、再循環ボール軸受（図１１、１３Ａ、および１３Ｂに示される）または再循環ローラ軸受（図１３Ｃおよび１３Ｄに示される軸受ケース２１６１０’および軸受レール２１６９０’を参照）である。他の態様では、軸受構成は、対向する軸受レースウェイ（たとえば、軸受ケースメントおよびベースガイドウェイ）間に介在する転がり要素（たとえば、ボール、ローラ、または針）を有し、転がり要素は、複数のレースウェイ、またはそれらの少なくとも１つに対して、転がり要素の転動運動により横断する（すなわり、ボール／ローラ／針は、レースウェイの相互運動をもたらす際に、部分的にレースウェイスロット内を循環する）。再循環ボールおよび再循環ローラ軸受の適切な例は、本明細書に別段の記載がない限り、たとえば、ＩＫＯＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ，Ｉｎｃ．，Ｌｔｄ．、ＮＳＫＬｔｄ．、およびＳｃｈｎｅｅｂｅｒｇｅｒから入手可能である。軸受２１６００は、例示目的で主に球形／ボールの構成を有する転がり要素に関して記載されるが、転がり要素のローラ／円筒の構成の摩擦力が、本明細書に記載される同じ方法で、軸受性能の他の独創的な改善をもたらすとともに、低減され得る。

上述されるように、軸受２１６００は、それぞれの搬送アームの少なくとも１つの自由度軸を画定するそれぞれのガイドウェイ（たとえば、図４Ｂの軸受レール４００、４０１およびキャリア４２０、４２１によって形成される、それぞれのガイドウェイ４９９を参照。略類似したガイドウェイに関して、本明細書には他の軸受が記載されていることを留意されたい）を画定する。軸受２１６００は、軸受レール２１６９０、２１６９０’に沿って軸受ケース２１６１０、２１６１０’を循環するように、軸受２１６００の軸受ケース２１６１０、２１６１０’に配置され、少なくとも１つの搬送アームによって軸受２１６００、２１６００’に付与されるアームの負荷を支持するように、軸受ケース２１６１０、２１６１０’の軸受レースウェイ２１８２０Ａと軸受レール２１６９０、２１６９０’の軸受レースウェイ２１８２０Ｂ、２１８２０Ｂ’との間をインターフェース接続し、少なくとも１つの搬送アームによって、軸受レール２１６９０、２１６９０’に沿う、軸受ケース２１６１０、２１６１０’の摺動をもたらす、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’を含む。

軸受２１６００、２１６００’はまた、図１１、１３Ａ、１３Ｄに示されるように、転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’の各々と転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’の別の１つとの間に介在し、転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’の各々を転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’の別の１つから離間させて、軸受ケース２１６１０、２１６１０’に並んで配置される、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’を含む。少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’は、軸受ケース２１６１０、２１６１’が軸受レール２１６９０、２１６９０’に沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’と他の転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’との間の相対運動を緩衝するように、各転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’と他の転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’との間をインターフェース接続する。一態様では、転がり負荷軸受要素２１６１１および実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０は各々、（図１１および１３Ａに示されるように）ボールである。他の態様では、転がり負荷軸受要素２１６１１’および実質的に無負荷の軸受のスペーサ要素２１６２０’は各々、（図１３Ｃに示されるように）ローラである。

少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’は、軸受レール２１６９０、２１６９０’の軸受レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ａ’と軸受レースウェイ２１８２０Ｂ、２１８２０Ｂ’との間をインターフェース接続して、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’が、搬送アームの負荷によって負荷が加えられないように構成される。たとえば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’は、（以下で説明されるように、）軸受レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ａ’および／または軸受レールレースウェイ２１８２０Ｂ、２１８２０Ｂ’において（たとえば、空間または間隙２１８００、２１８１０を提供するように、ボール要素が採用される直径より小さくなるように寸法決めされるか（図１３Ａを参照）、またはローラ要素が採用される直径および／または長さより小さくなるように寸法決めされる（図１３Ｃを参照）ことなどによって）表面接触を提供するか、または走行摩耗を最小限にするように、および、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’が負荷下であるなかで、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’が、無負荷のままであり（アームが定格容量まで負荷をかけられ、記載されるようなツールの定常状態の雰囲気で動作する）、実質的に軸受レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ａ’と軸受レールレースウェイ２１８２０Ｂ、２１８２０Ｂ’との間で激しく振動したり跳ね返ったりすることなく、自由に移動可能である（たとえば、軸受レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ａ’、２１８２０Ｂ、２１８２０Ｂ’内でスムーズに移動する／転動する）ように、構成される。たとえば、上記のように、実質的に無負荷の軸受のスペーサ要素２１６２０は、本明細書に記載されるように、実質的に無負荷の軸受のスペーサ要素２１６２０と、軸受２１６００の軸受レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ｂ（図１１および１３Ａを参照）と間の、拘束のない（free）ランニングクリアランス２１８０１、および実質的に無負荷の軸受のスペーサ要素２１６２０と、隣接する転がり負荷軸受要素２１６１１との間の別の自由なランニングクリアランス２１８００を形成するように、転がり負荷軸受要素２１６１１に対して小さく寸法決めされ得る。実質的に約２６０℃以上の温度で、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’間のクリアランスは、犠牲緩衝材料の寸法安定性の特性、および少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’の作製によって生成可能である、結果として生じる公差に対応し、一致する、クリアランス（図１３Ａおよび１３Ｃに示される自由なランニングクリアランス２１８００、２１８０１）を提供するように構成される。代替の態様では、拘束のないランニングクリアランス２１８００、２１８０１は、ミクロン範囲の公差を提供するために適切な特性を備える犠牲緩衝材料に対して、少なくとも約１ミクロンであり得て、そうでなければ、本明細書に記載の材料特性に相応し得る。他の態様では、拘束のないランニングクリアランス２１８００、２１８０１は、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’と、隣接する転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’との間、および／または、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’と軸受レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ａ’、２１８２０Ｂ、２１８２０Ｂ’との間で、（たとえば、１インチの約±１ミル（１００分の１未満）の転がり要素の寸法公差範囲のスケール内で）少なくとも約２ミル（約０．０５ｍｍ）から約５ミル（約０．１３ｍｍ）であり得る。

たとえば、図１１、１３Ａ、１３Ｃに見られ得るように、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’は、軸受２１６００が、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受２１７００に対して、（たとえば、所定の軸受寸法および軸受容量に対して）低減した数の少なくとも１つの転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’を有するように、軸受ケース２１６１０、２１６１０’において、転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’の位置を占めるように、軸受ケース２１６１０、２１６１０’に配置される。このように、軸受２１６００は、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に相応する低減した振動応答により、低減した負荷軸受要素に相応する低減した滑り抵抗力を提供する、すべての負荷軸受要素の軸受（すなわち、軸受２１７００およびその定格負荷容量）に相応する、所定の負荷容量に対して、低減した負荷軸受要素の軸受（すなわち、負荷軸受転がり要素の代わりに、負荷軸受転がり要素と無負荷軸受転がり要素との組み合わせを備える軸受２１６００）である。

軸受ケース２１６１０、２１６１０’は、転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’および実質的に無負荷の軸受のスペーサ要素２１６２０、２１６２０’（本明細書では転がり要素２１６１１、２１６１１’、２１６２０、２１６２０’と総称される）を再サイクル／再循環（recycle/recirculate）させるように構成されている。たとえば、図１１を参照すると、軸受ケース２１６１０、２１６１０’が軸受レール２１６９０、２１６９０’に沿って移動方向２１６９９に移動すると、転がり要素２１６１１、２１６１１’、２１６２０、２１６２０’は、球形／ボールの転がり要素が利用される場合には、軸受レースウェイ２１８２０Ａに沿って、または（円筒／ローラの要素が利用される場合には）レースウェイ２１８２０Ａ’に沿って、軸受ケース２１６１０、２１６１０’の後端に向かって移動する。転がり要素２１６１１、２１６１１’、２１６２０、２１６２０’が軸受ケース２１６１０、２１６１０’の後端に達する（隣接して配置される）と、転がり要素２１６１１、２１６１１’、２１６２０、２１６２０’は、軸受ケース２１６１０、２１６１０’において形成される再循環レースウェイ２１６９８に入る。（軸受ケース２１６１０のエンドキャップ２１６１０Ｃが取り外されている、図１２で最もよく見られるような）再循環レースウェイ２１６９８は、転がり要素２１６１１、２１６１１’、２１６２０、２１６２０’が軸受レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ａ’に再び入るように、転がり要素２１６１１、２１６１１’、２１６２０、２１６２０’を軸受ケース２１６１０、２１６１０’の先端に（または隣接して）再方向付けさせるか、または再サイクルさせる。

本開示の態様によれば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’は、指定された所定の使用期間中の実質的に約２６０℃以上の温度の真空雰囲気における、真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に対して適合可能である（以下に記載されるような）犠牲緩衝材料からなる。一例として、指定された所定の使用期間は、実質的に２６０℃以上の温度の真空雰囲気における、真空基板搬送装置の所定の使用デューティでの年数を超える（たとえば、最小５年の使用期間／寿命）。真空基板搬送装置の所定の使用デューティは、真空基板搬送装置の指定された所定の使用期間の寿命に対応する。

本開示の態様によれば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’の犠牲緩衝材料（本明細書では、スペーサ材料とも呼ばれる）は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’に対して、犠牲的に摩耗する、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’の犠牲摩耗面２１６２０Ｓ、２１６２０Ｓ’を形成する。一態様では、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’は、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’の全体にわたって共通の材料（たとえば、犠牲緩衝材料）からなり、他の態様では、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’は、犠牲緩衝材料でオーバーモールドされる、任意の適切なベース材料を含み得る（すなわち、犠牲緩衝材料はベース材料を囲んで収容する）。

犠牲緩衝材料は、実質的に２６０℃以上の温度で寸法的に安定な材料である。一態様では、犠牲緩衝材料は、転がり要素２１６１１、２１６１１’、２１６２０、２１６２０’がレースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ａ、２１８２０Ｂ、２１８２０Ｂ’、２１６９８を循環すると、より低い衝撃パルスを誘発し、たとえば、結果として、すべてが転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’を有するよりも小さいか、または相応する振動をもたらすように、実質的に無負荷の軸受のスペーサ要素２１６２０、２１６２０’に転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’よりも少ない質量を提供する（たとえば、以下でさらに説明する図１５を参照）。犠牲緩衝材料は、約２６０℃以上の温度の真空において、動作するように構成されており、潤滑性に損傷を生じた場合に、犠牲緩衝材料の摩耗特性が搬送装置の継続的な動作をもたらすように、真空潤滑剤などの一般的な潤滑剤に適合可能である。少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’の犠牲緩衝材料は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’に対して、潤滑性のある材料表面を有する。一例として、犠牲緩衝材料は、以下の材料特性を有し得る。

なお、表に示されている材料特性値は、室温（たとえば、約２１℃または７０°Ｆ）での犠牲緩衝材料に対する材料特性値の代表的な例である。上記の材料特性は、犠牲緩衝材料が、材料特性を実質的に２６０℃以上の温度に実質的に一定に維持し得るような代表的な目的のために、ベースラインとして室温で提供される。犠牲緩衝材料の高温での持続的な材料特性の能力が図１６に示される（図１６にプロットされる具体的な特性は、せん断弾性率であるが、プロットは高温での上記の表に列挙される材料特性の代表的なものである）。なお、加えて、上記の表に提供される材料特性値が一般化されており、本開示の態様に反することなく、いくらか高くか、または低くてもよく、実質的に２６０℃または約２６０℃から約５００℃、より具体的には、２６０℃または約２６０℃から約７００℃の温度において、寸法安定性を有する適切な材料を示すことを意図している。犠牲緩衝材料／摩耗表面材料の適切な例は、ポリイミド（ＰＩ）またはポリアミドイミド（ＰＡＩ）などのプラスチック材料（plastic material）、たとえば、Ｔｏｒｌｏｎ（登録商標）の名称でＳｏｌｖａｙＳ．Ａ．から入手可能なＰＡＩであるが、他の態様では、犠牲緩衝材料は任意の適切なプラスチック（plastic）であってもよい。

一態様では、犠牲緩衝材料は、潤滑油の吸収または吸着を提供する材料特性および／または構造を有し得る。真空雰囲気での実質的に無負荷の軸受のスペーサ要素２１６２０、２１６２０’の犠牲緩衝材料による潤滑油の吸収または吸着は、潤滑油が真空雰囲気で蒸発し得るため有益であり得る。犠牲緩衝材料に吸収されるか、または犠牲緩衝材料の表面に吸着される潤滑油は、蒸発により長い時間を要し得て、犠牲緩衝材料自体の内部または表面での潤滑油の貯蔵は、搬送装置の動作中に、搬送装置の実質的にその場（たとえば、外部支援なしで、半導体処理を停止することなく）での再潤滑を提供し得る（たとえば、潤滑油は、犠牲緩衝材からレースウェイに、および軸受が動作すると、隣接する転がり負荷軸受要素に移送される）。

また図１１Ａ－１３Ａおよび１３Ｃを参照すると、上記のように、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’は、隣接する転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’間にインターフェース接続され、隣接する転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’間の相対運動を吸収する緩衝材を形成する（たとえば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’の可塑性は、吸収緩衝材を提供する）。たとえば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’は、再循環レースウェイ２１６９８を通過し、レースウェイ２１８２０Ａ、２１８２０Ａ’、２１８２０Ｂ、２１８２０Ｂ’に沿った、隣接する転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’間の相対運動を緩衝する。

本明細書に記載されるように、軸受２１６００は、転がり負荷軸受要素２１６１１、２１６１１’、および実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素２１６２０、２１６２０’の両方の混合体を含む、混合の転がり要素の軸受であり、それ自体は、相応の軸受負荷容量を備える（従来の軸受、または、すべてが負荷軸受要素である軸受に対して）低減した負荷軸受要素（たとえばボールまたはローラなど）の軸受であるが、低減した負荷軸受要素の軸受より低いか、または相応する滑り抵抗力（静的および動的）を備える。また本明細書に記載されるように、軸受２１６００は、（図１３Ｂおよび１３Ｃに示されるものなどの）すべてが負荷軸受要素の軸受の振動応答よりも小さいか、または相応する振動応答を提供する。すべてを負荷軸受要素とする従来の軸受（「１００％ステンレスボール」および「１００％セラミックボール」を参照）、ならびに、鋼の軸受とセラミックの軸受の混合の軸受を有する軸受に対する、軸受２１６００（「５０％ステンレスボール／５０％スペーサ材料」を参照）の経験的に導出される累積エネルギーの代表的な結果としての振動応答についての典型的なグラフが、図１５に提供される。

軸受２１６００は、軸受負荷容量（即ち、定格容量）が、それぞれの搬送アーム（たとえば、図３Ａのアーム３００、３０１、図６Ａのアーム５２１０－５２１３、図７Ａのアーム８１０－８１３、図９Ａのアーム１３３１０、１３３１１、および図１０のアーム１３３１０を参照）の負荷および駆動負荷（たとえば、図８Ｂのモータ５３２０、５３２１などのそれぞれのモータによって付与される負荷など）によって軸受２１６００に付与される（たとえば、処理ツール／アーム構成に従って予め決定される搬送装置の所定の使用デューティサイクルからの）軸受の静的および動的な負荷に対して（従来の軸受に対する場合と同様に）最適化されるように、（従来のすべてが負荷軸受要素の軸受２１７００に相応して）寸法決めされる。したがって、軸受２１６００は、所与の搬送アームの負荷および所定の使用デューティサイクルに対して寸法決めされる（言い換えれば、本発明の軸受２１６００の定格容量は、従来の軸受２１７００の定格容量と類似するか、またはそれに相応する）。

搬送装置／搬送アームの使用デューティサイクルは、半導体処理ツールでの最適な処理に対応し、それに対して実質的に予め決定される（しかし、これは、たとえば、独立して移動可能な搬送アームおよび／またはエンドエフェクタの数、搬送チャンバの寸法および形状、半導体処理ツールの様々な真空プロセスモジュールの所定のプロセスのレシピによるロードロックとプロセスモジュール間の搬送のピックアンドプレースのサイクルに応じて変化し得る）。軸受２１６００の使用デューティサイクル（たとえば、実質的に無制限の使用）は、所定の搬送装置／搬送アームの使用デューティサイクル中に軸受２１６００が移動する累積距離によって表され得る。図１４は、たとえば、本発明の軸受２１６００（「５０％ステンレスボール／５０％スペーサ材料」を参照）、すべてが負荷軸受要素（従来）の軸受（「１００％ステンレスボール」および「１００％セラミックボール」を参照）、および混合の転がり要素の軸受（「５０％ステンレスボール／５０％セラミックボール」を参照。たとえば、本開示の態様において記載されるものとは異なるスペーサ要素材料を有する）などの、様々な軸受構成に対する累積移動距離／使用デューティサイクルを示すスケールを有する、典型的なグラフを示す。図１４に見られるように、本開示の態様による軸受２１６００によって、結果として、すべてが負荷軸受要素の軸受（「１００％ステンレスボール」および「１００％セラミックボール」を参照）および混合の転がり要素の軸受（「５０％ステンレスボール／５０％セラミックボール」を参照）の使用デューティサイクルよりも約２倍大きいスケール因子を有する軸受２１６００の累積移動距離または使用デューティサイクルがもたらされる。たとえば、本開示の態様による低減した負荷軸受要素の軸受（たとえば、軸受２１６００）は、４年を超える（および、本開示のいくつかの態様に従って５年を超え得る）軸受２１６００の使用デューティサイクルを提供し、これは、搬送装置（たとえば、搬送装置１０４、１０４Ｄ、１０４Ｆ、１０４Ｆ’）の所定の使用デューティ寿命に相応し得る。

図６Ａおよび１７を参照すると、典型的な方法が、本開示の態様によって説明される。典型的な方法は、搬送装置１０４に関して説明されているが、本明細書に記載される他の搬送装置にも等しく適用される。当該方法は、フレーム２００Ｆを提供する工程を含む（図１７、ブロック２７０００）。フレーム２００Ｆに駆動セクション（駆動部分５２５１、５２５２の１つまたは複数など）が提供されて接続され（図１７、ブロック２７１００）、駆動セクションは、少なくとも１つの駆動軸（たとえば、それぞれの駆動モータ５３２０、５３２１など）を有する。駆動セクションに少なくとも１つのアーム５２１０－５２１３が提供されて接続される（図１７、ブロック２７２００）。少なくとも１つのアーム５２１０－５２１３は、基板Ｓを保持するように構成されるエンドエフェクタ５２１０Ｅ－５２１３Ｅを有し、少なくとも１つのアーム５２１０－５２１３は、トランスミッションリンクによって駆動セクションに接続され、少なくとも１つのアームに対するエンドエフェクタの伸長および収縮をもたらす少なくとも１つの自由度軸を有する。ガイドウェイ（たとえば、図４Ｂの軸受４００、４０１によって形成されるそれぞれのガイドウェイ４９９を参照。他の軸受も略類似したガイドウェイに関して本明細書に記載されることに留意されたい）が、フレーム２００Ｆおよびエンドエフェクタ（たとえば、それぞれのエンドエフェクタ５２１０Ｅ－５２１３Ｅ）に接続される軸受（たとえば、それぞれの軸受５３１０、５３１１）によって画定され（図１７、ブロック２７３００）、ガイドウェイは少なくとも１つの自由度軸を画定する。典型的な方法による軸受は、たとえば、軸受２１６００に関して上述される通りである。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、真空基板搬送装置は、
フレームと、
フレームに接続される駆動セクションであって、駆動セクションが、少なくとも１つの駆動軸を有する、駆動セクションと、
基板を保持するように構成されるエンドエフェクタを有する、少なくとも１つのアームであって、少なくとも１つのアームが、トランスミッションリンクによって駆動セクションに接続され、少なくとも１つのアームに対して、エンドエフェクタの伸長および収縮をもたらす、少なくとも１つの自由度軸を有する、少なくとも１つのアームと、
フレームおよびエンドエフェクタに接続される軸受であって、軸受が、少なくとも１つの自由度軸を画定するガイドウェイを画定する、軸受と
を備え、
軸受は、
少なくとも１つの転がり負荷軸受要素であって、軸受の軸受ケースにおいて、軸受レールに沿って、軸受ケースを循環するように配置され、少なくとも１つのアームによって軸受に付与されるアームの負荷を支持するように、軸受ケースの軸受レースウェイと軸受レールとの間をインターフェース接続し、少なくとも１つのアームによって、軸受レールに沿う、軸受ケースの摺動をもたらす、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素と、
少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素であって、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々と転がり負荷軸受要素の別の１つとの間に介在し、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々を転がり負荷軸受要素の別の１つと離間させて、軸受ケースに並んで配置され、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素が、軸受レースウェイと軸受レールとの間をインターフェース接続し、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素が、アームの負荷によって負荷が加えられないように構成される、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素と
を備え、
少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、指定された所定の使用期間中の２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に対して適合可能である犠牲緩衝材料からなる。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は各々、ボールである。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は各々、ローラである。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の犠牲緩衝材料は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して犠牲的に摩耗する、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の犠牲摩耗面を形成する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して、潤滑性のある材料表面を有し、潤滑性のある材料表面は、潤滑剤を含む。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の犠牲緩衝材料は、ポリイミド（ＰＩ）である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の犠牲緩衝材料は、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、指定された所定の使用期間は、２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、真空基板搬送装置の所定の使用デューティでの年数を超える。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、真空雰囲気は、高真空基板製造工程に対して適合可能である高真空である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の全体にわたって共通の材料からなる。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、真空基板搬送装置の所定の使用デューティは、真空基板搬送装置の指定された所定の使用期間の寿命に対応する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、軸受ケースが軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間をインターフェース接続する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、軸受が、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に対して、低減した数の少なくとも１つの転がり負荷軸受要素を有するように、軸受ケースにおいて、転がり負荷軸受要素の位置を占めるように、軸受ケースに配置される。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、軸受は、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に相応する低減した振動応答によって、低減した負荷軸受要素の軸受に相応する低減した滑り抵抗力を提供する、すべての軸受要素の軸受に相応する所定の負荷容量に対して、低減した負荷軸受要素の軸受である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、真空基板搬送装置は、
フレームと、
フレームに接続される駆動セクションであって、駆動セクションが、少なくとも１つの駆動軸を有する、駆動セクションと、
基板を保持するように構成されるエンドエフェクタを有する、少なくとも１つのアームであって、少なくとも１つのアームが、トランスミッションリンクによって駆動セクションに接続され、少なくとも１つのアームに対して、エンドエフェクタの伸長および収縮をもたらす、少なくとも１つの自由度軸を有する、少なくとも１つのアームと、
フレームおよびエンドエフェクタに接続される軸受であって、軸受が、少なくとも１つの自由度軸を画定するガイドウェイを画定する、軸受と
を備え、
軸受は、
少なくとも１つの転がり負荷軸受要素であって、軸受の軸受ケースにおいて、軸受レールに沿って、ケースを循環するように配置され、少なくとも１つのアームによって軸受に付与されるアームの負荷を支持するように、軸受ケースの軸受レースウェイと軸受レールとの間をインターフェース接続し、少なくとも１つのアームによって、軸受レールに沿う、軸受ケースの摺動をもたらす、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素と、
少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素であって、レースウェイにおいて、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々と並んで転動し、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々を転がり負荷軸受要素の別の１つと離間させて、軸受レースウェイに配置される、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素と
を備え、
少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、指定された所定の使用期間中の２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に適合可能である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素が実質的に無負荷の軸受けとなるように、軸受レースウェイと軸受レールとの間のインターフェース接続が軸受ケースに付与されるアームの負荷によって負荷が加えられないように構成される、実質的に無負荷の軸受要素である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対する犠牲摩耗面を形成する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素の犠牲摩耗面は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して犠牲的に摩耗する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素の犠牲摩耗面は、ポリイミド（ＰＩ）である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素の犠牲摩耗面は、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して、潤滑性のある材料表面を有する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は各々、ボールである。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は各々、ローラである。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素の全体にわたって共通の材料からなる。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、軸受ケースが軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間をインターフェース接続する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、軸受が、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に対して、低減した数の少なくとも１つの転がり負荷軸受要素を有するように、軸受ケースにおいて、転がり負荷軸受要素の位置を占めるように、軸受ケースに配置される。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、真空基板搬送装置は、
フレームと、
フレームに接続される駆動セクションであって、駆動セクションが、少なくとも１つの駆動軸を有する、駆動セクションと、
基板を保持するように構成されるエンドエフェクタを有する、少なくとも１つのアームであって、少なくとも１つのアームが、トランスミッションリンクによって駆動セクションに接続され、少なくとも１つのアームに対して、エンドエフェクタの伸長および収縮をもたらす、少なくとも１つの自由度軸を有する、少なくとも１つのアームと、
フレームおよびエンドエフェクタに接続される軸受であって、軸受が、少なくとも１つの自由度軸を画定するガイドウェイを画定する、軸受と
を備え、
軸受は、
少なくとも１つの転がり負荷軸受要素であって、軸受の軸受ケースにおいて、軸受レールに沿って、ケースを循環するように配置され、少なくとも１つのアームによって軸受に付与されるアームの負荷を支持するように、軸受ケースの軸受レースウェイと軸受レールとの間をインターフェース接続し、少なくとも１つのアームによって、軸受レールに沿う、軸受ケースの摺動をもたらす、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素と、
少なくとも１つの転がり緩衝要素であって、軸受ケースが軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、軸受ケースにおいて、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々と並んで転動し、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々を転がり負荷軸受要素の別の１つとの間をインターフェース接続して、軸受レースウェイに配置される、少なくとも１つの転がり緩衝要素と
を備え、
少なくとも１つの転がり緩衝要素は、指定された所定の使用期間中の２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に対して適合可能である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素は、少なくとも１つの転がり緩衝要素が実質的に無負荷の軸受となるように、軸受レースウェイと軸受レールとの間をインターフェース接続が軸受ケースに付与されるアームの負荷によって負荷が加えられないように構成される、実質的に無負荷の軸受要素である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対する犠牲摩耗面を形成する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素の犠牲摩耗面は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して犠牲的に摩耗する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素の犠牲摩耗面は、ポリイミド（ＰＩ）である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素の犠牲摩耗面は、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して、潤滑性のある材料表面を有する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および少なくとも１つの転がり緩衝要素は各々、ボールである。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および少なくとも１つの転がり緩衝要素は各々、ローラである。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、指定された所定の使用期間は、２６０℃を超える温度での真空雰囲気における、真空基板搬送装置の所定の使用デューティでの年数を超える。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素は、少なくとも１つの転がり緩衝要素の全体にわたって共通の材料からなる。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素は、軸受ケースが軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間をインターフェース接続する。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素は、軸受が、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に対して、低減した数の少なくとも１つの転がり負荷軸受要素を有するように、軸受ケースにおいて、転がり負荷軸受要素の位置を占めるように、軸受ケースに配置される。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、
フレームを提供するステップと、
フレームに接続される駆動セクションを提供するステップであって、駆動セクションが少なくとも１つの駆動軸を有する、駆動セクションを提供するステップと、
基板を保持するように構成されたエンドエフェクタを有する、少なくとも１つのアームを提供するステップであって、少なくとも１つのアームが、トランスミッションリンクによって駆動セクションに接続され、少なくとも１つのアームに対して、エンドエフェクタの伸長および収縮をもたらす、少なくとも１つの自由度軸を有する、少なくとも１つのアームを提供するステップと、
フレームおよびエンドエフェクタに接続される軸受によってガイドウェイを画定するステップあって、軸受が少なくとも１つの自由度軸を画定する、ガイドウェイを画定するステップと
を含む、方法であって、
軸受は、
少なくとも１つの負荷転がり軸受要素であって、軸受の軸受ケースにおいて、軸受レールに沿って、ケースを循環するように配置され、少なくとも１つのアームによって軸受に付与されるアームの負荷を支持するように、軸受ケースの軸受レースウェイと軸受レールとの間をインターフェース接続し、少なくとも１つのアームによって、軸受レールに沿う、軸受ケースの摺動をもたらす、少なくとも１つの負荷転がり軸受要素と、
少なくとも１つの転がり緩衝要素であって、軸受ケースが軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、軸受ケースにおいて、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々と並んで転動し、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々を転がり負荷軸受要素の別の１つとの間をインターフェース接続して、軸受レースウェイに配置される、少なくとも１つの転がり緩衝要素と
を備え、
少なくとも１つの転がり緩衝要素は、指定された所定の使用期間中の２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に対して適合可能である。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの転がり緩衝要素に対して、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対する犠牲摩耗面を形成するステップをさらに含む。

本開示の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するステップであって、少なくとも１つの転がり緩衝要素が各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間をインターフェース接続するとともに、軸受ケースが、軸受レールに沿って摺動するステップをさらに含む。

前述の説明が、本開示の態様の例示にすぎないことを理解されたい。本開示の態様から逸脱することなく、当業者によって様々な代替および修正が企図され得る。したがって、本開示の態様は、本明細書に添付された任意の請求項の範囲内にあるすべてのそのような代替、修正、および変形を包含することを意図している。さらに、異なる特徴が相互に異なる従属請求項または独立請求項に記載されているという単なる事実は、これらの特徴の組み合わせが利点を有して使用することができず、そのような組み合わせが本開示の態様の範囲内にとどまることを示すものではない。

Claims

真空基板搬送装置であって、
フレームと、
前記フレームに接続される駆動セクションであって、前記駆動セクションが、少なくとも１つの駆動軸を有する、駆動セクションと、
基板を保持するように構成されるエンドエフェクタを有する、少なくとも１つのアームであって、前記少なくとも１つのアームが、トランスミッションリンクによって前記駆動セクションに接続され、前記少なくとも１つのアームに対して、前記エンドエフェクタの伸長および収縮をもたらす、少なくとも１つの自由度軸を有する、少なくとも１つのアームと、
前記フレームおよび前記エンドエフェクタに接続される軸受であって、前記軸受が、前記少なくとも１つの自由度軸を画定するガイドウェイを画定する、軸受と
を備え、
前記軸受は、
少なくとも１つの転がり負荷軸受要素であって、前記軸受の軸受ケースにおいて、軸受レールに沿って、前記軸受ケースを循環するように配置され、前記少なくとも１つのアームによって前記軸受に付与されるアームの負荷を支持するように、前記軸受ケースの軸受レースウェイと前記軸受レールとの間をインターフェース接続し、前記少なくとも１つのアームによって、前記軸受レールに沿う、前記軸受ケースの摺動をもたらす、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素と、
少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素であって、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々と前記転がり負荷軸受要素の別の１つとの間に介在し、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々を前記転がり負荷軸受要素の別の１つと離間させて、前記軸受ケースに並んで配置され、前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素が、前記軸受レースウェイと前記軸受レールとの間をインターフェース接続し、前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素が、前記アームの負荷によって負荷が加えられないように構成される、少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素と
を備え、
前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、指定された所定の使用期間中の２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、前記真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に対して適合可能である犠牲緩衝材料からなる、
真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は各々、ボールである、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は各々、ローラである、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の前記犠牲緩衝材料は、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して犠牲的に摩耗する、前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の犠牲摩耗面を形成する、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して、潤滑性のある材料表面を有し、
前記潤滑性のある材料表面は、潤滑剤を含む、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の前記犠牲緩衝材料は、ポリイミド（ＰＩ）である、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の前記犠牲緩衝材料は、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）である、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記指定された所定の使用期間は、２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、前記真空基板搬送装置の前記所定の使用デューティでの年数を超える、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記真空雰囲気は、高真空基板製造工程に対して適合可能である高真空である、
請求項８記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素の全体にわたって共通の材料からなる、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記真空基板搬送装置の前記所定の使用デューティは、前記真空基板搬送装置の指定された所定の使用期間の寿命に対応する、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、前記軸受ケースが前記軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間をインターフェース接続する、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの実質的に無負荷の軸受の転がりスペーサ要素は、前記軸受が、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に対して、低減した数の前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素を有するように、前記軸受ケースにおいて、転がり負荷軸受要素の位置を占めるように、前記軸受ケースに配置される、
請求項１記載の真空基板搬送装置。
前記軸受は、前記すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に相応する低減した振動応答によって、低減した負荷軸受要素の軸受に相応する低減した滑り抵抗力を提供する、前記すべての軸受要素の軸受に相応する所定の負荷容量に対して、低減した負荷軸受要素の軸受である、
請求項１３記載の真空基板搬送装置。
真空基板搬送装置であって、
フレームと、
前記フレームに接続される駆動セクションであって、前記駆動セクションが、少なくとも１つの駆動軸を有する、駆動セクションと、
基板を保持するように構成されるエンドエフェクタを有する、少なくとも１つのアームであって、前記少なくとも１つのアームが、トランスミッションリンクによって前記駆動セクションに接続され、前記少なくとも１つのアームに対して、前記エンドエフェクタの伸長および収縮をもたらす、少なくとも１つの自由度軸を有する、少なくとも１つのアームと、
前記フレームおよび前記エンドエフェクタに接続される軸受であって、前記軸受が、前記少なくとも１つの自由度軸を画定するガイドウェイを画定する、軸受と
を備え、
前記軸受は、
少なくとも１つの転がり負荷軸受要素であって、前記軸受の軸受ケースにおいて、軸受レールに沿って、ケースを循環するように配置され、前記少なくとも１つのアームによって前記軸受に付与されるアームの負荷を支持するように、前記軸受ケースの軸受レースウェイと軸受レールとの間をインターフェース接続し、前記少なくとも１つのアームによって、前記軸受レールに沿う、前記軸受ケースの摺動をもたらす、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素と、
少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素であって、レースウェイにおいて、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々と並んで転動し、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々を前記転がり負荷軸受要素の別の１つと離間させて、前記軸受レースウェイに配置される、少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素と
を備え、
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、指定された所定の使用期間中の２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、前記真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に適合可能である、真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素が実質的に無負荷の軸受けとなるように、前記軸受レースウェイと前記軸受レールとの間のインターフェース接続が前記軸受ケースに付与されるアームの負荷によって負荷が加えられないように構成される、実質的に無負荷の軸受要素である、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対する犠牲摩耗面を形成する、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素の前記犠牲摩耗面は、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して犠牲的に摩耗する、
請求項１７記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素の前記犠牲摩耗面は、ポリイミド（ＰＩ）である、
請求項１７記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素の前記犠牲摩耗面は、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）である、
請求項１７記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して、潤滑性のある材料表面を有する、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は各々、ボールである、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は各々、ローラである、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記指定された所定の使用期間は、２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、前記真空基板搬送装置の前記所定の使用デューティでの年数を超える、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記真空雰囲気は、高真空基板製造工程に対して適合可能である高真空である、
請求項２４記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素の全体にわたって共通の材料からなる、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記真空基板搬送装置の前記所定の使用デューティは、前記真空基板搬送装置の指定された所定の使用期間の寿命に対応する、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、前記軸受ケースが前記軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間をインターフェース接続する、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つのプラスチックの転がりスペーサ要素は、前記軸受が、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に対して、低減した数の前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素を有するように、前記軸受ケースにおいて、転がり負荷軸受要素の位置を占めるように、前記軸受ケースに配置される、
請求項１５記載の真空基板搬送装置。
前記軸受は、前記すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に相応する低減した振動応答によって、低減した負荷軸受要素の軸受に相応する低減した滑り抵抗力を提供する、前記すべての軸受要素の軸受に相応する所定の負荷容量に対して、低減した負荷軸受要素の軸受である、
請求項２９記載の真空基板搬送装置。
真空基板搬送装置であって、
フレームと、
前記フレームに接続される駆動セクションであって、前記駆動セクションが、少なくとも１つの駆動軸を有する、駆動セクションと、
基板を保持するように構成されるエンドエフェクタを有する、少なくとも１つのアームであって、前記少なくとも１つのアームが、トランスミッションリンクによって前記駆動セクションに接続され、前記少なくとも１つのアームに対して、前記エンドエフェクタの伸長および収縮をもたらす、少なくとも１つの自由度軸を有する、少なくとも１つのアームと、
前記フレームおよび前記エンドエフェクタに接続される軸受であって、前記軸受が、前記少なくとも１つの自由度軸を画定するガイドウェイを画定する、軸受と
を備え、
前記軸受は、
少なくとも１つの転がり負荷軸受要素であって、前記軸受の軸受ケースにおいて、軸受レールに沿って、ケースを循環するように配置され、前記少なくとも１つのアームによって前記軸受に付与されるアームの負荷を支持するように、前記軸受ケースの軸受レースウェイと前記軸受レールとの間をインターフェース接続し、前記少なくとも１つのアームによって、前記軸受レールに沿う、前記軸受ケースの摺動をもたらす、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素と、
少なくとも１つの転がり緩衝要素であって、前記軸受ケースが前記軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、前記軸受ケースにおいて、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々と並んで転動し、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々を前記転がり負荷軸受要素の別の１つとの間をインターフェース接続して、前記軸受レースウェイに配置される、少なくとも１つの転がり緩衝要素と
を備え、
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、指定された所定の使用期間中の２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、前記真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に対して適合可能である、
真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、前記少なくとも１つの転がり緩衝要素が実質的に無負荷の軸受となるように、前記軸受レースウェイと前記軸受レールとの間をインターフェース接続が前記軸受ケースに付与されるアームの負荷によって負荷が加えられないように構成される、実質的に無負荷の軸受要素である、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対する犠牲摩耗面を形成する、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素の前記犠牲摩耗面は、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して犠牲的に摩耗する、
請求項３３記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素の前記犠牲摩耗面は、ポリイミド（ＰＩ）である、
請求項３３記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素の前記犠牲摩耗面は、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）である、
請求項３３記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して、潤滑性のある材料表面を有する、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は各々、ボールである、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は各々、ローラである、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記指定された所定の使用期間は、２６０℃を超える温度での真空雰囲気における、前記真空基板搬送装置の前記所定の使用デューティでの年数を超える、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記真空雰囲気は、高真空基板製造工程に対して適合可能である高真空である、
請求項４０記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、前記少なくとも１つの転がり緩衝要素の全体にわたって共通の材料からなる、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記真空基板搬送装置の前記所定の使用デューティは、前記真空基板搬送装置の指定された所定の使用期間の寿命に対応する、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、前記軸受ケースが前記軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間をインターフェース接続する、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、前記軸受が、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に対して、低減した数の前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素を有するように、前記軸受ケースにおいて、転がり負荷軸受要素の位置を占めるように、前記軸受ケースに配置される、
請求項３１記載の真空基板搬送装置。
前記軸受は、前記すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に相応する低減した振動応答によって、低減した負荷軸受要素の軸受に相応する低減した滑り抵抗力を提供する、前記すべての軸受要素の軸受に相応する所定の負荷容量に対して、低減した負荷軸受要素の軸受である、
請求項４５記載の真空基板搬送装置。
フレームを提供するステップと、
前記フレームに接続される駆動セクションを提供するステップであって、前記駆動セクションが少なくとも１つの駆動軸を有する、駆動セクションを提供するステップと、
基板を保持するように構成されたエンドエフェクタを有する、少なくとも１つのアームを提供するステップであって、前記少なくとも１つのアームが、トランスミッションリンクによって前記駆動セクションに接続され、前記少なくとも１つのアームに対して、前記エンドエフェクタの伸長および収縮をもたらす、少なくとも１つの自由度軸を有する、少なくとも１つのアームを提供するステップと、
前記フレームおよび前記エンドエフェクタに接続される軸受によってガイドウェイを画定するステップあって、前記軸受が前記少なくとも１つの自由度軸を画定する、ガイドウェイを画定するステップと
を含む、方法であって、
前記軸受は、
少なくとも１つの負荷転がり軸受要素であって、前記軸受の軸受ケースにおいて、軸受レールに沿って、ケースを循環するように配置され、前記少なくとも１つのアームによって前記軸受に付与されるアームの負荷を支持するように、前記軸受ケースの軸受レースウェイと前記軸受レールとの間をインターフェース接続し、前記少なくとも１つのアームによって、前記軸受レールに沿う、前記軸受ケースの摺動をもたらす、少なくとも１つの負荷転がり軸受要素と、
少なくとも１つの転がり緩衝要素であって、前記軸受ケースが前記軸受レールに沿って摺動するとともに、各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するように、前記軸受ケースにおいて、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々と並んで転動し、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素の各々を前記転がり負荷軸受要素の別の１つとの間をインターフェース接続して、前記軸受レースウェイに配置される、少なくとも１つの転がり緩衝要素と
を備え、
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、指定された所定の使用期間中の２６０℃を超える温度の真空雰囲気における、前記真空基板搬送装置の所定の使用デューティに相応する、持続的な実質的に無制限の使用に対して適合可能である、
方法。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、前記少なくとも１つの転がり緩衝要素が実質的に無負荷の軸受となるように、前記軸受レースウェイと前記軸受レールとの間をインターフェース接続が前記軸受ケースに付与されるアームの負荷によって負荷が加えられないように構成される、実質的に無負荷の軸受要素である、
請求項４７記載の方法。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素に対して、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対する犠牲摩耗面を形成するステップをさらに含む、
請求項４７記載の方法。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素の前記犠牲摩耗面は、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して犠牲的に摩耗する、
請求項４９記載の方法。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素の前記犠牲摩耗面は、ポリイミド（ＰＩ）である、
請求項４９記載の方法。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素の前記犠牲摩耗面は、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）である、
請求項４９記載の方法。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素に対して、潤滑性のある材料表面を有する、
請求項４７記載の方法。
前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は各々、ボールである、
請求項４７記載の方法。
前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素および前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は各々、ローラである、
請求項４７記載の方法。
前記指定された所定の使用期間は、２６０℃を超える温度での真空雰囲気における、前記真空基板搬送装置の前記所定の使用デューティでの年数を超える、
請求項４７記載の方法。
前記真空雰囲気は、高真空基板製造工程に対して適合可能である高真空である、
請求項５６記載の方法。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、前記少なくとも１つの転がり緩衝要素の全体にわたって共通の材料からなる、
請求項４７記載の方法。
前記真空基板搬送装置の前記所定の使用デューティは、前記真空基板搬送装置の指定された所定の使用期間の寿命に対応する、
請求項４７記載の方法。
各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間の相対運動を緩衝するステップであって、前記少なくとも１つの転がり緩衝要素が各転がり負荷軸受要素と他の転がり負荷軸受要素との間をインターフェース接続するとともに、前記軸受ケースが、前記軸受レールに沿って摺動するステップをさらに含む、
請求項４７記載の方法。
前記少なくとも１つの転がり緩衝要素は、前記軸受が、すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に対して、低減した数の前記少なくとも１つの転がり負荷軸受要素を有するように、前記軸受ケースにおいて、転がり負荷軸受要素の位置を占めるように、前記軸受ケースに配置される、
請求項４７記載の方法。
前記軸受は、前記すべてが転がり負荷軸受要素の軸受に相応する低減した振動応答によって、低減した負荷軸受要素の軸受に相応する低減した滑り抵抗力を提供する、前記すべての軸受要素の軸受に相応する所定の負荷容量に対して、低減した負荷軸受要素の軸受である、
請求項６１記載の方法。